MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original IKT 010 ∣ IKT 011 Capteur à cathode froide pour la mesure de pression intégrée Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau capteur a été conçu pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. Le nom Pfeiffer Vacuum représente une technique du vide de haute qualité, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l’utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de. Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/46 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque déposée 7 7 7 7 7 8 8 8 8 8 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations non conformes prévisibles 10 10 10 12 13 13 13 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.2 Interrupteur et affichage de l’état 3.3 Identification du produit 3.4 Fournitures 14 14 14 14 14 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 15 15 15 5 Installation 5.1 Raccord à vide 5.2 Raccordement électrique 5.2.1 Raccordement du capteur avec TIC 010 au HiPace 5.2.2 Raccordement du capteur avec AccessLink 16 16 17 18 18 6 Fonctionnement 6.1 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction 6.2 Temporisation d'amorçage 6.3 Pollution 19 19 21 21 7 Retrait 22 8 Maintenance 8.1 Maintenance du capteur 8.2 Démontage du capteur 8.3 Remplacement de l’aide d'amorçage 8.4 Nettoyage des composants 8.5 Installez le capteur 24 24 25 26 27 29 9 Dysfonctionnements 9.1 Dépanner 9.2 Identification des erreurs sur chambre de mesure 31 31 31 10 Expédition 33 11 Recyclage et mise au rebut 11.1 Informations générales sur la mise au rebut 34 34 3/46 Table des matières 4/46 11.2 Mise au rebut des capteurs 34 12 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 35 13 Pièces de rechange 37 14 Accessoires 14.1 Informations sur l’accessoire 14.2 Commande d’accessoires 38 38 38 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités 15.2 Fiche technique 15.3 Dimensions 39 39 39 41 Certification 42 Déclaration de conformité CE 43 Déclaration de Conformité UK 44 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Documents applicables Variantes Abréviations utilisées Conditions ambiantes autorisées Unités de commande électronique et versions de micrologiciel requises Diodes électroluminescentes Facteur de correction pour un domaine de pression < hPa Dysfonctionnements Mesure Pièces de rechange Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Valeurs de mesure et de pression Données électriques Volume interne et poids Conditions ambiantes Températures Substances en contact avec le fluide 7 7 9 13 18 19 20 31 32 37 39 39 39 40 40 40 40 41 5/46 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: 6/46 Interrupteur et DEL Raccord à vide Raccord AccessLink (micro USB, type B) Pression affichée Retrait du capteur Démontage du capteur Retrait de l’aide à l’amorçage Insertion de l'aide d'amorçage dans l'outil de montage Insertion de l’aide à l’amorçage Interrupteur pour valeur de calibrage CAL Installez le capteur Broches de contact de la chambre de mesure Chambre de mesure complète (jauge de remplacement) Dimensions 14 17 18 20 23 25 26 27 27 29 30 32 37 41 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Manuel de l'utilisateur « Unité d’entraînement électronique » TC (selon l’appareil utilisé) Manuel de l’utilisateur de la « pompe turbomoléculaire » HiPace (selon l’appareil utilisé) Manuel de l’utilisateur de « Appareil de commande » OmniControl PT 0670 Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes : Référence Désignation Raccordement Version PT R72 100 KIT 010, DN 25 ISO-KF, câble de 1,0 m Molex Courant de faible intensité PT R73 100 KIT 011, DN 25 ISO-KF, câble de 1,0 m PT R72 550 KIT 010, DN 25 ISO-KF, câble de 0,5 m PT R73 550 KIT 011, DN 25 ISO-KF, câble de 0,5 m Tab. 2: Courant fort AccessLink Courant de faible intensité Courant fort Variantes Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire. 