MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original HISCROLL 6 | 12 | 18 Version standard de pompe Scroll | Certification ATEX Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe Scroll est conçue pour vous offrir performances et fiabilité de fonctionnement, sans affecter aucunement votre application individuelle. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de. Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel de l'utilisateur décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel de l'utilisateur en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/88 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Pictogrammes 1.3.2 Instructions dans le texte 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 8 8 8 8 8 8 8 9 9 11 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Classification et mesures préventives ATEX 2.5 Limites d’utilisation du produit 2.6 Utilisation conforme 2.7 Utilisations non conformes prévisibles 2.8 Qualification personnelle 2.8.1 Garantir la qualification du personnel 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 12 12 12 19 19 21 21 21 22 22 22 23 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.1.1 Entraînement 3.1.2 Refroidissement 3.1.3 Palier d'arbre 3.1.4 Lest d’air 3.1.5 Capteur de pression 3.2 Raccordements 3.3 Identification du produit 3.4 Caractéristiques du produit 3.5 Contenu de la livraison 24 24 25 25 25 25 25 26 26 26 26 4 Transport et stockage 4.1 Transport de la pompe à vide 4.2 Stockage de la pompe à vide 27 27 28 5 Installation 5.1 Configuration de la pompe à vide 5.2 Raccordement côté vide 5.3 Raccordement du côté échappement 5.4 Raccordement de l’alimentation externe de lest d’air 5.5 Raccordement au réseau d’alimentation 29 29 30 31 32 33 6 Interfaces 6.1 Vue d’ensemble des interfaces 6.2 Interface « Remote » 6.2.1 Entrées 6.2.2 Sorties 6.2.3 RS-485 6.3 Raccordement de l’appareil de commande 6.4 Utilisation de l’interface RS-485 6.5 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 6.5.1 Cadre télégramme 35 35 35 36 36 37 37 37 38 38 3/88 Table des matières 4/88 6.5.2 Description du télégramme 6.5.3 Télégramme exemple 1 6.5.4 Télégramme exemple 2 6.5.5 Data types 39 39 39 40 7 Ensemble de paramètres 7.1 Généralités 7.2 Instructions de réglage 7.3 Requêtes d’état 7.4 Entrées des valeurs de référence 41 41 41 43 44 8 Utilisation 8.1 Mise en service de la pompe à vide 8.2 Activer la pompe à vide 8.3 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum 8.3.1 Configuration des sorties numériques 8.3.2 Configuration de l’entrée numérique 8.3.3 Sélection des interfaces 8.3.4 Configuration des accessoires 8.4 Sélection du type de service 8.5 Modes de vitesse 8.5.1 Fonctionnement normal 8.5.2 Mode veille 8.5.3 Fonctionnement avec l’actionneur de vitesse 8.5.4 Charge de gaz automatique 8.5.5 Veille automatique 8.5.6 Auto start 8.6 Fonctionnement avec régulation de la pression 8.7 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction 8.8 Fonctionnement avec lest d’air 8.8.1 Contrôle de la soupape de lest d’air avec un capteur de pression 8.8.2 Contrôle de la soupape de lest d’air sans un capteur de pression 8.9 Affichage LED du mode de fonctionnement 8.10 Désactivation de la pompe à vide 45 45 45 46 9 Maintenance 9.1 Informations sur la maintenance 9.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien 9.3 Remplacement de la vanne de retenue côté échappement 9.3.1 Retrait de la vanne de retenue 9.3.2 Installation de la vanne de retenue 9.4 Remplacement de la soupape de lest d’air 9.4.1 Retrait de la soupape de lest d’air 9.4.2 Installation de la soupape de lest d’air 9.5 Remplacement du joint d’extrémité 9.5.1 Démontage du corps spiralé 9.5.2 Remplacement du joint d’extrémité 9.5.3 Assemblage du corps de pompe 9.6 Inspection finale 57 57 58 59 59 60 60 60 62 63 63 64 66 67 10 Mise hors service 10.1 Mise hors service pendant une période prolongée 10.2 Remise en service 68 68 68 11 Recyclage et mise au rebut 11.1 Informations générales sur la mise au rebut 11.2 Mise au rebut de la pompe Scroll 69 69 69 12 Dysfonctionnements 70 46 46 46 47 47 47 48 48 49 49 49 50 50 51 52 54 55 55 56 Table des matières 12.1 Généralités 12.2 Codes d’erreur 70 71 13 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 73 14 Pièces de rechange 75 15 ACCESSOIRES 15.1 Informations sur l’accessoire 15.2 Commande d’accessoires 77 77 77 16 Caractéristiques techniques et dimensions 16.1 Généralités 16.2 Fiche technique 16.3 Substances en contact avec la substance à pomper 16.4 Dimensions 79 79 79 82 83 Déclaration de conformité CE 85 Déclaration de Conformité UK 86 5/88 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Tab. 22: Tab. 23: Tab. 24: Tab. 25: Tab. 26: Tab. 27: Tab. 28: Tab. 29: Tab. 30: Tab. 31: Tab. 32: 6/88 Autocollants sur le produit Abréviations employées Désignations générales ATEX Conditions ambiantes autorisées Interfaces de l’unité de commande électronique Caractéristiques des pompes Scroll Affectation des raccordements du raccord 15 broches « remote » Caractéristiques de l’interface RS-485 Explication et signification des paramètres Instructions de réglage Requêtes d’état Entrées des valeurs de référence Configurer les paramètres [P:019] et [P:024] Configurer le paramètre [P:063] Paramètre [P:060] Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa Réglages du commutateur de soupape de lest d’air HiScroll Réaction et signification des DEL de l’unité de commande électronique Réaction et signification de la LED de veille Intervalles de maintenance Dépannage des pompes Scroll Messages d’erreur de l’unité de commande électronique Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique Lot de pièces de rechange Lot de pièces de rechange Accessoires HiScroll Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Fiche technique HiScroll 6 Fiche technique HiScroll 12 Fiche technique HiScroll 18 Matières entrant en contact avec la substance du procédé 10 11 20 21 26 26 36 38 41 43 44 44 46 46 46 51 54 56 56 59 71 72 72 75 76 78 79 79 80 81 82 82 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: Fig. 15: Fig. 16: Fig. 17: Fig. 18: Fig. 19: Fig. 20: Fig. 21: Fig. 22: Fig. 23: Fig. 24: Fig. 25: Fig. 26: Fig. 27: Fig. 28: Fig. 29: Fig. 30: Fig. 31: Fig. 32: Fig. 33: Fig. 34: Position des autocollants sur le produit Cycle schématique de compression des pompes Scroll Construction HiScroll Points d’arrimage de transport de la pompe Scroll Distances minimales et inclinaison admissible Exemple de raccord à vide Exemple de raccord d'échappement Raccordement de l’alimentation externe de lest d’air Raccordement au réseau d’alimentation Interfaces de l’unité de commande électronique Schéma de raccordement à 15 broches « Remote » Raccordement d’un appareil de commande via le raccord « Remote » Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant les câbles de raccordement et les accessoires Affectation du raccord d’accessoire Modes de vitesse Pression affichée Soupape de lest d’air à commande de pression en mode automatique Commande de soupape de lest d’air en mode automatique Retrait de la vanne Installation de la vanne Retrait de la soupape de lest d’air Retrait de la soupape de lest d’air Montage de la soupape de lest d’air Installation de la soupape de lest d’air Desserrage du capot de ventilateur sur la pompe Scroll Dépose du capot de ventilateur sur la pompe Scroll Dépose du corps spiralé de la pompe Scroll Remplacement du joint d’extrémité sur la pompe Scroll Écrou de joint d’extrémité dans le corps spiralé Assemblage des éléments du corps HiScroll kit de maintenance 1 Mécanisme de vanne HiScroll HiScroll 6 HiScroll 12 | HiScroll 18 10 24 25 28 29 30 31 33 34 35 35 37 38 47 48 52 54 55 59 60 61 61 62 62 63 64 64 65 65 66 75 76 83 84 7/88 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.1.1 Documents applicables Document Numéro Manuel de l'utilisateur pour la soupape de lest d'air, automatique PU 0104 BN Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes ● ● ● ● ● ● ● ● ● 1.2 HiScroll 6, pompe Scroll, standard, incluant ATEX HiScroll 6, pompe Scroll, sans GB, incluant ATEX HiScroll 6, pompe Scroll avec GB automatique HiScroll 12, pompe Scroll, standard, incluant ATEX HiScroll 12, pompe Scroll, sans GB, incluant ATEX HiScroll 12, pompe Scroll avec GB automatique HiScroll 18, pompe Scroll, standard, incluant ATEX HiScroll 18, pompe Scroll, sans GB, incluant ATEX HiScroll 18, pompe Scroll avec GB automatique Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. 8/88 A propos de ce manuel Remarque Conseil 1.3.2 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. D-35614 Asslar Berliner Str. 43 Mod. HiScroll 6 P/N PD S10 000 S/N - - - - - - - S(N2) max. 6.1 m3/h Mass 19 kg n max. 3000 1/min SCCR: 500 A @ 250 VAC, 10 kA @ 125 VAC 100-127 VAC ±10% 50/60 Hz 4.0 A 200-240 VAC ±10% 50/60 Hz 2.0 A Plaque signalétique, HiScroll 6 La plaque signalétique est apposée de façon clairement visible sur le côté longitudinal de la pompe à vide. TÜV Rheinland C US UL/CSA 61010-1 IP40/Type 1 II 3/-G Ex h IIC T4 Gc X +5 °C ≤ T a ≤ +40 °C Made in Germany 2023/04 D-35614 Asslar Berliner Str. 43 Mod. HiScroll 12 P/N PD S20 000 S/N - - - - - - - S(N2) max. 12.1 m3/h Mass 24 kg n max. 1870 1/min SCCR: 500 A @ 250 VAC, 10 kA @ 125 VAC 100-127 VAC ±10% 50/60 Hz 8.0 A 200-240 VAC ±10% 50/60 Hz 4.0 A II 3/-G Ex h IIC T4 Gc X +5 °C ≤ T a ≤ +40 °C Plaque signalétique, HiScroll 12 La plaque signalétique est apposée de façon clairement visible sur le côté longitudinal de la pompe à vide. TÜV Rheinland C US UL/CSA 61010-1 IP40/Type 1 R-R-2XD-PVHiScroll12 Made in Germany 2023/04 9/88 A propos de ce manuel D-35614 Asslar Berliner Str. 43 Mod. HiScroll 18 P/N PD S30 000 S/N - - - - - - - S(N2) max. 18.1 m3/h Mass 23 kg n max. 1870 1/min SCCR: 500 A @ 250 VAC, 10 kA @ 125 VAC 100-127 VAC ±10% 50/60 Hz 10.0 A 200-240 VAC ±10% 50/60 Hz 6.0 A Plaque signalétique, HiScroll 18 La plaque signalétique est apposée de façon clairement visible sur le côté longitudinal de la pompe à vide. TÜV Rheinland C US UL/CSA 61010-1 IP40/Type 1 II 3/-G Ex h IIC T4 Gc X +5 °C ≤ T a ≤ +40 °C Made in Germany 2023/04 Avertissement, surface chaude Cet autocollant met en garde contre les risques de blessure liés aux hautes températures à la suite d’un contact sans protection pendant le fonctionnement. Remarque concernant le manuel de l’utilisateur Cet autocollant indique que ce manuel de l’utilisateur doit être lu avant d’exécuter une tâche. warranty seal Tab. 1: Sceau de garantie Le produit est scellé, départ d’usine. L’endommagement ou le retrait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie caduque. Autocollants sur le produit 1 4 3 Fig. 1: 1 2 3 4 10/88 Position des autocollants sur le produit Remarque : Lisez le manuel de l’utilisateur Plaque signalétique Signe d’avertissement surface chaude Sceau de garantie 2 A propos de ce manuel 1.3.4 Abréviations Abréviation Explication ATEX ATmosphères EXplosibles ATM Pression atmosphérique OI Manuel de l’utilisateur f Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz) FKM Caoutchouc fluoré GB Lest d’air HV Vide élevé [P:xxx] Les paramètres sont inscrits en gras sous forme de nombres à trois chiffres entre crochets. Exemple : [P:xxx] Version logicielle PC Ordinateur personnel PTFE Polytétrafluoroéthylène DCR Dispositif à courant résiduel RPT Capteur de pression numérique (RPT 010) RS-485 Standard pour une interface physique, pour la transmission asynchrone de données en série (standard recommandé) SI Manuel de service SCCR Caractéristique de courant de court-circuit USB Bus universel en série Tab. 2: Abréviations employées 11/88 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. Risques pendant le transport AVERTISSEMENT Risque de blessures graves en cas d'oscillation, de basculement ou de chute d'objets Lors du transport, il y a un risque d'écrasement et de choc si les objets oscillent, basculent ou chutent. Risques de blessures des membres allant jusqu'à des fractures osseuses et des traumatismes crâniens. ► Empêchez les personnes de séjourner en dessous de la charge soulevée. ► Si nécessaire, sécurisez la zone dangereuse. ► Évitez la traction diagonale des élingues. ► N'empilez par les produits. ► Faites attention au centre de gravité de la charge lors du transport avec un chariot élévateur. ► Portez un équipement de protection, par ex. des chaussures de sécurité. 12/88 Sécurité ATTENTION Danger de blessures en cas de transport inapproprié Si la pompe à vide est soulevée de façon inappropriée, le dispositif de fixation du couvercle de ventilateur sera arraché. Il y a un danger de chute de la pompe à vide. Il en résulterait des blessures corporelles au niveau des membres. ► Soulevez toujours la pompe à vide par l’anneau de levage à l’aide d’un dispositif approprié. Risques pendant l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc électrique potentiellement mortel. ► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension. ► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur. ► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique. ► Veillez à ce que le câble d’alimentation et le câble d’extension sont conformes aux exigences de double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes IEC 61010 et IEC 60950. ► Utilisez seulement un câble d’alimentation à 3 broches et un câble d’extension disposant d’une mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre). ► Ne connectez le connecteur de réseau que dans une prise disposant d’un contact de mise à la terre. ► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours raccorder le câble de secteur avant tous les autres. DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. AVERTISSEMENT Danger d’explosion en cas d’utilisation d’accessoires en dehors des limites d’utilisation Lors de l’utilisation d’accessoires, une source d’allumage risque de se former qui peut entraîner une explosion lors du pompage de gaz explosifs. ► Lors du pompage de substances explosives, utilisez seulement des accessoires conformes aux exigences de la directive 2014/34/UE. AVERTISSEMENT Danger d’explosion si des particules entrent dans le raccord à vide Pendant la mise en service, des particules étrangères risquent de pénétrer dans la chambre à vide, formant une source d’allumage, qui peut entraîner une explosion en combinaison avec des gaz explosifs. ► Utilisez un tamis protecteur approprié sur le raccord à vide. ► N’enlevez pas le tamis sauf s’il n’y aucun risque que des particules solides entrant dans la pompe à vide. 13/88 Sécurité AVERTISSEMENT Danger d’explosion si des particules entrent dans la soupape de lest d’air Lors du raccordement de la conduite de lest d’air, des particules étrangères risquent d’entrer ce qui peut causer une réaction exothermique en cas d’appariement défavorable de matière dans la chambre d’aspiration. ► Lors du raccordement de l’alimentation externe de lest d’air, vérifiez que la soupape de lest d’air est fermée. ► Nettoyez l’entrée de la soupape de lest d’air en activant l’alimentation de gaz avec une légère surpression quand la soupape est fermée. AVERTISSEMENT Risque de blessures lié aux mélanges d'air et de gaz réactifs, potentiellement explosifs ou dangereux L'entrée incontrôlée d'air ou de gaz contenant de l'oxygène peut entraîner la formation d'un mélange potentiellement explosif de gaz et d'air dans le système de vide. L’inflammation peut causer de très graves blessures. ► Utilisez des gaz inertes seulement pour l'alimentation du lest d'air afin d’empêcher la formation d’une atmosphère potentiellement explosive. ► Assurez-vous que le système de gaz inerte est fermé pour éviter que le gaz de processus entre dans la ligne de gaz inerte. AVERTISSEMENT Risque de blessure fatale lié à un choc électrique causé par une installation incorrecte L'alimentation électrique de l'appareil utilise des tensions mortelles. Une installation non sécurisée ou inappropriée peut entraîner des situations dangereuses en raison des électrocutions lors des opérations avec ou sur l’unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. AVERTISSEMENT Danger de mort en cas de choc électrique causé par un dommage lié à l’eau L’appareil est conforme au degré de protection IP40 selon DIN EN 60529: 2014 et n’est pas protégé contre la pénétration de l’eau. Lorsque les pompes à vide opèrent sur le plancher, le courant de fuite se propage dans l’eau autour ou à l’intérieur du corps de pompe. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec de l’eau dans laquelle de l’électricité se propage. ► En cas de dommage lié à l’eau, déconnectez toute l’alimentation électrique de la zone concernée par le dommage. ► Dans les zones dangereuses, une protection par fusible (p. ex. RCD) est nécessaire sur le site. ► Lors de la sélection du lieu de mise en place, observez tout dommage potentiel lié à l’eau. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de gaz de procédé toxiques, en l'absence de conduite de refoulement En fonctionnement normal, la pompe à vide libère des gaz et des vapeurs dans l'air. