MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original TPR 270 ∣ TPR 271 Jauge Pirani à impulsion Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de. Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/40 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque de commerce 7 7 7 7 8 8 8 8 8 9 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations non conformes prévisibles 2.7 Responsabilité et garantie 10 10 10 12 13 13 13 13 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.2 Identification du produit 3.3 Étendue de la livraison 14 14 14 14 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 15 15 15 5 Installation 5.1 Raccord à vide 5.2 Raccordement électrique 16 16 17 6 Fonctionnement 6.1 Conversion du signal de mesure et de la pression 6.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction 19 19 21 7 Démontage 23 8 Maintenance 8.1 Nettoyage de l’émetteur 8.2 Calibration de la jauge 25 25 27 9 Anomalies 28 10 Expédition 29 11 Recyclage et mise au rebut 11.1 Informations générales sur la mise au rebut 11.2 Mise au rebut des transmetteurs 30 30 30 12 Accessoires 12.1 Informations sur les accessoires 12.2 Commande d'accessoires 31 31 31 13 Caractéristiques techniques et dimensions 13.1 Généralités 13.2 Fiche technique 32 32 32 3/40 Table des matières 4/40 13.2.1Fiche technique, TPR 270 13.2.2Fiche technique, TPR 271 13.3 Dimensions 32 34 35 Déclaration de conformité CE 37 Déclaration de Conformité UK 38 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Documents applicables Variantes TPR 270 Variantes TPR 271 Abréviations utilisées Conditions ambiantes autorisées Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression Tableau de transformation TPR 270 Tableau de transformation TPR 271 Facteurs de correction pour la plage de pression < 1 hPa Anomalies Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Fiche technique, TPR 270 Fiche technique, TPR 270, suite Fiche technique, TPR 271 7 7 7 9 13 20 20 20 22 28 32 32 33 33 34 5/40 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: 6/40 Construction de l’émetteur Raccord à vide Câble de mesure et prise de câble Hirschmann Relation entre le signal de mesure et la pression pour les jauges TPR 270 Relation entre le signal de mesure et la pression pour les jauges TPR 271 Pression affichée Retrait de la jauge Nettoyage de la chambre de mesure Bouton de calibration Boîtier standard pour température de dégazage de 80 °C sur la bride Boîtier étendu pour température de dégazage de 250 °C sur la bride 14 17 18 19 19 21 24 26 27 35 36 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Manuel de l’utilisateur de « Appareil de commande » OmniControl PT 0670 Manuel de l’utilisateur « Appareil de commande et de mesure de la pression totale » TPG 366 BG 5501 Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes : Référence Désignation PT R26 770 TPR 270, DN 16 ISO-KF PT R26 790 PT R26 780 TPR 270, DN 16 CF-F PT R26 791 PT R26 781 TPR 270, NPT 1/8“ PT R26 782 TPR 270, 8 VCR Tab. 2: Variantes TPR 270 Référence Désignation PT R26 775 TPR 271, DN 16 ISO-KF PT R26 795 PT R26 776 TPR 271, DN 16 CF-F PT R26 796 Tab. 3: Variantes TPR 271 Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les figures représentent le produit avec un raccord vide DN 16 ISO-KF. Elles s'appliquent cependant aussi aux autres raccords vides sous réserve de compatibilité. Les dimensions sont fournies en mm, sauf avis contraire. 7/40 A propos de ce manuel 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles. Remarque Conseil Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. 