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 7/46 A propos de ce manuel 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles. Remarque Conseil Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique La plaque signalétique est située sur le côté de l’unité électronique du capteur. D-35614 Asslar Mod. P/N S/N Input 1.3.4 8/46 IKT 01x PT R7x xxx xxxxxxxxx 5 V DC 2 W Made in Liechtenstein 2024/05 Abréviations Abréviation Explication ATM Atmosphère c Constante de conversion du signal de mesure et de la pression C Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air CAL Calibration A propos de ce manuel Abréviation Explication EEPROM Mémoire morte programmable et effaçable électriquement HV Vide élevé HV-ST État vide élevé LPS Source de puissance limitée MSL Niveau moyen de la mer OR Plage dépassée vers le haut [P:000] Paramètre de l’unité de commande électronique avec numéro p Pression PLC Contrôleur logique programmable ST État WAF Largeur sur pans TC Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de pompe turbomoléculaire) U Signal de mesure [V] (tension de sortie) UR Plage dépassée vers le bas Tab. 3: 1.4 Abréviations utilisées Justificatif de marque déposée ● HiPace® est une marque déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH. ● Molex® est une marque déposée de Molex Incorporated, Lisle, Illinois, USA. 9/46 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. 10/46 Sécurité Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. ► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. ► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. ► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort par électrocution En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques. ► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée. ► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement. DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 11/46 Sécurité AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). 12/46 Sécurité ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 2.4 Limites d’utilisation du produit Paramètre Humidité relative de l’air (pour 30 jours par an) -2 ≤ 70 % (sans condensation) -7 -2 ≤ 95 % (sans condensation) 1 × 10 – 1 × 10 hPa 1 × 10 – 1 × 10 hPa Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 6000 m MSL Degré de pollution 2 Degré de protection IP40 Tab. 4: 2.5 Valeur -8 Conditions ambiantes autorisées Utilisation conforme Le capteur est utilisé pour des mesures de pression intégrées dans les pompes turbomoléculaires HiPace Pfeiffer Vacuum sur toute la plage de pression admissible. Utilisation du produit conformément à son usage prévu 1. Installez, utilisez et entretenez le capteur seulement dans les conditions prescrites dans ce manuel de l'utilisateur. 2. Utilisez le capteur seulement pour la mesure de pression d’air, de gaz inertes et de mélanges de gaz en dehors de leurs limites d'explosion. 3. Raccordez le capteur au raccord correspondant. 4. Se conformer aux limites d’application. 5. Observer la fiche technique. 2.6 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation ● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée ● Utilisation en extérieur ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 13/46 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction Le capteur a un système de mesure à cathode froide basé sur le principe du magnétron inversé. Le capteur émet le signal de mesure sous forme numérique. 3.2 Interrupteur et affichage de l’état 2 3 1 Fig. 1: Interrupteur et DEL 1 Interrupteur pour la valeur de calibrage (CAL) 2 DEL « ST » (tension d’alimentation/erreur) 3.3 3 DEL « HV-ST » (haute tension/cathode froide) Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. 3.4 Fournitures Pièces incluses dans la livraison : ● Capteur avec câble et connecteur ● Manuel de l’utilisateur Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée. 14/46 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transporter le produit en toute sécurité ► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant l’installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Stocker le produit en toute sécurité ► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine. ► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenez la température d’entreposage admissible. ► Évitez les fortes variations de températures ambiantes. ► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air. ► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles). 15/46 Installation 5 Installation 5.1 Raccord à vide DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. ► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. ► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. ► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. 