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort. ► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement de substances toxiques. ► Évacuez les gaz de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement. 14/88 Sécurité ATTENTION Danger de blessures par coupure en cas de contact avec des pièces rotatives Lorsque le couvercle de ventilateur de la pompe à vide est endommagé pendant le transport, il est possible que des éléments rotatifs et à bords coupants soient exposés. Il en résulte un danger de blessures par coupure en cas de contact accidentel. ► Avant la mise en service, vérifiez que votre pompe à vide est en bon état. ► Ne mettez pas en marche la pompe à vide si celle-ci est visiblement endommagée. ATTENTION Risque de blessure lié à l’éclatement de la conduite d’échappement en cas de pression excessive Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d’échappement. Il existe alors un risque d’éclatement. Risque de blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels. ► Installez la conduite d’échappement sans appareils de fermeture. ► Respectez la pression maximale admissible de 1500 hPa absolus. ► Respectez les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter. ► Vérifiez régulièrement le fonctionnement de la conduite d’échappement. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. Si l’accès à la pompe à vide est non restreint, il y un risque de brûlures en cas de contact avec une surface chaude. ► Installez une protection qui convient contre le contact si la pompe à vide est accessible à des personnes non formées. ► Laissez refroidir la pompe à vide avant d'effectuer tout travail. ► Contactez Pfeiffer Vacuum pour une protection qui convient contre le contact dans les solutions système. Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Risque d’explosion de la substance à pomper en cas d’accroissement de la pression En cas d’installation côté d’échappement, la pression d’échappement de la pompe à vide risque de dépasser la pression atmosphérique. La température d’allumage de la substance à pomper est abaissée dans la chambre de compression. Si la température d’allumage de la substance à pomper descend en-dessous de T4 = +135 °C, il y a un risque d’explosion et donc de graves blessures. ► Assurez-vous que la température d’allumage de la substance à pomper reste supérieure à +135 °C à une pression de 3500 hPa abs. AVERTISSEMENT Risque de blessures lié aux mélanges d'air et de gaz réactifs, potentiellement explosifs ou dangereux L'entrée incontrôlée d'air ou de gaz contenant de l'oxygène peut entraîner la formation d'un mélange potentiellement explosif de gaz et d'air dans le système de vide. L’inflammation peut causer de très graves blessures. ► Utilisez des gaz inertes seulement pour l'alimentation du lest d'air afin d’empêcher la formation d’une atmosphère potentiellement explosive. ► Assurez-vous que le système de gaz inerte est fermé pour éviter que le gaz de processus entre dans la ligne de gaz inerte. 15/88 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de processus toxiques. ► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus toxiques. ► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement. ► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement en cas d'utilisation incorrecte du système de lest d'air Le système de lest d'air de la pompe Scroll est étanche au vide seulement lorsqu’il est utilisé dans les positions valides « 0 », « 1 » et « 2 ». Lors du fonctionnement des soupapes dans des étages intermédiaires, il existe un risque de fuite incontrôlée de la substance de procédé dans l’atmosphère ambiante. En cas d’utilisation du substance de procédé toxique, il existe un risque d’empoisonnement. ► Modifiez les positions de la soupape seulement pour le réglage des étages de lest d’air. ► La soupape de lest d'air ne doit être mise en fonction que dans les positions om l’interrupteur s’enclenche. AVERTISSEMENT Danger de mort en cas de choc électrique pendant le fonctionnement causé par un dommage lié au transport L’endommagement de l’emballage de transport facilite la pénétration de l’humidité ou de substance conductrice d'électricité dans la pompe à vide. Les appareils raccordés au secteur peuvent être encore sous tension. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Avant la mise en service, assurez-vous que votre pompe à vide est en parfait état de fonctionnement. ► Attention aux résidus de fluides ou aux condensats. ► Ne mettez pas en marche la pompe à vide si celle-ci est visiblement endommagée. AVERTISSEMENT Danger de mort en cas de choc électrique causé par un dommage lié à l’eau L’appareil est conforme au degré de protection IP40 selon DIN EN 60529: 2014 et n’est pas protégé contre la pénétration de l’eau. Lorsque les pompes à vide opèrent sur le plancher, le courant de fuite se propage dans l’eau autour ou à l’intérieur du corps de pompe. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec de l’eau dans laquelle de l’électricité se propage. ► En cas de dommage lié à l’eau, déconnectez toute l’alimentation électrique de la zone concernée par le dommage. ► Dans les zones dangereuses, une protection par fusible (p. ex. RCD) est nécessaire sur le site. ► Lors de la sélection du lieu de mise en place, observez tout dommage potentiel lié à l’eau. 16/88 Sécurité ATTENTION Risque de blessure lié à l’éclatement de la conduite d’échappement en cas de pression excessive Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d’échappement. Il existe alors un risque d’éclatement. Risque de blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels. ► Installez la conduite d’échappement sans appareils de fermeture. ► Respectez la pression maximale admissible de 1500 hPa absolus. ► Respectez les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter. ► Vérifiez régulièrement le fonctionnement de la conduite d’échappement. ATTENTION Danger de blessures par coupure en cas de contact avec des pièces rotatives Lorsque le couvercle de ventilateur de la pompe à vide est endommagé pendant le transport, il est possible que des éléments rotatifs et à bords coupants soient exposés. Il en résulte un danger de blessures par coupure en cas de contact accidentel. ► Avant la mise en service, vérifiez que votre pompe à vide est en bon état. ► Ne mettez pas en marche la pompe à vide si celle-ci est visiblement endommagée. ATTENTION Risque de blessures par brûlure en cas de fuite de gaz chauds de procédé là où il n’y a pas de conduite d'échappement Lorsque la pompe à vide fonctionne sans conduite d'échappement, les gaz d'échappement et les vapeurs peuvent s'échapper librement dans l’air. Avec les procédés haute température, il y a un risque de brûlure lié à la chaleur des gaz d'échappement. ► Si nécessaire, purgez en toute sécurité les gaz chauds de procédé par l’intermédiaire de la conduite d'échappement. ► Si nécessaire, portez des équipements de protection individuelle. Risques pendant la maintenance AVERTISSEMENT Risque de blessures lié aux mélanges d’air et de gaz réactifs, potentiellement explosifs ou dangereux pendant la maintenance Une fuite incontrôlée de gaz de procédé peut entraîner la formation de mélanges d’air et de gaz explosifs après l’ouverture de la pompe à vide. L’allumage peut causer de très graves blessures. ► Vérifiez que la chambre d’aspiration est suffisamment inerte quand vous commencez le travail de maintenance. ► Assurez-vous que le système de gaz inerte est fermé afin d’éviter un entraînement de zone résultant de la fuite de gaz de procédé. AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension, même après la coupure de la pompe à vide. ► Débranchez prudemment la pompe à vide du secteur. ► Attendez que la pompe à vide soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0). ► Après la coupure de la pompe à vide, attendez 5 minutes encore jusqu’à ce que les condensateurs soient déchargés. 17/88 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque d’écrasement et de coupure lié aux pièces non protégées en cas de démarrage prévisible pendant la maintenance. Pendant les activités sur les composants mécaniques non protégés, il existe un risque d'écrasement ou de blessure par coupure en cas de démarrage soudain. ► Mettez la pompe à vide hors circuit avant tout travail de maintenance. ► Mettez à l'air la pompe à vide à la pression atmosphérique. ► Déconnectez en toute sécurité la pompe à vide du secteur. ► Sécurisez la pompe à vide contre tout risque de redémarrage. ► Déconnectez le câble d'alimentation de la pompe à vide. Risques liés aux anomalies de fonctionnement AVERTISSEMENT Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. AVERTISSEMENT Risque mortel d’empoisonnement si des gaz de procédé toxiques s’échappent à la suite d’une anomalie La pompe à vide ne possède pas de dispositif de sécurité redondant. En cas de dégâts, des gaz de procédé peuvent s’échapper. Risque de lésion et de mort par intoxication dans les procédés faisant appel à des gaz dangereux pour la santé ► Lors du pompage de gaz de procédés toxiques, appliquez les précautions de sécurité supplémentaires conformément aux codes et règlements en vigueur. – Le pompage de gaz toxiques relève de la responsabilité de l’opérateur. ► Respectez toutes les recommandations de sécurité du fabricant du gaz. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes en cas d'anomalie Un défaut de ventilation lié à des dommages causés pendant le transport ou à des détériorations non prises en compte entraîne des températures supérieures au seuil admissible. Il y a un risque de brûlure en cas de contact accidentel. Il y a un risque d’endommagement, voire même de destruction, de la pompe à vide. ► Débranchez la pompe à vide du secteur. ► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’effectuer un travail de maintenance. ► Si nécessaire, portez des équipements de protection individuelle. 18/88 Sécurité 2.3 Mesures de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Avant de travailler sur la pompe à vide, attendez qu’elle soit complètement à l’arrêt (vitesse de rotation f = 0). ► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord à vide est ouvert. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70°C). ► Ne remplissez jamais ou ne faites jamais fonctionner l'appareil avec des produits de nettoyage ou leurs résidus. ► N’effectuez pas de modification ou de conversion arbitraire de l’unité. ► Respectez le degré de protection de l’unité avant d'installer ou de mettre en marche l’unité dans d’autres environnements. 2.4 Classification et mesures préventives ATEX AVERTISSEMENT Danger d’explosion en cas d’utilisation d’accessoires en dehors des limites d’utilisation Lors de l’utilisation d’accessoires, une source d’allumage risque de se former qui peut entraîner une explosion lors du pompage de gaz explosifs. ► Lors du pompage de substances explosives, utilisez seulement des accessoires conformes aux exigences de la directive 2014/34/UE. Les pompes à vide HiScroll remplissent les exigences de la directive européenne 2014/34/UE sur les équipements et les systèmes de protection conçus pour une utilisation dans des atmosphères potentiellement explosives avec le marquage suivant : ● II 3/-G Ex h IIC T4 Gc X +5 °C ≤ Ta ≤ +40 °C ─ Cat. 3G = utilisable en zone 2 à l’intérieur ─ Cat. /- G = installation seulement dans les environnements sans zone EX ; le fonctionnement dans les zones extérieures dangereuses est interdit. 19/88 Sécurité Classification Description Groupe d’appareils Les appareils utilisables pour des applications dans une atmosphère potentiellement explosive sont subdivisés en deux groupes : Groupe d’appareils I : appareils pour les mines avec un risque de grisou (non abordé de façon détaillée ici) Groupe d’appareils II : appareils pour toutes les autres zones potentiellement explosives à l’exception du fonctionnement souterrain dans des mines et les installations de surface exposées au risque de grisou ou de poussière inflammable. Catégorie d’appareils Le groupe d’appareils II est divisé en trois catégories avec un degré de sécurité variable. Les appareils de catégorie 1 sont conçus pour assurer un degré de sécurité extrêmement élevé. Ils doivent assurer le degré de sécurité nécessaire même en cas de dysfonctionnement (très rare). Les appareils de catégorie 2 sont conçus pour assurer un degré de sécurité élevé. Ils doivent garantir le niveau de sécurité nécessaire avec des dysfonctionnements réguliers ou des anomalies généralement prévisibles. Les appareils de catégorie 3 sont conçus pour assurer un degré de sécurité normal. Ils assurent le degré de sécurité nécessaire pour un fonctionnement normal. Matières combustibles G : gaz ou vapeurs D : poussière (non abordé de façon détaillée ici) Type de protection Code d’identification « Ex h » libellé dans la norme DIN EN ISO 80079-36 pour appareils non électriques. Un type de protection pour équipement électrique n’est pas utilisé. Groupes d’explosions Les gaz ou les vapeurs sont divisés dans trois groupes basés sur leur capacité d’allumage respective (IIA, IIB et IIC). La puissance d’allumage diminue du groupe IIA au IIC. (Le groupe d’explosions supérieur intègre les groupes inférieurs, p. ex. IIC intègre IIB et IIA.). Classe de température Classification des équipements en fonction de leur température max. en surface selon leur affectation : Classe de température --> Température maximum de surface/gaz : ● T1 --> +450 °C ● T2 --> +300 °C ● T3 --> +200 °C ● T4 --> +135 °C ● T5 --> +100 °C ● T6 --> +85 °C La classe de température et la température de surface maximum réelle incluent une marge de sécurité pour la température d’allumage minimum de l’atmosphère explosive conformément à DIN EN ISO 80079-36. EPL selon la norme DIN EN 60079 Niveau de protection des équipements (EPL) EPL Ga : Équipement avec un niveau de protection « extrêmement élevé » pour une utilisation en atmosphère explosive avec un risque zéro d’allumage en fonctionnement normal, même en cas d’anomalie/dysfonctionnement prévisible. EPL Gb : Équipement avec un niveau de protection « élevé » pour une utilisation en atmosphère explosive avec un risque zéro d’allumage en fonctionnement normal, même en cas d’anomalie/dysfonctionnement prévisible. EPL Gc : Équipement avec un niveau de protection « étendu » pour une utilisation en atmosphère explosive avec un risque zéro d’allumage en fonctionnement normal. X Des conditions de fonctionnement spéciales s’appliquent et doivent être observées en cas de pompage en atmosphère explosive. Ces dernières comprennent : ● Les limites d’utilisation du produit indiquées au chapitre 2.5. ● L’interdiction d’utilisation d’accessoires (p. ex. capteur de pression) sans agrément ATEX. Ta Température ambiante de fonctionnement admissible de la pompe à vide prescrite sur la plaque signalétique. Tab. 3: 20/88 Désignations générales ATEX Sécurité 2.5 Limites d’utilisation du produit Lieu de mise en place À l’intérieur, avec protection contre l’accumulation de poussière et les effets liés au climat, dans un environnement non-explosif et sec Pression d’air 750 hPa à 1 060 hPa Altitude d’installation 2500 m max. Pression d’entrée constante recommandée 200 hPa1) Planéité du plan d’appui ± 10 % Humidité rel. de l’air 90 % max., sans condensation Température ambiante 5 ℃ à 40 ℃ Température de transport -25 °C à 55 °C Température de stockage -10 °C à 50 °C Classe de protection I Catégorie de surtension II Degré de protection admissible IP40 Type 1 conformément à UL 50E Degré de pollution 2 Tab. 4: 2.6 Conditions ambiantes autorisées Utilisation conforme ► Utilisez la pompe Scroll uniquement pour générer du vide. ► Utilisez la pompe à vide pour acheminer des atmosphères potentiellement explosives selon l’étiquetage. ► Utilisez la pompe Scroll uniquement à l’abri, dans un local fermé. ► Utilisez la pompe Scroll pour l’évacuation de gaz secs et inertes. ► Utilisez la pompe Scroll avec lest d’air pour évacuer des gaz humides. ► Utilisez seulement des gaz inertes comme lest de gaz lors de l’évacuation de gaz explosifs. 2.7 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme incorrecte. ● Transport, installation, ou fonctionnement de la pompe à vide dans une position inadmissible dans l’espace ● Raccordement de l’alimentation électrique sans installation correcte ● Raccordement de la pompe à vide à des tensions de fonctionnement inadaptées ● Pompage de substances explosives en utilisant des accessoires non conformes avec la classification de la pompe. ● Pompage de substances corrosives ● Pompage de particules contenant des substances et de la poussière ● Pompage de fluides ● Fonctionnement avec un débit de gaz élevé non admissible ● Fonctionnement avec des quantités inadmissibles de lest d’air ● Fonctionnement avec des étages de réglage inadmissibles de la soupape de lest d’air ● Fonctionnement avec une quantité de refoulement excessive de chaleur irradiée ● Fonctionnement avec une pression d’échappement supérieure au maximum admissible ● Fonctionnement dans des champs magnétiques d’intensité élevée non admissibles ● Utilisation de la pompe à vide en dehors du domaine d’application spécifique ● Utilisation pour générer de la pression ● Utilisation dans des zones à rayonnement ionisant ● Utilisation dans les zones explosives 1) Des pressions d’entrée permanentes plus élevées peuvent entraîner une usure accrue 21/88 Sécurité ● Utilisation dans des systèmes où des charges et des vibrations sporadiques ou des forces périodiques agissent sur l’appareil ● Utiliser la pompe à vide comme moyen élévateur ● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non répertoriées dans ces instructions ● Séparation, remplacement ou réutilisation de l’unité de commande électronique. 