Pfeiffer HiPace 3400 IT | UT Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
HIPACE 3400 IT | IUT
Pompe turbomoléculaire avec système de gestion de la température
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe
turbomoléculaire est conçue pour vous aider par ses performances, son parfait
fonctionnement, sans interférer avec votre application. Le nom Pfeiffer Vacuum est
synonyme de technologie du vide de haute qualité, d’une gamme étendue et complète de
produits de qualité supérieure et d’un service clients qui se distingue par son excellence.
Forts de cette expertise, nous avons acquis une multitude de compétences contribuant à une
implémentation efficace et sécurisée de notre produit.
Sachant que tout arrêt de production est pénalisant, nous espérons vous offrir une solution
efficace et fiable pour le fonctionnement continu de votre application.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail info@pfeiffer-vacuum.de.
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sur notre site internet.
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Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
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d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
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Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/76
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Étiquettes sur le produit
1.3.4 Abréviations
8
8
8
8
8
8
8
9
9
10
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations incorrectes envisageables
2.7 Qualification personnelle
2.7.1 Garantir la qualification du personnel
2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
12
12
12
18
18
19
19
19
20
20
20
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.1.1 Refroidissement
3.1.2 Paliers du rotor
3.1.3 Entraînement
3.2 Contenu de la livraison
3.3 Identification du produit
3.3.1 Types de produit
3.3.2 Caractéristiques du produit
21
21
22
22
22
22
23
23
23
4
Transport et stockage
4.1 Transport
4.1.1 Transport en position verticale
4.1.2 Transport à l’horizontale
4.2 Stockage
24
24
25
25
26
5
Installation
5.1 Travail préparatoire
5.2 Raccordement côté vide élevé
5.2.1 Exigences pour le dimensionnement d’une contre-bride
5.2.2 À propos de la protection antisismique
5.2.3 Utilisation d’un pare-éclats ou d’écran protecteur
5.2.4 Orientations de montage
5.2.5 Fixation de la bride ISO-F à l’ISO-F
5.3 Remplissage avec du fluide d’exploitation
5.4 Raccordement du côté vide primaire
5.5 Connexion d’eau de refroidissement
5.5.1 Établissement d’un raccordement d'eau de refroidissement avec
des embouts droits
5.5.2 Établissement d’un raccordement d'eau de refroidissement avec
des robinetteries
5.6 Connexion des accessoires aux pompe turbo avec un TMS
5.7 Raccordement de la purge de gaz neutre
27
27
28
28
28
29
29
30
32
33
35
36
36
37
38
3/76
Table des matières
5.8
5.9
4/76
Prenez des mesures de prévention électriques
5.8.1 Installation du coupe-circuit miniature
5.8.2 Installation d’un coupe-circuit pour courant résiduel
Raccordement de l’alimentation électrique
5.9.1 Mise à la terre de la pompe à vide
5.9.2 Raccordement électrique
39
39
39
40
40
40
6
Utilisation
6.1 Mise en service
6.2 Modes de fonctionnement
6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement
6.2.2 Fonctionnement via la connexion « E74 »
6.2.3 Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance »
6.2.4 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum
6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain
6.3 Mise en marche de la pompe turbo
6.4 Fonctionnement avec TMS
6.4.1 Connexion TMS
6.4.2 Description du processus pour le TMS
6.5 Surveillance des opérations
6.5.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
6.5.2 Surveillance de la température
6.6 Mise hors circuit et mise à l'air
6.6.1 Mise hors circuit
6.6.2 Mise à l'air
42
42
43
43
43
43
43
44
44
45
45
46
46
46
46
47
47
47
7
Maintenance
7.1 Informations générales sur la maintenance
7.2 Intervalles de maintenance et responsabilités
7.3 Remplacement du fluide d’exploitation
7.3.1 Vidange du fluide d’exploitation
7.3.2 Remplissage avec du fluide d’exploitation
7.4 Remplacement de l’unité d’entraînement électronique
7.4.1 Démontage de l’unité de commande électronique
7.4.2 Installation de l’unité d’entraînement électronique
7.4.3 Confirmation de la spécification de vitesse
7.5 Remplacement de la chemise chauffante
7.5.1 Démontage d’une chemise chauffante
7.5.2 Installation d’une chemise chauffante
7.6 Remontage des robinetteries des tubulures
7.6.1 Démontage des pièces d'assemblage des tubulures
7.6.2 Montage des pièces d'assemblage des tubulures
49
49
49
50
50
51
52
53
54
55
55
56
57
57
57
58
8
Mise hors service
8.1 Mise hors service pendant une période prolongée
8.2 Remise en service
59
59
59
9
Recyclage et mise au rebut
9.1 Informations générales sur la mise au rebut
9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires
60
60
60
10
Dysfonctionnements
61
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
64
12
Pièces de rechange
66
13
Accessoires
13.1 Informations sur les accessoires
13.2 Commande d’accessoires
67
67
67
Table des matières
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1 Généralités
14.2 Fiche technique
14.3 Dimensions
69
69
69
71
Déclaration de conformité CE
73
Déclaration de Conformité UK
74
5/76
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
6/76
Étiquettes sur le produit
Abréviations utilisées dans ce document
Conditions ambiantes autorisées
Désignation de produit des pompes turbomoléculaires HiPace Pfeiffer Vacuum
Caractéristiques de la pompe turbomoléculaire
Puissance d’entraînement délivrée en fonction de la tension secteur
Dimensionnement requis du raccord de vide élevé fourni par client
Réduction de la vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire par l’intermédiaire de l’utilisation d’un bouclier pare-éclats ou d’un écran protecteur
Exigences relatives à la composition de l’eau de refroidissement
Versions de raccordement d’eau de refroidissement
Connexions des accessoires préconfigurées sur l'unité d’entraînement électronique pour le fonctionnement avec le TMS
Exigences techniques pour un coupe-circuit miniature
Exigences techniques relatives au coupe-circuit de courant résiduel
Agencement du terminal du connecteur d'alimentation électrique
Paramètres préconfigurés sur les pompes turbo avec TMS à la livraison
Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique
Paramètres d’usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo
Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires
Dépannage des pompes turbomoléculaires
Pièces de rechange disponibles
Accessoires
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Fiche technique HiPace 3400 IT | IUT
10
11
18
23
23
23
28
29
35
35
38
39
39
41
43
46
48
55
63
66
68
69
69
71
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
Fig. 17:
Fig. 18:
Fig. 19:
Fig. 20:
Fig. 21:
Fig. 22:
Fig. 23:
Fig. 24:
Fig. 25:
Fig. 26:
Fig. 27:
Fig. 28:
Fig. 29:
Fig. 30:
Fig. 31:
Fig. 32:
Position des étiquettes sur le produit
Construction de la pompe turbomoléculaire 3400 IT | IUT avec TC 1200
Construction du boîtier TMS
Points d’attache des sangles pour le transport à la verticale de la pompe turbomoléculaire sans emballage
Points d'attache des sangles pour le transport horizontal de la pompe turbomoléculaire sans emballage
Exemple : Fixation contre le risque de déplacement et de basculement lié à
des vibrations externes
HiPace 3400 | Orientations de montage de la version standard, en position
verticale
HiPace 3400 | Orientations de montage de la version standard, en suspension
Alignement du raccordement de vide primaire avec l’orientation de montage
à l’horizontale
Raccord de bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trous taraudés
Raccord à bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trous traversants
Raccord à bride ISO-F, goujons et trous taraudés
Raccord à bride ISO-F, goujons et trous traversants
La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions standards
La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions U
Exemple d’un raccord de vide primaire sur HiPace 3400 IT
Établissement d’un raccordement d'eau de refroidissement avec des embouts droits
Raccordement d'eau de refroidissement avec des robinetteries de tubulures
Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre
Alimentation électrique secteur
Exemple de vidange du fluide d’exploitation pour les versions standards et U
La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions standards
La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions U
Démontage de l’unité d’entraînement électronique
Fixation de l’unité de commande électronique
Démontage de la chemise chauffante
Installation d’une chemise chauffante
Démontage des pièces d'assemblage des tubulures
Montage des pièces d'assemblage des tubulures
Pièces de rechange HiPace 3400 IT | IUT
HiPace 3400 IT | TC 1200 DN 320 ISO-F
HiPace 3400 IUT | TC 1200 DN 320 ISO-F
10
21
22
25
26
29
30
30
30
31
31
31
32
33
33
34
36
37
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52
52
54
54
56
57
58
58
66
71
72
7/76
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.1.1
Documents applicables
Document
Numéro
Manuel de l’utilisateur, Unité d’entraînement électronique TC 1200,
standard
PT 0239 BN
Manuel de l’utilisateur, unité de commande électronique TC 1200
E74
Conformément à Semi E74
PT 0303 BN
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel
de l’utilisateur
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
● HiPace 3400 IT, DN 320 ISO-F, 230 V AC
● HiPace 3400 IUT, DN 320 ISO-F, 230 V AC
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
8/76
A propos de ce manuel
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.3
Étiquettes sur le produit
Cette section décrit toutes les étiquettes sur le produit ainsi que leurs significations.
D-35614 Asslar
Mod. HiPace 3400 IT
P/N PM P06 544
S/N - - - - - - - PM 006 336 -T
Oil
n, f 27300 1/min, 455 Hz
Mass 65.0 kg
Made in Germany 2023/11
Plaque signalétique
Les plaques signalétiques des modules individuels sont situées sur la partie inférieure de la pompe turbomoléculaire ou
des connexions correspondantes.
TÜV Rheinland
C
US
Remarque concernant le manuel de l’utilisateur
Cette étiquette indique que ce manuel de l’utilisateur doit être
lu avant d’exécuter une tâche.
Remarque relative à l’orientation verticale de montage
Cette étiquette dépend de la variante. Cette étiquette montre
les positions spatiales valides pour l’installation et le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire.
Remarque relative à l’orientation de montage
Cette étiquette dépend de la variante. Cette étiquette montre
les positions spatiales valides pour l’installation et le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire.
Vis de remplissage du fluide d’exploitation
Cette étiquette décrit la position de la vis de remplissage correspondante du fluide d’exploitation.
Classe de protection
Cette étiquette décrit la classe de protection 1 du produit. Le
positionnement indique la position de la mise à la terre.
COOLING WATER IN
max. 6 bar (90 psi)
Raccord d’eau de refroidissement
Cette étiquette indique la position et les conditions pour l’alimentation de la pompe turbomoléculaire en eau de refroidissement.
9/76
A propos de ce manuel
Raccord d’eau de refroidissement
Cette étiquette indique la position de l’évacuation de l’eau de
refroidissement de la pompe turbomoléculaire.
COOLING WATER OUT
Avertissement, surface chaude
Cette étiquette met en garde contre les risques de blessure
liés aux hautes températures à la suite d’un contact sans protection pendant le fonctionnement.
Sceau de garantie
Le produit est étanché, départ d’usine. L’endommagement ou
le retrait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie
caduque.
warranty seal
Remarque sur le raccordement de la purge de gaz neutre
Cette étiquette décrit la position du raccordement exclusif de la
purge de gaz neutre.
PURGE
Avertissement
Cette étiquette avertit du danger lié à la tension électrique sur
le connecteur multiple correspondant.
Tab. 1:
Étiquettes sur le produit
1
2
7
14
Fig. 1:
1.3.4
10/76
13 12 11 10
9
6 5
8
4
3
Position des étiquettes sur le produit
1 Étiquette du manuel de l’utilisateur
2 Signe d’avertissement surface chaude
3 Plaque de type du boîtier TMS
8
9
10
4 Plaque signalétique pour l’unité de commande
électronique
5 Étiquette d’évacuation d’eau de refroidissement
6 Étiquette d’entrée d’eau de refroidissement
7 Étiquette du fluide d’exploitation
11
Abréviations
Abréviation
Signification dans ce document
CA
Courant alternatif
AIC
Capacité d’interruption en ampère
12
13
14
Étiquette du manuel de l’utilisateur
Étiquette de borne de masse
Étiquette du raccordement de la purge de
gaz neutre
Étiquette de l’orientation de montage
Plaque signalétique de la pompe turbo
Sceau de garantie
Symbole d’avertissement pour élément sous
tension
A propos de ce manuel
Abréviation
Signification dans ce document
d
Valeur diamètre (en mm)
DCU
Appareil de commande et d’affichage
DN
Diamètre nominal comme désignation de grandeur
EMS
Arrêt d’urgence
f
Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz)
HPU
Unité de programmation portable facilitant la commande et le suivi des paramètres
HV
Bride de vide élevé, côté vide élevé
ISO
Bride : raccordement conforme aux spécifications ISO 1609 et ISO 2861
LED
Diode électroluminescente
LS
Protection de ligne
UL
Underwriters Laboratories
MCB
Coupe-circuit miniature
NEMA
National Electrical Manufacturer Association
PE
Terre de protection (conducteur de protection)
[P:xxx]
Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras
sous forme de nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte description.
Exemple : [P:312] version logicielle
Coupe-circuit
de courant résiduel
Coupe-circuit pour courant résiduel
à distance
Connecteur D-Sub 26 broches sur l’unité de commande électronique de la pompe
turbomoléculaire
WAF
Largeur sur pans
T
Température (en °C), contrôlé par la température
TC
Turbo contrôleur
TMS
Système de gestion de la température
U
Version inversée
VV
Bride de vide primaire, raccord de vide primaire
Tab. 2:
Abréviations utilisées dans ce document
11/76
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la
norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte.
Risques lors du transport
AVERTISSEMENT
Risque de blessures graves en cas d'oscillation, de basculement ou de chute d'objets
Lors du transport, il y a un risque d'écrasement et de choc si les objets oscillent, basculent ou chutent. Risques de blessures des membres allant jusqu'à des fractures osseuses et des traumatismes
crâniens.
► Empêchez les personnes de séjourner en dessous de la charge soulevée.
► Si nécessaire, sécurisez la zone dangereuse.
► Évitez la traction diagonale des élingues.
► N'empilez par les produits.
► Faites attention au centre de gravité de la charge lors du transport avec un chariot élévateur.
► Portez un équipement de protection, par ex. des chaussures de sécurité.
12/76
Sécurité
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Choc électrique en cas de contact avec des éléments à nu et sous tension. Le raccordement incorrect de l’alimentation secteur entraîne un risque de contact avec des pièces du carter sous tension. Il
existe dès lors un danger de mort.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Assurez-vous que les installations électriques soient réalisées par des électriciens qualifiés.