16/46 Installation AVIS Éclats électriques liés à l’hélium L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les détruire. ► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité. ► Démontez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité. Conditions préalables ● Conditions ambiantes appropriées ● Température de fonctionnement dans la plage permissible ● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles) 1 2 3 4 5 Fig. 2: Raccord à vide 1 Joint avec anneau de centrage 2 Unité électronique 3 Obturateur de protection 4 5 Joint avec anneau de centrage et filtre Pièce de serrage Recommandations ► Dans la mesure du possible, vérifiez que le capteur n’est pas soumis à des vibrations pendant le fonctionnement. Ces vibrations entraînent généralement des écarts dans les valeurs mesurées. ► Montez le capteur dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le bas). – Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure. ► Montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour protéger les applications et le système de mesure contre tout risque de contamination. Procédure 1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr. 2. Installez le capteur sur l’installation à vide élevé en utilisant les composants de vide de la boutique de composants de vide Pfeiffer. 5.2 Raccordement électrique AVIS Dommages matériels sur l'électronique ou le capteur Le débranchement du connecteur mâle-femelle lorsque la tension d’alimentation est appliquée, peut entraîner la destruction des composants électroniques. ► Mettez toujours hors tension avant de brancher ou de débrancher le câble de raccordement du capteur. 17/46 Installation 5.2.1 Raccordement du capteur avec TIC 010 au HiPace Manuel de l'utilisateur de l’unité de commande électronique Respectez les informations sur le raccordement dans le manuel de l’utilisateur de l’unité d’entraînement électronique. Instructions d'assemblage pour le TIC 010 Respectez les informations sur l'assemblage dans les instructions d'assemblage pour le TIC 010. Les contacts enfichables de l’adaptateur TIC 010 sont numérotés sur sa platine et correspondent aux paramètres et valeurs de sortie par la suite. Vous pouvez sélectionner la borne femelle comme désiré. Unité de commande électronique Version du micrologiciel (ou postérieure) TC 110 012500 TC 120 010300 TC 400 012400 TC 1200 012400 TM 700 010600 Tab. 5: Unités de commande électronique et versions de micrologiciel requises Conditions préalables ● Les versions de micrologiciels requises pour l'unité de commande électronique sont disponibles ● Tous les raccords sont hors tension électrique Accessoires nécessaires ● TIC 010, adaptateur pour deux capteurs Procédure 1. Connectez le câble au TIC 010 au raccord « Pv.can » de l’unité de commande électronique. 2. Effectuez les réglages et la commande par les interfaces de l’unité de commande électronique. 5.2.2 Raccordement du capteur avec AccessLink Manuel de l'utilisateur de la pompe à Vide Respectez les informations sur le raccordement dans le manuel de l’utilisateur de la pompe à vide. Condition préalable ● Tous les raccords sont hors tension électrique 5 3 4 Fig. 3: 1 2 Raccord AccessLink (micro USB, type B) 1 + 5 V (bleu) 2 Capteur RxD / TxD hôte (blanc) 3 Capteur TxD / RxD hôte (vert) 4 5 Non raccordé (rouge) GND (noir) Procédure 1. Raccordez le câble à un AccessLink libre de la pompe à vide. 2. Effectuez les réglages et la commande par les interfaces de l’unité de commande électronique. 18/46 Fonctionnement 6 Fonctionnement L'unité de capteurs connectés est prête à fonctionner dès la mise sous tension de l'unité de commande électronique. DEL Signification « ST » « HV-ST » Désactivée Désactivée Pas d’alimentation électrique Allumée en jaune Désactivée Tension d'alimentation OK, cathode froide désactivée Allumée en jaune Clignote en vert Tension d’alimentation OK, pression dans la gamme cathode froide, cathode froide non allumée Allumée en vert Allumée en vert Cathode froide allumée Clignote en rouge Désactivée Erreur EEPROM Allumée en jaune Allumée en vert Gamme de mesure pas atteinte ou dépassée vers le haut Allumée en rouge Désactivée Tension d’alimentation instable Tab. 6: Diodes électroluminescentes Évaluation des signaux par l’intermédiaire des interfaces de sorties Les interfaces de sortie de l’unité de commande électronique avec le protocole Pfeiffer Vacuum applicable et le paramètre Pfeiffer Vacuum réglé sont utilisés pour faire fonctionner les dispositifs d’accessoires connectés sur une pompe à vide Pfeiffer Vacuum. Voir les manuels de l'utilisateur pour les unités de commande électronique utilisées. 6.1 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction Le signal de mesure dépend du type de gaz. Les caractéristiques s’appliquent pour l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO). 