2.8 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 2.8.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : 22/88 Sécurité ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 23/88 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction La pompe Scroll Pfeiffer Vacuum est une pompe à vide fonctionnant à sec dans une chambre d’aspiration pour la génération d’un vide grossier ou d’un vide moyen conformément au principe de pompage physique d’une pompe à vide à spirale. La pompe est équipée d’un appareil de commande et d’affichage intégré. Un système de lest d’air à trois étages empêche la condensation de s’accumuler dans la pompe à vide. IN OUT 1 2 A 3 E B D Fig. 2: C Cycle schématique de compression des pompes Scroll IN Admission de gaz OUT Sortie de gaz 1 Spirale stationnaire 2 3 A bis E Spirale en orbite Compression de gaz Sections de compression croissante dans le cycle de pompage Les pompes à vide à spirale comprennent une spirale stationnaire et orbitale. Les cavités variables sont générées à l’admission de la pompe par les mouvements de la spirale orbitale qui aspire le gaz. Le mouvement du rotor comprime le gaz en continu jusqu’à ce que le gaz soit évacué dans l’atmosphère par la sortie de pompe. La chambre d’aspiration ne contient aucun lubrifiant. 24/88 Description du produit 1 2 3 4 5 6 7 8 9 16 Fig. 3: 1 2 3 4 5 6 7 8 3.1.1 15 14 12 13 11 10 Construction HiScroll Couvercle protecteur du raccord à vide DN 25 Anneau à vis Couvercle nu pour version sans GB Capot de ventilateur Raccord à vide Soupape de lest d’air pour version avec GB Version avec GB automatique (option) Raccord d’échappement 9 10 11 12 13 14 15 16 Raccordement des accessoires « C » Raccordement des accessoires « D » Connecteur « Remote » Unité de commande électronique Base avec trou de fixation Ventilateur Couvercle protecteur de l’échappement DN 25 Fiche de connexion électrique Entraînement La pompe à vide est équipée d’un moteur synchrone à haut rendement avec une commande sans capteur, conformément à la procédure brevetée INFORM selon le Prof. Schrödl. L'unité de commande électronique intégrée permet de commander et de surveiller les fonctions de pompage via l’interface « Remote » en utilisant un tableau de commande et d’affichage. 3.1.2 Refroidissement ● Refroidissement par air En fonction des besoins de refroidissement, l’unité de commande électronique régule la capacité fournie de refroidissement du ventilateur intégré. 3.1.3 Palier d'arbre Arbre excentrique monté sur roulement à billes. La chambre de la pompe à vide fonctionne à sec et est séparée hermétiquement du palier d'arbre. ● 2 x roulements rainurés à billes, sans entretien 3.1.4 Lest d’air En fonction de la version de la pompe, la pompe à vide a un système de lest d’air pour l’alimentation manuelle ou automatique de gaz inerte dans la chambre d’aspiration. Le lest d’air contribue à la réduction de la condensation dans le système de pompage. Le pompage d’atmosphères explosives lors de l’utilisation de la soupape de lest d’air automatique est interdit car la vanne n’a pas d’agrément ATEX. 3.1.5 Capteur de pression Le capteur de pression numérique RPT 010 de type retrofit à capteur Piezo/Pirani mesure la pression d’entrée de la pompe à vide et offre une fonctionnalité étendue, par exemple avec le fonctionnement avec régulation de la pression. Le pompage d’atmosphères explosives lors de l’utilisation du capteur de pression est interdit, car le capteur n’est pas approuvé ATEX. 25/88 Description du produit 3.2 Raccordements Connexion Description entrée secteur Connecteur d’enveloppe pour l’alimentation de tension remote Prise D-sub à 15 broches pour la configuration et la connexion d’une commande à distance. Touche stand-by Appuyez sur cette touche pour activer ou désactiver le stand-by de la pompe à vide. Correspond au paramètre [P:002]. Touche Marche/Arrêt En fonction de leur configuration, met en circuit ou hors circuit la pompe à vide et tous les composants raccordés. Correspond au paramètre [P:010]. Raccordement des accessoires 2 connecteurs pour le fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum qui conviennent Tab. 5: 3.3 Interfaces de l’unité de commande électronique Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320. 3.4 Caractéristiques du produit Version Vitesse de pompage nominale HiScroll 6, pompe Scroll 6,1 m³/h HiScroll 12, pompe Scroll 12,1 m³/h HiScroll 18, pompe Scroll 18,1 m³/h Tab. 6: 3.5 Contenu de la livraison ● ● ● ● 26/88 Caractéristiques des pompes Scroll Pompe Scroll avec unité de commande électronique Obturateur de protection du raccord à vide Cache protecteur du raccord d'échappement Manuel de l’utilisateur Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport de la pompe à vide AVERTISSEMENT Risque de blessures graves en cas d'oscillation, de basculement ou de chute d'objets Lors du transport, il y a un risque d'écrasement et de choc si les objets oscillent, basculent ou chutent. Risques de blessures des membres allant jusqu'à des fractures osseuses et des traumatismes crâniens. ► Empêchez les personnes de séjourner en dessous de la charge soulevée. ► Si nécessaire, sécurisez la zone dangereuse. ► Évitez la traction diagonale des élingues. ► N'empilez par les produits. ► Faites attention au centre de gravité de la charge lors du transport avec un chariot élévateur. ► Portez un équipement de protection, par ex. des chaussures de sécurité. ATTENTION Danger de blessures en cas de transport inapproprié Si la pompe à vide est soulevée de façon inappropriée, le dispositif de fixation du couvercle de ventilateur sera arraché. Il y a un danger de chute de la pompe à vide. Il en résulterait des blessures corporelles au niveau des membres. ► Soulevez toujours la pompe à vide par l’anneau de levage à l’aide d’un dispositif approprié. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transport en toute sécurité du produit 1. Observez le poids spécifié sur la plaque signalétique. 2. Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours la pompe à vide dans son emballage d’origine. 3. Enlevez l’obturateur de protection seulement immédiatement avant l’installation. Transport de la pompe à vide dans son emballage 1. Utilisez un transpalette pour transporter la pompe à vide dans son emballage. 2. Repérez le centre de gravité de la charge. 3. Manipulez avec précaution les engins de transport à commande manuelle. 4. Les mouvements doivent être harmonieux et la vitesse modérée. 5. Veillez à ce que le support soit plat. 6. Portez des équipements de protection, p. ex. chaussures de sécurité. 27/88 Transport et stockage Fig. 4: Points d’arrimage de transport de la pompe Scroll Transport de la pompe à vide sans emballage 1 anneau à vis est inclus à la livraison. Au départ d’usine, il est serré en toute sécurité sur la pompe à vide. 1. Attachez des outils de levage appropriés à l’anneau à vis. 2. Faites attention à l’utilisation correcte et au serrage conforme de l’équipement de levage. 3. Soulevez la pompe à vide verticalement (p. ex. pour la sortir de son emballage). 4. Enlevez l’anneau à vis après le transport et l’installation. – Conservez l’anneau à vis pour une utilisation ultérieure. 4.2 Stockage de la pompe à vide Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d’origine. Stockage de la pompe Scroll 1. Fermez toutes les ouvertures de bride avec les obturateurs de protection d'origine. 2. Fermez la soupape de lest d'air (position « 0 »). 3. Rangez la pompe à vide uniquement dans un local dans les limites admissibles de température. 4. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez la pompe à vide et un produit dessiccant dans un sac en plastique hermétique. 28/88 Installation 5 Installation 5.1 Configuration de la pompe à vide AVERTISSEMENT Danger de mort en cas de choc électrique causé par un dommage lié à l’eau L’appareil est conforme au degré de protection IP40 selon DIN EN 60529: 2014 et n’est pas protégé contre la pénétration de l’eau. Lorsque les pompes à vide opèrent sur le plancher, le courant de fuite se propage dans l’eau autour ou à l’intérieur du corps de pompe. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec de l’eau dans laquelle de l’électricité se propage. ► En cas de dommage lié à l’eau, déconnectez toute l’alimentation électrique de la zone concernée par le dommage. ► Dans les zones dangereuses, une protection par fusible (p. ex. RCD) est nécessaire sur le site. ► Lors de la sélection du lieu de mise en place, observez tout dommage potentiel lié à l’eau. ATTENTION Danger de blessures par coupure en cas de contact avec des pièces rotatives Lorsque le couvercle de ventilateur de la pompe à vide est endommagé pendant le transport, il est possible que des éléments rotatifs et à bords coupants soient exposés. Il en résulte un danger de blessures par coupure en cas de contact accidentel. ► Avant la mise en service, vérifiez que votre pompe à vide est en bon état. ► Ne mettez pas en marche la pompe à vide si celle-ci est visiblement endommagée. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. Si l’accès à la pompe à vide est non restreint, il y un risque de brûlures en cas de contact avec une surface chaude. ► Installez une protection qui convient contre le contact si la pompe à vide est accessible à des personnes non formées. ► Laissez refroidir la pompe à vide avant d'effectuer tout travail. ► Contactez Pfeiffer Vacuum pour une protection qui convient contre le contact dans les solutions système. > 25 mm max. 10° Fig. 5: Distances minimales et inclinaison admissible Procédé ► Placez la pompe à vide sur une surface horizontale plane. ► Les raccords et les éléments de contrôle manuel doivent toujours rester accessibles. ► Placez la pompe de telle sorte que la plaque signalétique du moteur reste visible et accessible. 29/88 Installation ► Dans le cas d’une installation fixe, vissez si nécessaire la pompe à vide directement sur la base. – Retirez les pieds en caoutchouc. ► Dans le cas d’une installation dans un carter fermé, veillez à une circulation adéquate de l’air autour de la pompe. 5.2 Raccordement côté vide AVERTISSEMENT Danger d’explosion si des particules entrent dans le raccord à vide Pendant la mise en service, des particules étrangères risquent de pénétrer dans la chambre à vide, formant une source d’allumage, qui peut entraîner une explosion en combinaison avec des gaz explosifs. ► Utilisez un tamis protecteur approprié sur le raccord à vide. ► N’enlevez pas le tamis sauf s’il n’y aucun risque que des particules solides entrant dans la pompe à vide. Prévention des pertes d’étranglement Pour éviter des pertes d’étranglement, utilisez des conduites à vide de faible longueur avec un grande diamètre nominal. Séparateur des condensats Pfeiffer Vacuum recommande l’installation d’un séparateur de condensats au cas où de la vapeur se formerait pendant l'évacuation. 1 2 3 4 5 Fig. 6: Exemple de raccord à vide 1 Raccord à vide de la pompe Scroll 2 Obturateur de protection 3 Composants de vide DN 25 ISO-KF 4 5 Circlip Anneau de centrage Procédure 1. Retirez l’obturateur de protection du raccord à vide de la pompe Scroll. 2. Installez le raccordement le plus court possible entre la pompe à vide et le système de vide. 3. Installez un raccord à vide avec des composants à petite bride, p. ex. éléments de fixation et composants de tube DN 25 ISO-KF de la boutique de composants Pfeiffer Vacuum. 4. Raccordez la pompe à vide au système de vide par l’intermédiaire du raccord à vide. 30/88 Installation 5.3 Raccordement du côté échappement AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de gaz de procédé toxiques, en l'absence de conduite de refoulement En fonctionnement normal, la pompe à vide libère des gaz et des vapeurs dans l'air. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort. ► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement de substances toxiques. ► Évacuez les gaz de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement. ATTENTION Risque de blessure lié à l’éclatement de la conduite d’échappement en cas de pression excessive Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d’échappement. Il existe alors un risque d’éclatement. Risque de blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels. ► Installez la conduite d’échappement sans appareils de fermeture. ► Respectez la pression maximale admissible de 1500 hPa absolus. ► Respectez les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter. ► Vérifiez régulièrement le fonctionnement de la conduite d’échappement. Séparateur des condensats Pfeiffer Vacuum recommande l'installation d'un séparateur de condensat avec écoulement de condensat placé au point le plus bas de la conduite de refoulement. 1 2 3 4 5 Fig. 7: Exemple de raccord d'échappement 1 Couvercle protecteur 2 Raccord d'échappement de la pompe Scroll 3 Anneau de centrage 4 5 Circlip Composants de vide DN 25 ISO-KF Procédure 1. Retirez le couvercle protecteur du raccord d'échappement. 2. Choisissez une coupe transversale de conduite d'échappement au moins égale au diamètre nominal de raccordement. 3. Installez un raccord à vide avec des composants à petite bride, p. ex. éléments de fixation et composants de tube DN 25 ISO-KF de la boutique de composants Pfeiffer Vacuum. 4. Installez la tuyauterie vers le bas à partir de la pompe à vide pour éviter le retour des condensats. 5. Fixez ou accrochez la tuyauterie de la pompe à vide pour éviter toute contrainte mécanique sur la pompe à vide. 31/88 Installation 5.4 Raccordement de l’alimentation externe de lest d’air AVERTISSEMENT Danger d’explosion si des particules entrent dans la soupape de lest d’air Lors du raccordement de la conduite de lest d’air, des particules étrangères risquent d’entrer ce qui peut causer une réaction exothermique en cas d’appariement défavorable de matière dans la chambre d’aspiration. ► Lors du raccordement de l’alimentation externe de lest d’air, vérifiez que la soupape de lest d’air est fermée. ► Nettoyez l’entrée de la soupape de lest d’air en activant l’alimentation de gaz avec une légère surpression quand la soupape est fermée. AVERTISSEMENT Risque de blessures lié aux mélanges d'air et de gaz réactifs, potentiellement explosifs ou dangereux L'entrée incontrôlée d'air ou de gaz contenant de l'oxygène peut entraîner la formation d'un mélange potentiellement explosif de gaz et d'air dans le système de vide. L’inflammation peut causer de très graves blessures. ► Utilisez des gaz inertes seulement pour l'alimentation du lest d'air afin d’empêcher la formation d’une atmosphère potentiellement explosive. ► Assurez-vous que le système de gaz inerte est fermé pour éviter que le gaz de processus entre dans la ligne de gaz inerte. AVIS Risque de dommages dus à la condensation dans la pompe à vide Lorsque la pression de vapeur saturante de la substance de procédé dépasse la valeur maximale admissible pendant la phase de compression, la condensation se forme dans la chambre d’aspiration. Il en résulte une augmentation de la pression ultime pouvant être atteinte et une détérioration générale des données de performance de la pompe à vide. Corrosion et contamination ont un effet négatif sur la durée de vie. ► Utilisez le lest d’air. ► Alimentez avec de l’air sec ambiant ou du gaz inerte pour augmenter la capacité fournie de vapeur de la substance de procédé. ► Pompez les gaz condensables uniquement lorsque la pompe à vide est à température de fonctionnement et la soupape à lest d’air ouverte. ► Faites fonctionner la pompe à vide avec le lest d’air pendant 30 minutes supplémentaires après la fin du procédé pour dissiper l’humidité résiduelle. Le système de lest d’air de la pompe Scroll est adapté pour le raccordement à une alimentation externe de gaz. Les accouplements du raccordement G 1/8" de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum sont disponibles à cet effet. Outils nécessaires ● Clé à écrou, WAF 13 ● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6) 32/88 Installation 1 2 3 4 5 6 Fig. 8: Raccordement de l’alimentation externe de lest d’air 1 Filtre fritté 2 Soupape de lest d’air 3 Exemple d’accouplement de raccordement 4 5 6 Ouverture du raccordement de lest d’air Conduite d’alimentation de gaz externe Alimentation de gaz externe Raccordement de l’alimentation de gaz 1. Tournez la soupape de lest d’air sur la position « 0 ». 2. Dévissez le filtre fritté du corps de vanne. 