► Établissez une mise à la terre correcte de l’appareil.
► Après l’opération de raccordement, contrôlez le conducteur de terre.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure fatale lié à un choc électrique causé par une installation incorrecte
L'alimentation électrique de l'appareil utilise des tensions mortelles. Une installation non sécurisée ou
inappropriée peut entraîner des situations dangereuses en raison des électrocutions lors des opérations avec ou sur l’unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
AVERTISSEMENT
Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant
La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal).
► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2.
► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum.
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu
L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de
ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement
des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé.
► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant
d'avoir raccordé la bride de vide élevé.
► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser.
13/76
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à l'oscillation, au basculement ou à la chute d'objets
Une manipulation incorrecte pendant l'installation mécanique représente un risque d'oscillation, de
basculement ou de chute de lourdes charges. Il y a un risque d'écrasement et de choc (p. ex. lié à la
collision avec les connexions à bride). Il existe un risque de blessure des membres, y compris de
fracture et de blessures à la tête.
► Utiliser les boulons à œillère prévus pendant l'installation.
► En approchant de la pompe à vide, faire particulièrement attention à la contre-bride.
► Noter le centre de gravité de la charge.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par les vapeurs toxiques
L’inflammation et le chauffage de fluide d’exploitation synthétique forment des vapeurs toxiques. Risque d’empoisonnement en cas d’inhalation.
► Respecter les consignes et précautions d’application.
► Tenir les produits à base de tabac à l’écart du fluide d’exploitation.
AVERTISSEMENT
Risque d’ébouillantage lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement à haute température
Les connexions d'eau de la pompe turbo sont ouvertes des deux côtés. Lors de la connexion de l'alimentation en eau de refroidissement, il y a un risque de blessure lié à la projection soudaine d'eau
de refroidissement sous haute pression et à haute température.
► Avant l'installation, vérifier que le système d'eau de refroidissement n'est pas sous pression et
qu'il est à température ambiante.
► Porter un équipement de protection individuelle, p. ex. lunettes et gants de sécurité.
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonctionnement
L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des processus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un
risque de brûlure.
► Si nécessaire, installer une protection isolante.
► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux.
► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximité.
► Porter un équipements de protection, p. ex. gants.
AVERTISSEMENT
Risque de grave blessure lié à la destruction de la pompe à vide en raison d'une surpression
L'entrée de gaz à très haute surpression entraîne la destruction de la pompe à vide. Il existe un risque de grave blessure lié à l'éjection d'objets.
► Ne jamais dépasser la pression d'entrée autorisée de 1 500 hPa (absolue) sur le côté aspiration
ou la connexion de mise à l'air et de gaz de pressurisation.
► Vérifier que les surpressions liées au processus ne peuvent entrer directement dans la pompe à
vide.
14/76
Sécurité
ATTENTION
Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air
Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct
de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome.
► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air.
► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de
mise à l'air.
Risques pendant la maintenance, la mise hors service et la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien
L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la
pompe turbomoléculaire est à l’arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des
composants sous tension.
► Avant tout travail, mettez hors circuit l’interrupteur secteur.
► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
► Débranchez la prise secteur de l’appareil.
► Sécurisez l’appareil contre tout redémarrage intempestif.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par les vapeurs toxiques
L’inflammation et le chauffage de fluide d’exploitation synthétique forment des vapeurs toxiques. Risque d’empoisonnement en cas d’inhalation.
► Respecter les consignes et précautions d’application.
► Tenir les produits à base de tabac à l’écart du fluide d’exploitation.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonctionnement
L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des processus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un
risque de brûlure.
► Si nécessaire, installer une protection isolante.
► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux.
► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximité.
► Porter un équipements de protection, p. ex. gants.
15/76
Sécurité
AVERTISSEMENT
En mettant les mains dans la connexion de vide secondaire ouverte, risque de coupure lié aux
pièces coupantes en mouvement
Une manipulation incorrecte de la pompe turbomoléculaire avant le travail de maintenance entraîne
une situation dangereuse avec un risque de blessure. Lors du démontage de la pompe turbomoléculaire, il y a un risque de coupure en manipulant des pièces en rotation avec des faces acérées.
► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
► Mettez correctement hors circuit la pompe turbomoléculaire.
► Sécurisez la pompe turbomoléculaire contre tout risque de redémarrage.
► Fermez immédiatement les connexions ouvertes après démontage en utilisant le cache d'origine.
AVERTISSEMENT
Risque d’ébouillantage lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement à haute température
Les connexions d'eau de la pompe turbo sont ouvertes des deux côtés. Lors de la connexion de l'alimentation en eau de refroidissement, il y a un risque de blessure lié à la projection soudaine d'eau
de refroidissement sous haute pression et à haute température.
► Avant l'installation, vérifier que le système d'eau de refroidissement n'est pas sous pression et
qu'il est à température ambiante.
► Porter un équipement de protection individuelle, p. ex. lunettes et gants de sécurité.
ATTENTION
Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air
Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct
de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome.
► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air.
► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de
mise à l'air.
ATTENTION
Risque de choc électrique et d’endommagement de la pompe à vide et de l'unité de commande électronique lié à la déconnexion incorrecte des composants
Même après avoir mis hors circuit l’alimentation secteur, la pompe turbomoléculaire continue de fournir de l’énergie électrique tant qu’elle n’est pas complètement à l’arrêt. Si la pompe turbomoléculaire
et l’unité de commande électronique sont déconnectées prématurément, il y a un risque de choc
électrique en cas de contact avec des composants sous tension. Il y a un risque de contact électrique
du corps avec à la clé la destruction des composants électroniques.
► Ne déconnectez jamais la pompe turbomoléculaire et l’unité de commande électronique encore
sous tension ou si le rotor est en rotation.
► Surveillez la rotation de la pompe turbomoléculaire par l’intermédiaire des paramètres disponibles dans l’unité de commande électronique (p. ex. [P:398]).
► Attendez l’arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
16/76
Sécurité
Risques liés aux anomalies de fonctionnement
DANGER
Danger de blessure mortelle liée à un choc électrique dû à une fuite dans le système d’eau de
refroidissement
La pénétration de l’eau de refroidissement qui fuit dans le dispositif chauffant va mettre sous tension
les pièces externes de la chemise chauffante. Le matériau d’isolation absorbe l’humidité et représente un danger potentiel, même après la rectification du défaut. Il y a un danger de mort lié à un choc
électrique en cas de contact.
► Effectuez un essai de surpression du système d’eau de refroidissement au moins une fois par
an.
► En cas de défaut, remplacez toujours la chemise chauffante complète.
► Assurez-vous d'installer un coupe-circuit de courant résiduel sur site.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbomoléculaire en cas de défaut
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. Si la pompe turbomoléculaire n'est pas correctement fixée, elle peut rompre. L'énergie
ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbomoléculaire ou des fragments de l'intérieur de celle-ci
dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Les instructions d'installation de cette pompe turbomoléculaire doivent être respectées.
► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées.
► Utilisez uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas
d'endommagement des connexions
Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a
un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant
des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux
toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort.
► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles.
► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo.
17/76
Sécurité
2.3
Mesures de sécurité
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respecter toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôler régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► N’exposer aucune partie du corps au vide.
► Toujours assurer un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne jamais débrancher les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement
arrêté (vitesse de rotation f =0).
► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert.
► Tenir les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70°C).
► Ne jamais remplir ou faire fonctionner l’appareil avec des produits de nettoyage ou leurs résidus.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Consulter la classe de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Lieu de mise en place
Protégé des intempéries (espace
intérieur)
Pression d’air
750 hPa à 1 060 hPa
Altitude d’installation
Max. 2000 m
Humidité rel. de l’air
max. 80 %, à T <31°C,
jusqu’à max. 50 % à T <40°C
Classe de protection (conformément à la norme CEI 61010)
I
Degré de pollution (conformément à la norme CEI 61010)
2
Catégorie de surtension
II
Degré de protection admissible
IP20,
Type 1 (conformément à UL 50E)
Température ambiante
5 °C à 40 °C avec refroidissement à l’eau
Champ magnétique environnant admissible
≤ 3,4 mT
Rayonnement thermique maximum
24 W
Température maximum admissible du rotor de la pompe turbomoléculaire
120 °C
Température de dégazage maximum admissible au niveau de la
bride de vide élevé
120 °C
Tab. 3:
18/76
Conditions ambiantes autorisées
Sécurité
Remarques sur les conditions ambiantes
Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonctionnement de la
pompe turbo à la pression de secours maximum admissible ou avec un débit de gaz maximum, en fonction du type de refroidissement. La pompe est intrinsèquement sûre grâce à
la surveillance redondante de la température.
● La réduction de la pression de vide ou du débit du gaz permet le fonctionnement de la
pompe turbomoléculaire à des températures ambiantes plus élevées.
● Si la température de fonctionnement maximum admissible de la pompe turbomoléculaire est dépassée, l'unité d’entraînement électronique va d'abord réduire la vitesse
d'entraînement, puis la mettre hors circuit si nécessaire.
2.5
Utilisation conforme
► Utilisation de la pompe turbo uniquement pour générer du vide.
► Utiliser la pompe turbo uniquement en combinaison avec une pompe de secours appropriée pouvant générer la pression de vide préliminaire maximum requise.
► Utiliser la pompe turbo uniquement à l'abri, dans un local fermé.
► Utiliser la pompe turbo uniquement pour l'évacuation de gaz secs et inertes.
► Utiliser uniquement la pompe turbo avec TMS dans la plage de température admissible.
► Utiliser uniquement la pompe turbo avec TMS en conjonction avec le gaz de pressurisation pour
la protection des paliers du rotor.
► Utiliser la pompe turbo avec TMS pour éviter ou minimiser la condensation des résidus de processus.
2.6
Utilisations incorrectes envisageables
Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute
utilisation non conforme du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme abusive.
● Transport, installation et fonctionnement de la pompe à vide dans une position inadmissible dans
l'espace
● Raccordement de l'alimentation électrique sans installation correcte
● Installation de la pompe avec un matériel de montage non spécifié
● Pompage de substances explosives
● Pompage de substances corrosives
● Pompage de liquides
● Pompage de poussière
● Fonctionnement sans gaz de pressurisation
● Fonctionnement avec un débit de gaz élevé inadmissible
● Fonctionnement avec une pression de vide préliminaire inadmissible
● Utilisation avec un rayonnement thermique excessivement élevé
● Fonctionnement avec des champs magnétiques d'intensité élevée et inadmissible
● Fonctionnement dans un mode gaz incorrect
● Mise à l'air avec un débit de mise à l'air élevé et inadmissible
● Utilisation pour la production de pression
● Utilisation dans des zones à radiation ionisante
● Fonctionnement dans des zones explosives
● Utilisation dans des systèmes où des charges et des vibrations ponctuelles ou des forces périodiques agissent sur l'appareil
● Création de conditions de fonctionnement dangereuses en raison d'un réglage par défaut sur
l'unité d’entraînement électronique qui est contraire au processus
● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions
2.7
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
19/76
Sécurité
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.7.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.7.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.7.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
20/76
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l’unité d’entraînement électronique et le
bloc d’alimentation électrique intégré.
Le système de gestion de la température (TMS) prévient la condensation des résidus de processus par
l’intermédiaire du chauffage contrôlé du corps de pompe. Le système de refroidissement assure une
dissipation sûre et suffisante de la chaleur sans perte d’énergie pendant le processus de chauffage.
1
2
3
6
5
4
7
8
9
10
19
Fig. 2:
18
17
16
15
14
11
13
12
Construction de la pompe turbomoléculaire 3400 IT | IUT avec TC 1200
1
Raccord de vide élevé, DN 320 ISO-F
11
2
3
4
12
13
14
5
Manchon chauffant TMS
Boîtier TMS
Obturateur de protection du raccord de vide
primaire
Pompe du fluide d’exploitation en position U
6
Unité de commande électronique
16
7
8
Boulon à œillet
Alimentation électrique, boîtier TMS
17
18
9 Manchon chauffant TMS
10 Sonde de température
15
16
Obturateur de protection de la connexion de
vide secondaire
Borne de connexion de masse
Vanne de la purge de gaz
Vis de ventilation
Alimentation électrique, unité d’entraînement
électronique
Raccordement d’eau de refroidissement, arrivée
Raccord d’eau de refroidissement, sortie
Pompe duà fluide d’exploitation pour version
standard
Raccord de vide primaire DN 40 ISO-KF
21/76
Description du produit
3
ST4
ST3
4
2
F2 10
AT
F1 10
AT
1
t
ST1 AC Inpu
ST2
5
6
Fig. 3:
3.1.1
Construction du boîtier TMS
1 Fusible F1, 10 A, à déclenchement temporisé
2 Fusible F2, 10 A, à déclenchement temporisé
4
5
3 Douille de raccordement M8, câble de capteur
ST3
6
Raccordement câble accessoires ST4
Raccordement de la tension d’alimentation
du manchon chauffant ST2
Connecteur ST1, entrée CA
Refroidissement
● Refroidissement à eau
L’unité d’entraînement électronique régule automatiquement l’arrêt de l’entraînement en cas de température excessive.
3.1.2
Paliers du rotor
pompe turbo à paliers hybrides
● Côté vide secondaire : paliers magnétiques permanents sans usure
● Côté vide préliminaire : roulement à billes en céramique
Les pompes turbomoléculaires HiPace à paliers hybrides utilisent des roulements à billes en céramique
pour le palier du rotor côté vide préliminaire. La pompe à fluide d’exploitation assure une lubrification
définie et le fonctionnement continu des roulements à billes.
3.1.3
Entraînement
● Unité d’entraînement électronique TC 1200
3.2
Contenu de la livraison
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
pompe turbo avec unité d’entraînement électronique et pack d'alimentation intégré
Chemise chauffante
Système de gestion de la température (boîtier TMS)
Cache protecteur de la connexion de vide secondaire
Cache protecteur de la connexion de vide préliminaire
Fiche d'accouplement de la connexion « à distance » sur le TC 1200 (en fonction du type)
Fiche d'accouplement de la connexion « E74 » sur le TC 1200 (en fonction du type)
Distributeur Y M12 pour la connexion des accessoires
Vanne de gaz de pressurisation (déjà montée)
Fluide d’exploitation F3 (50 ml) avec seringue
Buse de vidange
2 boulons à œillets pour le transport
Coupleur correspondante pour le raccordement d'eau de refroidissement, en fonction de la version respective de la pompe
─ 2× embouts droits à filetage 1/4”
─ 2 coupleurs Swagelok
● Manuel de l’utilisateur
22/76
Description du produit
3.3
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit
ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320.