19/46 Fonctionnement p [hPa] 4 2 10 Xe Kr Ar Air O2 CO N2 H2 Ne He –3 8 6 4 2 10–4 8 6 4 2 10–5 8 6 4 2 10–6 8 6 4 2 10–7 10–7 2 4 6 10–6 2 4 6 10–5 2 4 6 10–4 2 4 6 10–3 2 4 6 10–2 peff [hPa] Fig. 4: Pression affichée Dans le domaine de pression < 10-5 hPa, l’affichage est linéaire. Mélanges de gaz et de vapeurs Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole. Type de gaz Facteur de correction (C) Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2) 1,0 Hydrogène (H2) 2,4 Hélium (He) 5,9 Néon (Ne) 4,1 Argon (Ar) 0,8 Krypton (Kr) 0,5 Xénon (Xe) 0,4 Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes. Tab. 7: Facteur de correction pour un domaine de pression < 10 -5 hPa Réglage du facteur de correction sur l’unité de commande électronique ► Utilisez [P:742] pour entrer le facteur de correction et la valeur mesurée affichée correcte. 20/46 Fonctionnement Calcul de la pression de gaz autres que l’air ► Calculez la pression efficace avec la formule suivante : Peff = C × p ● Peff = Pression efficace ● C = Facteur de correction ● p = Pression affichée (capteur calibré pour l’air) 6.2 Temporisation d'amorçage Les systèmes de mesure à cathode froide ont une temporisation d'amorçage à l'activation. Cette temporisation d'amorçage est plus longue pour les basses pressions et est typiquement dans les unités dégazées propres : ● ● ● ● 1 × 10-5 à 1 × 10-2 hPa < 1 seconde 1 × 10-7 à 1 × 10-5 hPa < 20 secondes 5 × 10-9 à 1 × 10-7 hPa < 2 minutes < 5 × 10-9 hPa < 20 minutes L'amorçage est un processus statique pour lequel des dépôts même minimes peuvent avoir une grande influence sur les surfaces intérieures. 6.3 Pollution Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. La contamination du capteur dépend ● de la pression dans les enceintes à vide ● du type de fluide de process ● de la contamination existante ou nouvellement accumulée ou sa pression partielle (p. ex. vapeurs, particules de process, etc.) ● de la durée de service Le fonctionnement continu dans la plage comprise entre 10-4 hPa et 10-2 hPa peut causer une contamination grave et réduire la durée de vie et les intervalles d’entretien. La contamination du capteur entraîne généralement des écarts dans les valeurs mesurées : ● Dans la gamme de basses pressions (< 1 × 10-3 hPa), la pression affichée est généralement trop basse (contamination du système à cathode froide). Une contamination excessive va causer des instabilités (séparation des couches dans la chambre de mesure). Ceci peut entraîner des courts-circuits. Un étanchement complet de la décharge de gaz est aussi possible en cas de contamination résultant de couches isolées. Modification du degré de contamination Dans une certaine mesure, le niveau de contamination peut être influencé. Des précautions particulières doivent être prises dans le cas de vapeurs formant des dépôts dans le plasma (p. ex. du système de mesure à cathode froide). ► Implémentez des mesures préventives géométriques (tôles de protection, angles) pour les particules se propageant en ligne droite. ► Choisissez une position de bride avec une pression partielle de contamination minimale. ► Désactivez le capteur en présence de vapeurs de dépôt, ou Fermez de façon étanche le capteur au moyen d’une vanne en présence de vapeurs de dépôt. 21/46 Retrait 7 Retrait DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Conditions préalables ● Système de vide mis à l’air à la pression atmosphérique ● Alimentation de tension interrompue 22/46 Retrait 1 2 3 Fig. 5: Retrait du capteur 1 Joint avec anneau de centrage 2 Obturateur de protection 3 Pièce de tensionnement Retrait du capteur 1. Déconnectez le câble du capteur de l’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire. 2. Retirez le capteur du système de vide. 3. Placez l’obturateur de protection sur la bride connexion. 23/46 Maintenance 8 Maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Demande de garantie Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. Commencer par lire intégralement les sections Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à travailler. 8.1 Maintenance du capteur Pfeiffer Vacuum a calibré le capteur à l’usine sur les valeurs standard. Le capteur est sans entretien. Remplacement des composants défectueux ► Remplacez la chambre d’ionisation et l’aide d'amorçage ou toute la chambre de mesure (sonde de remplacement) seulement si l’unité est défectueuse. ► Remplacez toute la chambre de mesure si celle-ci est défectueuse ou fortement contaminée. 