3. Vissez un accouplement de raccordement à joint annulaire dans l’alésage du filtre G 1/8". – Couple de serrage : 2,5 Nm. 4. Raccordez une alimentation externe d’azote (N2) ou un autre gaz inerte sec sur l’accouplement. 5. Respectez la pression d’admission maximum admissible de l’alimentation de gaz. 6. Ouvrez brièvement la soupape de lest d’air en tournant le commutateur sur la position « 1 ». – Le fait de laisser du gaz inerte pénétrer à l’intérieur va éliminer toutes les particules de la zone d’entrée de la soupape de lest d’air. 5.5 Raccordement au réseau d’alimentation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc électrique potentiellement mortel. ► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension. ► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur. ► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique. ► Veillez à ce que le câble d’alimentation et le câble d’extension sont conformes aux exigences de double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes IEC 61010 et IEC 60950. ► Utilisez seulement un câble d’alimentation à 3 broches et un câble d’extension disposant d’une mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre). ► Ne connectez le connecteur de réseau que dans une prise disposant d’un contact de mise à la terre. ► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours raccorder le câble de secteur avant tous les autres. AVERTISSEMENT Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal). ► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2. ► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum. 33/88 Installation AVERTISSEMENT Risque de blessure fatale lié à un choc électrique causé par une installation incorrecte L'alimentation électrique de l'appareil utilise des tensions mortelles. Une installation non sécurisée ou inappropriée peut entraîner des situations dangereuses en raison des électrocutions lors des opérations avec ou sur l’unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. AVERTISSEMENT Danger de mort en cas de choc électrique causé par un dommage lié à l’eau L’appareil est conforme au degré de protection IP40 selon DIN EN 60529: 2014 et n’est pas protégé contre la pénétration de l’eau. Lorsque les pompes à vide opèrent sur le plancher, le courant de fuite se propage dans l’eau autour ou à l’intérieur du corps de pompe. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec de l’eau dans laquelle de l’électricité se propage. ► En cas de dommage lié à l’eau, déconnectez toute l’alimentation électrique de la zone concernée par le dommage. ► Dans les zones dangereuses, une protection par fusible (p. ex. RCD) est nécessaire sur le site. ► Lors de la sélection du lieu de mise en place, observez tout dommage potentiel lié à l’eau. 1 2 Fig. 9: Raccordement au réseau d’alimentation 1 Câble de secteur 2 Connecteur d’alimentation électrique ACin Alimentation secteur L’unité d’entraînement électronique démarre lorsque l’alimentation secteur est activée. Établissement de l’alimentation secteur 1. Commandez un câble pour courant fort spécifique au pays dans les accessoires Pfeiffer Vacuum. 2. Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de protection. 3. Connectez le câble de secteur à la fiche de connexion de l’unité de commande électronique. 34/88 Interfaces 6 Interfaces 6.1 Vue d’ensemble des interfaces 1 2 3 4 5 6 C D remote 7 accessory Fig. 10: 1 2 3 4 6.2 Interfaces de l’unité de commande électronique Alimentation ACin, C14 Raccordement « Remote » Touche stand-by Touche Marche/Arrêt 5 6 7 Affichage du mode de travail à diodes électroluminescentes Raccordement des accessoires « C » Raccordement des accessoires « D » Interface « Remote » Le raccordement D-Sub à 15 broches avec la désignation « remote » offre la possibilité de faire fonctionner l’unité de commande électronique via une commande à distance. Les spécifications suivantes sont les réglages usine de l’unité de commande électronique. Elles peuvent être configurées avec le bloc de paramètres Pfeiffer Vacuum. ► Utilisez le connecteur et le câble blindés. 2 3 4 5 6 7 2 3 4 5 6 7 n.c. 10 n.c. 11 DO1 8 DO2 9 n. c. 12 10 11 8 9 12 DI n.c. DI2 DI DI 24 V DC* (V+) S2 S1 RS 485 + 1 24 V DC* 2 3 RS 485 D+ 13 RS 485 D- 14 13 14 15 15 n. c. 1 1 RS 485 - 4 n.c. 5 FE Fig. 11: Schéma de raccordement à 15 broches « Remote » 35/88 Interfaces Broche Affectation 1 non attribué 2 Sortie numérique DI Priorité à distance 3 non attribué 4 DI2 ouvert : off ; V+ : on 5 DI groupe de pompage ouvert : désactivé, V+ : activé et validation anomalie 6 DI standby ouverte : stand-by désactivé, V+ : Veille activée 7 Sortie +24 V DC* (V+) Tension de référence pour toutes les entrées numériques (5 W max.) 8 DO1 GND : non, V+ : oui (lmax = 50 mA/24 V), la fonction peut être sélectionné via les paramètres 9 DO2 GND : non, V+ : oui (lmax = 50 mA/24 V), la fonction peut être sélectionné via les paramètres 10 non attribué 11 non attribué 12 non attribué 13 RS-485 D+ 14 RS-485 D- 15 Masse (GND) Masse de référence pour toutes les entrées et les sorties numériques Tab. 7: 6.2.1 Description et réglage d’usine Fonctionnement via l’interface « Remote » Affectation des raccordements du raccord 15 broches « remote » Entrées Les entrées numériques sur le raccordement « remote » sont utilisées pour commuter les différentes fonctions de l’unité de commande électronique. Les entrées sont affectées avec des fonctions en départ d’usine. Vous pouvez les configurer via l’interface RS-485 et l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum. DI priorité à distance/broche 2 V+ : ouvert : Le raccordement « remote » a la priorité de commande sur toutes les autres sources de commande. Priorité à distance inactive DI/Broche 4 V+ : ouvert : Mode de réglage de la vitesse de rotation activé avec la possibilité de sélectionner la vitesse de rotation fonctionnement à la vitesse finale DI groupe de pompage/broche 5 V+ : ouvert : Groupe de pompage en marche et validation anomalie. Remise à zéro sous réserve de messages d’erreur après élimination des causes. Groupe de pompage off DI stand-by/broche 6 V+ : ouvert : 6.2.2 mode stand-by activé avec la possibilité de sélectionner une vitesse de rotation fonctionnement à la vitesse finale Sorties Les sorties numériques sur la connexion « remote » présentent une limite de charge maximale de 24 V/50 mA par sortie. Vous pouvez configurer toutes les sorties dans la liste ci-dessous avec le réglage des paramètres Pfeiffer Vacuum via l'interface RS-485 (la description se rapporte aux réglages-usine). 36/88 Interfaces DO1/broche 8 Actif haut GND oui non DO2/broche 9 Actif haut GND 6.2.3 oui non RS-485 Raccordement du RS-485 via D-Sub ► Raccordez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC externe via la broche 13 et la broche 14 sur le raccord Sub D de l’unité de commande électronique. 6.3 Raccordement de l’appareil de commande 1 4 2 Fig. 12: 3 Raccordement d’un appareil de commande via le raccord « Remote » 1 Appareil de commande 2 Câble d’interface M12 à M12 3 4 Transformateur RS-485 à M12 Raccordement « Remote » Procédure ► Utilisez les câbles fournis à la livraison avec l’appareil de commande ou disponibles en option dans le programme des accessoires. ► Installez les câbles d’interface entre le raccord « Remote » et le raccord « RS-485 » de l’appareil de commande. – Couple de serrage : 0,4 Nm ► Raccordez toujours l’interface RS-485 à un seul appareil de commande externe. 6.4 Utilisation de l’interface RS-485 DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. L’interface avec la désignation « RS-485 » est destinée au raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique. Désignation Valeur Interface série RS-485 Vitesse de transmission en baud 9 600 Baud Longueur de mot 8 bit Parité aucune (pas de parité) 37/88 Interfaces Désignation Valeur Bits de départ 1 Bits d’arrêt 1 Tab. 8: Caractéristiques de l’interface RS-485 Raccordement des appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC ► Utilisez le câble de raccordement fourni à la livraison avec l’appareil de commande ou disponible en option dans le programme des accessoires Pfeiffer Vacuum. ► Raccordez un appareil de commande à l’interface RS-485. ► Raccordez un PC via le transformateur USB/RS-485. D-Sub 1 Fig. 13: 2 3 PC 4 Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant les câbles de raccordement et les accessoires 1 Transformateur RS-485 à M12 2 Connecteur en Y pour RS-485 3 4 Câble d’interface M12 à M12 Convertisseur USB RS-485 Mise en réseau en tant que bus RS-485 L’adresse de groupe de l’unité de commande électronique est 902. 1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485. 2. Veillez à ce que tous les appareils connectés au bus disposent d’une adresse d’appareil RS-485 différente [P:797]. 3. Raccordez au bus tous les appareils avec RS-485 D+ et RS-485 D-. 6.5 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 6.5.1 Cadre télégramme Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vacuum contient uniquement des caractères ASCII [32; 127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un hôte (par ex. un PC) envoie un télégramme, auquel un appareil (par ex. unité de commande électronique ou jauge) va répondre. a2 38/88 a1 a0 * 0 n2 n1 n0 l1 l0 dn … d0 c2 c1 c0 CR Interfaces 6.5.2 a2 – a0 Adresse d’appareil ● Adresse individuelle de l’unité ["001";"255"] ● Adresse groupée « 9xx » pour toutes les unités identiques (pas de réponse) ● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse) * Action selon la description du télégramme n2 – n0 Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum I1 – I0 Longueur de données dn à d0 dn – d0 Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Data types », page 40). c2 – c0 Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) modulo 256 CR Retour à la ligne (ASCII 13) Description du télégramme Interrogation des données --> ? a2 n2 n1 a1 a0 0 0 Instruction de réglage a2 a1 a0 1 --> ! n2 n1 0 n0 0 2 = l1 l0 dn … n0 Réponse des données / instruction de réglage comprise a2 a1 a0 1 0 Message d’erreur a2 a1 a0 1 0 n2 NO_DEF _RANGE _LOGIC 6.5.3 ? c2 c1 c0 cR d0 c2 c1 c0 cR c2 c1 c0 cR c1 c0 cR --> n2 n1 n0 l1 l0 dn … d0 0 6 N O _ D E F _ R A N G E _ L O G I C --> n1 n0 c2 Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée Erreur d'accès logique Télégramme exemple 1 Demande de données Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 ») --> ? ASCII 1 2 3 0 0 3 0 9 0 2 = ? 1 1 2 cR 49 50 51 48 48 51 48 57 48 50 61 63 49 49 50 13 Réponse des données : 633 Hz Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 ») --> 1 2 3 1 0 3 0 9 0 6 0 0 0 6 3 3 0 3 7 cR ASCII 49 50 51 49 48 51 48 57 48 54 48 48 48 54 51 51 48 51 55 13 6.5.4 Télégramme exemple 2 Commande de contrôle Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 » --> ASCII ! 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 cR 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 Commande de contrôle comprise Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 » 39/88 Interfaces --> 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 cR ASCII 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 6.5.5 Data types 40/88 Nº Type de donnée Description Longueur l1 – l0 Exemple 0 boolean_old Valeur logique (faux / vrai) 06 000000 est équivalent à faux 111111 est équivalent à vrai 1 u_integer Nombre entier positif 06 000000 à 999999 2 u_real Nombre à virgule fixe (non signé) 06 001571 correspond à 15.71 4 string Chaîne de 6 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 06 TC_110, TM_700 6 boolean_new Valeur logique (faux / vrai) 01 0 est équivalent à faux 1 est équivalent à vrai 7 u_short_int Nombre entier positif 03 000 à 999 10 u_expo_new Nombre exponentiel positif. Les deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de 20. 06 100023 est équivalent à 1,0 · 103 100000 est équivalent à 1,0 · 10-20 11 string16 Chaîne de 16 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 16 BrezelBier&Wurst 12 string8 Chaîne de 8 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 08 Exemple Ensemble de paramètres 7 Ensemble de paramètres 7.1 Généralités Des réglages et des caractéristiques propres aux fonctions importantes sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité d’entraînement électronique. Chaque paramètre a un nombre à trois chiffres et une description. Le paramètre est accessible via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou de manière externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum. La pompe à vide démarre dans le mode standard avec les paramètres réglés par défaut en usine. Sauvegarde de données non volatiles Lors de la mise à l’arrêt ou en cas de chute de tension involontaire, les paramètres et les heures de service sont sauvegardés dans le système électronique. # Nombre à trois chiffres du paramètre Indicateur Affichage de la description des paramètres Description Brève description des paramètres Fonctions Description de la fonction des paramètres Type de donnée Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum Type d’accès R (lecture) : accès en lecture ; W (écriture) : accès en écriture Unité Unité physique de la variable décrite min./max. Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur par défaut Pré-réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la pompe) Le paramètre peut être sauvegardé de manière permanente sur l’unité de commande électronique Tab. 9: Explication et signification des paramètres 7.2 Instructions de réglage # Affichage Désignations Fonctions Type de donnée Type d’accès 002 Stand-by Stand-by 0 = arrêt 1 = marche 0 006 Auto stdby veille automatique 0 = arrêt 1 = marche 009 ErrorAckn Quittance de défaillance 010 PumpgStatn 011 Charge de gaz automatique Unité min. max. par défaut RW 0 1 0 0 RW 0 1 0 1 = Quittance de défaillance 0 W 1 1 Groupe de pompage 0 = arrêt 1 = marche et quittance de défaillance 0 RW 0 1 0 fonctionnement à charge de gaz automatique 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 41/88 Ensemble de paramètres # Affichage Désignations Fonctions Type de donnée Type d’accès 019 Cfg DO2 Configuration sortie DO2 0 = Point de commutation atteint 1 = Pas d’erreur 2 = Erreur 5 = Régime nominal atteint 6 = Pompe en marche 9 = Toujours « 0 » 10 = Toujours « 1 » 11 = priorité à distance active 21 = Lest d’air 7 020 PressMode Régulation de la pression 0 = arrêt 1 = marche 024 Cfg DO1 Configuration sortie DO1 026 SpdSetMode 030 min. max. par défaut RW 0 21 5 0 RW 0 1 0 0 = Point de commutation atteint 1 = Pas d’erreur 2 = Erreur 5 = Régime nominal atteint 6 = Pompe en marche 9 = Toujours « 0 » 10 = Toujours « 1 » 11 = priorité à distance active 21 = Lest d’air 7 RW 0 21 21 Mode de réglage de la vitesse de rotation 0 = arrêt 1 = marche 7 RW 0 1 0 VentMode Mode de soupape 0 = auto (réglage d’usine) 1 = fermé 2 = ouvert 7 RW 0 2 0 034 Auto start démarrage automatique après une panne de courant 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 052 BalGasValv Commande soupape de lest d’air 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 060 CtrlViaInt Utiliser via l’interface 1 = à distance 2 = RS-485 255 = Déverrouiller la sélection de l’interface 7 RW 1 255 1 061 IntSelLckd Sélection de l’interface verrouillée 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 063 Cfg DI2 Configuration entrée DI2 0 - 4 = Désactivé 5 = Mode de réglage de vitesse de rotation Activé 7 RW 0 5 0 068 Cfg Acc C1 Configuration de la connexion des accessoires C12) 6 = Sortie toujours « 0 » 7 = Sortie toujours « 1 » 15 = soupape de lest d’air 16 = soupape de sécurité côté vide, type IV 16 M 7 RW 0 18 0 17= capteur de pression 3) 18 = soupape de sécurité côté vide, type ISV 25 2) 42/88 Détection via interface Unité Ensemble de paramètres # Affichage Désignations Fonctions Type de donnée Type d’accès 069 Cfg Acc D1 Configuration de la connexion des accessoires D1 4) 6 = Sortie toujours « 0 » 7 = Sortie toujours « 1 » 15 = soupape de lest d’air 16 = soupape de sécurité côté vide, type IV 16 M 17= capteur de pression 18 = soupape de sécurité côté vide, type ISV 25 7 095 FactorySet Réglages usine 1 = Remettre à zéro sur la configuration usine 0 Tab. 10: Unité min. max. par défaut RW 0 18 0 RW 0 1 0 min. max. 0 1 Instructions de réglage 7.3 Requêtes d’état # Affichage Désignations Fonctions Type de donnée Type d’accès 300 RemotePrio Priorité à distance 0 = non 1 = oui 0 R 303 Code d’erreur Code d’erreur 4 R 304 OvTempElec Température excessive électronique d’entraînement 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 305 OvTempPump Température excessive pompe 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 308 SetRotSpd Régime nominal (Hz) 1 R Hz 0 999999 309 ActualSpd Vitesse de rotation réelle (Hz) 1 R Hz 0 999999 310 DrvCurrent Courant d’alimentation 2 R A 0 9999,99 311 OpHrsPump Heures de fonctionnement de la pompe 1 R h 0 999999 312 Fw version Version logiciel électronique d’entraînement 4 R 313 DrvVoltage Tension entraînement 2 R V 0 9999,99 314 OpHrsElec Heures de service électronique d’entraînement 1 R h 0 999999 315 Nominal Spd Vitesse de rotation nominale (Hz) 1 R Hz 0 999999 316 DrvPower Puissance d’entraînement 1 R W 0 999999 324 TempPwrStg Température étage