3.3.1
Types de produit
La désignation de produit des séries de pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum HiPace est composée du nom de famille, de la taille (basée sur le débit de pompage de la pompe à vide) et, si nécessaire, de la description d’une caractéristique supplémentaire.
Famille
Grandeur/modèle
Attribut
HiPace
10 à 3400
aucun/aucune = version standard
mini = version compacte
U = version suspendue
C = version de gaz corrosif
P = processus
M = palier magnétique actif
T = gestion de température
Plus = faible vibration, faible champ magnétique
E = haut rendement
H = compression élevée
I = implantation ionique
Tab. 4:
3.3.2
Désignation de produit des pompes turbomoléculaires HiPace Pfeiffer Vacuum
Caractéristiques du produit
Caractéristique
Version
Version de pompe
IT
IUT
Bride HV
DN 320 ISO-F
DN 320 ISO-F
Matériau de bride
Aluminium
Aluminium
Tab. 5:
Caractéristiques de la pompe turbomoléculaire
Tension secteur ± 10 %
Puissance d'entrée moteur de l’unité de commande électronique
100 à 120 V CA
700 à 930 W
200 à 240 V CA
1200 W
Tab. 6:
Puissance d’entraînement délivrée en fonction de la tension secteur
23/76
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport
AVERTISSEMENT
Risque de blessures graves en cas d'oscillation, de basculement ou de chute d'objets
Lors du transport, il y a un risque d'écrasement et de choc si les objets oscillent, basculent ou chutent. Risques de blessures des membres allant jusqu'à des fractures osseuses et des traumatismes
crâniens.
► Empêchez les personnes de séjourner en dessous de la charge soulevée.
► Si nécessaire, sécurisez la zone dangereuse.
► Évitez la traction diagonale des élingues.
► N'empilez par les produits.
► Faites attention au centre de gravité de la charge lors du transport avec un chariot élévateur.
► Portez un équipement de protection, par ex. des chaussures de sécurité.
AVIS
Destruction de la pompe à vide en cas de non respect de la position spatiale spécifique au
type
Des positions spatiales interdites entraînent une pollution de la pompe à vide par le fluide d’exploitation. Il y a un risque de pollution du vide de processus et d'endommagement, voire de destruction de
la pompe à vide.
► Observer les étiquettes concernant la position spatiale valide de la pompe à vide.
► Observer les étiquettes de propriété sur la plaque de type.
► Avant de déplacer ou de transporter la pompe à vide, vider le fluide d’exploitation.
► L'installation mécanique doit être terminée avant de remplir la pompe à vide avec du fluide d’exploitation.
Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transport en toute sécurité du produit
1. Observez le poids spécifié sur la plaque signalétique.
2. Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours la pompe turbomoléculaire dans
son emballage d’origine.
3. Enlevez l’obturateur de protection seulement immédiatement avant l’installation.
Transport de la pompe turbomoléculaire dans son emballage
1. Utilisez un transpalette pour transporter la pompe turbomoléculaire encore emballée.
2. Repérez le centre de gravité de la charge.
3. Manipulez avec précaution les engins de transport à commande manuelle.
4. La pompe turbomoléculaire doit être transportée dans sa position spatiale valide, axe du rotor aligné verticalement.
5. Les mouvements doivent être harmonieux et la vitesse modérée.
6. Veillez à ce que le support soit plat.
7. Portez des équipements de protection, p. ex. chaussures de sécurité.
24/76
Transport et stockage
4.1.1
Transport en position verticale
AVIS
Destruction de la pompe à vide en cas de non respect de la position spatiale spécifique au
type
Des positions spatiales interdites entraînent une pollution de la pompe à vide par le fluide d’exploitation. Il y a un risque de pollution du vide de processus et d'endommagement, voire de destruction de
la pompe à vide.
► Observer les étiquettes concernant la position spatiale valide de la pompe à vide.
► Observer les étiquettes de propriété sur la plaque de type.
► Avant de déplacer ou de transporter la pompe à vide, vider le fluide d’exploitation.
► L'installation mécanique doit être terminée avant de remplir la pompe à vide avec du fluide d’exploitation.
60°
60°
max
max
1
Fig. 4:
2
Points d’attache des sangles pour le transport à la verticale de la pompe turbomoléculaire sans emballage
1 HiPace 3400 IT
2
HiPace 3400 IUT
Instructions pour le transport à la verticale
2 anneaux à vis sont inclus dans le contenu de livraison et sont serrés à bloc dans le bâti de la pompe
turbomoléculaire.
1. Transportez la pompe turbomoléculaire uniquement dans sa position autorisée.
2. Attachez des outils de levage appropriés aux deux anneaux de levage.
3. Faites attention à l’utilisation correcte et au serrage conforme de l’équipement de levage.
4. Soulevez la pompe turbomoléculaire.
5. Si nécessaire, enlevez les anneaux de levage après le transport et l’installation.
– Conservez les anneaux de levage pour une utilisation ultérieure.
4.1.2
Transport à l’horizontale
Utilisation d’anneaux à vis
L'utilisation d’anneaux à vis pour le transport à l’horizontale n’engage que l’entreprise exploitante.
● Utilisez toujours des rondelles adaptées.
● Vissez toujours les anneaux à vis jusqu’en butée pour éviter tout cisaillement des anneaux.
25/76
Transport et stockage
Accessoires requis
● 2 anneaux à vis adaptés, M8
● 2 disques de freinage
60°
max
Fig. 5:
Points d'attache des sangles pour le transport horizontal de la pompe turbomoléculaire sans emballage
Instructions pour le transport sécurisé
1. Vissez les deux anneaux à vis jusqu’à la butée dans les perçages de fixation fournis.
2. Attachez des outils de levage appropriés aux deux boulons à œil.
3. Attention à l'utilisation correcte et au serrage conforme de l'équipement de levage.
4. Soulevez la pompe turbomoléculaire.
5. Si nécessaire, enlevez les boulons à œil après le transport et l'installation.
– Conservez les anneaux à vis pour une utilisation ultérieure.
4.2
Stockage
Recommandation
Pfeiffer Vacuum recommande de stocker le produit dans son conditionnement de transport
d’origine.
Stockage de la pompe turbomoléculaire
1. Obturez hermétiquement toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d'origine.
2. Fermez toutes les autres connexions (raccord de mise à l'air, etc.) avec les pièces d'origine correspondantes.
3. Rangez la pompe turbomoléculaire uniquement dans un local dans les limites admissibles de
température.
4. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Scellez la pompe turbomoléculaire
avec un agent dessiccant dans un sac en plastique hermétique.
26/76
Installation
5 Installation
L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe
turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact
avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espace de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la
pompe turbomoléculaire.
Des calculs et des tests approfondis effectués selon la norme ISO 27892 garantissent la protection de
la pompe turbomoléculaire contre la démolition (destruction des pales du rotor) et l'éclatement (rupture
de l’arbre du rotor). Les résultats expérimentaux et théoriques se traduisent par des mesures de sécurité et des recommandations à suivre pour une fixation conforme et sûre de la pompe turbomoléculaire.
5.1
Travail préparatoire
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
Remarques générales pour l’installation des composants de vide
► L’emplacement de l’installation doit être choisi de façon à permettre à tout moment d'accéder au
produit et aux conduites d'alimentation.
► Observez les conditions ambiantes indiquées pour les limites d’utilisation.
► L'assemblage doit être effectué en veillant à une propreté maximale.
► Pendant l’installation, les composants de brides doivent être parfaitement dégraissés, dépoussiérés et secs.
Sélection de l'emplacement de l’installation
1. Observer les instructions de transport jusqu'à l'emplacement de l’installation.
2. Vérifier que les options de refroidissement sont suffisantes pour la pompe turbo.
3. Installer des blindages appropriés si les champs magnétiques environnants excèdent les niveaux
admissibles.
4. Installer le blindage approprié de façon à ce que le rayonnement thermique ne dépasse pas les
valeurs admissibles lorsque des températures élevées sont générées en raison du procédé.
5. Respecter les températures admissibles pour le raccord de vide.
27/76
Installation
5.2
Raccordement côté vide élevé
5.2.1
Exigences pour le dimensionnement d’une contre-bride
AVIS
Risque d'endommagement lié à une conception incorrecte de la contre-bride
Une irrégularité de la contre-bride côté opérateur soumet le corps de la pompe à vide à de fortes
contraintes, même lorsque la fixation a été correctement effectuée. Cela risque de provoquer une fuite ou d'affecter négativement les caractéristiques de fonctionnement.
► Les tolérances de forme de la contre-bride doivent être respectées.
► Respecter les divergences maximales de planéité sur toute la surface.
Pièces de superstructure et robinetterie sur le raccord de vide élevé
La responsabilité de l'installation des pièces de superstructure et de la robinetterie sur le
raccord de vide élevé incombe à la société d'exploitation. La capacité de charge de la bride
de vide secondaire est spécifique à la pompe turbomoléculaire utilisée.
● Le poids total des pièces de superstructure ne doit pas excéder les valeurs axiales
maximum spécifiées.
● Assurez-vous que tous les moments de force générés lorsque le moteur bloque soudainement sont absorbés par le système du côté opérateur et le raccord de vide élevé.
● Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de
vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
Paramètre
HiPace 3400
Couple maximum généré en cas d’éclatement1)
29000 Nm
Charge axiale maximum admissible sur la bride de vide élevé2)
2000 N
(équivalent à 200 kg)
Planéité
± 0,05 mm
Résistance à la traction minimum du matériau de bride dans tous les états de
marche par rapport à la profondeur d’engagement des vis de fixation
170 N/mm2 à 2,5 x d
270 N/mm2 à 1,5 x d
Champ magnétique environnant maximum admissible
3,4 mT
Quantité de refoulement thermique irradié maximum admissible
24 W
Tab. 7:
5.2.2
Dimensionnement requis du raccord de vide élevé fourni par client
À propos de la protection antisismique
AVIS
Endommagement de la pompe à vide lié à des vibrations externes
En cas de tremblement de terre ou d’autres vibrations externes, le rotor risque d’entrer en contact
avec les paliers de sécurité. La paroi du corps peut aussi toucher la pompe turbo. Les charges mécaniques ainsi générées peuvent endommager voire détruire la pompe turbo.
► Il faut s'assurer que tous les raccords de bride et de sûreté absorbent les forces résultantes.
► La chambre de vide doit être fixée en toute sécurité pour prévenir tout risque de déplacement ou
de basculement.
28/76
1)
Le couple de serrage calculé théoriquement en cas d’éclatement (rupture de l’axe du rotor) conformément à la
norme ISO 27892 n’a pas été atteint pendant les tests expérimentaux.
2)
Une charge qui s’exerce sur un seul côté n’est pas autorisée.
Installation
VACUUM CHAMBER
1
Fig. 6:
1
5.2.3
Exemple : Fixation contre le risque de déplacement et de basculement lié à des vibrations externes
Raccordement de sûreté, côté client
Utilisation d’un pare-éclats ou d’écran protecteur
Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride
de vide élevé protègent la pompe turbomoléculaire contre les matières étrangères provenant de la
chambre de vide. La vitesse de pompage est réduite conformément aux valeurs de référence de passage et à la taille de la bride de vide élevé.
Taille de bride
Réduction de la vitesse de pompage en % par type de gaz
H2
He
N2
Ar
Pare-éclats DN 320
6
9
22
23
Écran protecteur DN 320
2
2
6
7
Tab. 8:
Réduction de la vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire par l’intermédiaire de l’utilisation d’un bouclier pare-éclats ou d’un écran protecteur
► Pour les brides ISO, utilisez des anneaux de centrage avec un écran protecteur ou un pareéclats.
5.2.4
Orientations de montage
AVIS
Destruction de la pompe à vide en cas de non respect de la position spatiale spécifique au
type
Des positions spatiales interdites entraînent une pollution de la pompe à vide par le fluide d’exploitation. Il y a un risque de pollution du vide de processus et d'endommagement, voire de destruction de
la pompe à vide.
► Observer les étiquettes concernant la position spatiale valide de la pompe à vide.
► Observer les étiquettes de propriété sur la plaque de type.
► Avant de déplacer ou de transporter la pompe à vide, vider le fluide d’exploitation.
► L'installation mécanique doit être terminée avant de remplir la pompe à vide avec du fluide d’exploitation.
29/76
Installation
Fig. 7:
HiPace 3400 | Orientations de montage de la version standard, en position verticale
Fig. 8:
HiPace 3400 | Orientations de montage de la version standard, en suspension
► Prenez des mesures contre le reflux des fluides d’exploitation ou des condensats de la zone de
vide primaire.
HV
VV
Fig. 9:
VV
± 25° max
VV
Alignement du raccordement de vide primaire avec l’orientation de montage à l’horizontale
Détermination de l’orientation de montage horizontale de la pompe turbomoléculaire
1. Alignez toujours le raccord de vide primaire verticalement et vers le bas.
– Déviation admissible ± 25°
2. Les raccordements des tubes devant la pompe turbomoléculaire doivent être fixés sur des supports.
3. Les forces générées par le système de tuyauterie ne doivent pas s’exercer sur la pompe turbomoléculaire.
4. Ne chargez pas la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire sur un côté.
5.2.5
Fixation de la bride ISO-F à l’ISO-F
Les types de raccordement pour l’installation de la bride ISO-F avec une bride ISO-F sont :
● Vis à tête hexagonale et trou taraudé
● Vis hexagonale et trou traversant
30/76
Installation
● Goujon fileté avec trou taraudé
● Goujon fileté avec trou traversant
Outils requis
● Clé à écrou hexagonal (15 WAF)
● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6)
Fig. 10:
Raccord de bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trous taraudés
Raccordement de la vis à tête hexagonale et du trou taraudé
1. Utilisez seulement des kits de montage approuvés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Reliez la pompe turbomoléculaire avec l’anneau de centrage à la contre-bride conformément à la
figure.
3. Utilisez tous les composants prescrits pour la pompe turbomoléculaire.
4. Visser le nombre requis de vis à tête hexagonale dans le trou taraudé.
– Observez la résistance minimum de traction élastique du matériau de bride et la profondeur
des vis.
5. Serrez les vis à tête hexagonale en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage : 20, 40, 72 ± 3 Nm
Fig. 11:
Raccord à bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trous traversants
Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants
1. Utilisez seulement des kits de montage approuvés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Reliez la pompe turbomoléculaire avec l’anneau de centrage à la contre-bride conformément à la
figure.