8/40 A propos de ce manuel Plaque signalétique La plaque signalétique est située sur le côté de la jauge. D-35614 Asslar Mod. TPR 27x P/N PT R26 7xx S/N xxxxxxxxx Input 15...30 V DC 2 W Output 0...10 V DC 1.3.4 Abréviations Abréviation Explication ATM Atmosphère c Constante de conversion du signal de mesure et de la pression C Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air HT Vide élevé MSL Niveau moyen de la mer p Pression U Signal de mesure [V] (tension de sortie) Tab. 4: 1.4 Made in Germany 2022/11 Abréviations utilisées Justificatif de marque de commerce ● VCR® est une marque déposée de Swagelok Company. ● Hirschmann® est une marque déposée de Hirschmann Electronics GmbH. 9/40 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. 10/40 Sécurité DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. 11/40 Sécurité Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 12/40 Sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit Paramètre Valeur Humidité relative de l’air À des températures atteignant +30 °C, 80 % max. À des températures atteignant +40 °C, 50 % max. sans condensation Température ambiante +5 ℃ à +40 ℃ Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2 000 m MSL Degré de protection IP40 Tab. 5: 2.5 Conditions ambiantes autorisées Utilisation conforme La jauge fournit une mesure du vide de gaz dans la gamme 1 × 10-4 à 1 000 hPa. La jauge TPR 271 convient aussi pour les gaz corrosifs et les mélanges de gaz en dehors de leurs limites d’explosion, en l’absence de corrosion des substances en contact avec ces gaz et les mélanges de gaz. Utilisation du produit conformément à son usage prévu ► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client. ► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur. ► Observez les limites d’utilisation prescrites dans la fiche technique. ► Observer la fiche technique. 2.6 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation ● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée ● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives ● Utilisation en extérieur ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 2.7 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu ● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante ● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit correspondante L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé. 13/40 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction Les jauges TPR 270 et TPR 271 ont un capteur à compensation de température Pirani. Le capteur Pirani utilise la conductivité thermique des gaz pour la mesure du vide. La jauge chauffe un fin câble de tungstène ou de platine/rhodium pendant des cycles à une température spécifique. Le temps requis pour le processus de chauffage est une mesure de la pression. La relation entre le signal de mesure et la pression sur toute la gamme de mesure est de type logarithmique. 1 2 3 4 Fig. 1: Construction de l’émetteur 1 Connecteur de câble Hirschmann 2 Bouton « ATM » avec connecteur de protection 3.2 3 4 Bouton « HV » avec connecteur de protection Bride de raccordement Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. 3.3 Étendue de la livraison ● Jauge ● Manuel de l’utilisateur Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée. 14/40 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transporter le produit en toute sécurité ► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant l’installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Stocker le produit en toute sécurité ► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine. ► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenez la température d’entreposage admissible. ► Évitez les fortes variations de températures ambiantes. ► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air. ► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles). 