final 1 R °C 0 999999 326 TempElec Température électronique 1 R °C 0 999999 346 TempMotor Température du moteur 1 R °C 0 999999 349 ElecName Désignation de l’unité de commande électronique 4 R 360 ErrHist1 Historique des codes d’erreur, point 1 4 R 361 ErrHist2 Historique des codes d’erreur, point 2 4 R 3) Position de branchement préférée 4) Détection via interface Unité par défaut 43/88 Ensemble de paramètres # Affichage Désignations 362 ErrHist3 397 Type de donnée Type d’accès Historique des codes d’erreur, point 3 4 R SetRotSpd Vitesse de rotation de consigne (tr/min) 1 398 ActualSpd Vitesse de rotation réelle (tr/ min) 399 NominalSpd Vitesse de rotation nominale (tr/min) Tab. 11: Fonctions Unité min. max. par défaut R tr/min 0 999999 1 R tr/min 0 999999 1 R tr/min 0 999999 Type de donnée Type d’accès Unité min. max. par défaut Requêtes d’état 7.4 Entrées des valeurs de référence # Indicateur Désignations 707 SpdSVal Régler la valeur en mode de réglage de la vitesse de rotation 2 RW % 40 100 83 717 StdbySVal Valeur fixée de la vitesse de rotation en mode stand-by 2 RW % 40 100 50 721 SlgVlvTime Intervalle d’ouverture de la soupape de lest d’air 2 RW min 0 60 5 730 Press. Set Valeur seuil d’activation avec veille automatique / pression cible avec régulation de la pression 10 RW hPa 0,01 30,0 10,0 731 AuxGasThrs Valeur seuil de commutation pour la soupape de lest d’air en mode vanne [P:030] = 0 10 RW hPa 9 · 10-2 30 3 732 Press. Rel Valeur seuil de désactivation avec veille automatique 10 RW hPa 1,0 100,0 20,0 739 PrsSn1Name Nom du capteur 1 4 R 740 Pression 1 Valeur de pression 15) 10 RW hPa 1 · 10-5 1200,0 0,1 8,0 Fonctions Raccordement des accessoires « C » 742 PrsCorrPi 1 Facteur de correction 1 2 RW 750 Pression 2 Valeur de pression 26) Raccordement des accessoires « D » 10 RW 797 RS485Adr Adresse interface RS-485 1 RW Tab. 12: 44/88 hPa 1 · 10 1200,0 1 255 -5 - 2 Entrées des valeurs de référence 5) Valeur de pression pour la valeur de pression si le capteur de pression est sur la connexion d’accessoire «C» 6) Valeur de pression pour la valeur de pression si le capteur de pression est sur la connexion d’accessoire «D» Utilisation 8 Utilisation 8.1 Mise en service de la pompe à vide AVERTISSEMENT Risque d’explosion de la substance à pomper en cas d’accroissement de la pression En cas d’installation côté d’échappement, la pression d’échappement de la pompe à vide risque de dépasser la pression atmosphérique. La température d’allumage de la substance à pomper est abaissée dans la chambre de compression. Si la température d’allumage de la substance à pomper descend en-dessous de T4 = +135 °C, il y a un risque d’explosion et donc de graves blessures. ► Assurez-vous que la température d’allumage de la substance à pomper reste supérieure à +135 °C à une pression de 3500 hPa abs. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de processus toxiques. ► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus toxiques. ► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement. ► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. Si l’accès à la pompe à vide est non restreint, il y un risque de brûlures en cas de contact avec une surface chaude. ► Installez une protection qui convient contre le contact si la pompe à vide est accessible à des personnes non formées. ► Laissez refroidir la pompe à vide avant d'effectuer tout travail. ► Contactez Pfeiffer Vacuum pour une protection qui convient contre le contact dans les solutions système. Les réglages et variables fonctionnelles importants sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre dispose d’un nombre à trois chiffres et d’une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par paramètres sont assurés par les appareils de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum, ou en externe via RS-485 utilisant le protocole Pfeiffer Vacuum. 8.2 Activer la pompe à vide Le paramètre « groupe de pompage » [P:010] comprend le fonctionnement de la pompe à vide avec la commande de toutes les interfaces et configurations connectés. Activer l’unité de commande électronique Une fois l’auto-test correctement effectué, l’unité de commande électronique réinitialise les messages d’erreurs en cours et corrigés. 1. Activez l'alimentation de tension. 2. Mettez la pompe à vide en circuit en appuyant une fois sur le bouton . Alternative : activer via les paramètres Pfeiffer Vacuum ► Réglez le paramètre [P:010] sur « 1 ». 45/88 Utilisation Alternative : activer via l'interface « Remote » ► Pontez les broches 7, 2 et 5. 8.3 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et prête à l’emploi. Pour des impératifs particuliers, il est possible de configurer la plupart des connexions pour l’unité de commande électronique avec l’ensemble de paramètres. 8.3.1 Configuration des sorties numériques Option Description 0 = Point de commutation de la vitesse de rotation atteint actif, une fois le point de commutation atteint 1 = Pas d’erreur actif, avec fonctionnement exempt de défaut 2 = Erreur actif, si le message d’erreur est actif 5 = Régime nominal atteint actif, une fois le point de commutation du régime nominal atteint 6 = Pompe en marche actif, si le groupe de pompage, moteur sont en marche et pas d’erreur 9 = Toujours « 0 » GND pour la commande d’un appareil externe 10 = Toujours « 1 » +24 V DC pour la commande d’un appareil externe 11 = priorité à distance active actif, si la priorité à distance est active 21= Soupape à lest d'air, temporisée +24 V DC avec une temporisation après activation du groupe de pompage, uniquement en version avec soupape de lest d'air Tab. 13: 8.3.2 Configuration de l’entrée numérique Option Description 0 - 4 = Désactivé Connexion non fonctionnelle 5 = Mode de réglage de vitesse de rotation La commande correspond au paramètre [P:026] Tab. 14: 8.3.3 Configurer les paramètres [P:019] et [P:024] Configurer le paramètre [P:063] Sélection des interfaces Le paramètre [P:060] indique l’interface actuellement sélectionnée avec la priorité opérationnelle. L’unité de commande électronique accepte seulement les instructions de réglage via l’interface avec la priorité opérationnelle. Si le réglage actuel n’est pas verrouillé par le paramètre [P061] = 1, si une autre interface envoie une instruction de réglage, la priorité opérationnelle est automatiquement transférée à l’autre interface. Option Description 1 = remote Fonctionnement via la connexion « remote » 2 = RS-485 Fonctionnement via la connexion « RS-485 » 255 = Déverrouiller la sélection de l’interface - Tab. 15: 46/88 Paramètre [P:060] Utilisation 8.3.4 Configuration des accessoires AVIS Dommages matériels dus aux dispositifs électroniques d’autres constructeurs Les raccordements des accessoires sur la pompe à vide ne sont pas conformes aux exigences standards USB. L’affectation des raccordements n’est pas conforme aux standards. En fonction de leur configuration, la tension d’alimentation 24 V DC peut endommager ou détruire les dispositifs électroniques d’autres constructeurs, par exemple un ordinateur-tablette. ► Ne raccordez pas de dispositifs électroniques d’autres constructeurs sur les raccordements des accessoires. ► Utilisez seulement les connecteurs pour les accessoires spécifiques à la pompe. Les raccords d’accessoires « C » et « D » sont respectivement utilisés pour le raccordement d’un accessoire. Le logiciel de l’unité de commande électronique détecte automatiquement les accessoires raccordés aux interfaces. Si deux capteurs de pression sont raccordés simultanément, la connexion d’accessoire « C » est prioritaire pour la régulation de la pression. Accessoires approuvés ● Capteur de pression ● Vanne magnétique pour lest d’air ● Soupape de sécurité côté vide 5 3 4 Fig. 14: 1 2 Affectation du raccord d’accessoire 1 + 5 V (bleu) 2 Capteur RxD / TxD hôte (blanc) 3 Capteur TxD / RxD hôte (vert) 4 5 + 24 V (selon la configuration du logiciel) GND (noir) Configuration des accessoires ► Configurez les accessoires raccordés avec les paramètres [P:068] et [P:069], si nécessaire. – La configuration manuelle écrase la valeur automatiquement détectée. 8.4 Sélection du type de service Après application de la tension de fonctionnement, l’unité de commande électronique effectue un test automatique pour contrôler la tension d’alimentation. Fonctionnement de la pompe à vide sans contrôleur 1. Établissez l’alimentation en courant. 2. Faites fonctionner la pompe à vide avec les boutons veille et marche/arrêt. Fonctionnement de la pompe à vide avec le contrôleur externe 1. Raccordez une commande à distance via la prise Sub D « Remote » à 15 broches. 2. Contrôlez la pompe à vide à l’aide du niveau API « PLC level ». Fonctionnement de la pompe à vide avec un appareil périphérique 1. Observez le manuel de l’utilisateur fourni avec l’appareil périphérique. 2. Raccordez l’appareil périphérique correspondant sur la prise Sub D « Remote » à 15 broches. 3. Effectuer les réglages souhaités par l’interface RS-485 à l’aide de l’appareil périphérique. 8.5 Modes de vitesse La pompe à vide a 6 modes de vitesse différents. 47/88 Utilisation ● Modes généraux de vitesse ─ Fonctionnement normal ─ Mode veille ─ Mode de réglage de la vitesse de rotation ● Modes automatiques de vitesse ─ Charge de gaz automatique ─ Veille automatique ─ Régulation de la pression La régulation de la pression est prioritaire Lorsque la régulation de la pression est activée, tous les autres modes de vitesse sont inactifs. Le stand-by est prioritaire par rapport au mode de réglage de la vitesse de rotation, la charge de gaz automatique et le fonctionnement normal. Les modes automatiques de vitesse sont seulement possibles en combinaison avec le capteur de pression raccordé. La charge de gaz automatique et le stand-by automatique peuvent être combinés. Common Speed Mode [P:020] 0 [P:026] [P:002] 0 0 0 0 1 [P:006] Nominal speed 0 n = [P:315] 8.5.1 [P:011] 0 1 0 1 0 1 Gauge needed auto boost no yes auto standby yes auto standby + boost yes standard Standby speed 1 no n = [P:717] Set speed n = [P:707] 0 1 0 1 0 1 Pressure control 1 Fig. 15: Auto Speed Options n = f [P:730] n = 40% [P:707] auto boost no yes auto standby yes auto standby + boost yes standard yes Modes de vitesse Fonctionnement normal La pompe à vide démarre et fonctionne à la vitesse de rotation nominale. Réglage des paramètres associés 1. Réglez le paramètre [P:002] sur « 0 ». 2. Réglez le paramètre [P:026] sur « 0 ». 3. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:308] ou [P:397]). 8.5.2 Mode veille Pfeiffer Vacuum recommande de passer en mode veille pendant les arrêts de production et de procédé. Lorsque le mode veille est actif, l’unité de commande électronique réduit la vitesse de rotation de la pompe à vide. Le réglage-usine est 50 % de la vitesse de rotation nominale. Le mode veille est prioritaire par rapport au mode de réglage de la vitesse de rotation. Activation du mode veille ► Appuyez sur le bouton . Alternative : Fonctionnement stand-by en utilisant des paramètres ► Réglez le paramètre [P:002] sur « 1 ». Alternative : Fonctionnement stand-by via l’interface « Remote » ► Pontez les broches 7 et 6 pour l’entrée numérique veille. 48/88 Utilisation Réglage de la vitesse de rotation en mode stand-by La pompe à vide peut fonctionner entre 40 et 100 % de la vitesse de rotation nominale. 1. Réglez le paramètre [P:717] à la valeur requise en %. 2. Réglez le paramètre [P:002] sur « 1 ». 3. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:308] ou [P:397]). 8.5.3 Fonctionnement avec l’actionneur de vitesse Le mode de réglage de la vitesse de rotation réduit la vitesse et par conséquent le débit de la pompe à vide. Le débit de pompage varie proportionnellement à la vitesse de rotation. Le stand-by est prioritaire par rapport au mode de réglage de la vitesse de rotation. La spécification dans le mode de réglage de la vitesse de rotation [P:707] définit la vitesse de rotation. Le point de commutation de la vitesse de rotation varie avec le régime nominal. Gamme de vitesses de rotation admissible Les réglages dans le mode de vitesse de rotation ou dans le stand-by sont soumis à la gamme de vitesses de rotation autorisées de la pompe à vide correspondante (fiche technique). L’unité de commande électronique ajuste automatiquement le régime nominal sur la prochaine valeur valide. Régler le mode de réglage de la vitesse de rotation 1. Régler le paramètre [P:707] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:026] sur « 1 ». 3. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]). 8.5.4 Charge de gaz automatique Option : Capteur de pression ● Cette fonction est seulement disponible dans la version avec capteur de pression. ● Le pompage d’atmosphères explosives lors de l’utilisation du capteur de pression est interdit, car le capteur n’est pas approuvé ATEX. Lorsqu’un réglage de valeur seuil est dépassé vers le haut, la pompe à vide fonctionne pendant 30 s max. à 120 % du régime nominal actuel et la DEL verte s’allume par intermittence. Le mode charge de gaz est ensuite désactivé par le logiciel pendant 5 minutes (temps de recouvrement). Réglage des paramètres associés 1. Réglez le paramètre [P:011] sur « 1 ». 2. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:308] ou [P:397]). 3. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:309] ou [P:398]). 8.5.5 Veille automatique Option : Capteur de pression ● Cette fonction est seulement disponible dans la version avec capteur de pression. ● Le pompage d’atmosphères explosives lors de l’utilisation du capteur de pression est interdit, car le capteur n’est pas approuvé ATEX. Lorsqu’une pression d’entrée spécifique n’est pas atteinte [P:730], l’unité de commande électronique réduit automatiquement la vitesse de rotation. Lorsque la pression d’entrée est dépassée [P:732], l’unité de commande électronique augmente la vitesse de rotation pour atteindre à nouveau la valeur d’origine. Si la priorité opérationnelle est 1 = « Remote », la veille automatique ne peut pas être exécutée et l’avertissement Wrn037 s’affiche. Réglage des paramètres associés 1. Réglez le paramètre [P:002] sur « 0 ». 2. Réglez le paramètre [P:006] sur « 1 ». 3. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:308] ou [P:397]). 49/88 Utilisation Réglage de la vitesse de rotation en stand-by automatique 1. Réglez le paramètre [P:717] à la valeur requise en %. 2. Réglez le seuil d'activation avec le paramètre [P:730]. 3. Réglez le seuil de désactivation avec le paramètre [P:732]. 4. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:308] ou [P:397]). Fonctionnement avec la veille automatique ► Appuyez sur le bouton – – pendant plus de 5 secondes. Cela va modifier le paramètre [P:006]. Pour confirmer la commande, la DEL jaune clignote pendant 1 seconde après que le bouton ait été relâché. ● Paramètre [P:002] = 1 : Vous appuyez sur le bouton pendant 5 s et désactivez la veille automatique. [P:006] = 0. La présélection de la veille reste activée. ● Paramètre [P:002] = 0 : Vous appuyez sur le bouton pendant 5 s et désactivez la veille automatique. [P:006] = 1. La présélection de la veille reste désactivée. 8.5.6 Auto start La fonction de démarrage automatique peut être activée seulement lorsque la pompe à vide est stationnaire ([P:010] = 0). La fonction de démarrage automatique peut être désactivée seulement lorsque la pompe à vide est stationaire ([P:010] = 1). Activation du démarrage automatique 1. Coupez la pompe à vide et attendez qu’elle se soit arrêtée. 2. Appuyez sur le bouton pendant plus de 5 s pour activer le démarrage automatique. – [P:034] = 1 – La LED jaune clignote pendant env. 1 s après avoir relâché le bouton. Dans l’hypothèse d'un rétablissement du courant suite à une panne de courant, la pompe à vide rétablit l'état de fonctionnement qui était en cours au moment de la panne de courant. Désactivation du démarrage automatique ► Appuyez sur le bouton – – pendant plus de 5 s pour désactiver le démarrage automatique. [P:034] = 0 La LED jaune clignote pendant env. 1 s après avoir relâché le bouton. En cas d’un rétablissement du courant suite à une panne de courant, la pompe à vide reste désactivée. 8.6 Fonctionnement avec régulation de la pression Option : Capteur de pression ● Cette fonction est seulement disponible dans la version avec capteur de pression. ● Le pompage d’atmosphères explosives lors de l’utilisation du capteur de pression est interdit, car le capteur n’est pas approuvé ATEX. Le fonctionnement avec régulation de la pression n’est possible que si le capteur de pression est raccordé. Le capteur de pression mesure la pression d’entrée. L’unité de commande électronique varie la vitesse de rotation de la pompe à vide pour ajuster la pression cible. Si la pression cible ne peut pas être atteinte dans les conditions spécifiées (p. ex. par l’intermédiaire d’un débit de gaz plus élevé), l’avertissement Wrn038 s’affiche. Le fonctionnement avec régulation de la pression est efficace dans le domaine entre la pression finale et 30 hPa. Réglage des paramètres associés 1. Réglez le paramètre [P:020] sur « 1 ». 