3. Utilisez tous les composants prescrits pour la pompe turbomoléculaire.
4. Pousser les vis à tête hexagonale à travers les trous de la pompe turbomoléculaire et de la
contre-bride.
5. Serrer à bloc les écrous hexagonaux.
6. Serrer les raccords à vis en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage : 20, 40, 72 ± 3 Nm
Fig. 12:
Raccord à bride ISO-F, goujons et trous taraudés
31/76
Installation
Raccordement du goujon fileté et du trou taraudé
1. Utilisez seulement des kits de montage approuvés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Vissez les goujons avec l’extrémité la plus courte dans les trous taraudés de la contre-bride.
– Observez la résistance minimum de traction élastique du matériau de bride et la profondeur
des vis.
3. Reliez la pompe turbomoléculaire avec l’anneau de centrage à la contre-bride conformément à la
figure.
4. Utilisez tous les composants prescrits pour la pompe turbomoléculaire.
5. Serrer à bloc les écrous hexagonaux.
6. Serrez les écrous en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage : 20, 40, 72 ± 3 Nm
Fig. 13:
Raccord à bride ISO-F, goujons et trous traversants
Raccordement des goujons et des trous traversants
1. Utilisez seulement des kits de montage approuvés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Reliez la pompe turbomoléculaire avec l’anneau de centrage à la contre-bride conformément à la
figure.
3. Utilisez tous les composants prescrits pour la pompe turbomoléculaire.
4. Serrer les raccords à vis en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage : 20, 40, 72 ± 3 Nm
5.3
Remplissage avec du fluide d’exploitation
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par les vapeurs toxiques
L’inflammation et le chauffage de fluide d’exploitation synthétique forment des vapeurs toxiques. Risque d’empoisonnement en cas d’inhalation.
► Respecter les consignes et précautions d’application.
► Tenir les produits à base de tabac à l’écart du fluide d’exploitation.
AVIS
Destruction de la pompe turbo liée à un fonctionnement incorrect pendant le remplissage
avec du fluide d’exploitation
La quantité de fluide d’exploitation dépend de la position de la pompe turbo dans l'espace. Les positions des vis de remplissage sont clairement marquées sur les deux côtés de la pompe du fluide
d’exploitation de la pompe turbo. Toute confusion avec d'autres bouchons filetés entraîne une contamination, un endommagement de la pompe turbo, voire la destruction de cette dernière.
► L'installation mécanique doit être terminée avant de remplir la pompe turbo avec du fluide d’exploitation.
► Le remplissage de la pompe turbo avec du fluide d’exploitation ne s'effectue que par l'intermédiaire d'un des bouchons filetés marqués avec le symbole d'un bidon d'huile.
► En cas de doute, contacter Pfeiffer Vacuum.
Produits consommables requis
● Fluide d’exploitation F3, 50 ml
Outillage nécessaire
● Clé Allen, ouverture 5
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
32/76
Installation
Fig. 14:
La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions standards
Direction du raccord de vide
Fig. 15:
La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions U
Direction du raccord de vide
Procédure
1. Dévissez et enlevez le bouchon fileté supérieur de la pompe du fluide d’exploitation.
2. Utilisez la seringue et le fluide d’exploitation fourni avec la pompe turbomoléculaire.
3. Disposez un récipient sous l'orifice de remplissage.
4. Remplissez avec du fluide d’exploitation jusqu'à ce qu'il déborde de l'orifice de remplissage.
– Volume maximum 50 ml.
– Lorsque la pompe est montée verticalement, le volume de remplissage est inférieur.
5. Scellez le bouchon de remplissage.
– Couple de serrage : 3 Nm
5.4
Raccordement du côté vide primaire
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas
d'endommagement des connexions
Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a
un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant
des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux
toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort.
► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles.
► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo.
33/76
Installation
Pompe primaire appropriée
Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement en combinaison avec une pompe primaire
appropriée générant le niveau de vide primaire requis. Utiliser pour générer le niveau de
vide primaire, une pompe à vide ou une station de pompage appropriée de la gamme Pfeiffer Vacuum.
Dans ce cas, la pompe primaire est commandée directement via les interfaces de l'unité
d’entraînement électronique de la pompe turbomoléculaire (p. ex. coffret de relais ou câble
de connexion).
1
2
3
5
4
Fig. 16:
Exemple d’un raccord de vide primaire sur HiPace 3400 IT
1 Raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire
2 Composants de vide DN 40 ISO-KF
3 Pompe primaire (p. ex. pompe rotative à deux étages)
4
5
Anneau de serrage
Anneau de centrage
Établissez le raccord de vide primaire
1. Avec des raccords tubulaires rigides, vous devez inclure un soufflet pour atténuer les vibrations
externes.
2. Installez un raccord de vide primaire avec des composants à petite bride, p. ex. éléments de raccordement et composants de tube DN 40 ISO-KF de la boutique de composants Pfeiffer Vacuum.
3. Prenez des mesures contre le reflux des fluides d’exploitation ou des condensats de la zone de
vide primaire.
4. Observez les informations du manuel de l’utilisateur de la pompe primaire ou du groupe de pompage lors du raccordement et du fonctionnement.
34/76
Installation
5.5
Connexion d’eau de refroidissement
AVERTISSEMENT
Risque d’ébouillantage lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement à haute température
Les connexions d'eau de la pompe turbo sont ouvertes des deux côtés. Lors de la connexion de l'alimentation en eau de refroidissement, il y a un risque de blessure lié à la projection soudaine d'eau
de refroidissement sous haute pression et à haute température.
► Avant l'installation, vérifier que le système d'eau de refroidissement n'est pas sous pression et
qu'il est à température ambiante.
► Porter un équipement de protection individuelle, p. ex. lunettes et gants de sécurité.
Paramètre
Eau de refroidissement
Apparence
●
●
●
●
●
●
Valeur de pH
7à9
Dureté du carbonate max.
10 °dH
12,53 °e
17,8 °fH
178 ppm CaC03
Teneur en chlorure, max.
100 mg/l
Teneur en sulfate max.
240 mg/l
Teneur en acide carbonique, max.
Non détectable
Teneur en ammoniaque max.
Non détectable
Conductivité électrique max.
500 µS/cm
Taille max. des particules
150 µm
Température de l’eau de refroidissement
Voir « Fiche technique »
Débit d’eau de refroidissement
Voir « Fiche technique »
Pression d’eau de refroidissement, max.
6000 hPa
Tab. 9:
filtrée
mécaniquement conforme
visuellement transparente
pas de turbidité
pas de sédiment
exempte de graisse et d’huile
Exigences relatives à la composition de l’eau de refroidissement
Les pompes turbomoléculaires HiPace utilisent le refroidissement à eau en standard.
Il y a 2 versions différentes disponibles de raccordements d'eau de refroidissement :
Version
Raccordement à la
pompe turbo
Alimentation en eau de refroidissement externe
Buses de tuyau (comprises
dans la livraison)
Filetage interne, 1/4"
Conduite en tuyau avec
Diamètre intérieur de tuyau flexible 7 à
8 mm
Robinetterie de conduite (montée sur la pompe turbomoléculaire)
Robinetterie Swagelok,
3/8"
Conduite en acier surfin avec diamètre
extérieur 3/8"
Tab. 10:
Versions de raccordement d’eau de refroidissement
Test de pression
Exécuter un test de pression suite à l’installation et tous les travaux subséquents sur les
raccordements d'eau de refroidissement :
● Pression d'essai : 1×104 hPa
35/76
Installation
5.5.1 Établissement d’un raccordement d'eau de refroidissement avec des embouts
droits
Conditions préalables
● Le système de refroidissement fourni par le client est fermé et hors pression.
● Les raccords de tuyaux correspondent aux connexions sur la pompe turbomoléculaire.
Outillage nécessaire
● Clé à écrou, 17 mm
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
1
2
3
OUT
IN
4
Fig. 17:
Établissement d’un raccordement d'eau de refroidissement avec des embouts droits
1 Sortie d’eau de refroidissement, filetage 1/4"
2 Entrée d’eau de refroidissement, filetage 1/4"
3
4
Joint annulaire (2x)
Buse filetée (2x)
Procédure
Pfeiffer Vacuum recommande d’utiliser un filtre dans la conduite d’alimentation.
1. Vissez une des buses de tuyau avec le joint annulaire sur chaque connexion d’eau de refroidissement de la pompe turbo.
– Couple de serrage : 15 Nm max.
2. Raccordez la conduite d'alimentation d’eau de refroidissement à la buse de tuyau sur l’entrée
d’eau de refroidissement de la pompe turbo.
3. Raccordez la conduite de sortie d’eau de refroidissement à la buse de tuyau sur la sortie d’eau de
refroidissement de la pompe turbo.
4. Fixez les conduites sur la pompe turbo avec des colliers de serrage.
5.5.2
ries
Établissement d’un raccordement d'eau de refroidissement avec des robinetteConditions préalables
● Le système de refroidissement fourni par le client est fermé et hors pression.
● Les raccords de tuyaux correspondent aux connexions sur la pompe turbomoléculaire.
Consommable
● Tube en acier surfin 3/8e pouce
Outillage nécessaire
● Clé à écrou, 5/8e de pouce
● Clé à écrou, 11/16e de pouce
● Jauge de mesure Swagelok (optionnelle)
36/76
Installation
1
2
3
4
5
Fig. 18:
Raccordement d'eau de refroidissement avec des robinetteries de tubulures
1 Collecteur d'impuretés
2 Conduite d’aspiration
3 Conduite de retour
4
5
Écrou à chapeau
Corps de raccordement
Procédure
Pfeiffer Vacuum recommande d’utiliser un filtre dans la conduite d’alimentation.
1. Ébavurez le diamètre extérieur et intérieur du tube sur le côté du raccordement.
2. Insérez la tubulure dans la pièce d'assemblage de la tubulure jusqu’à la butée.
3. Serrez à la main l’écrou à chapeau.
4. Bloquez le corps du raccordement et serrez l'écrou à chapeau de 1 1/4 de tour avec la clé à
écrou.
5. Vérifiez l’installation correcte avec la jauge de mesure Swagelok.
– L’écrou à chapeau est serré correctement lorsque la jauge de mesure ne peut plus être insérée dans la fente entre l’écrou à chapeau et le corps de raccordement.
5.6
Connexion des accessoires aux pompe turbo avec un TMS
AVIS
Risque d'endommagement des équipements et du processus
La sortie accessoires « B » sur l'unité d’entraînement électronique est réservée au système de gestion de la température. Une configuration incorrecte ou désactivée de l'accessoire peut entraîner des
états de fonctionnement proscrits. Avec pour conséquence une interruption du processus ou un endommagement de la pompe turbo et des équipements de processus du client.
► Les paramètres par défaut d'usine du TMS [P:036] et [P:038] ne doivent pas être modifiés.
► Il est interdit de déconnecter des câbles pendant le fonctionnement.
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits.
● Les informations et options de commande pour les accessoires pour pompes turbomoléculaires hybrides approuvés se trouvent en ligne.
37/76
Installation
Connexions des accessoires à l'unité d’entraînement électronique pour le fonctionnement avec un TMS
L'unité d’entraînement électronique sur la pompe turbo offre un espace suffisant pour raccorder jusqu'à 2 accessoires additionnels. Les prises M12 avec la désignation « Accessoi­
res » sont disponibles à cet effet. La connexion « B » des accessoires sur l'unité d’entraînement électronique est affectée à l'unité de commande du TMS.
● Les accessoires additionnels pour la pompe turbo avec un système de gestion de la
température peuvent uniquement être utilisés sur la connexions des accessoires « A ».
● Les connexions des accessoires sont préconfigurées en usine pour le fonctionnement
avec le TMS.
11
Y-Connector
for Accessories
Tab. 11:
22
Raccordement de
l’unité de commande électronique
Raccordement des
accessoires
Connecteur Y
Configuration prédéfinie
Acc. A
A1
Y-1
Gaz de pressurisation
A2
Y-2
Vanne de ventilation
B1
non autorisé
Chauffage TMS
B2
non autorisé
inutilisé, non modifiable
Selon B
Connexions des accessoires préconfigurées sur l'unité d’entraînement électronique
pour le fonctionnement avec le TMS
Raccorder des accessoires préconfigurés
► Respectez les instructions d’installation du manuel de l’utilisateur concernant l’accessoire correspondant.
► Observez la configuration des connexions et des lignes de commande existantes.
► Raccordez uniquement les accessoires adaptés à l’unité de commande électronique.
► Seuls les accessoires compatibles doivent être raccordés sur « Accessoires A ».
► Utilisez la connexion libre sur le raccord Y si vous voulez raccorder 2 appareils sur « Accessoire
A ».
Utilisation d’accessoires supplémentaires
► Respectez les instructions d’installation du manuel de l’utilisateur concernant l’accessoire correspondant.
► Observez la configuration existante des connexions existantes.
► Quand une configuration est nécessaire, utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum.
5.7
Raccordement de la purge de gaz neutre
L’utilisation de la purge de gaz neutre sert à protéger la pompe turbomoléculaire dans les processus
poussiéreux ou avec des débits de gaz excessifs. La purge de gaz neutre empêche la pénétration de
substances dommageables dans l’espace du moteur et du palier. L’alimentation s’effectue par l’intermédiaire d’une vanne de la purge de gaz neutre déjà incluse dans l’étendue de livraison, assemblée et
configurée.
● L’utilisation de la purge de gaz neutre est obligatoire pour les pompes turbomoléculaires avec un
TMS.
● La pression d’entrée admissible de la purge de gaz neutre est de 1 500 hPa absolue.
● Le débit de la purge de gaz neutre est de 17,5 à 20 sccm.
Alimentation de purge de gaz neutre
Si vous voulez utiliser de l’air d’un local comme purge de gaz neutre, la vanne de la purge de gaz est
immédiatement prête à être utilisée.
38/76
Installation
Si vous souhaitez utiliser un autre gaz inerte (p ex. de l’azote N2) comme purge de gaz neutre, veuillez
suivre les étapes ci-après.
1. Fournissez une alimentation en purge de gaz neutre externe avec une pression d’entrée maximum de 1 500 hPa absolue.
2. Raccordez l’alimentation de la purge de gaz neutre au côté entrée (G 1/8") de la vanne.
3. Si nécessaire, utilisez un adaptateur de raccordement pour le côté entrée de la vanne (non fourni
dans l’étendue de livraison).
5.8
Prenez des mesures de prévention électriques
AVERTISSEMENT
Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant
La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal).
► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2.
► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum.
Absence d'arrêt d'urgence
La pompe n'est pas équipée d'un dispositif d'arrêt d'urgence EMS ni de verrouillage électrique. La pompe est conçue pour être intégrée dans un équipement possédant un dispositif
d'arrêt d'urgence.
● Ce dispositif d'arrêt d'urgence doit mettre la pompe hors tension lorsqu'il est activé.
Installation du disjoncteur secteur
1. Installez un disjoncteur secteur en tant qu’interrupteur principal.
2. Spécifiez le disjoncteur secteur conformément à la norme SEMI-S2.
3. Utilisez un disjoncteur d’une capacité de coupure d’au moins 10 kA.
5.8.1
Installation du coupe-circuit miniature
Coupe-circuit
Caractéristiques de déclenchement
B ou C selon CIE 60947-2
Taux d’interruption (AIC)
10 kA
Courant nominal IN
16 A, pour tension 200 – 240 V, 50/60 Hz
Tab. 12:
Exigences techniques pour un coupe-circuit miniature
Procédure
1. Observez les exigences techniques pour un coupe-circuit miniature.
2. Raccordez la pompe à vide au réseau secteur avec le coupe-circuit miniature.
3. Étiquetez le coupe-circuit miniature en tant que dispositif de mise hors circuit pour la pompe à vide.
5.8.2
Installation d’un coupe-circuit pour courant résiduel
En cas de défaut d'isolation, l’installation d’un coupe-circuit de courant résiduel garantit une protection
contre les risques de blessures.
Coupe-circuit de courant résiduel
Courant résiduel nominal IΔN
30 mA
Onde de courant résiduel
Type A
● Indépendante de la tension de ligne
● Déclenchement de courants de défaut CA et d’impulsions de courants de défaut CC
Tab. 13:
Exigences techniques relatives au coupe-circuit de courant résiduel
39/76
Installation
Procédure
1. Observez les exigences techniques relatives au coupe-circuit de courant résiduel.
2. Observez les périodes de révision prescrites pour les appareils protecteurs électriques.
5.9
Raccordement de l’alimentation électrique
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Choc électrique en cas de contact avec des éléments à nu et sous tension. Le raccordement incorrect de l’alimentation secteur entraîne un risque de contact avec des pièces du carter sous tension. Il
existe dès lors un danger de mort.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Assurez-vous que les installations électriques soient réalisées par des électriciens qualifiés.
► Établissez une mise à la terre correcte de l’appareil.
► Après l’opération de raccordement, contrôlez le conducteur de terre.
5.9.1
Mise à la terre de la pompe à vide
Accessoires requis
● Boulon, M4 × 8
● Rondelle anti-vibrations, M4
● Câble de mise à la terre approprié fiche M4
M4
Fig. 19:
Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre
Procédure
1. Utilisez un câble de mise à la terre approprié pour faire diverger les interférences applicatives.
2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur.
3. Utilisez la borne de terre de la pompe turbomoléculaire (filet de vis intérieure M4).
5.9.2
Raccordement électrique
AVERTISSEMENT
Risque de blessure fatale lié à un choc électrique causé par une installation incorrecte
L'alimentation électrique de l'appareil utilise des tensions mortelles. Une installation non sécurisée ou
inappropriée peut entraîner des situations dangereuses en raison des électrocutions lors des opérations avec ou sur l’unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
40/76
Installation
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu
L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de
ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement
des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé.
► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant
d'avoir raccordé la bride de vide élevé.
► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser.
2
3
Broche
Affectation
1
Phase L
2
Conducteur neutre
3
non connectée
PE
Conducteur de terre
1
PE
Tab. 14:
Agencement du terminal du connecteur d'alimentation électrique
Raccordement électrique de la pompe turbo et du boîtier TMS
Deux options existent pour le raccordement secteur de la pompe turbo et du boîtier TMS.
► Vérifier que la tension d'alimentation est correcte.
► Commander un câble d'alimentation électrique correspondant dans la gamme des accessoires
Pfeiffer Vacuum.
► Assembler votre propre câble d'alimentation électrique en utilisant les fiches de raccordement
HAN 3A livrées avec le produit.
41/76
Utilisation
6 Utilisation
6.1
Mise en service
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu
L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de
ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement
des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé.
► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant
d'avoir raccordé la bride de vide élevé.
► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser.
AVIS
Destruction de la pompe à vide liée à une entrée excessive d'énergie pendant le fonctionnement
La charge simultanée par l'intermédiaire d'une puissance d’entrée élevée (débit de gaz, pression du
vide préliminaire), rayonnement calorifique élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un
échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide.
► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des
valeurs limites inférieures s'appliquent.
AVIS
Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées
Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo.
► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique.
► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (>
80).
Les réglages et variables fonctionnelles essentielles sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre dispose d’un nombre à trois chiffres et d’une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par ces paramètres sont
assurés par les modules d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum, ou en externe via l’interface
RS-485 avec le protocole Pfeiffer Vacuum.
42/76
Paramètre
Nom
Désignation
Réglage ou valeur
[P:001]
Chauffage
Dispositif de chauffage
1
[P:027]
GasMode
Mode du gaz
0 = gaz lourds
[P:035]
CfgAccA1
Connexion des accessoires A1
5 = Gaz de pressurisation
[P:036]
CfgAccB1
Connexion des accessoires B1
9 = Dispositif de
chauffage TMS
[P:037]
CfgAccA2
Connexion des accessoires A2
1 = Vanne de mise
à l'air
[P:038]
CfgAccB2
Connexion des accessoires B2
6 = toujours 0
[P:700]
RUTimeSVal
Définir la valeur du temps de démarrage
15 min
[P:701]
SpdSwPt1
Point de commutation 1 vitesse de rotation
80 %
[P:704]
TMSsetTemp
Spécification température TMS
40 °C
[P:707]
SpdSVal
Spécification de fonctionnement en mode de
contrôle de vitesse
65 %
[P:708]
PwrSVal
Valeur de consigne de la consommation électrique
100 %
Utilisation
Paramètre
Nom
Désignation
Réglage ou valeur
[P:720]
VentSpd
Mise à l'air à la vitesse de rotation, mise à l’air
retardée
50 %
[P:721]
VentTime
Durée de ventilation, ventilation temporisée
3 600 s
Tab. 15:
Paramètres préconfigurés sur les pompes turbo avec TMS à la livraison
Mise en route de la pompe turbo
1. Inspectez l'ensemble du système de refroidissement pour détecter les fuites.
2. Respecter l'alimentation et le débit d'eau de refroidissement.
3. Respecter l'alimentation et le débit de gaz de pressurisation.
4. Alimenter le produit en électricité.
6.2
Modes de fonctionnement
Il existe plusieurs modes de fonctionnement pour la pompe turbomoléculaire.
●
●
●
●
●
6.2.1
Fonctionnement sans appareil de commande
Fonctionnement via la connexion « E74 »
Fonctionnement via la connexion « à distance »
Fonctionnement via l’interface RS-485 de l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou PC
Fonctionnement via un bus de terrain
Fonctionnement sans unité de fonctionnement
Démarrage automatique
La pompe turbo est prête à fonctionner lorsque la fiche d'accouplement fournie à la livraison est utilisée sur l'unité d’entraînement électronique ou lorsque les contacts de pontage
sont mis en œuvre conformément à l'agencement du terminal. Dès que la tension d’alimentation est fournie, la pompe turbo va démarrer automatiquement.
Instructions de fonctionnement sans panneau de commande
1. Utilisez uniquement la fiche d’accouplement agréée Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la
connexion de l’unité de commande électronique.
2. L’alimentation secteur de la pompe turbomoléculaire ne doit être mise en circuit que juste avant la
mise en route.
Après application de la tension de fonctionnement, l’unité de commande électronique effectue un test
automatique pour contrôler la tension d’alimentation. Si le test s’est terminé avec succès, la pompe turbomoléculaire démarre et active les équipements additionnels conformément à la configuration.
6.2.2
Fonctionnement via la connexion « E74 »
Le fonctionnement est possible via la connexion D-Sub à 15 broches avec la désignation « E74 » sur
l'unité d’entraînement électronique. En plus des signaux définis dans la directive SEMI E74-0301, la
connexion est fournie avec un signal d'alarme inversé et une sortie analogique.
Instructions d'utilisation avec E74
► Voir les instructions d'utilisation de l'unité de commande électronique avec la version E74.
6.2.3
Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance »
La commande à distance est disponible via la connexion D-Sub à 26 broches avec la désignation « à
distance » sur l'unité d’entraînement électronique. Les fonctions individuelles accessibles sont mappées
avec les « niveaux PLC ».
Instructions pour le fonctionnement avec commande à distance
► Voir les instructions d'utilisation de l'unité de commande électronique pour la version standard.
6.2.4
Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum
Le raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum permet de contrôler la pompe turbomoléculaire via des paramètres statiques mémorisés dans l’unité de commande électronique.
43/76
Utilisation
Utilisation de l’appareil de commande
1. Observez le manuel de l'utilisateur approprié pour la manipulation des appareils de commande
Pfeiffer Vacuum :
– Manuel de l’utilisateur à télécharger à la rubrique Download Center.
2. Observez le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique inclus dans la livraison
de la pompe à vide.
3. Raccordez l’appareil de commande au port « RS-485 » sur l’unité de commande électronique.
– Utilisez un câble de raccordement adéquat avec un connecteur « RS-485 ».
4. Activez l’alimentation électrique de la pompe turbomoléculaire via l’unité de courant externe ou
l’appareil de commande avec unité de courant intégrée.
6.2.5
Fonctionnement via un bus de terrain
les pompes turbo Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système de bus de terrain du client lorsqu'une unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspondant est utilisée.
Les éléments suivants sont disponibles :
●
●
●
●
Profibus
Profinet
EtherCAT
DeviceNet
Instructions pour le fonctionnement avec un bus de terrain
► Voir les instructions d'utilisation de l'unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspondant.
6.3
Mise en marche de la pompe turbo
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu
L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de
ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement
des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé.
► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant
d'avoir raccordé la bride de vide élevé.
► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser.
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonctionnement
L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des processus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un
risque de brûlure.
► Si nécessaire, installer une protection isolante.
► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux.
► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximité.
► Porter un équipements de protection, p. ex. gants.
44/76
Utilisation
AVERTISSEMENT
Risque de grave blessure lié à la destruction de la pompe à vide en raison d'une surpression
L'entrée de gaz à très haute surpression entraîne la destruction de la pompe à vide. Il existe un risque de grave blessure lié à l'éjection d'objets.
► Ne jamais dépasser la pression d'entrée autorisée de 1 500 hPa (absolue) sur le côté aspiration
ou la connexion de mise à l'air et de gaz de pressurisation.
► Vérifier que les surpressions liées au processus ne peuvent entrer directement dans la pompe à
vide.
2
1
3
4
Fig. 20:
Alimentation électrique secteur
1 Boîtier TMS avec prise de raccordement « ST1 »
2 Câble secteur avec douille boîtier TMS
3
4
Câble secteur avec douille unité d’entraînement électronique
Unité d’entraînement électronique avec connecteur
« Entrée CA »
Raccordement de l’alimentation électrique
1. Vérifiez que la connexion au réseau de l'opérateur est coupée ou mise hors circuit.
2. Brancher un câble secteur dans le connecteur « Entrée CA ST1 » sur le boîtier TMS.
3. Brancher un câble secteur dans le connecteur « Entrée CA » sur l'unité d’entraînement électronique.
4. Raccorder les supports de montage à la prise de raccordement.
Mise en marche de la pompe turbo
► Raccorder le câble d'alimentation secteur à l'alimentation électrique secteur du client.
► Mettre en circuit l'alimentation électrique.
6.4
Fonctionnement avec TMS
6.4.1
Connexion TMS
AVIS
Risque d'endommagement des équipements et du processus
La sortie accessoires « B » sur l'unité d’entraînement électronique est réservée au système de gestion de la température. Une configuration incorrecte ou désactivée de l'accessoire peut entraîner des
états de fonctionnement proscrits. Avec pour conséquence une interruption du processus ou un endommagement de la pompe turbo et des équipements de processus du client.
► Les paramètres par défaut d'usine du TMS [P:036] et [P:038] ne doivent pas être modifiés.
► Il est interdit de déconnecter des câbles pendant le fonctionnement.
Le réglage de la température supérieure est limité à 75 °C. Une augmentation est impossible.
45/76
Utilisation
Mise en circuit manuelle du TMS
1. Mettre en/hors circuit le TMS avec le paramètre [P:001].
2. Utiliser le paramètre [P:704] pour configurer le réglage de la température entre 30 °C et 75 °C.
6.4.2
Description du processus pour le TMS
La gestion de la température fonctionne automatiquement selon les réglages de l'unité d’entraînement
électronique.
► Observez les informations de paramétrage dans le manuel de l’utilisateur pour l’unité d’entraînement électronique correspondante.
► Comparez les affichages sur l'appareil de commande.
● Après activation, la pompe turbomoléculaire démarre avec l'entrée de puissance maximum.
● Après avoir atteint le point de commutation 1 de la vitesse de rotation, l'unité d’entraînement électronique met en circuit le chauffage TMS et ouvre la vanne de gaz de pressurisation.
─ Point de commutation 1 vitesse de rotation [P:701]
─ Chauffage [P:001]
─ Gaz de pressurisation [P:050]
● Le capteur dans le boîtier de la pompe turbomoléculaire surveille la température du chauffage.
─ Température réelle [P:331]
─ État température [P:333]
─ Réglage de température [P:704]
● Dès que le paramètre [P:333] commute sur la valeur « 1 », la température de consigne a été atteinte.
─ Le TMS a atteint un état stable
● Pour maintenir la température nominale, l’unité de commande électronique continue d’allumer et
d’éteindre le TMS.
6.5
Surveillance des opérations
6.5.1
Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la
pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionnement avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
LED
Vert
Jaune
Rouge
Tab. 16:
6.5.2
Symbole
État LED
Affichage
Signification
Désactivé
Sans courant
Activé, clignotant
« Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min
Activé, clignotement inverse
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite non atteinte
Activé, éclairé en continu
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite atteinte
Activé, clignotant
« Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de > 60 tr/min
Désactivé
Pas d'avertissement
Activé, éclairé en continu
Avertissement
Désactivé
Pas d'erreur, pas d'avertissement
Activé, éclairé en continu
Erreur, dysfonctionnement
Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique
Surveillance de la température
Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent
d’amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température
46/76
Utilisation
pour les messages d’avertissement et d’erreur sont mémorisés systématiquement dans l’unité de commande électronique. À titre d'information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de
paramètres.