15/40 Installation 5 Installation 5.1 Raccord à vide DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Conditions préalables ● Conditions ambiantes appropriées ● Température de fonctionnement dans la plage permissible ● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles) 16/40 Installation 1 2 5 3 4 Fig. 2: Raccord à vide 1 Joint avec anneau de centrage 2 Jauge 3 Obturateur de protection 4 5 Joint avec anneau de centrage et filtre Pièce de serrage Recommandations ► Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le fonctionnement. Ces vibrations entraînent des déviations dans les valeurs mesurées. ► Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le bas). – Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure. ► Une fois le bouton de la jauge monté, vérifiez qu’il est aisément accessible avec le stylet. ► Montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour applications avec pollution et protéger le système de mesure contre la contamination. Procédure 1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr. 2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum. 5.2 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. AVIS Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va endommager la jauge. ► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 5) à la terre de l’unité d'alimentation. ► Raccordez toujours le blindage (broche 6) à la terre de l’unité d'alimentation. Outils nécessaires ● Tournevis cruciforme ● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm) 17/40 Installation Équipement nécessaire ● Câble de mesure pour appareil de commande et de mesure de la pression totale Pfeiffer Vacuum disponible dans les accessoires ActiveLine ● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client Longueur ≤35 m : Coupe transversale de conducteur 0,25 mm2 Longueur >35 m : Coupe transversale de conducteur 0,34 mm2 ● Prise de câble Hirschmann Raccordement électrique 1. Raccordez le câble de mesure au jauge. 2. Resserrez la vis d'arrêt sur la prise de câble Hirschmann. – Couple de serrage : ≤ 0,2 Nm 3. Raccordez la jauge à une unité de mesure et de contrôle de la pression totale Pfeiffer Vacuum ou à une unité d'évaluation fournie par le client. 3 2 1 6 4 Fig. 3: 5 Câble de mesure et prise de câble Hirschmann 1 Identification (3,0 kΩ sur GND) 2 Sortie analogique 0 à 10 V 3 Terre analogique 4 5 6 Tension d’alimentation 15 à 30 V Masse (GND) Blindage Fabrication du câble de mesure 1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure. 2. Utilisez un câble avec un blindage tressé. 3. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection de l’unité de courant. 4. Utilisez une entrée de mesure différentielle avec prise de terre séparée et terre l’alimentation. 5. Assemblez la prise de câble Hirschmann. Assemblage de la prise de câble Hirschmann 1. Préparez la prise de câble Hirschmann conformément au diagramme « Câble de mesure et prise de câble Hirschmann ». 2. Soudez le câble de raccordement conformément au diagramme de raccordement de la borne de connexion. 3. Assemblez la prise de câble Hirschmann. 18/40 Fonctionnement 6 Fonctionnement Après l’activation de la tension d’alimentation, la jauge est prête pour l’utilisation. Recommandations ► Respectez la période de stabilisation minimum de 10 minutes. ► Observez la relation entre le signal de mesure et la pression. ► La jauge doit toujours rester enclenchée, quelle que soit la pression. Conversion du signal de mesure et de la pression p 1E+05 Pa 1E+04 hPa 1E+02 Torr 1E–01 overrange 1E+00 underrange 1E+01 sensor error 1E+03 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.3 U[V] Fig. 4: Relation entre le signal de mesure et la pression pour les jauges TPR 270 p Pression U Signal de mesure [V] (tension de sortie) p 1E+05 Pa 1E+04 1E+03 hPa 1E+02 Torr 1E–01 overrange 1E+00 underrange 1E+01 sensor error 6.1 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.3 2.2 U [V] Fig. 5: Relation entre le signal de mesure et la pression pour les jauges TPR 271 p Pression U Signal de mesure [V] (tension de sortie) 19/40 Fonctionnement Signal de mesure (U) Pression (p) Constante (c) 1) [V] [hPa] 5,5 [mbar] Tab. 6: [Torr] 5,625 [micron] 2,625 [Pa] 3,5 Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression Signal de mesure (U) Pression (p) [V] [hPa] < 0,5 Erreur de capteur 0,5 – 1,5 Plage dépassée vers le bas 1,5 1,0 × 10-4 2,5 1,0 × 10-3 3,5 1,0 × 10-2 4,5 0,1 5,5 1,0 6,5 10 7,5 1,0 × 102 8,5 1,0 × 103 8,5 – 10,3 Plage dépassée vers le haut Tab. 7: Tableau de transformation TPR 270 Signal de mesure (U) Pression (p) [V] [hPa] < 0,5 Erreur de capteur 0,5 – 2,2 Plage dépassée vers le bas 2,2 5,0 × 10-4 2,5 1,0 × 10-3 3,5 1,0 × 10-2 4,5 0,1 5,5 1,0 6,5 10 7,5 1,0 × 102 8,5 1,0 × 103 8,5 – 10,3 Plage dépassée vers le haut Tab. 8: Tableau de transformation TPR 271 Conversion du signal de mesure et de la pression Gamme de validité ● 1 × 10-4 hPa < p < 1 000 hPa ● 7,5 × 10-5 Torr < p < 750 Torr ● 1 × 10-2 Pa < p < 1 × 105 Pa 1) 20/40 En fonction de l’unité de pression Fonctionnement ► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression. ► Conversion du signal de mesure en pression : p = 10(U-c) ► Conversion de la pression en signal de mesure : U = c + log10 p 6.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction Le signal de mesure dépend du type de gaz. Les caractéristiques s’appliquent pour l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO). p [hPa] 102 H2 8 6 He Ne Air O2 CO N2 4 2 CO2 101 Ar 8 6 Freon 12 Kr 4 2 Xe 100 8 6 4 2 10–1 8 6 4 2 Water vapor 10–2 8 6 4 2 10–3 10–3 2 4 6 10–2 2 4 6 10–1 2 4 6 100 2 4 6 101 2 4 6 102 peff [hPa] Fig. 6: Pression affichée Dans le domaine de pression < 1 hPa, l’affichage est linéaire. Mélanges de gaz et de vapeurs Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole. Type de gaz Facteur de calibrage (C) Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2) 1,0 Hydrogène (H2) 0,5 Dioxyde de carbone (CO2) 0,9 Vapeur d’eau 0,5 Hélium (He) 0,8 Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes. 21/40 Fonctionnement Type de gaz Facteur de calibrage (C) Néon (Ne) 1,4 Argon (Ar) 1,7 Krypton (Kr) 2,4 Xénon (Xe) 3,0 Fréon 12 0,7 Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes. Tab. 9: Facteurs de correction pour la plage de pression < 1 hPa Saisie du facteur de correction dans l’appareil de commande et de mesure de pression totale ► Saisissez le facteur de correction pour corriger la valeur mesurée qui est affichée. Calcul de la pression de gaz autres que l’air ► Calculez la pression efficace avec la formule suivante : Peff = C × p ● Peff = Pression efficace ● C = Facteur de correction ● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l’air) 22/40 Démontage 7 Démontage DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Conditions préalables ● Système à vide ventilé à la pression atmosphérique ● Tension d’alimentation désactivée Outil nécessaire ● Tournevis cruciforme 23/40 Démontage 6 1 2 5 3 4 Fig. 7: Retrait de la jauge 1 Joint avec anneau de centrage 2 Jauge 3 Obturateur de protection 4 5 6 Joint avec anneau de centrage et filtre Pièce de serrage Câble de mesure Démontage de la jauge 1. Desserrez la vis d’arrêt sur la prise de câble Hirschmann de la jauge. 2. Déconnectez le câble de mesure de la jauge. 3. Démontez la jauge du système de vide. 4. Mettez l’obturateur de protection sur la bride de connexion. 24/40 Maintenance 8 Maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Demande de garantie Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. Commencer par lire intégralement les sections Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à travailler. D'autres conditions climatiques, un fonctionnement prolongé, des températures extrêmes, une orientation de montage différente, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du point zéro dans le système de mesure Pirani. Un décalage du zéro va nécessiter un nouveau calibrage ou un nettoyage. 8.1 Nettoyage de l’émetteur DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. 