2. Ajustez la pression cible avec le paramètre [P:730]. 50/88 Utilisation 8.7 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction Mélanges de gaz et de vapeurs Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole. Le signal de mesure du capteur de pression dépend du type de gaz dans la gamme Pirani. Le facteur de correction pré-réglé = 1 s’applique à l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO). Type de gaz Facteur de correction (C) Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2) 1,0 Hydrogène (H2) 0,5 Dioxyde de carbone (CO2) 0,9 Vapeur d’eau 0,5 Hélium (He) 0,8 Néon (Ne) 1,4 Argon (Ar) 1,7 Krypton (Kr) 2,4 Xénon (Xe) 3,0 Dichlorodifluorométhane (CCl2F2, R12) 0,7 Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes. Tab. 16: Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa 51/88 Utilisation p [hPa] 102 H2 8 6 He Ne Air O2 CO N2 4 2 CO2 101 Ar 8 6 Freon 12 Kr 4 2 Xe 100 8 6 4 2 10–1 8 6 4 2 Water vapor 10–2 8 6 4 2 10–3 10–3 2 4 6 10–2 2 4 6 10–1 2 4 6 100 2 4 6 101 2 4 6 102 peff [hPa] Fig. 16: Pression affichée Dans le domaine de pression < 1 hPa, l’affichage est linéaire. Réglage du facteur de correction sur l’unité de commande électronique ► Utilisez [P:742] pour entrer le facteur de correction et la valeur mesurée affichée correcte. Alternativement : Calcul de la pression de gaz autres que l’air 1. Réglez le facteur de correction dans l’unité de commande électronique sur 1 2. Calculez la pression efficace avec la formule suivante : Peff = C × p ● Peff = Pression efficace ● C = facteur de correction du gaz à mesurer ● p = pression affichée (jauge ajustée pour l’air) 8.8 Fonctionnement avec lest d’air AVERTISSEMENT Risque de blessures lié aux mélanges d'air et de gaz réactifs, potentiellement explosifs ou dangereux L'entrée incontrôlée d'air ou de gaz contenant de l'oxygène peut entraîner la formation d'un mélange potentiellement explosif de gaz et d'air dans le système de vide. L’inflammation peut causer de très graves blessures. ► Utilisez des gaz inertes seulement pour l'alimentation du lest d'air afin d’empêcher la formation d’une atmosphère potentiellement explosive. ► Assurez-vous que le système de gaz inerte est fermé pour éviter que le gaz de processus entre dans la ligne de gaz inerte. 52/88 Utilisation AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement en cas d'utilisation incorrecte du système de lest d'air Le système de lest d'air de la pompe Scroll est étanche au vide seulement lorsqu’il est utilisé dans les positions valides « 0 », « 1 » et « 2 ». Lors du fonctionnement des soupapes dans des étages intermédiaires, il existe un risque de fuite incontrôlée de la substance de procédé dans l’atmosphère ambiante. En cas d’utilisation du substance de procédé toxique, il existe un risque d’empoisonnement. ► Modifiez les positions de la soupape seulement pour le réglage des étages de lest d’air. ► La soupape de lest d'air ne doit être mise en fonction que dans les positions om l’interrupteur s’enclenche. AVIS Risque de dommages dus à la condensation dans la pompe à vide Lorsque la pression de vapeur saturante de la substance de procédé dépasse la valeur maximale admissible pendant la phase de compression, la condensation se forme dans la chambre d’aspiration. Il en résulte une augmentation de la pression ultime pouvant être atteinte et une détérioration générale des données de performance de la pompe à vide. Corrosion et contamination ont un effet négatif sur la durée de vie. ► Utilisez le lest d’air. ► Alimentez avec de l’air sec ambiant ou du gaz inerte pour augmenter la capacité fournie de vapeur de la substance de procédé. ► Pompez les gaz condensables uniquement lorsque la pompe à vide est à température de fonctionnement et la soupape à lest d’air ouverte. ► Faites fonctionner la pompe à vide avec le lest d’air pendant 30 minutes supplémentaires après la fin du procédé pour dissiper l’humidité résiduelle. Débit de gaz Le débit de gaz augmente en fonction de la pression d’admission. En fonction de la version de la pompe, la pompe à vide a une soupape de lest d’air à deux étages à commande mécanique pour le contrôle de l’alimentation de gaz inerte dans la chambre d’aspiration. Conditions préalables ● La pompe à vide est chaude ● Une alimentation de gaz externe est raccordée ● La zone d’entrée de la soupape de lest d’air est rincée avec du gaz inerte dans la version ATEX Fonctionnement avec lest d’air 1. Si nécessaire, raccordez l’appareil de fermeture existant sur le côté vide. 2. Tournez le commutateur de la soupape de lest d’air sur la position désirée. – Laissez le commutateur s’enclencher complètement en position. 3. En cas d’utilisation d’une alimentation de gaz externe, ouvrez l’alimentation. – Respectez la pression d’entrée admissible. 53/88 Utilisation S- ST GA LA L BA GASBALLAST Position « 0 » : ● réglage de l’interrupteur pour une substance sans condensation ● La soupape de lest d’air est fermée ● Pas de flux de gaz dans la chambre d’aspiration S- ST GA LA L BA Tab. 17: 8.8.1 Position « 1 » : ● réglage de l’interrupteur pour une condensation faible à moyenne ● La soupape de lest d’air est ouverte ● Le flux de gaz dépend du type Position « 2 » : ● réglage de l’interrupteur pour une condensation sévère ● La soupape de lest d’air est ouverte ● Le flux de gaz dépend du type Réglages du commutateur de soupape de lest d’air HiScroll Contrôle de la soupape de lest d’air avec un capteur de pression Commande automatique de la vanne La vanne magnétique est automatiquement ouverte selon le paramétrage et l’état de fonctionnement correspondant. ● Observez les paramètres de réglage initial avant la mise en service. RS-485 [P030] valve mode RS-485 [P052] GB valve RS-485 [P740]/[P750] pressure value RS-485 [P010] HiScroll on/off valve control 0 [disabled] always closed p 1 [enabled] 0 [auto] [valid] 1 [on] [P:731] always open closed GB t [P:721] 1 [closed] 2 [open] Fig. 17: always closed 1 [on] always open Soupape de lest d’air à commande de pression en mode automatique Procédé ► Utilisez le paramètre [P:721] pour régler l’intervalle d’ouverture désiré pour la soupape de lest d’air. ► Utilisez le paramètre [P:731] pour régler la valeur seuil de commutation pour la soupape de lest d’air. 54/88 Utilisation Séquence en mode automatique pour la version avec capteur de pression ● La soupape de lest d’air s’ouvre à chaque démarrage de la pompe. Si la valeur de la pression tombe en dessous de la valeur seuil de commutation sélectionnée, la vanne magnétique se ferme après la durée réglée dans [P:721]. ● Si la valeur de la pression reste inférieure à la valeur seuil de commutation réglée, alors la soupape de lest d’air reste fermée en permanence. ● Si la pression augmente et atteint la valeur seuil de commutation, alors la soupape de lest d’air s’ouvre sans retard. 8.8.2 Contrôle de la soupape de lest d’air sans un capteur de pression Commande automatique de la vanne La vanne magnétique est automatiquement ouverte selon le paramétrage et l’état de fonctionnement correspondant. ● Observez les paramètres de réglage initial avant la mise en service. RS-485 [P052] GB valve RS-485 [P030] valve mode 0 [disabled] RS-485 [P740]/[P750] pressure value RS-485 [P010] HiScroll on/off valve control always closed [P:721] 1 [enabled] 0 [auto] [invalid] 1 [on] open closed 15 min 1 [closed] 2 [open] Fig. 18: always closed 1 [on] always open Commande de soupape de lest d’air en mode automatique Procédé ► Réglez l’intervalle d’ouverture désiré de la soupape de lest d’air avec [P:721]. Séquence en mode automatique pour la version sans capteur de pression ● La soupape de lest d’air s’ouvre automatiquement pour une durée de 15 minutes en plus de la durée réglée dans [P:721] à chaque fois que la pompe démarre. ● La soupape de lest d’air s’ouvre ensuite toutes les 15 minutes pour la durée réglée dans [P:721]. 8.9 Affichage LED du mode de fonctionnement Les LED sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’avertissement ne sont possibles que pour le fonctionnement avec l’appareil de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum ou un PC. 55/88 Utilisation LED Symbole Verte Jaune Rouge Tab. 18: LED Affichage Signification Désactivée sans courant Allumée, clignotante « Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min Allumée, clignotement « Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation > 60 tr/min Allumée, clignotement inverse « Groupe de pompage MARCHE », régime nominal non atteint Allumée, en continu « Groupe de pompage MARCHE », régime nominal atteint Veille activée Allumée, clignote inversement deux fois Vitesse sélectionnée temporairement écrasée par un mode de vitesse automatique Désactivée pas d’avertissement Allumée, clignotement de courte durée Remarque7) Allumée, en continu Avertissement Allumée, illumination 1 s Confirmation, acceptation de la commande Désactivée Pas d’erreur Allumée, en continu Erreur Réaction et signification des DEL de l’unité de commande électronique Symbole Verte Tab. 19: 8.10 État LED État DEL Affichage Signification Éteinte Veille désactivée Allumée, en continu Veille activée Allumée, clignote inversement deux fois Veille automatique active Réaction et signification de la LED de veille Désactivation de la pompe à vide Le paramètre « groupe de pompage » [P:010] comprend le fonctionnement de la pompe à vide avec la commande de toutes les interfaces et configurations connectés. Procédure 1. Désactivez la pompe à vide en appuyant une fois sur le bouton 2. Mettez hors circuit l’alimentation de tension. Alternative : Désactivation via les paramètres ► Réglez le paramètre [P:010] sur « 0 ». Alternative : désactiver via l’interface « Remote » ► Retirez le pontage entre les broches 7 et 5. 7) 56/88 Contrôlez régulièrement les données de performance de la pompe à vide. . Maintenance 9 Maintenance 9.1 Informations sur la maintenance AVERTISSEMENT Risque de blessures lié aux mélanges d’air et de gaz réactifs, potentiellement explosifs ou dangereux pendant la maintenance Une fuite incontrôlée de gaz de procédé peut entraîner la formation de mélanges d’air et de gaz explosifs après l’ouverture de la pompe à vide. L’allumage peut causer de très graves blessures. ► Vérifiez que la chambre d’aspiration est suffisamment inerte quand vous commencez le travail de maintenance. ► Assurez-vous que le système de gaz inerte est fermé afin d’éviter un entraînement de zone résultant de la fuite de gaz de procédé. AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension, même après la coupure de la pompe à vide. ► Débranchez prudemment la pompe à vide du secteur. ► Attendez que la pompe à vide soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0). ► Après la coupure de la pompe à vide, attendez 5 minutes encore jusqu’à ce que les condensateurs soient déchargés. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque d’écrasement et de coupure lié aux pièces non protégées en cas de démarrage prévisible pendant la maintenance. Pendant les activités sur les composants mécaniques non protégés, il existe un risque d'écrasement ou de blessure par coupure en cas de démarrage soudain. ► Mettez la pompe à vide hors circuit avant tout travail de maintenance. ► Mettez à l'air la pompe à vide à la pression atmosphérique. ► Déconnectez en toute sécurité la pompe à vide du secteur. ► Sécurisez la pompe à vide contre tout risque de redémarrage. ► Déconnectez le câble d'alimentation de la pompe à vide. AVIS Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité. ► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance. ► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique. 57/88 Maintenance Travail général de nettoyage et de maintenance ● Nettoyez la grille de ventilation ● Nettoyez l’extérieur de la pompe à vide 9.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien Périodicité de maintenance et durées utiles La périodicité de maintenance et les durées utiles dépendent du processus. Les valeurs indicatives recommandées sont réduites en cas de contamination ou de charges chimiques et thermiques. ● Déterminer les durées utiles pendant le premier intervalle de fonctionnement. ● Consultez Pfeiffer Vacuum Service si vous souhaitez réduire la périodicité de maintenance. La DEL jaune clignote : Contrôle des données de performance Lorsque la DEL jaune clignote, cela indique qu’une maintenance peut être nécessaire. L’usure et la durée de vie des joints d’extrémité dépendent fondamentalement de l’application. La HiScroll reste totalement opérationnelle, même si les joints d’extrémité sont fortement usés. Si la capacité de pompage n’est plus adéquate, nous recommandons d’effectuer une maintenance de niveau 1. ● Observez régulièrement les données de performance de la pompe Scroll. ● Pour remettre à zéro le message, appuyez simultanément sur et pendant 5 s Après leur remplacement, les joints d’extrémité doivent être rodés pendant un certain temps. Faites fonctionner la pompe Scroll sans charge pendant un moment pour restaurer les données de performance. Niveau de maintenance Nous recommandons que Pfeiffer Vacuum Service (PV) effectue les opérations de maintenance de niveau 3. Pfeiffer Vacuum annule la garantie et décline toute responsabilité si la maintenance n’est pas effectuée correctement. Cela concerne également les pièces autres que les pièces de rechange d’origine. Vous pouvez effectuer vous-même les opérations de maintenance de niveau 1. 58/88 Maintenance Action Inspection Maintenance niveau 1 Maintenance niveau 3 décrit dans OI OI SI Intervalle tous les jours si nécessaire 5 ans ou 40 000 heures de fonctionnement Inspection ● Contrôle visuel et acoustique ● Contrôle de la performance de la pompe à vide ● Vérification de l’équipement à la recherche d'abrasion, de décoloration ou d'autres anomalies ● Création d’un plan d'action ■ Maintenance niveau 1 ● Remplacement du joint d’extrémité ● Remplacement de vannes ■ Lot de maintenance de joint d’extrémité Mécanisme de vanne Maintenance niveau 3 ● Remplacement de toutes les pièces d'usure ● Nettoyage complet Tab. 20: 9.3 Équipement nécessaire ■ (PV) Ensemble de maintenance de niveau 3 Intervalles de maintenance Remplacement de la vanne de retenue côté échappement Conditions préalables ● Pompe à vide à l’arrêt ● La pompe à vide est mise à l’air, à la pression atmosphérique sur son côté aspiration ● Pompe à vide refroidie Outils nécessaires ● Clé à ergots, diamètre des broches 3 mm, référence de l’article : PV D40 012 ● Clé plate, WAF 13 ● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 2,5) 9.3.1 Retrait de la vanne de retenue 1 2 3 Fig. 19: 4 5 Retrait de la vanne 1 Corps spiralé 2 Joint torique 3 Plaque de vanne 4 5 Ressort de compression Guide de vanne 59/88 Maintenance Retrait de la vanne 1. Utilisez la clé à ergots pour dévisser le guide de vanne avec ressort de compression et la plaque de vanne du corps spiralé. 2. Retirez le joint torique du trou dans le corps spiralé. 3. Dévissez la plaque de base du ressort de compression. 4. Nettoyez le siège de vanne et le guide de vanne. 5. Remplacez toutes les pièces d’usure conformément au kit de pièces de rechange. 9.3.2 Installation de la vanne de retenue 1 2 3 4 5 Fig. 20: Installation de la vanne 1 Corps spiralé 2 Joint torique 3 Plaque de vanne 4 5 Ressort de compression Guide de vanne Installation de la vanne 1. Insérez le joint torique dans la rainure désignée dans le corps spiralé. 2. Tournez le ressort de compression sur la plaque de vanne pour l’ouvrir. – Le guide de vanne centre et fixe le ressort de compression. 3. Placez la plaque de vanne sur le guide de vanne. 4. Insérez la vanne dans le corps spiralé. 5. Assurez-vous que le joint torique et la vanne sont correctement positionnés. 6. Vissez la vanne dans le corps spiralé en utilisant la clé à ergots. – Couple de serrage : 5 Nm 9.4 Remplacement de la soupape de lest d’air Conditions préalables ● ● ● ● ● Pompe à vide mise hors service Système à vide ventilé à la pression atmosphérique Alimentation électrique débranchée Câble secteur débranché Entrée de vide étanche au vide avec le cache de protection d'origine Outils nécessaires ● Tournevis à encoche ● Clé hexagonale, WAF 2,5 ● Clé dynamométrique hexagonale, WAF 2,5 9.4.1 Retrait de la soupape de lest d’air Outils nécessaires ● Tournevis à encoche ● Clé hexagonale, WAF 2,5 ● Récolteur de joint torique 60/88 Maintenance 3 2 1 4 5 6 Fig. 21: Retrait de la soupape de lest d’air 1 Joint torique, 3x 2 Soupape de lest d’air 3 Vis spéciale 4 5 6 Couvercle Filtre fritté Corps spiralé Dépose de la soupape de lest d’air 1. Soulevez le couvercle de la soupape de lest d'air à l’aide d’un tournevis. 2. Dévissez la vis spéciale de la plaque de base. 3. Retirez la partie de la soupape de la soupape de lest d’air du corps spiralé. 4. Remplacez les joints toriques entre la soupape de lest d'air et le corps spiralé. 1 2 3 4 5 6 7 Fig. 22: 1 2 3 4 Retrait de la soupape de lest d’air Vis à tête cylindrique, 3x Poignée de lest d’air Plaque de vanne Poids 5 6 7 Ressort de compression Joint torique Plaque de base Retrait de la soupape de lest d’air 1. Dévissez les vis à tête cylindrique de la poignée de lest d’air. 2. Retirez la poignée de lest d’air de la plaque de base. 3. Retirez le ressort de compression avec plaque de base de la poignée de lest d’air. 4. Dévissez la plaque de base du ressort de compression. 