● Afin d’éviter que la pompe turbomoléculaire ne se coupe, l'unité de commande électronique réduit
déjà la consommation de courant en cas de dépassement du seuil d’avertissement pour l’excès
de température.
─ Exemples : température moteur inadmissible, surchauffe inadmissible du corps de pompe.
● Le point de commutation de la vitesse de rotation peut ne pas être atteint en cas de réduction
supplémentaire de la puissance d’entraînement et par conséquent de la vitesse. La pompe turbomoléculaire se coupe.
● Le dépassement du seuil de température pour les messages d’erreur entraîne la coupure immédiate de la pompe turbomoléculaire.
6.6
Mise hors circuit et mise à l'air
Recommandation
Purger la pompe turbo après son arrêt. Cette opération permet d'éviter le reflux des particules dans le système de vide depuis la zone de vide préliminaire.
6.6.1
Mise hors circuit
Remarques relatives à la mise hors circuit de la pompe turbomoléculaire
1. Arrêtez la pompe turbomoléculaire via l’appareil de commande ou la commande à distance.
2. Fermez la conduite de vide primaire.
3. Désactivez la pompe à vide primaire, si nécessaire.
4. Ventilez la pompe turbomoléculaire.
5. Fermez les conduites d’alimentation (eau de refroidissement, purge de gaz neutre).
6.6.2
Mise à l'air
ATTENTION
Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air
Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct
de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome.
► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air.
► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de
mise à l'air.
AVIS
Endommagement de la pompe turbo lié à une augmentation rapide et inadmissible de la pression pendant la mise à l'air
L'augmentation rapide d'une pression élevée est inadmissible et soumet le rotor et le palier magnétique de la pompe turbo à une contrainte significative. Lors de la mise à l'air de très petits volumes
dans la chambre de vide ou la pompe turbo, il existe un risque d'augmentation incontrôlable de la
pression. La pompe turbo peut être endommagée mécaniquement ou détruite.
► La vitesse maximum d'augmentation de la pression de 15 hPa/s ne doit pas être dépassée.
► La mise à l'air manuelle et non contrôlée de très petits volumes est à éviter.
► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum si nécessaire.
Mise à l'air manuelle
La mise à l'air manuelle décrit la procédure standard de mise à l'air du groupe de pompage.
1. Vérifier que le système de vide est à l'arrêt.
2. Dévisser d'un tour au maximum la vis noire de mise à l'air sur la pompe turbo.
3. Attendre l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide.
4. Revisser la vis de mise à l'air.
47/76
Utilisation
Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum
La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo.
La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité
d’entraînement électronique de la pompe turbo et la configuration des paramètres [P:012] et [P:030].
En cas de panne de courant, la pompe turbo génère suffisamment d'énergie pendant sa phase d'arrêt
progressif pour initier une mise à l'air correcte. Lorsque le courant revient, la mise à l'air est interrompue.
► Mettre la pompe turbo hors circuit.
– Le processus de mise à l'air démarre automatiquement.
Vitesse de mise à l'air [P:720]
Durée de mise à l'air
[P:721]
Durée de mise à l'air en cas de panne de courant
50 % de la vitesse nominale
3 600 s
3 600 s
Tab. 17:
Paramètres d’usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo
Informations générales sur la mise à l'air rapide
Pfeiffer Vacuum recommande la mise à l'air rapide de grands volumes en 4 étapes.
1. Utiliser une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum pour la pompe turbo. Alternativement, la section
transversale de la vanne doit correspondre à la taille du récipient et au taux maximal de mise à
l'air.
2. Mettre à l'air le système de vide avec une augmentation de pression maximale de 15 hPa/s pendant 20 secondes.
3. Mettre ensuite à l'air avec une deuxième vanne de mise à l'air de taille quelconque, par exemple
directement sur la chambre de vide.
4. Attendre l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide.
48/76
Maintenance
7 Maintenance
7.1
Informations générales sur la maintenance
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien
L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la
pompe turbomoléculaire est à l’arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des
composants sous tension.
► Avant tout travail, mettez hors circuit l’interrupteur secteur.
► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
► Débranchez la prise secteur de l’appareil.
► Sécurisez l’appareil contre tout redémarrage intempestif.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
En mettant les mains dans la connexion de vide secondaire ouverte, risque de coupure lié aux
pièces coupantes en mouvement
Une manipulation incorrecte de la pompe turbomoléculaire avant le travail de maintenance entraîne
une situation dangereuse avec un risque de blessure. Lors du démontage de la pompe turbomoléculaire, il y a un risque de coupure en manipulant des pièces en rotation avec des faces acérées.
► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
► Mettez correctement hors circuit la pompe turbomoléculaire.
► Sécurisez la pompe turbomoléculaire contre tout risque de redémarrage.
► Fermez immédiatement les connexions ouvertes après démontage en utilisant le cache d'origine.
7.2
Intervalles de maintenance et responsabilités
Recommandations pour l'exécution des opérations de maintenance
1. Nettoyez l'extérieur de la pompe turbo avec un chiffon sans fusel et un peu d'alcool isopropylique.
2. Si l'unité d’entraînement électronique est défectueuse, la remplacer.
3. Remplacez le fluide d’exploitation.
4. Respectez les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation.
5. Le fluide d’exploitation doit au moins être remplacé tous les 4 ans.
6. Demandez à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier du rotor de la pompe turbo au moins
tous les 4 ans .
7. Exécutez un essai de pression du système d’eau de refroidissement au moins une fois par an.
– Pression d'essai : 1×104 hPa
8. Observez les périodes de révision prescrites de tous les six mois pour les appareils protecteurs
électriques.
9. En cas de charges extrêmes ou de processus avec des fluides contaminés, consulter Pfeiffer Vacuum Service pour déterminer des intervalles de maintenance plus courts.
10. Pour toutes les autres opérations de nettoyage, maintenance ou réparation, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center responsable.
49/76
Maintenance
7.3
Remplacement du fluide d’exploitation
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement lié au contact avec des substances toxiques
Le fluide d’exploitation et les pièces de la pompe turbo peuvent contenir des substances toxiques
provenant du liquide pompé.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Prendre les mesures de sécurité appropriées pour prévenir les risques liés aux dangers toxiques
ou à la pollution de l’environnement.
► Respecter les informations de la fiche technique de sécurité du fluide d’exploitation.
► Se débarrasser du fluide d’exploitation conformément à la réglementation locale en vigueur.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par les vapeurs toxiques
L’inflammation et le chauffage de fluide d’exploitation synthétique forment des vapeurs toxiques. Risque d’empoisonnement en cas d’inhalation.
► Respecter les consignes et précautions d’application.
► Tenir les produits à base de tabac à l’écart du fluide d’exploitation.
La fiche technique de sécurité se trouve dans le Download Center.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
●
7.3.1
Pompe turbomoléculaire coupée
Pompe turbomoléculaire refroidie
Système de vide mis à l’air à la pression atmosphérique
Alimentation électrique coupée
Tous les câbles débranchés de l'unité de commande électronique
Toutes les ouvertures obturées hermétiquement avec les caches protecteurs d'origine et les bouchons filetés, si nécessaire
Vidange du fluide d’exploitation
Standard
U-Version
1
2
3
1
2
Fig. 21:
Exemple de vidange du fluide d’exploitation pour les versions standards et U
1 Pompe du fluide d’exploitation
2 Boulon de vidange
3
Buse de vidange (pour la version U seulement)
Outillage nécessaire
● Clé Allen, ouverture 5
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Accessoires requis
● Récipient approprié pour collecter le fluide d’exploitation
● Buse de vidange
50/76
Maintenance
Vidange du fluide d’exploitation sur la version standard
1. Placer un récipient approprié sous l’orifice de vidange.
2. Dévissez le bouchon fileté de vidange inférieur de la pompe du fluide d’exploitation.
3. Vidangez la totalité du fluide d’exploitation.
4. Sceller l'orifice de vidange.
– Couple de serrage : 3,0 Nm
Vidange du fluide d’exploitation sur la version U
La chemise chauffante empêche une vidange correcte du fluide d’exploitation.
1. Utiliser la buse de vidange livrée avec le produit comme extension.
2. Visser la buse de vidange sur le bouchon fileté de la pompe du fluide d’exploitation.
3. Placer un récipient approprié sous l’orifice de vidange.
4. Dévisser et enlever la buse de vidange de la pompe du fluide d’exploitation en passant par le
manchon de vidange.
5. Vidangez la totalité du fluide d’exploitation.
6. Sceller le bouchon fileté de vidange.
– Couple de serrage : 3,0 Nm
7. Dévisser et enlever la buse de vidange de la pompe du fluide d’exploitation.
8. Éliminer tout fluide d'exploitation qui s'est échappé.
7.3.2
Remplissage avec du fluide d’exploitation
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par les vapeurs toxiques
L’inflammation et le chauffage de fluide d’exploitation synthétique forment des vapeurs toxiques. Risque d’empoisonnement en cas d’inhalation.
► Respecter les consignes et précautions d’application.
► Tenir les produits à base de tabac à l’écart du fluide d’exploitation.
AVIS
Destruction de la pompe turbo liée à un fonctionnement incorrect pendant le remplissage
avec du fluide d’exploitation
La quantité de fluide d’exploitation dépend de la position de la pompe turbo dans l'espace. Les positions des vis de remplissage sont clairement marquées sur les deux côtés de la pompe du fluide
d’exploitation de la pompe turbo. Toute confusion avec d'autres bouchons filetés entraîne une contamination, un endommagement de la pompe turbo, voire la destruction de cette dernière.
► L'installation mécanique doit être terminée avant de remplir la pompe turbo avec du fluide d’exploitation.
► Le remplissage de la pompe turbo avec du fluide d’exploitation ne s'effectue que par l'intermédiaire d'un des bouchons filetés marqués avec le symbole d'un bidon d'huile.
► En cas de doute, contacter Pfeiffer Vacuum.
Produits consommables requis
● Fluide d’exploitation F3, 50 ml
Outillage nécessaire
● Clé Allen, ouverture 5
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
51/76
Maintenance
Fig. 22:
La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions standards
Direction du raccord de vide
Fig. 23:
La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions U
Direction du raccord de vide
Procédure
1. Dévissez et enlevez le bouchon fileté supérieur de la pompe du fluide d’exploitation.
2. Utilisez la seringue et le fluide d’exploitation fourni avec la pompe turbomoléculaire.
3. Disposez un récipient sous l'orifice de remplissage.
4. Remplissez avec du fluide d’exploitation jusqu'à ce qu'il déborde de l'orifice de remplissage.
– Volume maximum 50 ml.
– Lorsque la pompe est montée verticalement, le volume de remplissage est inférieur.
5. Scellez le bouchon de remplissage.
– Couple de serrage : 3 Nm
7.4
Remplacement de l’unité d’entraînement électronique
L'unité d’entraînement électronique de la pompe turbomoléculaire ne peut pas être réparée. En cas de
défaut, remplacer toute l'unité d’entraînement électronique par une unité de rechange.
52/76
Maintenance
ATTENTION
Risque de choc électrique et d’endommagement de la pompe à vide et de l'unité de commande électronique lié à la déconnexion incorrecte des composants
Même après avoir mis hors circuit l’alimentation secteur, la pompe turbomoléculaire continue de fournir de l’énergie électrique tant qu’elle n’est pas complètement à l’arrêt. Si la pompe turbomoléculaire
et l’unité de commande électronique sont déconnectées prématurément, il y a un risque de choc
électrique en cas de contact avec des composants sous tension. Il y a un risque de contact électrique
du corps avec à la clé la destruction des composants électroniques.
► Ne déconnectez jamais la pompe turbomoléculaire et l’unité de commande électronique encore
sous tension ou si le rotor est en rotation.
► Surveillez la rotation de la pompe turbomoléculaire par l’intermédiaire des paramètres disponibles dans l’unité de commande électronique (p. ex. [P:398]).
► Attendez l’arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
AVIS
Dommages matériels dus à une décharge électrostatique
Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées,
les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits.
► Implémenter les mesures préventives CEM sur le poste de travail.
► Observez la norme EN 61340 « Protection des appareils électroniques contre les phénomènes
électrostatiques ».
Sauvegarde des réglages effectués par le client
Les paramètres d’usine sont toujours activés par défaut sur les unités de rechange. Tous
les réglages effectués par le client sur l’unité de commande électronique d’origine sont perdus lors de son remplacement. Pour conserver vos réglages personnalisés, vous pouvez :
1. Sauvegardez tous vos paramètres en tant que jeu de paramètres dans une HPU.
2. Chargez un jeu de paramètres de sauvegarde par l’intermédiaire d’une HPU dans la
nouvelle unité de commande électronique.
3. Programmez manuellement les paramètres individuels dans la nouvelle unité de commande électronique.
4. Voir le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique et de la HPU.
Travail préparatoire
1. N'exercez pas de charge mécanique sur l’unité de commande électronique.
2. Mettez la pompe turbomoléculaire hors circuit (voir chapitre « Mise hors circuit », page 47).
3. Mettez à l'air le système de vide à la pression atmosphérique (voir chapitre « Mise à l'air », page 47).
4. Coupez l'alimentation électrique.
5. Retirez tous les câbles de l'unité d’entraînement électronique.
6. En cas de démontage de la pompe turbomoléculaire du système : obturez hermétiquement
toutes les ouvertures en utilisant les bouchons filetés et les caches d'origine.
7.4.1
Démontage de l’unité de commande électronique
Outillage nécessaire
● Clé Allen, taille 3
53/76
Maintenance
1
5
Fig. 24:
4
2
3
Démontage de l’unité d’entraînement électronique
1 Unité de commande électronique TC 1200
2 Plaque de refroidissement
3 Rondelle anti-vibration
4
5
Vis à tête Allen M4 x 12
Vis à tête Allen M4 x 65
Démontage de l’unité d’entraînement électronique
1. Après le démontage de la pompe turbo, observez la position spatiale valide.
2. Dévissez les vis à tête Allen M4 × 12 et M4 x 65 de fixation de l'unité d’entraînement électronique
sur la pompe turbo.