24/46 Maintenance 8.2 Démontage du capteur AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Condition préalable ● Capteur retiré du système de vide Outils nécessaires ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2 ● Pinces pour circlip ● Pinces 3 4 2 5 1 Fig. 6: Démontage du capteur 1 Circlip 2 Chambre d'ionisation 3 Chambre de mesure 4 5 Unité électronique Vis moletée Démontage du capteur 1. Desserrez la vis moletée du côté de l'unité électronique. 2. Retirez la chambre de mesure complète et retirez-la de l’unité électronique. 3. Retirez le circlip. 4. Retirez la chambre d'ionisation de la chambre de mesure. 25/46 Maintenance 8.3 Remplacement de l’aide d'amorçage AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Outils nécessaires ● Outil de montage pour l’aide d'amorçage ● Pinces Pièce détachée requise ● Aide d'amorçage 1 2 Fig. 7: Retrait de l’aide à l’amorçage 1 Aide d'amorçage 2 Retrait de l’aide à l’amorçage ► Retirez l’aide à l’amorçage. 26/46 Outil de montage Maintenance 1 3 2 Fig. 8: Insertion de l'aide d'amorçage dans l'outil de montage 1 Aide d'amorçage 2 Extrémité dentelée de l’aide d'amorçage 3 Outil de montage Insertion de l'aide d'amorçage dans l'outil de montage 1. Insérez la nouvelle aide d'amorçage dans l'outil de montage. 2. Vérifiez que la position de l’aide d'amorçage est correcte (extrémité dentelée en bas). 1 2 3 Fig. 9: Insertion de l’aide à l’amorçage 1 Chambre de mesure (avec anode) 2 Aide d'amorçage 3 Outil de montage Insertion de l’aide à l’amorçage ► Poussez doucement la chambre de mesure avec l’anode (neuve ou nettoyée) dans l’outil de montage jusqu’à la butée. La chambre doit être au centre et parallèle à l'axe de l’outil. 8.4 Nettoyage des composants DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. 27/46 Maintenance AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. AVIS Dégâts causés par la pénétration d’humidité La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité. ► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau. ► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface. ► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Condition préalable ● Capteur démonté selon les besoins Outil nécessaire ● Pinces Consommables requis ● Alcool industriel ● Chiffon (doux, non pelucheux) Nettoyage externe de l’appareil 1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe. 2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage. Contrôle des composants quant à une contamination éventuelle 1. Contrôlez la chambre d’ionisation quant à une contamination éventuelle. 2. Contrôlez la chambre de mesure quant à une contamination éventuelle. 3. Contrôlez l’aide d'amorçage quant à une contamination éventuelle. 4. Remplacez la chambre d’ionisation si celle-ci est le seul élément contaminé. 5. Remplacez toute la chambre de mesure si celle-ci est très contaminée. 6. Remplacez l’aide d'amorçage si l’amorçage est contaminé. Nettoyage des composants 1. Enlevez l'aide à l’amorçage usée. 2. Effectuez seulement le travail concentriquement sur les surfaces d'étanchéité. 3. Avec le chiffon de lustrage, frottez les parois internes de la chambre de mesure jusqu’à la rainure du circlip jusqu’à ce qu’elles brillent. 4. Insérez l’aide à l’amorçage neuve. 5. Réinstallez le capteur. 28/46 Maintenance 8.5 Installez le capteur DANGER Danger de mort par électrocution En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques. ► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée. ► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. AVIS Éclats électriques liés à l’hélium L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les détruire. ► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité. ► Démontez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité. La chambre de mesure complète (jauge de remplacement) est préassemblée. 1 8 Fig. 10: E 0 2 4 C A 8 6 Interrupteur pour valeur de calibrage CAL 1 Autocollant pour la valeur de calibrage du capteur de remplacement Réglage de la valeur de calibrage de la jauge de remplacement ► Réglez la valeur de calibrage de la jauge de remplacement sur l’interrupteur de la valeur de calibrage (CAL) de l'unité électronique. 29/46 Maintenance 1 6 5 2 3 4 Fig. 11: Installez le capteur 1 Chambre de mesure 2 Unité électronique 3 Vis moletée 4 5 6 Chambre de mesure (complète) Circlip Chambre d'ionisation Outils nécessaires ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2 ● Pinces pour circlip ● Pinces Installation du capteur 1. Respectez l'arrangement de la chambre d’ionisation. 