5. Sortez le poids de la plaque de vanne. – Conservez le poids pour charger la plaque de vanne pour l’installation. 6. Remplacez le joint torique entre la poignée de lest d'air et la plaque de base. 61/88 Maintenance 9.4.2 Installation de la soupape de lest d’air 1 2 5 6 3 4 7 Fig. 23: 1 2 3 4 Montage de la soupape de lest d’air Vis à tête cylindrique, 3x Poignée de lest d’air Plaque de vanne Poids 5 6 7 Ressort de compression Joint torique Plaque de base Montage de la soupape de lest d’air 1. Tournez le ressort de compression sur la plaque de vanne pour l’ouvrir. 2. Insérez le joint torique dans la rainure désignée dans la plaque de base. 3. Insérez la plaque de vanne avec ressort de compression et poids dans la plaque de base. 4. Placez la poignée de lest d’air sur la plaque de vanne. 5. Vissez les vis à tête cylindrique dans la poignée de lest d’air. – Couple de serrage : 1 Nm 3 2 1 4 5 7 Fig. 24: 1 2 3 4 6 Installation de la soupape de lest d’air Joint torique, 3x Soupape de lest d’air Vis spéciale Couvercle 5 6 7 Filtre fritté Bille Corps spiralé Installation de la soupape de lest d’air 1. Insérez les joints toriques dans les rainures désignées dans le corps spiralé. 2. Placez la soupape de lest d'air sur le corps spiralé tout en veillant à ce que la bille repose dans la rainure du corps spiralé. 3. Vissez la vis spéciale dans la soupape de lest d’air. – Couple de serrage : 2,5 Nm 62/88 Maintenance 4. Contrôlez le fonctionnement de la soupape de lest d'air en la tournant dans toutes les positions. 5. Enfoncez le couvercle dans la soupape de lest d’air. 9.5 Remplacement du joint d’extrémité Conditions préalables ● ● ● ● ● 9.5.1 Pompe à vide à l’arrêt Système de vide mis à l’air à la pression atmosphérique Alimentation électrique débranchée Câble secteur débranché Entrée de vide étanche au vide avec le cache de protection d'origine Démontage du corps spiralé Outils nécessaires ● Clé hexagonale, WAF 5 Consommables requis ● Gants de laboratoire 1 2 3 4 5 6 Fig. 25: Desserrage du capot de ventilateur sur la pompe Scroll 1 Soupape de lest d’air 2 Capot de ventilateur 3 Disque de freinage 4 5 6 Vis à six pans creux intérieurs Raccord d’échappement sans obturateur de protection Raccordement des accessoires Desserrage du capot de ventilateur 1. Débranchez tous les connecteurs d’alimentation électrique des raccordements d’accessoires (p. ex. capteur de pression). 2. Dévissez les 2 vis à six pans creux intérieurs avec les disques de freinage du capot de ventilateur. 3. Enlevez le capuchon de protection du raccord d’échappement. 63/88 Maintenance 1 2 4 Fig. 26: 3 Dépose du capot de ventilateur sur la pompe Scroll 1 Capot de ventilateur 2 Unité de commande électronique 3 4 Connecteur pour le refroidissement par air Câble de ventilateur Dépose du capot de ventilateur 1. Tirez légèrement en avant la partie inférieure du capot de ventilateur. 2. Défaites le connecteur du câble de ventilateur sur l’unité de commande électronique. – Attention au circlip. 3. Soulevez le capot de ventilateur au-dessus de la soupape de lest d'air et du raccord d'échappement. 4. Scellez le raccord d'échappement avec le couvercle protecteur d’origine. 3 5 4 6 2 1 7 Fig. 27: 1 2 3 4 Dépose du corps spiralé de la pompe Scroll Vis à six pans creux (5×) Disques de freinage (5×) Corps spiralé Trou auxiliaire supérieur 5 6 7 Corps de pompe Vis à six pans creux intérieur comme trou auxiliaire Trou auxiliaire inférieur Dépose du corps spiralé 1. Dévissez les 5 vis à six pans creux intérieurs du corps spiralé. – Attention aux disques de freinage. 2. Vissez alternativement et uniformément les 2 vis à six pans creux intérieurs dans les trous auxiliaires inférieurs et supérieurs. 3. En poussant, retirez le corps spiralé du corps de pompe et vérifiez qu’il n’est pas incliné. 4. Dévissez les vis auxiliaires du corps spiralé. 9.5.2 Remplacement du joint d’extrémité Outils nécessaires ● Récolteur de joint torique ● Cutter latéral 64/88 Maintenance Produits consommables requis ● ● ● ● Gants de laboratoire Chiffon propre, non pelucheux Isopropanol Lot de pièces de rechange 1 1 4 2 3 5 6 Fig. 28: Remplacement du joint d’extrémité sur la pompe Scroll 1 Joint d’extrémité 2 Orbiteur 3 Corps de pompe 4 5 6 Joint d’extrémité Joint torique Corps spiralé Dépose du joint d’extrémité 1. Placez le corps de pompe en position verticale. 2. Utilisez le récolteur de joint torique et retirez le joint torique du corps spiralé. 3. Utilisez le récolteur de joint torique et retirez le joint d’extrémité de l’orbiteur. 4. Utilisez le récolteur de joint torique et retirez le joint d’extrémité du corps spiralé. 5. Avec un chiffon propre et sans fusel et un peut d’isopropanol, nettoyez la surface de travail de l’orbiteur et le corps spiralé ainsi que la gorge spiralée sur les deux côtés. 6. Nettoyez l’anneau de refroidissement sur le corps spiralé pour éliminer toute contamination pouvant affecter la performance de refroidissement. 1 2 3 4 Fig. 29: Écrou de joint d’extrémité dans le corps spiralé 1 Marque de coupe 2 Gorge spiralée 3 4 Point de serrage Début de la spirale 65/88 Maintenance Insertion du joint d’extrémité Les étapes décrites s'appliquent également au corps spiralé et à l’orbiteur dans le corps de pompe. 1. Enfoncez un nouveau joint d’extrémité, en débutant de l’intérieur, dans la gorge spiralée. – Grâce aux points de serrage dans la gorge, placez le joint d’extrémité. 2. Avec le cutter, coupez avec précaution le joint d’extrémité sur la marque de coupe externe. 3. Pour faciliter l’assemblage du joint torique, appliquez un peu d’isopropanol sur la gorge du corps spiralé. 4. Insérez avec précaution le joint torique dans le corps spiralé. 9.5.3 Assemblage du corps de pompe Outils nécessaires ● Clé hexagonale, WAF 5 ● Clé dynamométrique calibrée Consommables requis ● Gants de laboratoire ● Isopropanol 4 5 3 6 2 7 1 8,9 10 11 Fig. 30: Assemblage des éléments du corps 1 Goupille de guidage 2 Raccord d’échappement sans obturateur de protection 3 Trou de guidage 4 Corps spiralé 7 8 Soupape de lest d’air Vis à six pans creux intérieurs 9 10 5 Capot de ventilateur 6 Câble de ventilateur 11 Disque de freinage Connecteur pour le refroidissement par air Corps de pompe Assemblage du corps spiralé 1. Enlevez le capuchon de protection du raccord d’échappement. 2. Pour faciliter l’assemblage du joint torique, appliquez un peu d’isopropanol sur le joint torique dans le corps spiralé. 3. Montez le corps spiralé avec le trou de guidage exactement sur la goupille de guidage du corps de pompe. – Vérifiez que les joints d’extrémité restent dans les gorges. 4. Avec les vis à six pans creux intérieurs (5×) et les disques de freinage, vissez le corps spiralé sur le corps de pompe. 5. Serrez alternativement en croix et uniformément les vis. – Couple de serrage : 5 Nm 66/88 Maintenance Assemblage du capot de ventilateur 1. Fixez le câble de ventilateur dans la gorge du capot de ventilateur. 2. Placez le capot de ventilateur sur la soupape de lest d'air et le raccord d'échappement sur le corps spiralé en vérifiant qu’il n’est pas incliné. – Faites attention au câblage existant et à la goupille d'écartement dans le capot de ventilateur. 3. Connectez le câble de ventilateur au connecteur de l’unité de commande électronique. 4. Avec les deux vis à six pans creux intérieurs et les disques de freinage, sécurisez le corps du ventilateur. – Couple de serrage : 3,5 Nm 5. En option : fixez une prise bouchon existante sur la connexion « Remote » de l’unité de commande électronique. – Couple de serrage : 0,4 Nm 9.6 Inspection finale Condition préalable ● Travaux de maintenance réalisés à l’ouverture du boîtier Réalisation de l’inspection finale ► Exécutez un test de fonctionnement. ► Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement. Contrôle final recommandé ► Réalisez un test d'étanchéité. 67/88 Mise hors service 10 Mise hors service 10.1 Mise hors service pendant une période prolongée AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Procédure pour les arrêts prolongés de la pompe à vide 1. Mettez la pompe à vide hors tension. 2. Ventilez la pompe à vide. 3. Laissez la pompe à vide refroidir. 4. Fermez le raccord à vide. 5. Mettez à l’air la pompe à vide via le raccord d'échappement. 6. Mettez à l’air l’intérieur de la pompe à p < 1 hPa. 7. Ventilez la pompe à l’air avec de l’air exempt d'huile et sec ou du gaz inerte. 8. Tous les raccordement doivent être rendus étanches avec les obturateurs de protection d'origine. 9. Stockez la pompe à vide dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées. 10. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez la pompe à vide et un produit dessiccant dans un sac en plastique hermétique. 11. Ne stockez pas la pompe à vide à côté de machines, de voies de trafic, etc., car de fortes vibrations peuvent endommager le palier. 10.2 Remise en service Contrôle de l'état ► Contrôlez la pompe à vide à la recherche de dommages visibles. ► Contrôlez la pompe à vide à la recherche de contamination et d’humidité. ► Mettez la pompe à vide en marche seulement si celle-ci est dans un état correct. ► Si nécessaire, consultez le service après-vente Pfeiffer Vacuum Procédure de remise en service de la pompe à vide 1. Nettoyez l’extérieur de la pompe à vide avec un chiffon non pelucheux et un peu d’isopropanol. 2. Si nécessaire, demandez au service après-vente Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe à vide. 3. Observez le nombre total d’heures de fonctionnement de la pompe à vide et si nécessaire, utilisez l'assistance du service après-vente Pfeiffer Vacuum. 4. Installez la pompe à vide conformément aux instructions suivantes (voir chapitre « Installation », page 29). 5. Remettez en service la pompe à vide conformément aux instructions (voir chapitre « Utilisation », page 45). 68/88 Recyclage et mise au rebut 11 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 11.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 11.2 Mise au rebut de la pompe Scroll Les pompes Scroll Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux à recycler. 1. Déconnectez l’unité de commande électronique. 2. Démantelez le moteur. 3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 4. Séparez les composants en matériaux recyclables. 5. Recyclez les composants non contaminés. 6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 69/88 Dysfonctionnements 12 Dysfonctionnements 12.1 Généralités AVERTISSEMENT Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. Tout anomalie de la pompe à vide et de l’unité de commande électronique entraîne systématiquement un message d’avertissement ou d’erreur. Dans les deux cas, un code d’erreur est émis, ce dernier peut être lu via les interfaces de l’unité de commande électronique. De manière générale, la DEL sur l’unité de commande électronique affiche les messages de fonctionnement. En cas d’erreur, la pompe à vide et les appareils raccordés sont mis hors circuit. Problème Causes possibles Action corrective La pompe à vide à ne démarre pas ; aucune des DEL intégrées sur l’unité d’entraînement électronique ne s’allume ● L’alimentation électrique a été coupée ● Vérifiez les lignes d’alimentation électrique. ● Tension de fonctionnement incorrecte ● Alimentez avec la tension de fonctionnement correcte. ● Unité de commande électronique défectueuse ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● La pompe à vide a une fuite 1. Repérez les fuites. 2. Vérifiez les joints et les raccords de bride. 3. Éliminez les fuites. ● Débit de gaz trop élevé ● Réduisez la charge de gaz de procédé. ● Le rotor tourne avec des à-coups, le palier est défectueux 1. Contrôler la pompe à vide pour détecter tout bruit croissant 2. Contacter Pfeiffer Vacuum Service Charge thermique due à : ● défaut de ventilation ● température ambiante trop élevée 1. Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement. ─ Contrôlez l'état et le montage du câble de raccordement du ventilateur. 2. Réduisez la charge thermique. ─ Assurez une circulation d’air suffisante. ─ Adaptez les conditions ambiantes. ● La pompe à vide est contaminée 1. Contacter Pfeiffer Vacuum Service 2. Faites-la nettoyer. ● L’enceinte à vide, les tuyaux ou la pompe à vide fuient 1. Repérez les fuites en commençant par l’enceinte à vide. 2. Vérifiez les joints et les raccords de bride. 3. Éliminez les fuites dans le système de vide. ● Mesure de la pression incorrecte ou non calibrée ● Contrôlez les réglages de mesure de pression. ● Calibrer le capteur de pression intégré. ─ Utilisez un manomètre à vide pour la mesure de référence. ● Condensats dans la chambre d’aspiration 1. Vérifiez la substance de procédé. 2. Faites fonctionner la pompe Scroll avec le lest d’air. ● Remplacer le joint d’extrémité ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Remplacez le joint d’extrémité. ● Rodage insuffisant du joint d’extrémité (p. ex., après remplacement du joint d’extrémité) ● Utiliser la pompe à vide pendant un certain temps sans charge La pompe à vide n’atteint pas la vitesse de rotation nominale dans le temps d’accélération La pompe à vide n’atteint pas la pression ultime 70/88 Dysfonctionnements Bruits de fonctionnement inhabituels La LED rouge s’éclaire sur l’unité de commande électronique Tab. 21: 12.2 ● Le palier est endommagé ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Rotor endommagé ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Élément de spirale contaminé ou endommagé ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Erreur de groupe 1. Remettez à zéro en appuyant sur le bouton MARCHE/ARRÊT . 2. Réglez le paramètre [P: 010] via l’interface RS-485 sur 0 = Arrêt et ensuite sur 1 = Marche et validation anomalie. 3. Réinitialisez l’anomalie avec V+ sur la broche 13 sur la connexion « Remote ». 4. Réglez le paramètre [P: 009] via l’interface RS-485 sur 1 = Validation anomalie. 5. Réinitialisez l’anomalie en mettant l’alimentation en courant hors circuit et en circuit. 6. Exécutez l’analyse de dysfonctionnement différenciée avec un appareil de commande et d’affichage. 7. Contacter Pfeiffer Vacuum Service Dépannage des pompes Scroll Codes d’erreur Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours l’arrêt des appareils périphériques connectés. Les avertissements (* Warning F –––– *) sont uniquement affichés et n’entraînent pas de mise hors tension des composants. Traitement des messages d’anomalie 1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. 2. Éliminez la cause de l’anomalie. 3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009]. – Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d’écran sur les appareils de commande Pfeiffer Vacuum. Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Err001 Vitesse de rotation excessive – ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err002 Surtension ● Tension d’entrée de secteur incorrecte ● Vérifiez la tension d’entrée de secteur ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err006 Surcharge ● Charge trop élevée ● La vitesse de rotation ne peut pas être maintenue ● Réduisez la charge (la puissance peut être limitée à cause de la température supérieure à la normale) Err021 Pompe non reconnue ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err037 Décharge sortie puissance moteur ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err041 Décharge sortie puissance moteur ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err044 Température excessive, électronique ● Refroidissement insuffisant ● Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement. ● Contrôlez l'état et le montage du câble de raccordement du ventilateur. ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err045 Température excessive, moteur ● Refroidissement insuffisant ● Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement. ● Contrôlez l'état et le montage du câble de raccordement du ventilateur. ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement 71/88 Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Err093 Évaluation de la température du moteur défaillante – ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err094 Évaluation de la température de l’électronique défaillante Err098 Erreur de communication interne – ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err114 Évaluation de la température de l’étage final défaillante – ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err118 Température excessive, étage final Err175 Courant excessif du PFC ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err176 Erreur du programme Flash ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err825 Erreur de communication interne ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err913 Sens de rotation Tab. 22: ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Refroidissement insuffisant Sens de rotation incorrect ● Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement. ● Contrôlez l'état et le montage du câble de raccordement du ventilateur. ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Messages d’erreur de l’unité de commande électronique Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Wrn007 Sous-tension ou panne de courant ● Panne de secteur ● Vérifiez la tension d’entrée de secteur Wrn037 Veille automatique inactive ● Commande à distance ● Désactivez la priorité à distance Wrn038 Erreur de régulation de pression ● La pression cible ne peut pas être atteinte ● Augmentez ou diminuez la charge de gaz Wrn040 Remarque La maintenance de niveau 1 est recommandée ● Contrôlez régulièrement les données de performance de la pompe à vide ● Si nécessaire, effectuez la maintenance ● Pour remettre à zéro le message, appuyez simultanément sur et pendant 5 s Wrn042 Maintenance requise Faites effectuer la maintenance ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn044 Température élevée de l’électronique ● Refroidissement insuffisant ● Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement. ● Contrôlez l'état et le montage du câble de raccordement du ventilateur. ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn045 Température élevée du moteur ● Refroidissement insuffisant ● Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement. ● Contrôlez l'état et le montage du câble de raccordement du ventilateur. ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn118 Température supérieure à la normale de l’électronique de puissance ● Refroidissement insuffisant ● Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement. ● Contrôlez l'état et le montage du câble de raccordement du ventilateur. ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Tab. 23: 72/88 Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 13 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 73/88 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 74/88 Pièces de rechange 14 Pièces de rechange Respectez les consignes suivantes pour commander des pièces détachées : Commande de pièces de rechange ► Relevez les données sur la plaque signalétique produit. ► Conservez toujours à portée de main la référence de l’article de la pompe à vide ainsi que tous les détails nécessaires de la plaque signalétique. ► Installez uniquement des pièces détachées d’origine. 1 2 Fig. 31: HiScroll kit de maintenance 1 1 Joint d’extrémité 2 Joint torique Lot de pièces de rechange Kit de maintenance 1 – niveau de maintenance 1 Tab. 24: Référence HiScroll 6 HiScroll 12 | HiScroll 18 PD E10 000 -T PD E20 000 -T Lot de pièces de rechange 75/88 Pièces de rechange 1 5 2 3 4 Fig. 32: Mécanisme de vanne HiScroll 1 Plaque de vanne, 2× 2 Ressort de compression, 2× 3 Joint torique, 16 × 1,5 Lot de pièces de rechange 4 5 Joint torique, 19 × 2,5 Joint torique, 6 × 3 Référence HiScroll 6 | HiScroll 12 | HiScroll 18 Mécanisme de vanne Tab. 25: 76/88 Lot de pièces de rechange PD E13 000 -T ACCESSOIRES 15 ACCESSOIRES 15.1 Informations sur l’accessoire Unités d’affichage Les unités d’affichage et de fonctionnement sont utilisées pour la vérification et l’ajustement des paramètres de travail. Câbles et adaptateurs Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres longueurs disponibles sur demande Mesure intégrée de la pression Estimation et commande via l'unité de commande électronique intégrée, indépendamment d'une alimentation électrique additionnelle Séparateur de condensat Protège la pompe à vide contre les fluides provenant de la conduite d'aspiration et du retour de condensats de la conduite d'échappement Séparateur de poussières Protège la pompe à vide contre les particules provenant du procédé Kit de conversion pour soupape de lest d'air La soupape de lest d'air électromagnétique de type retrofit est utilisée pour automatiser l’admission de gaz de pompes Scroll. Vanne de réglage sur conduite Comme une vanne de sécurité côté vide de la pompe Scroll, la vanne de réglage automatique sur conduite protège les enceintes à vide de tout retour. 15.2 Commande d’accessoires Article Référence de commande Câble de secteur 230 VAC, CEE 7/7 à C13, 3 m P 4564 309 ZA Câble de secteur 115 V CA, NEMA 5-15 vers C13, 3 m P 4564 309 ZL Silencieux externe ES 25 M, DN 25 PD Z10 000 Silencieux externe ES 25 L, DN 25 PD Z10 001 SAS 25 S, séparateur de poussières, DN 25 ISO-KF PK Z60 507 Soupape de lest d’air automatisée, 24 V DC, G 1/8" PD Z10 100 IV 16 M, soupape de sécurité automatique côté vide 24 V DC, DN 25 PD Z10 050 ISV 25 M, soupape de sécurité automatique côté vide 24 V DC, DN 25 115902 Câble de raccordement pour ISV 25 PD Z10 051 OmniControl 001 Mobile, appareils de commande sans données sans jauge/IO PE D20 000 0 OmniControl 001 Mobile, appareils de commande avec 1 option de données PE D22 000 0 OmniControl 001, unité châssis sans unité de courant intégrée PE D40 000 0 OmniControl 001, unité châssis sans unité de courant intégrée PE D40 100 0 OmniControl 001, unité châssis sans alimentation électrique intégrée, sans données sans jauge/IO PE D42 000 0 OmniControl 001, unité châssis sans unité de courant intégrée PE D42 100 0 Raccord à vis G 1/8" avec joint pour raccord de tuyau (8/6 mm) P 4131 029 Couvercle d’obturation pour soupape de lest d’air PD 100 067 -T RPT 010, sonde numérique Piezo/Pirani PD 100 100 -T Câble de raccordement HiScroll - HiPace - TC110 - TPS, 3m PM 071 733 -T 77/88 ACCESSOIRES Article Référence de commande Câble de raccordement HiScroll - HiPace - TC400, 3 m PM 071 732 -T Adaptateur RS-485 M12 PE 100 150 -X Câble d’interface, M12 m droit/M12 m droit, 3 m PM 061 283 -T Raccord en Y M12 pour RS-485 P 4723 010 Convertisseur USB RS-485 PM 061 207 -T Tab. 26: 78/88 Accessoires HiScroll Caractéristiques techniques et dimensions 16 Caractéristiques techniques et dimensions 16.1 Généralités Base pour la fiche technique des pompes à vide à spirale Pfeiffer Vacuum : ● Spécifications conformément au comité PNEUROP PN5 ● ISO 21360-1 2016 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes à vide - Partie 1 : Description générale » ● Taux de fuite intégral avec une concentration de 100 % d’hélium, durée de mesure 60 s mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 0,75 mbar 1 1 · 10 100 1 0,1 bar 1,000 1 1 · 105 1,000 100 Pa 0,01 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 hPa 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 · 10-3 133,32 1,33 0,133 1 -3 -5 1 Pa = 1 N/m Tab. 27: 750 -3 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s mbar l/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 Pa m3/s 10 1 592 7,5 sccm Torr l/s 3 atm cm /s Tab. 28: 9,87 1.69 · 10 1.69 · 10 1 1,27 · 10 1.67 · 10-2 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 -3 -2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 16.2 Fiche technique Données de performance ● La pression de base testée est mesurée pendant le contrôle par attributs avant la livraison à l’aide d’un dispositif de mesure indépendant du gaz (selon ISO 21360). Champ de sélection HiScroll 6, pompe Scroll, standard, incluant ATEX HiScroll 6, pompe Scroll, sans GB, incluant ATEX HiScroll 6, pompe Scroll avec GB automatique Certification ATEX Ex II 3/-G Ex h IIC T4 Gc X +5 °C ≤ Ta ≤ +40 °C Ex II 3/-G Ex h IIC T4 Gc X +5 °C ≤ Ta ≤ +40 °C – Numéro de commande PD S10 000 PD S10 001 PD S10 002 Bride de raccordement (entrée) DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF Bride de raccordement (sortie) DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF Type de refroidissement Air (Convection forcée) Air (Convection forcée) Air (Convection forcée) Geprüfter Basisdruck 1,5 · 10-2 hPa 1,5 · 10-2 hPa 1,5 · 10-2 hPa Pression d'entrée 1100 hPa 1100 hPa 1100 hPa Pression aspiration continue recommandée, max. 200 hPa 200 hPa 200 hPa 79/88 Caractéristiques techniques et dimensions Champ de sélection HiScroll 6, pompe Scroll, standard, incluant ATEX HiScroll 6, pompe Scroll, sans GB, incluant ATEX HiScroll 6, pompe Scroll avec GB automatique Pression d'échappement, max. 1500 hPa 1500 hPa 1500 hPa Vitesse de pompage 6,1 m³/h 6,1 m³/h 6,1 m³/h Lest d’air Oui Non Oui Pression du lest d'air 1500 hPa – 1500 hPa Débit du lest d'air niveau 1 11 l/min – 10 l/min Débit du lest d'air niveau 2 16 l/min – 15 l/min Vitesse de rotation 1 000 – 3 000 rpm 1 000 – 3 000 rpm 1 000 – 3 000 rpm Vitesse de rotation nominale 2500 rpm 2500 rpm 2500 rpm Tension(s) d’entrée 100 – 127 / 200 – 240 V CA (±10 %), 50/60 Hz 100 – 127 / 200 – 240 V CA (±10 %), 50/60 Hz 100 – 127 / 200 – 240 V CA (±10 %), 50/60 Hz Type de moteur Moteur monophasé Moteur monophasé Moteur monophasé Consommation de courant nominale 100 V – 127 V: 4 A | 200 V – 240 V: 2 A 100 V – 127 V: 4 A | 200 V – 240 V: 2 A 100 V – 127 V: 4 A | 200 V – 240 V: 2 A Protection du moteur Interne Interne Interne Câble d'alimentation fourni Non Non Non Interfaces I/O RS-485 RS-485 RS-485 Niveau de pression accoustique (EN ISO 2151) 48 dB(A) 48 dB(A) 48 dB(A) Altitude de fonctionnement, max. 2500 m 2500 m 2500 m Type de protection IP40, Type 1 IP40, Type 1 IP40, Type 1 Température ambiante 5 – 40 °C 5 – 40 °C 5 – 40 °C Température : stockage -10 – 50 °C -10 – 50 °C -10 – 50 °C Température : transport -25 – 55 °C -25 – 55 °C -25 – 55 °C Taux de fuite intégral 5 · 10-7 Pa m³/s 5 · 10-7 Pa m³/s 5 · 10-7 Pa m³/s Poids 19 kg 19 kg 19 kg Tab. 29: 80/88 Fiche technique HiScroll 6 Champ de sélection HiScroll 12, pompe Scroll, standard, incluant ATEX HiScroll 12, pompe Scroll, sans GB, incluant ATEX HiScroll 12, pompe Scroll avec GB automatique Certification ATEX Ex II 3/-G Ex h IIC T4 Gc X +5 °C ≤ Ta ≤ +40 °C Ex II 3/-G Ex h IIC T4 Gc X +5 °C ≤ Ta ≤ +40 °C – Numéro de commande PD S20 000 PD S20 001 PD S20 002 Bride de raccordement (entrée) DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF Bride de raccordement (sortie) DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF Type de refroidissement Air (Convection forcée) Air (Convection forcée) Air (Convection forcée) Geprüfter Basisdruck 6 · 10-3 hPa 6 · 10-3 hPa 6 · 10-3 hPa Pression d'entrée 1100 hPa 1100 hPa 1100 hPa Pression aspiration continue recommandée, max. 200 hPa 200 hPa 200 hPa Pression d'échappement, max. 1500 hPa 1500 hPa 1500 hPa Vitesse de pompage 12,1 m³/h 12,1 m³/h 12,1 m³/h Lest d’air Oui Non Oui Pression du lest d'air 1500 hPa – 1500 hPa Caractéristiques techniques et dimensions Champ de sélection HiScroll 12, pompe Scroll, standard, incluant ATEX HiScroll 12, pompe Scroll, sans GB, incluant ATEX HiScroll 12, pompe Scroll avec GB automatique Débit du lest d'air niveau 1 18 l/min – 16 l/min Débit du lest d'air niveau 2 30 l/min – 24 l/min Vitesse de rotation 624 – 1 870 rpm 624 – 1 870 rpm 624 – 1 870 rpm Vitesse de rotation nominale 1560 rpm 1560 rpm 1560 rpm Tension(s) d’entrée 100 – 127 / 200 – 240 V CA (±10 %), 50/60 Hz 100 – 127 / 200 – 240 V CA (±10 %), 50/60 Hz 100 – 127 / 200 – 240 V CA (±10 %), 50/60 Hz Type de moteur Moteur monophasé Moteur monophasé Moteur monophasé Consommation de courant nominale 100 V – 127 V: 8 A | 200 V – 240 V: 4 A 100 V – 127 V: 8 A | 200 V – 240 V: 4 A 100 V – 127 V: 8 A | 200 V – 240 V: 4 A Protection du moteur Interne Interne Interne Câble d'alimentation fourni Non Non Non Interfaces I/O RS-485 RS-485 RS-485 Niveau de pression accoustique (EN ISO 2151) 47 dB(A) 47 dB(A) 47 dB(A) Altitude de fonctionnement, max. 2500 m 2500 m 2500 m Type de protection IP40, Type 1 IP40, Type 1 IP40, Type 1 Température ambiante 5 – 40 °C 5 – 40 °C 5 – 40 °C Température : stockage -10 – 50 °C -10 – 50 °C -10 – 50 °C Température : transport -25 – 55 °C -25 – 55 °C -25 – 55 °C -7 -7 Taux de fuite intégral 5 · 10 Pa m³/s 5 · 10 Pa m³/s 5 · 10-7 Pa m³/s Poids 24 kg 24 kg 24 kg Tab. 30: Fiche technique HiScroll 12 Champ de sélection HiScroll 18, pompe Scroll, standard, incluant ATEX HiScroll 18, pompe Scroll, sans GB, incluant ATEX HiScroll 18, pompe Scroll avec GB automatique Certification ATEX Ex II 3/-G Ex h IIC T4 Gc X +5 °C ≤ Ta ≤ +40 °C Ex II 3/-G Ex h IIC T4 Gc X +5 °C ≤ Ta ≤ +40 °C – Numéro de commande PD S30 000 PD S30 001 PD S30 002 Bride de raccordement (entrée) DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF Bride de raccordement (sortie) DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF Type de refroidissement Air (Convection forcée) Air (Convection forcée) Air (Convection forcée) Geprüfter Basisdruck 6 · 10-3 hPa 6 · 10-3 hPa 6 · 10-3 hPa Pression d'entrée 1100 hPa 1100 hPa 1100 hPa Pression aspiration continue recommandée, max. 200 hPa 200 hPa 200 hPa Pression d'échappement, max. 1500 hPa 1500 hPa 1500 hPa Vitesse de pompage 18,1 m³/h 18,1 m³/h 18,1 m³/h Lest d’air Oui Non Oui Pression du lest d'air 1500 hPa – 1500 hPa Débit du lest d'air niveau 1 23 l/min – 20 l/min Débit du lest d'air niveau 2 30 l/min – 24 l/min Vitesse de rotation 624 – 1 870 rpm 624 – 1 870 rpm 624 – 1 870 rpm Vitesse de rotation nominale 1560 rpm 1560 rpm 1560 rpm 81/88 Caractéristiques techniques et dimensions Champ de sélection HiScroll 18, pompe Scroll, standard, incluant ATEX HiScroll 18, pompe Scroll, sans GB, incluant ATEX HiScroll 18, pompe Scroll avec GB automatique Tension(s) d’entrée 100 – 127 / 200 – 240 V CA (±10 %), 50/60 Hz 100 – 127 / 200 – 240 V CA (±10 %), 50/60 Hz 100 – 127 / 200 – 240 V CA (±10 %), 50/60 Hz Type de moteur Moteur monophasé Moteur monophasé Moteur monophasé Consommation de courant nominale 100 V – 127 V: 10 A | 200 V – 240 V: 6 A 100 V – 127 V: 10 A | 200 V – 240 V: 6 A 100 V – 127 V: 10 A | 200 V – 240 V: 6 A Protection du moteur Interne Interne Interne Câble d'alimentation fourni Non Non Non Interfaces I/O RS-485 RS-485 RS-485 Niveau de pression accoustique (EN ISO 2151) 47 dB(A) 47 dB(A) 47 dB(A) Altitude de fonctionnement, max. 2500 m 2500 m 2500 m Type de protection IP40, Type 1 IP40, Type 1 IP40, Type 1 Température ambiante 5 – 40 °C 5 – 40 °C 5 – 40 °C Température : stockage -10 – 50 °C -10 – 50 °C -10 – 50 °C Température : transport -25 – 55 °C -25 – 55 °C -25 – 55 °C Taux de fuite intégral 5 · 10-7 Pa m³/s 5 · 10-7 Pa m³/s 5 · 10-7 Pa m³/s Poids 23 kg 23 kg 23 kg Tab. 31: 16.3 Substances en contact avec la substance à pomper Pièces de la pompe Substances en contact avec la substance à pomper Standard Carter Aluminium X Bride d’aspiration Acier inoxydable X Bride de sortie Acier inoxydable X Soufflets Acier inoxydable X Système de pompage Aluminium anodisé, composant PTFE X Vanne de retenue Acier inoxydable, FKM X Soupape de lest d’air Aluminium à plaquage de nickel, acier inoxydable, FKM, PTFE X Cartouche de filtre soupape de lest d’air Bronze/laiton X Capteur de pression RPT Céramique, nickel, acier inoxydable, tungstène, dioxyde de silicium, araldite, soudure Option Vis Acier inoxydable X Joints FKM X Tab. 32: 82/88 Fiche technique HiScroll 18 Matières entrant en contact avec la substance du procédé Caractéristiques techniques et dimensions 16.4 Dimensions 2 0 .5 160 9 260 4× Gummifüße/ rubber feet DN 25 ISO-KF 114 47 298 145 257 279 2 0 7 .5 200 380 220.5 Fig. 33: HiScroll 6 Dimensions en mm 83/88 Caractéristiques techniques et dimensions 260 160 9 30.5 (4x) Gummifüße rubber feet DN 25 ISO-KF 58 328 170 304 322 222 419 136 200 265 Fig. 34: HiScroll 12 | HiScroll 18 Dimensions en mm 84/88 Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompe Scroll HiScroll 6, Standard HiScroll 12, Standard HiScroll 18, Standard II 3/-G Ex h IIC T4 Gc X +5° C ≤ Ta ≤ +40 °C Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. ● ● ● ● ● Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Protection anti-explosion 2014/34/EU conformément à l'article 13 (1) c) Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées DIN EN ISO 12100: 2011 DIN EN 61010-1: 2020 DIN EN 1012-2: 2011 DIN EN IEC 61326-1: 2012 DIN EN ISO 13857: 2020 DIN EN IEC 63000: 2019 DIN EN 1127-1: 2019 DIN EN ISO 80079-36: 2016–12 DIN ISO 21360-1 : 2020 DIN EN ISO 80079-37: 2016–12 ISO 21360-2 : 2020 Semi S2 0818 EA DIN EN 61000-3-2: 2019 Semi S8 0218 DIN EN 61000-3-3: 2020 Le représentant habilité à constituer la documentation technique est le Dr. Adrian Wirth, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Allemagne. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-08-08 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompe Scroll HiScroll 6, Standard HiScroll 12, Standard HiScroll 18, Standard II 3/-G Ex h IIC T4 Gc X +5° C ≤ Ta ≤ +40 °C Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques Règlementation 2016 pour l'Equipment et les Systèmes de Protection Destinés à l'Utilisation dans des Atmosphères Potentiellement Explosives Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Standards et spécifications appliqués : ISO 12100: 2010 EN 1012-2: 1996 + A1: 2009 ISO 13857: 2019 EN 1127-1: 2019 ISO 21360-1 : 2020 ISO 21360-2 : 2020 IEC 61010-1: 2010 + A1: 2016 IEC 61000-3-2: 2018 IEC 61000-3-3: 2013 + A1: 2017 IEC 61326-1: 2012 EN ISO 80079-36: 2016 EN ISO 80079-37: 2016 IEC 63000: 2016 Semi S2 0818 EA Semi S8 0218 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2022-08-05 87/88 *PU0097* ed. F - Date 2407 - P/N:PU0097BFR ">
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