3. Attention à la rondelle à dents chevauchantes.
4. Rangez les vis et la rondelle à dents chevauchantes dans un endroit sûr.
5. Retirer soigneusement l'ancienne unité d’entraînement électronique en faisant attention à la maintenir droite.
7.4.2
Installation de l’unité d’entraînement électronique
Outillage nécessaire
● Clé Allen, taille 3
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Installation de l’unité d’entraînement électronique
1. Si nécessaire, introduire le joint torique dans la rainure du socle de la pompe.
2. Aligner la nouvelle unité d’entraînement électronique sur le bord rectiligne de la plaque de refroidissement au-dessus de la pompe du fluide d’exploitation.
3. Soigneusement mettre en place la nouvelle unité d’entraînement électronique sur la fiche de raccordement de la pompe turbo en vérifiant qu’elle est bien droite.
4. Vérifier que l’unité d’entraînement électronique est bien mise en place sur le socle de la pompe et
correctement positionnée par rapport aux alésages des raccords à vis.
1
2
5
Fig. 25:
4
3
Fixation de l’unité de commande électronique
1 Unité de commande électronique TC 1200
2 Bouchon fileté
3 Rondelle anti-vibration
54/76
4
5
Vis à tête Allen M4 x 12
Vis à tête Allen M4 x 65
Maintenance
Fixation de l’unité d’entraînement électronique
1. Visser une vis à tête Allen M4 x 12 avec la rondelle anti-vibration dans l’alésage devant la fiche de
raccordement d’électricité de l’unité d’entraînement électronique.
2. Visser une vis à tête Allen M4 x 12 dans l'alésage devant le panneau de connexion de l’unité
d’entraînement électronique.
3. Utiliser toutes les autres vis à tête Allen M4 x 65 pour fixer l'unité d’entraînement électronique sur
la pompe turbo.
– Couple de serrage : 2,5 Nm
4. Retirer les bouchons filetés des connexions de l'unité d’entraînement électronique.
5. Les conserver dans un endroit sûr.
7.4.3
Confirmation de la spécification de vitesse
La vitesse de rotation nominale typique d’une pompe turbomoléculaire est préréglée en usine dans
l’unité de commande électronique. Si l’unité de commande électronique est remplacée ou si un autre
type de pompe est utilisé, la présélection de consignes pour la vitesse de rotation nominale est effacée.
La confirmation manuelle de la vitesse de rotation nominale fait partie d’un système de sécurité redondant et sert de mesure de prévention contre la survitesse.
HiPace
Confirmation de la vitesse de rotation nominale [P:777]
1200/1500
630 Hz
1800/2300
525 Hz
2800/3400
455 Hz
Tab. 18:
Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires
Aides requises
● Un appareil de commande Pfeiffer Vacuum raccordé.
● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de travail de l’unité de commande
électronique.
Réglage de confirmation de la vitesse de rotation nominale
1. Observer le manuel de l'utilisateur de l’appareil de commande.
2. Voir le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique.
3. Définir le paramètre [P:794] sur « 1 » et activer le jeu de paramètres étendu.
4. Ouvrir et éditer le paramètre [P:777].
5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz.
7.5
Remplacement de la chemise chauffante
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonctionnement
L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des processus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un
risque de brûlure.
► Si nécessaire, installer une protection isolante.
► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux.
► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximité.
► Porter un équipements de protection, p. ex. gants.
Travail préparatoire
1. Mettez la pompe turbomoléculaire hors circuit (voir chapitre « Mise hors circuit », page 47).
2. Laissez le dispositif chauffant refroidir à température ambiante.
55/76
Maintenance
7.5.1
Démontage d’une chemise chauffante
1
4
2
3
Fig. 26:
Démontage de la chemise chauffante
1 Chemise chauffante
2 Sangle
3
4
Connecteur
Boîtier TMS
Démontage de la chemise chauffante
La chemise chauffante doit être remplacée en cas de défaut ou de fuite dans le système d’eau de refroidissement.
1. Enlevez le connecteur du câble de commande sur le boîtier TMS.
2. Desserrez la sangle et les éléments de fixation à velcro sur la chemise chauffante.
3. Enlevez la chemise chauffante.
56/76
Maintenance
7.5.2
Installation d’une chemise chauffante
1
4
Fig. 27:
3
2
Installation d’une chemise chauffante
1 Chemise chauffante
2 Sangle
3
4
Connecteur
Boîtier TMS
Installation d’une chemise chauffante
1. Montez la nouvelle chemise chauffante autour de la section cylindrique du corps de pompe.
2. Serrez la sangle.
3. Fermez tous les éléments de fixation à velcro.
4. Vérifiez que la chemise chauffante est montée bien serrée tout autour du corps.
5. Raccordez le connecteur du câble de commande au raccordement correspondant sur le boîtier
TMS et bloquez le connecteur.
6. Contrôler la spécification dans la configuration « accessoire B1 ».
7.6
Remontage des robinetteries des tubulures
AVERTISSEMENT
Risque d’ébouillantage lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement à haute température
Les connexions d'eau de la pompe turbo sont ouvertes des deux côtés. Lors de la connexion de l'alimentation en eau de refroidissement, il y a un risque de blessure lié à la projection soudaine d'eau
de refroidissement sous haute pression et à haute température.
► Avant l'installation, vérifier que le système d'eau de refroidissement n'est pas sous pression et
qu'il est à température ambiante.
► Porter un équipement de protection individuelle, p. ex. lunettes et gants de sécurité.
7.6.1
Démontage des pièces d'assemblage des tubulures
Conditions préalables
● Le système de refroidissement fourni par le client est hors pression.
Outillage nécessaire
● Clé à écrou, 5/8e de pouce
● Clé à écrou, 11/16e de pouce
57/76
Maintenance
Accessoires requis
● Marqueur approprié
4
3
5
1
2
Fig. 28:
Démontage des pièces d'assemblage des tubulures
1 Marquage sur la tubulure
2 Marquage sur l'écrou à chapeau
3 Marquage sur le corps de raccordement
4
5
Écrou à chapeau
Corps de raccordement
Démontage des pièces d'assemblage des tubulures
Les pièces d'assemblage pour tubulure Swagelok peuvent être démontées et remontées de façon répétée.
1. Marquez le bord extérieur de l’écrou à chapeau avec un tiret avant de démonter la tubulure.
2. Marquez la clé à écrou à plat sur l'écrou à chapeau et sur le corps de raccordement avec un tiret.
3. Desserrez les pièces d'assemblage à boulons.
7.6.2
Montage des pièces d'assemblage des tubulures
Conditions préalables
● Le système de refroidissement fourni par le client est hors pression.
Outillage nécessaire
● Clé à écrou, 5/8e de pouce
● Clé à écrou, 11/16e de pouce
1
Fig. 29:
2
3
4
5
Montage des pièces d'assemblage des tubulures
1 Écrou à chapeau
2 Corps de raccordement
3 Marquage sur la tubulure
4
5
Marquage sur l'écrou à chapeau
Marquage sur le corps de raccordement
Montage des pièces d'assemblage des tubulures
1. Insérez la tubulure dans la pièce d'assemblage de la tubulure jusqu’à la butée.
2. Bloquez le corps de raccordement et, avec la clé à écrou, tournez l'écrou à chapeau dans sa position d’origine.
– La résistance est sensiblement plus élevée dans cette position.
3. La jauge de mesure Swagelok ne peut pas être utilisée pour le remontage des pièces d'assemblage de tubulures.
58/76
Mise hors service
8 Mise hors service
8.1
Mise hors service pendant une période prolongée
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Procédure pour un arrêt prolongé de la pompe turbomoléculaire (> 1 an)
1. Si nécessaire, retirez la pompe turbomoléculaire du système de vide.
2. Vidangez le fluide d’exploitation de la pompe turbomoléculaire.
3. Vidangez et séchez le système d’eau de refroidissement de la pompe turbomoléculaire.
4. Fermez la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
5. Évacuez la pompe turbomoléculaire par l’intermédiaire du raccord de vide primaire.
6. Ventilez la pompe turbomoléculaire par l’intermédiaire du raccordement correspondant avec de
l’air sans huile et sec ou du gaz inerte.
7. Fermez toutes les ouvertures de bride avec les obturateurs de protection d’origine.
8. Rangez la pompe turbomoléculaire avec l’axe de rotation vertical dans la position admissible dans
l’espace.
9. Stockez la pompe turbomoléculaire dans un local à la température spécifiée.
10. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Scellez hermétiquement la pompe turbomoléculaire avec un agent de séchage dans un sac en plastique.
8.2
Remise en service
AVIS
Risque d'endommagement de la pompe turbo lié au vieillissement du fluide d’exploitation
après la remise en service
La durée de conservation du fluide d’exploitation de la pompe turbo est limitée. Le vieillissement du
fluide d’exploitation peut entraîner la défaillance du roulement à billes et endommager la pompe turbo.
► Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation :
● après 2 ans au maximum sans fonctionnement,
● après 4 ans au maximum en combinant périodes de fonctionnement et d'arrêt.
► Respecter les instructions de maintenance et informer le service Pfeiffer Vacuum.
Procédures de remise en service de la pompe turbo
1. Contrôler la pompe turbo à la recherche de tout signe de contamination et de moisissure.
2. Nettoyer l'extérieur de la pompe turbo avec un chiffon sans fusel et un peu d'alcool isopropylique.
3. Si nécessaire, demander au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbo.
4. Respecter la durée de fonctionnement totale de la pompe turbo. Si nécessaire, demander à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier.
5. Remplacer le fluide d’exploitation de la pompe turbo.
6. Installer la pompe turbo conformément à ces instructions (voir chapitre « Installation », page 27).
7. Remettre en service la pompe turbo conformément à ces instructions (voir chapitre « Mise en service », page 42).
59/76
Recyclage et mise au rebut
9 Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
9.1
Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
9.2
Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires
Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation.
2. Enlevez l’unité de commande électronique.
3. Décontaminez les composants qui sont entrés en contact avec les gaz de procédé.
4. Séparez les composants en matériaux recyclables.
5. Recyclez les composants non contaminés.
6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
60/76
Dysfonctionnements
10
Dysfonctionnements
DANGER
Danger de blessure mortelle liée à un choc électrique dû à une fuite dans le système d’eau de
refroidissement
La pénétration de l’eau de refroidissement qui fuit dans le dispositif chauffant va mettre sous tension
les pièces externes de la chemise chauffante. Le matériau d’isolation absorbe l’humidité et représente un danger potentiel, même après la rectification du défaut. Il y a un danger de mort lié à un choc
électrique en cas de contact.
► Effectuez un essai de surpression du système d’eau de refroidissement au moins une fois par
an.
► En cas de défaut, remplacez toujours la chemise chauffante complète.
► Assurez-vous d'installer un coupe-circuit de courant résiduel sur site.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbomoléculaire en cas de défaut
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. Si la pompe turbomoléculaire n'est pas correctement fixée, elle peut rompre. L'énergie
ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbomoléculaire ou des fragments de l'intérieur de celle-ci
dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Les instructions d'installation de cette pompe turbomoléculaire doivent être respectées.
► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées.
► Utilisez uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas
d'endommagement des connexions
Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a
un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant
des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux
toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort.
► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles.
► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo.
61/76
Dysfonctionnements
En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponibles ici. Le manuel de l’utilisateur de l'unité d’entraînement électronique associée contiennent une description plus détaillée des erreurs.
Problème
Causes possibles
Action corrective
La pompe turbomoléculaire ne démarre pas ; aucune des DEL sur
l’unité de commande électronique
ne s’éclaire
● L’alimentation électrique a
été coupée
● Vérifiez les contacts des fiches sur le pack
d’alimentation électrique.
● Vérifiez les lignes d’alimentation électrique.
● Tension de fonctionnement incorrecte
● Respectez les données sur la plaque signalétique de l’unité de commande électronique.
● Alimentez avec la tension de fonctionnement
correcte.
● Pas de tension de fonctionnement
● Alimentez avec la tension de fonctionnement
correcte.
● Unité de commande électronique défectueuse
● Remplacez l’unité de commande électronique.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Fonctionnement sans
appareil de commande :
les broches 1-3, 1-4 et
1-14 ne sont pas connectées sur la connexion
« distante »
● Raccordez les connexions conformément au
schéma de raccordement de l’unité de commande électronique.
● Installer la prise bouchon fournie.
● Pour le fonctionnement
via RS-485 : le pontage
entre les broches 1 et 14
inhibe les instructions de
réglage
● Retirez le pontage sur la connexion « distante ».
● Retirez la prise bouchon de l’unité de commande électronique.
● Pour le fonctionnement
via RS-485 : les paramètres ne sont pas réglés
dans l’unité de commande
électronique
● Réglez les paramètres [P: 010] et [P: 023] via
l’interface RS-485 sur 1 = "ON".
● La chute de tension dans
le câble est trop grande
● Vérifiez le câble de raccordement.
● Utilisez un câble de raccordement adéquat.
● Pression de vide primaire
trop haute
● Vérifiez la compatibilité de la pompe primaire
(voir la fiche technique).
● Vérifiez si la pompe primaire fonctionne.
● Fuite sur la pompe turbomoléculaire
● Repérez les fuites.
● Vérifiez les joints et les raccords de bride.
● Éliminez les fuites.
● Débit de gaz trop élevé
● Réduisez la charge de gaz de procédé.
● Le rotor tourne avec des
à-coups, le palier est défectueux
● Vérifiez la pompe turbomoléculaire pour détecter tout bruit étrange
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Point de consigne de
temps d’accélération réglé
trop bas
● Utilisez un appareil de commande pour étendre la valeur de réglage du temps d’accélération [P:700].
Charge thermique due à :
● défaut de ventilation
● débit d’eau insuffisant
● Pression de vide primaire
trop haute
● température ambiante
trop élevée
● Réduisez la charge thermique.
─ Assurez une circulation d’air suffisante.
─ Ajustez le débit d’eau de refroidissement.
─ Réduisez la pression du vide primaire.
─ Adaptez les conditions ambiantes.
● La pompe turbomoléculaire est polluée
● Chauffez la pompe turbomoléculaire si nécessaire.
● Faites-la nettoyer.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Fuite au niveau de l’enceinte à vide, des tuyauteries ou de la pompe turbomoléculaire
● Repérez les fuites en commençant par l’enceinte à vide.
● Vérifiez les joints et les raccords de bride.
● Éliminez les fuites dans le système de vide.
La pompe turbomoléculaire ne démarre pas ; la DEL verte sur l’unité
de commande électronique clignote
La pompe turbomoléculaire n’atteint
pas la vitesse de rotation nominale
dans le temps d’accélération paramétré
La pompe turbomoléculaire n’atteint
pas la pression ultime
62/76
Dysfonctionnements
Bruits de fonctionnement inhabituels
● Le palier du rotor est endommagé
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Rotor endommagé
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Pare-éclats ou écran protecteur desserré
● Vérifiez et corrigez le siège du pare-éclats ou
de l’écran protecteur dans la bride de vide élevé.