2. Poussez la chambre d’ionisation dans la chambre de mesure jusqu’à la butée mécanique. 3. Montez le circlip. 4. Poussez la chambre de mesure complète dans l’unité électronique jusqu’à la butée mécanique. 5. Vérifiez que les broches restent droites. 6. Fixez la vis moletée du côté de l'unité électronique. 7. Effectuez un test d’étanchéité sur la chambre de mesure lorsque cela est possible. – Taux de fuite < 10-9 hPa l/s 30/46 Dysfonctionnements 9 Dysfonctionnements Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. Rectification des dysfonctionnements (Reset) En cas de dysfonctionnement, Pfeiffer Vacuum recommande de débrancher la tension d'alimentation et de la rebrancher après 5 secondes. 9.1 Dépanner Perturbation LED « ST » Pas de communication via l’interface numérique Éteinte Pas d'alimentation 1. Contrôlez la connexion du capteur. 2. Établissez la tension d’alimentation. Valeur mesurée instable Allumée en vert Capteur contaminé ● Remplacez la chambre d’ionisation. ● Remplacez la chambre de mesure complète. Valeur mesurée « 999999 » (dépassement vers le haut de la plage) Allumée en jaune Pas de haute tension dans la chambre de mesure Activez la haute tension via [P:041]. Clignote en rouge LED « HVST » Éteinte Éteinte Cause possible Action corrective Surpression dans la chambre de mesure 1. Évacuez à p < 1 × 10-2 hPa 2. Désactivez le capteur via l’interface, attendez 5 secondes et réactivez-le (remise à zéro). Erreur EEPROM Désactivez le capteur via l’interface, attendez 5 secondes et réactivez-le (remise à zéro). Remplacez le capteur. Valeur mesurée « 000000 » (dépassement vers le bas de la plage) Allumée en jaune Valeur mesurée constante à env. 5 × 10-4 hPa. Allumée en vert Tab. 8: 9.2 Clignote en vert La décharge d'un gaz n’a pas été amorcée Attendez l’amorçage de la décharge de gaz (environ 5 minutes à une pression de 10-9 hPa). Chambre de mesure fortement contaminée Remplacez la chambre de mesure complète. Dysfonctionnements Identification des erreurs sur chambre de mesure Si vous êtes presque certain de la cause d’une erreur de chambre de mesure, utilisez un ohmmètre pour un diagnostic approximatif. Il est inutile de remettre à l’air le système de vide. Condition préalable ● Unité électronique retirée Instrument nécessaire ● Ohmmètre 31/46 Dysfonctionnements 3 4 2 1 5 6 Fig. 12: Broches de contact de la chambre de mesure 1 – 5 Broche de contact 6 Chambre de mesure Mesure entre Plage de point de consigne Causes pour lesquelles les valeurs sont en dehors de la plage de point de consigne 5 et 6 ∞ Valeur <<∞ : contamination, court-circuit de la cathode froide Tab. 9: Mesure Test de résistance 1. Mesurez sur les broches de contact de la chambre de mesure avec un ohmmètre. 2. Remplacez toute la chambre de mesure si la valeur mesurée est en dehors de la gamme du point de consigne. 32/46 Expédition 10 Expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 33/46 Recyclage et mise au rebut 11 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 11.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 11.2 Mise au rebut des capteurs Les capteurs Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux qui doivent être recyclés. 1. Démantelez l’unité électronique. 2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 3. Séparez les composants en matériaux recyclables. 4. Recyclez les composants non contaminés. 5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 34/46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 12 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 35/46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 36/46 Pièces de rechange 13 Pièces de rechange Commande de pièces de rechange ► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la plaque signalétique. ► Installez uniquement des pièces détachées d'origine. 3 2 1 Fig. 13: Chambre de mesure complète (jauge de remplacement) 1 Circlip 2 Chambre d'ionisation 3 Chambre de mesure Description Numéro de commande Kits d'aide d'amorçage (10 x) BN 845 995 -T Outil de montage pour l’aide d'amorçage PT 120 316 -T Chambre d’ionisation (titane, acier inoxydable) IKT 010 PT 120 313 -T Chambre d'ionisation (acier surfin) IKT 011 PT 120 312 -T Chambre de mesure complète IKT 010 PT 120 320 -T IKT 011 PT 120 300 -T Tab. 10: Pièces de rechange 37/46 Accessoires 14 Accessoires Reportez-vous à la gamme des accessoires de pompes turbomoléculaires HiPace à palier hybride (capteurs de pression) sur notre site Internet. Reportez-vous à la gamme des accessoires de pompes turbomoléculaires HiPace à lévitation magnétique (capteurs de pression) sur notre site Internet. 