25/40 Maintenance AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. AVIS Dégâts causés par la pénétration d'humidité La pénétration d'humidité, sous la forme de condensation ou d'égouttement, endommage l'appareil. ► Protéger l'appareil contre la pénétration de l'humidité. ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement propre et sec. ► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d'égouttement d'eau. ► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface. ► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Consommables requis ● Alcool industriel ● Chiffon (doux, non pelucheux) Nettoyage externe de l’appareil 1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe. 2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage. Fig. 8: Nettoyage de la chambre de mesure Nettoyage de la chambre de mesure 1. Retirez la jauge du système de vide. 2. Remplissez la chambre de mesure de la jauge avec de l’alcool industriel. 3. Patientez 5 minutes que l’alcool industriel fasse son effet. 26/40 Maintenance 4. Videz l’alcool industriel de la chambre de mesure. 5. Laissez bien sécher la chambre de mesure (au moins 10 minutes). 6. Raccordez à nouveau la jauge au système de vide. 8.2 Calibration de la jauge Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge en usine sur les valeurs par défaut. Condition préalable ● Connecteur de protection du bouton enlevé Outil nécessaire ● Goupille (<2,5 mm) ATM Fig. 9: HV Bouton de calibration Préparation du calibrage 1. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation normale. 2. Vérifiez l'absence de toute contamination du filtre. 3. Remplacez le filtre s’il est très contaminé ou endommagé. 4. Mettez la jauge en fonctionnement. Calibration HV 1. Évacuez le système de vide sur une pression ≤ 10-5 hPa. 2. Utilisez la jauge à cette pression pendant environ 5 à 10 minutes. 3. Appuyez brièvement sur le bouton« HV » en utilisant une goupille. – La jauge est calibrée sur « ur » (gamme basse). ● TPR 270 : < 1,5V ● TPR 271 : < 2,2V Calibration ATM 1. Laissez la jauge fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes. 2. Appuyez brièvement sur le bouton« ATM » en utilisant une goupille. – La jauge se calibre sur 1 000 hPa (standard) (8,5 V CC). 27/40 Anomalies 9 Anomalies Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure (comme l’aide d'amorçage) n’est pas couvert par la garantie. Anomalie Cause possible Action corrective Signal de mesure continu < 0,5 V « Erreur bas » ou « Erreur capteur » Pas d’alimentation électrique ● Contrôlez le raccordement pour la mesure. ● Contrôlez l’appareil de commande. ● Établissez la tension d’alimentation. Jauge mal calibrée ● Calibrez la jauge. Jauge défectueuse ● Remplacez la jauge. Dégazage important du capteur ● Nettoyez la jauge. ● Calibrez la jauge. ● Remplacez la jauge. Capteur contaminé ● Nettoyez la jauge. ● Calibrez la jauge. ● Remplacez la jauge. Valeur mesurée trop haute avec des basses pressions Tab. 10: 28/40 Anomalies Expédition 10 Expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 29/40 Recyclage et mise au rebut 11 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. Protection de l'environnement La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et prévenir de la pollution. 11.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 11.2 Mise au rebut des transmetteurs Les transmetteurs Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 2. Séparez les composants en matériaux recyclables. 3. Recyclez les composants non contaminés. 4. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 30/40 Accessoires 12 Accessoires Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires ActiveLine. 