● Suivez les instructions d’installation.
La DEL rouge s’éclaire sur l’unité
de commande électronique
● Erreur de groupe
● Réinitialisez l’anomalie en mettant l’alimentation en courant hors circuit et en circuit.
● Réinitialisez l’anomalie avec V+ sur la broche 13 sur la connexion « Remote ».
● Réglez le paramètre [P: 009] via l’interface
RS-485 sur 1 = Validation anomalie.
● Réglez le paramètre [P: 010] via l’interface
RS-485 sur 0 = Arrêt et ensuite sur 1 = Marche et validation anomalie.
● Réalisez une analyse différenciée des anomalies à l'aide d'un appareil de commande.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
L’eau de refroidissement a saturé le
matériau isolant du chauffage
● Fuite dans le système
d’eau de refroidissement
● Enlevez le connecteur du chauffage du boîtier
TMS.
● Arrêtez la pompe à vide.
● Enlevez la chemise chauffante et remplacez
tout le chauffage.
Tab. 19:
Dépannage des pompes turbomoléculaires
63/76
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
64/76
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
65/76
Pièces de rechange
12
Pièces de rechange
1
2
9
3
4
8
7
5
6
Fig. 30:
Pièces de rechange HiPace 3400 IT | IUT
Position
Désignation
Grandeur
1
Unité de commande électronique TC 1200
2
Fiche E74
3
Douille d’alimentation
4
5
6
Seringue
7
Référence
Remarque
Pièces
se référer à la plaque signalétique
en fonction du panneau
de connexion
1
P 4723 110
1
PM 061 200 -T
1
Vanne de la purge de gaz
PM Z01 313 A
1
Chauffage
PM 183 801
1
50 ml
PM 006 915 -U
1
Fluide d’exploitation F3
50 ml
PM 006 336 -T
Autres longueurs disponibles à la demande
1
8
Tuyère filetée
G 1/4"
P 4169 201 X
pour diamètre intérieur
de tuyau flexible 7 à
8 mm
1
9
Raccords à vis Swagelok
Filetage
3/8",
coudées
P 4121 358 C
en tant qu’alternative à
l’article 8
1
Tab. 20:
66/76
HAN 3
Pièces de rechange disponibles
Accessoires
13
Accessoires
Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires pour pompes turbomoléculaires hybrides à paliers.
13.1 Informations sur les accessoires
Matériel de fixation
Ensembles assemblés spécifiques au type avec anneau de centrage et joint, vérifiez la sécurité de la
fixation de la pompe à vide. En option avec pare-éclats ou écran protecteur.
Unités de courant et affichages
Les unités de courant pour tension d'alimentation optimale des produits Pfeiffer Vacuum sont caractérisées par leur taille compacte et une tension d'alimentation adaptée pour une fiabilité maximum. Les unités d'affichage et de fonctionnement sont utilisées pour la vérification et l'ajustement des paramètres de
travail.
Câbles et adaptateurs
Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres
longueurs disponibles sur demande
Accessoires de remise à l'air
Une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum offre une sécurité de fonctionnement et de processus maximum. Commande automatique via l'unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomoléculaire.
Alimentation en gaz de pressurisation
Le gaz de pressurisation est utilisé pour la protection de la pompe à vide contre la poussière et les processus corrosifs ou les débits excessifs de gaz. Le gaz de pressurisation empêche la pénétration de
substances dommageables dans le moteur et les roulements. L’alimentation est assurée soit par l'intermédiaire d'une vanne de gaz de pressurisation ou d’un étranglement de gaz de pressurisation sans
commande.
Commande de pompe à vide primaire
L'unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire permet une commande utile des pompes à vide primaire. En fonction de la pompe à vide primaire utilisée, différents modes de fonctionnement sont disponibles.
Mesure intégrée de la pression
Évaluation et contrôle via l'unité de commande électronique intégrée, indépendamment d'une alimentation électrique supplémentaire.
13.2
Commande d’accessoires
Description
Référence
Câble de secteur 230 V CA, CEE 7/7 vers HAN 3A, 3 m
P 4564 309 HA
Câble de secteur 208 V AC, NEMA 6-15 vers HAN 3A, 3 m
P 4564 309 HB
Câble de secteur 115 V AC, NEMA 5-15 vers HAN 3A, 3 m
PM 061 187 -X
Câble d’interface RJ 45 sur M12 pour HiPace
PM 051 726 -T
Câble d’interface RJ 45 sur M12 pour HiPace
PM 051 726 -T
HPU 001, module de programmation portatif
PM 051 510 -T
OmniControl 001 mobile, appareils de commande
PE D20 000 0
OmniControl 001, unité châssis sans unité de courant intégrée
PE D40 000 0
Raccord en Y M12 pour RS-485
P 4723 010
Connecteur en Y, blindé, M12 pour accessoires
P 4723 013
Convertisseur USB RS-485
PM 061 207 -T
Câble d’interface, M12 m droit/M12 m droit, 3 m
PM 061 283 -T
67/76
Accessoires
Description
Référence
Câble de rallonge M12 sur M12
PM 061 747 -T
Vanne de remise à l'air, blindée, 24 V CC, G 1/8" pour le raccordement à
TC 400/1200 et TM 700
PM Z01 291
Unité de surveillance de gaz d'étanchéité G 1/8"
PM 016 911 -U
Boîtier de relais, blindé, pour pompes à vide primaire, moteur monophasé 7 A pour
TC 400/1200, TM 700 et TCP 350, M12
PM 071 284 -X
Boîtier de relais, blindé, pour pompes à vide primaire, moteur monophasé 20 A
pour TC 400/1200, TM 700 et TCP 350, M12
PM 071 285 -X
TIC 010, adaptateur pour deux capteurs
PT R70 000
RPT 010, sonde numérique Piezo/Pirani
PT R71 100
IKT 010, sonde de mesure à cathode froide numérique, courant de faible intensité
PT R72 100
IKT 011, sonde de mesure à cathode froide numérique, courant de forte intensité
PT R73 100
Tab. 21:
68/76
Accessoires
Caractéristiques techniques et dimensions
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1
Généralités
Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum.
Caractéristiques techniques
Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple.
● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5
● ISO 27892 2010 : « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesure du couple d'arrêt
rapide »
● ISO 21360 2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Partie 1 : Description générale »
● ISO 21360 2018 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Partie 4 : Pompes à vide turbomoléculaires »
● Pression ultime avec dôme de test après 48 h
● Débit de gaz avec refroidissement à eau ; pompe de secours = pompe à palettes rotative
(10 m3/h)
● Consommation d’eau de refroidissement à débit maximum de gaz, température de l’eau de refroidissement 25 °C
● Taux de fuite intégral avec une concentration de 100 % d'hélium, durée de mesure 10 s
● Niveau de pression acoustique à une distance = 1 m de la pompe à vide
mbar
bar
Pa
100
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
1 · 10
1,000
100
750
Pa
0,01
1 · 10-5
1
0,01
1 · 10-3
7.5 · 10-3
hPa
1
1 · 10
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33
0,133
1
-3
5
-3
133,32
-3
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
Tab. 22:
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m /s
10
1
592
7,5
9,87
sccm
1.69 · 10-2
1.69 · 10-3
1
1,27 · 10-2
1.67 · 10-2
Torr l/s
1,33
0,133
78,9
1
1,32
atm cm3/s
1,01
0,101
59,8
0,76
1
mbar l/s
3
Tab. 23:
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
14.2 Fiche technique
Désignation du type
HiPace® 3400 IT
HiPace® 3400 IUT
Numéro de commande
PM P06 544
PM P06 554
Bride de raccordement (entrée)
DN 320 ISO-F
DN 320 ISO-F
Bride de raccordement (sortie)
DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
Orientation de montage
0° (bride HV haut) –
90°
90° – 180° (bride HV
fond)
Pression limite
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
69/76
Caractéristiques techniques et dimensions
70/76
Désignation du type
HiPace® 3400 IT
HiPace® 3400 IUT
Vitesse de rotation ±2 %
27300 rpm
27300 rpm
Vitesse de rotation variable
50 – 100 %
50 – 100 %
Temps d'accélération
8,6 min
8,6 min
Débit pour Ar
2900 l/s
2900 l/s
Débit pour H2
2900 l/s
2900 l/s
Débit pour He
3200 l/s
3200 l/s
Débit pour N2
3200 l/s
3200 l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar, pompe
chauffée à 65 °C
9 hPa·l/s
9 hPa·l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar, pompe
chauffée à 75 °C
6 hPa·l/s
6 hPa·l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour H2, pompe
chauffée à 65 °C
30 hPa·l/s
30 hPa·l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour H2, pompe
chauffée à 75 °C
18 hPa·l/s
18 hPa·l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour He, pompe
chauffée à 65 °C
18 hPa·l/s
18 hPa·l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour He, pompe
chauffée à 75 °C
10 hPa·l/s
10 hPa·l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2, pompe
chauffée à 65 °C
13 hPa·l/s
13 hPa·l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2, pompe
chauffée à 75 °C
7 hPa·l/s
7 hPa·l/s
Débit max. de gaz à 0,1 hPa de pression HV pour
Ar
32 hPa·l/s
32 hPa·l/s
Débit max. de gaz à 0,1 hPa de pression HV pour
H2
42 hPa·l/s
42 hPa·l/s
Débit max. de gaz à 0,1 hPa de pression HV pour
He
62 hPa·l/s
62 hPa·l/s
Débit max. de gaz à 0,1 hPa de pression HV pour
N2
50 hPa·l/s
50 hPa·l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar
12 hPa·l/s
12 hPa·l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour H2
75 hPa·l/s
75 hPa·l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour He
24 hPa·l/s
24 hPa·l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2
18 hPa·l/s
18 hPa·l/s
Vide primaire max. pour Ar
1 hPa
1 hPa
Vide primaire max. pour H2
0,1 hPa
0,1 hPa
Vide primaire max. pour He
0,5 hPa
0,5 hPa
Vide primaire max. pour N2
0,8 hPa
0,8 hPa
Taux de compression pour Ar
1 · 108
1 · 108
Taux de compression pour H2
4 · 10
3
4 · 103
Taux de compression pour He
6 · 104
6 · 104
Taux de compression pour N2
1 · 10
8
1 · 108
Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point
de repère C
442/27300 W/min-1
442/27300 W/min-1
Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point
de repère D
532/21840 W/min-1
532/21840 W/min-1
Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point
de repère A
442/27300 W/min-1
442/27300 W/min-1
Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point
de repère B
532/21840 W/min-1
532/21840 W/min-1
Caractéristique puissance au mode de gaz 2, point
de repère E
645/27300 W/min-1
645/27300 W/min-1
Caractéristiques techniques et dimensions
Désignation du type
HiPace® 3400 IT
HiPace® 3400 IUT
Caractéristique puissance au mode de gaz 2, point
de repère F
750/21840 W/min-1
750/21840 W/min-1
Taux de fuite intégral
1 · 10-8 Pa m³/s
1 · 10-8 Pa m³/s
Unité de commande électronique
TC 1200
TC 1200
Position de l’unité de courant
Bloc d'alimentation intégré
Bloc d'alimentation intégré
Tensions d’entrée
100 – 120 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
100 – 120 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
Puissance absorbée maximale
1350 VA
1350 VA
Courant, max.
10 A
10 A
Interfaces I/O
E74, RS485
E74, RS485
Vstupní napětí topná manžeta min.
208 V AC
208 V AC
Consommation électrique max. du manchon chauffant
1100 W
1100 W
Niveau de la pression acoustique
<50 dB(A)
<50 dB(A)
Raccordement de remise à l'air
G 1/8"
G 1/8"
Pression d'entrée max. pour vanne de remise à
l'air/gaz de balayage
1500 hPa
1500 hPa
Type de refroidissement
Eau
Eau
Température de l'eau de refroidissement
15 – 25 °C
15 – 25 °C
Débit d'eau de refroidissement
100 l/h
100 l/h
Type de protection
IP20, Type 1
IP20, Type 1
Humidité relative de l'air
5 – 85 %, sans condensation
5 – 85 %, sans condensation
Température : transport
-25 – 55 °C
-25 – 55 °C
Champ magnétique radial maximum autorisé
3,4 mT
3,4 mT
Poids
65 kg
65 kg
Tab. 24:
14.3
Fiche technique HiPace 3400 IT | IUT
Dimensions
HV
DN 320 ISO-F
425
86
316
100
173
100
45
VV
DN 40 ISO-KF
40°
°
40. 5
Fig. 31:
10°
20°
42
R 171.5
R1
296
439
365
171.5
229.5
0
21
230
230
403
HiPace 3400 IT | TC 1200 DN 320 ISO-F
Dimensions en mm
71/76
Caractéristiques techniques et dimensions
72/76
91
100
365
HV
DN 320 ISO-F
HiPace 3400 IUT | TC 1200 DN 320 ISO-F
Dimensions en mm
100
316
425
Fig. 32:
230
86
45
229.5
171.5
40°
°
40. 5
R1
10°
20°
42
R 171.5
439
173
0
21
VV
DN 40 ISO-KF
403
230
Déclaration de conformité CE
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompe turbomoléculaire
HiPace 3400 IT
HiPace 3400 IUT
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A)
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN ISO 12100 : 2011
DIN EN 61326-1 : 2013
DIN EN 1012-2 : 2011
DIN EN 62061 : 2016
DIN EN IEC 61000-3-2 : 2019
DIN ISO 21360-1 : 2020
DIN EN 61000-3-3 : 2020
ISO 21360-4 : 2018
DIN EN 61010-1 : 2020
DIN EN IEC 63000 : 2019
Le représentant habilité à constituer la documentation technique est M. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar Allemagne.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Managing Director
Asslar, 2024-03-21
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompe turbomoléculaire
HiPace 3400 IT
HiPace 3400 IUT
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications en vigueur :
ISO 12100:2010
EN 1012-2+A1:1996
IEC 61000-3-2:2018
IEC 61000-3-3+A1:2013
IEC 61010-1+A1:2010
IEC 61326-1:2012
IEC 62061:2005
ISO 21360-1:2020
ISO 21360-4:2018
IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2024-03-21
75/76
*PT0824*
ed. A - Date 2404 - P/N:PT0824BFR
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