14.1 Informations sur l’accessoire Joints avec anneau de centrage et filtre Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination 14.2 38/46 Commande d’accessoires Description Référence de commande Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,02 mm, FKM/acier inoxydable, DN 25 ISO-KF PF 117 225 -T Caractéristiques techniques et dimensions 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 100 1 0,1 0,75 1 · 10 1,000 100 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 · 10-3 133,32 1,33 0,133 1 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 Pa 0,01 hPa -3 5 -5 1 Pa = 1 N/m Tab. 11: 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 592 7,5 10 3 Pa m /s sccm 1 3 atm cm /s 9,87 1.69 · 10 1.69 · 10 1 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 Torr l/s Tab. 12: 750 -3 -3 -2 1,27 · 10 1.67 · 10-2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 15.2 Fiche technique Paramètre Valeur Gamme de mesure (air, N2) 5 × 10-8 – 1 × 10-2 hPa Pression maximum (absolue) 10 000 hPa, limitée aux gaz inertes Pression de rupture (absolue) > 13 000 hPa Principe de mesure Cathode froide Précision (N2) 30 % de la valeur mesurée Répétabilité (N2) 5 % de la valeur mesurée Tab. 13: Valeurs de mesure et de pression Paramètre Valeur Temps de réponse en fonction de la pression < 100 ms -6 p > 10 hPa -6 -8 p = 10 – 10 hPa Tension d’alimentation environ 1 s Classe 2/LPS sur le capteur + 5 V DC (± 5 %) Ondulation 0,1 Vpp max. Tension d'amorçage (dans la chambre de mesure) ≤ 4,5 kV Tension de fonctionnement (dans la chambre de mesure) ≤ 3,3 kV Courant de service (dans la chambre de mesure) IKT 010 Courant de faible intensité IKT 011 Courant fort Puissance absorbée ≤2W Fusible (à raccorder en série) ≤ 1 AT 39/46 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Raccordement (électrique) Longueur de câble (l) Concept de mise à la terre Tab. 14: PT R7x 0xx PT R7x 1xx Molex PicoBlade, 4 broches, blindé (câble avec connecteur approprié adapté pour TIC 010) PT R7x 5xx Connecteur AccessLink (Câble avec connecteur approprié pour HiPace Neo) PT R7x 05x PT R7x 55x 0,5 m PT R7x 100 1m PT R7x 150 1,5 m Raccord vide et masse signal raccordé à 10 kΩ (différence de potentiel ≤ 16 V) Données électriques Paramètre Valeur Volume interne 19,9 cm3 environ Poids < 280 g Tab. 15: Volume interne et poids Paramètre Humidité relative de l’air (pour 30 jours par an) 1 × 10 – 1 × 10 hPa ≤ 70 % (sans condensation) 1 × 10-7 – 1 × 10-2 hPa ≤ 95 % (sans condensation) -2 Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 6000 m MSL Degré de pollution 2 Degré de protection IP40 Tab. 16: Conditions ambiantes Paramètre Valeur Fonctionnement 5 – 55 °C Stockage -40 – +70 °C Étuvage ≤ 150 °C 1) Tab. 17: Températures Paramètre Valeur Bride Acier surfin (1.4435) Chambre de mesure Acier surfin (1.4435) Passage (isolation) Céramique (Al2O3), verre Passage (anneau) Acier surfin (1.4435) Passage (anode) Molybdène (Mo) Passage (broche) Alliage nickel (Ni) 1) 40/46 Valeur -8 Sans unité électronique Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Chambre d'ionisation IKT 010 : Titane, acier inoxydable (1.4016) IKT 011 : Acier surfin (1.4301, 1.4016) Aide d'amorçage Tab. 18: Substances en contact avec le fluide Dimensions 15 79 l DN 25 ISO-KF 44 15.3 Acier surfin (1.4310) 44 Fig. 14: Dimensions Dimensions en mm. l Longueur du câble de raccordement 41/46 The products IKT 010 and IKT 011 - conform to the UL standard UL 61010-1:2012. - are certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12. Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Capteur à cathode froide IKT 010 IKT 011 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN IEC 61000-6-2:2019 DIN EN IEC 61000-6-3:2022 DIN EN 61010-1:2020 DIN EN IEC 61326-1:2022 DIN EN IEC 63000:2019 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-02-22 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Capteur à cathode froide IKT 010 IKT 011 Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Standards et spécifications appliqués : EN IEC 61000-6-2:2019 EN IEC 61000-6-3:2021 EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-02-22 45/46 *BG5163* ed. D - Date 2405 - P/N:BG5163BFR ">
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