12.1 Informations sur les accessoires Câble de mesure Câbles de mesure de différentes longueurs pour le raccordement à une unité de mesure et de contrôle de la pression totale Pfeiffer Vacuum Raccordement de ligne (connecteur Hirschmann) Douille de câble pour la fabrication d’un câble de raccordement spécifique pour l’application Joints avec anneau de centrage et filtre Filtres disponibles avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination 12.2 Commande d'accessoires Description Numéro de commande Câble de mesure, 3 m PT 448 250 -T Câble de mesure, 6 m PT 448 251 -T Câble de mesure, 10 m 2) PT 448 252 -T Connecteur-bouchon, 6 pôles B4707283MA Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 20 μm, FKM/acier inoxydable, DN 16 ISO-KF PF 117 216 -T Anneau de centrage avec filtre fin, grandeur de portes 4 μm, FKM/acier inoxydable, DN 16 ISO-KF PT 120 132 -T 2) Autres longueurs de câbles disponibles jusqu’à 100 m. 31/40 Caractéristiques techniques et dimensions 13 Caractéristiques techniques et dimensions 13.1 Généralités mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 100 1 0,1 0,75 1 · 10 1,000 100 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 · 10-3 133,32 1,33 0,133 1 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 Pa 0,01 hPa -3 5 -5 1 Pa = 1 N/m Tab. 11: 750 -3 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 592 7,5 10 3 Pa m /s sccm 1 Torr l/s 3 atm cm /s Tab. 12: 9,87 1.69 · 10 1.69 · 10 1 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 -3 -2 1,27 · 10 1.67 · 10-2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 13.2 Fiche technique 13.2.1 Fiche technique, TPR 270 Numéro de commande PT R26 770 PT R26 780 PT R26 781 Désignation du type TPR 270 TPR 270 TPR 270 Diamètre nominal DN 16 ISO-KF DN 16 CF-F 1/8" NPT Orientation de montage Arbitraire Arbitraire Arbitraire Méthode de mesure Impulsion-Pirani Impulsion-Pirani Impulsion-Pirani Filament chauffé Tungstène Tungstène Tungstène Gamme de mesure 1E-4 – 1E3 hPa 1E-4 – 1E3 hPa 1E-4 – 1E3 hPa -3 -3 Précision <2 · 10 hPa: <Factor 2 <2 · 10 hPa: <Factor 2 <2 · 10-3hPa: <Factor 2 Précision: 2 · 10-3 – 20 hPa ± 10 % ± 10 % ± 10 % Précision: 20 – 1000 hPa ± 30 % ± 30 % ± 30 % Répétabilité: 2 · 10 – 20 hPa ±2% ±2% ±2% Altitude de fonctionnement, max. 2000 m 2000 m 2000 m Pression max. 4000 hPa 4000 hPa 4000 hPa Lieu d’utilisation Intérieur, étanche à l’eau Intérieur, étanche à l’eau Intérieur, étanche à l’eau Température ambiante 5 – 60 °C 5 – 60 °C 5 – 60 °C Température : stockage -40 – 70 °C -40 – 70 °C -40 – 70 °C Vypékací teplota u příruby 80 °C 80 °C 80 °C Messkabellänge 200 m 200 m 200 m Tensions d’entrée 15 – 30 V CC 15 – 30 V CC 15 – 30 V CC -3 32/40 Caractéristiques techniques et dimensions Numéro de commande PT R26 770 PT R26 780 PT R26 781 Výstupní signál: Rozsah měření 1,5 – 8,5 V 1,5 – 8,5 V 1,5 – 8,5 V Alimentation: Consommation électrique max. 1W 1W 1W Identifikace odporu 3 kΩ 3 kΩ 3 kΩ Matériaux en contact avec le fluide Acier inoxydable 1.4307, Tungstène, Nickel Acier inoxydable 1.4307, Tungstène, Nickel Acier inoxydable 1.4307, Tungstène, Nickel Příruba, materiál Acier inoxydable Acier inoxydable Acier inoxydable Joint Métal Métal Métal Passage Verre Verre Verre Type de protection IP40 IP40 IP40 Poids 105 g 135 g 95 g Tab. 13: Fiche technique, TPR 270 Numéro de commande PT R26 782 PT R26 790 PT R26 791 Désignation du type TPR 270 TPR 270 TPR 270 Diamètre nominal 8-VCR DN 16 ISO-KF DN 16 CF-F Orientation de montage Arbitraire Arbitraire Arbitraire Méthode de mesure Impulsion-Pirani Impulsion-Pirani Impulsion-Pirani Filament chauffé Tungstène Tungstène Tungstène Gamme de mesure 1E-4 – 1E3 hPa 1E-4 – 1E3 hPa 1E-4 – 1E3 hPa Précision <2 · 10-3hPa: <Faktor 2 <2 · 10-3hPa: <Faktor 2 <2 · 10-3hPa: <Faktor 2 Précision: 2 · 10-3 – 20 hPa ± 10 % ± 10 % ± 10 % Précision: 20 – 1000 hPa ± 30 % ± 30 % ± 30 % Répétabilité: 2 · 10-3 – 20 hPa ±2% ±2% ±2% Altitude de fonctionnement, max. 2000 m 2000 m 2000 m Pression max. 4000 hPa 4000 hPa 4000 hPa Lieu d’utilisation Intérieur, étanche à l’eau Intérieur, étanche à l’eau Intérieur, étanche à l’eau Température ambiante 5 – 60 °C 5 – 60 °C 5 – 60 °C Température : stockage -40 – 70 °C -40 – 70 °C -40 – 70 °C Vypékací teplota u příruby 80 °C 250 °C 250 °C Messkabellänge 200 m 200 m 200 m Tensions d’entrée 15 – 30 V CC 15 – 30 V CC 15 – 30 V CC Výstupní signál: Rozsah měření 1,5 – 8,5 V 1,5 – 8,5 V 1,5 – 8,5 V Alimentation: Consommation électrique max. 1W 1W 1W Identifikace odporu 3 kΩ 3 kΩ 3 kΩ Matériaux en contact avec le fluide Acier inoxydable 1.4307, Tungstène, Nickel Acier inoxydable 1.4307, Tungstène, Nickel Acier inoxydable 1.4307, Tungstène, Nickel Příruba, materiál Acier inoxydable Acier inoxydable Acier inoxydable Joint Métal Métal Métal Passage Verre Verre Verre Type de protection IP40 IP40 IP40 Poids 160 g 130 g 148 g Tab. 14: Fiche technique, TPR 270, suite 33/40 Caractéristiques techniques et dimensions 13.2.2 Fiche technique, TPR 271 Numéro de commande PT R26 775 PT R26 776 PT R26 795 PT R26 796 Désignation du type TPR 271 TPR 271 TPR 271 TPR 271 Diamètre nominal DN 16 ISO-KF DN 16 CF-F DN 16 ISO-KF DN 16 CF-F Orientation de montage Arbitraire Arbitraire Arbitraire Arbitraire Méthode de mesure Impulsion-Pirani Impulsion-Pirani Impulsion-Pirani Impulsion-Pirani Filament chauffé Platine/rhodium Platine/rhodium Platine/rhodium Platine/rhodium Gamme de mesure 5E-4 – 1E3 hPa 5E-4 – 1E3 hPa 5E-4 – 1E3 hPa 5E-4 – 1E3 hPa -2 -2 -2 Précision <1 · 10 hPa: <Faktor 2 <1 · 10 hPa: <Faktor 2 <1 · 10 hPa: <Faktor 2 <1 · 10-2hPa: <Faktor 2 Précision: 1 · 10-2 – 10 hPa ± 10 % ± 10 % ± 10 % ± 10 % Précision: 10 – 1000 hPa ± 30 % ± 30 % ± 30 % ± 30 % Répétabilité: 2 · 10-2 – 20 hPa ±2% ±2% ±2% ±2% Altitude de fonctionnement, max. 2000 m 2000 m 2000 m 2000 m Pression max. 4000 hPa 4000 hPa 4000 hPa 4000 hPa Lieu d’utilisation Intérieur, étanche à l’eau Intérieur, étanche à l’eau Intérieur, étanche à l’eau Intérieur, étanche à l’eau Température ambiante 5 – 60 °C 5 – 60 °C 5 – 60 °C 5 – 60 °C Température : stockage -40 – 70 °C -40 – 70 °C -40 – 70 °C -40 – 70 °C Vypékací teplota u příruby 80 °C 80 °C 250 °C 250 °C Messkabellänge 200 m 200 m 200 m 200 m Tensions d’entrée 15 – 30 V CC 15 – 30 V CC 15 – 30 V CC 15 – 30 V CC Výstupní signál: Rozsah měření 2,2 – 8,5 V 2,2 – 8,5 V 2,2 – 8,5 V 2,2 – 8,5 V Alimentation: Consommation électrique max. 1W 1W 1W 1W Identifikace odporu 3 kΩ 3 kΩ 3 kΩ 3 kΩ Matériaux en contact avec le fluide Platine/rhodium, Acier inoxydable 1.4307, Nickel Platine/rhodium, Acier inoxydable 1.4307, Nickel Platine/rhodium, Acier inoxydable 1.4307, Nickel Platine/rhodium, Acier inoxydable 1.4307, Nickel Příruba, materiál Acier inoxydable Acier inoxydable Acier inoxydable Acier inoxydable Joint Métal Métal Métal Métal Passage Verre Verre Verre Verre Type de protection IP40 IP40 IP40 IP40 Poids 105 g 135 g 130 g 148 g Tab. 15: 34/40 Fiche technique, TPR 271 Caractéristiques techniques et dimensions 13.3 Dimensions Ø 32 32.3 20.5 74 62 20 20 Ø 32 Ø 30 DN 16 ISO-KF Ø 34 DN 16 CF-F Ø 32 10 35 39.4 81.4 77 20 20 Ø 32 Ø 14 1/8’’ NPT Fig. 10: 8 VCR Boîtier standard pour température de dégazage de 80 °C sur la bride Dimensions en mm 35/40 Caractéristiques techniques et dimensions 20 124 124 166 166 Fig. 11: Ø 30 Ø 34 DN 16 ISO-KF DN 16 CF-F Boîtier étendu pour température de dégazage de 250 °C sur la bride Dimensions en mm 36/40 Ø 32 20 Ø 32 Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge Pirani à impulsion TPR 270 TPR 271 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN 61326-1:2013-07 DIN EN IEC 63000:2019-05 Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN IEC 61326-1:2022 DIN EN IEC 63000:2019 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2022-10-01 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge Pirani à impulsion TPR 270 TPR 271 Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Normes et spécifications appliquées EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2022-11-01 39/40 *PG0014* ed. E - Date 2212 - P/N:PG0014BFR ">
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