Pfeiffer TC 1200 E74, Electronic drive unit Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
TC 1200 E74
Unité de commande électronique
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe
turbomoléculaire est conçue pour vous aider par ses performances, son parfait
fonctionnement, sans interférer avec votre application. Le nom Pfeiffer Vacuum est
synonyme de technologie du vide de haute qualité, d’une gamme étendue et complète de
produits de qualité supérieure et d’un service clients qui se distingue par son excellence.
Forts de cette expertise, nous avons acquis une multitude de compétences contribuant à une
implémentation efficace et sécurisée de notre produit.
Sachant que tout arrêt de production est pénalisant, nous espérons vous offrir une solution
efficace et fiable pour le fonctionnement continu de votre application.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail info@pfeiffer-vacuum.de.
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sur notre site internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
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d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
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Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
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contenues dans ce document.
2/50
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.2 Documents applicables
1.3 Groupe cible
1.4 Conventions
1.4.1 Instructions dans le texte
1.4.2 Pictogrammes
1.4.3 Étiquettes du produit
1.4.4 Abréviations
7
7
7
7
7
7
7
8
8
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Précautions de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisation abusive prévisible
9
9
9
10
11
12
12
3
Description du produit
3.1 Identification du produit
3.2 Caractéristiques du produit
3.3 Fonction
3.4 Contenu de la livraison
3.5 Connexions
13
13
13
13
14
14
4
Installation
4.1 Diagramme de raccordement
4.2 Connexion « E74 »
4.3 Raccord « RS-485 »
4.4 Alimentation électrique secteur
15
15
17
17
18
5
Interfaces
5.1 Interface E74
5.1.1 Description du signal
5.1.2 Sortie analogique AO1
5.2 Interface RS-485
5.3 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
5.3.1 Cadre télégramme
5.3.2 Description du télégramme
5.3.3 Télégramme exemple 1
5.3.4 Télégramme exemple 2
5.3.5 Types de données
20
20
20
20
21
22
22
23
23
23
23
6
Ensemble de paramètres
6.1 Généralités
6.2 Instructions de réglage
6.3 Requêtes d’état
6.4 Entrées des valeurs de référence
6.5 Paramètres additionnels dans l'appareil de commande
25
25
25
28
30
31
7
Utilisation
7.1 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum
7.1.1 Configuration de la connexion « E74 »
7.1.2 Configuration des connexions des accessoires
7.1.3 Sélection des interfaces
7.2 Modes de fonctionnement
32
32
32
32
33
33
3/50
Table des matières
7.2.1 Fonctionnement selon le type de gaz
7.2.2 Valeur de réglage de la puissance absorbée
7.2.3 Temps d’accélération
7.2.4 Points de commutation de vitesse de rotation
7.2.5 Mode de réglage de la vitesse de rotation
7.2.6 Standby
7.2.7 Confirmation de la spécification de vitesse
7.2.8 Modes de fonctionnement de la pompe de secours
7.2.9 Mode standby de la pompe de secours
7.2.10Fonctionnement avec des accessoires
7.2.11Modes de ventilation
Mise en marche de la pompe turbo
Mise à l’arrêt de la pompe turbomoléculaire
Surveillance des opérations
7.5.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
7.5.2 Surveillance de la température
33
34
34
34
36
36
36
37
38
38
39
39
39
40
40
40
8
Dysfonctionnements
8.1 Généralités
8.2 Codes d’erreur
8.3 Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionnement avec des appareils de commande
41
41
41
45
9
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
46
Déclaration de conformité CE
48
Déclaration de Conformité UK
49
7.3
7.4
7.5
4/50
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Tab. 27:
Tab. 28:
Étiquettes du produit
Abréviations utilisées dans ce document
Conditions ambiantes autorisées
Caractéristiques de la variante d'appareil
Puissance d’entraînement délivrée en fonction de la tension secteur
Description de la connexion de l’unité de commande électronique
Agencement du terminal de la connexion « E74 » à 15 broches
Agencement de la terminaison de la borne de connexion M12 RS-485
Agencement du terminal du connecteur d'alimentation électrique
Description du signal de l’interface E74 démarrage /arrêt
Description du signal de l’interface E74 statut
Caractéristiques de l’interface RS-485
Agencement de la terminaison de la borne de connexion M12 RS-485
Explication et signification des paramètres
Instructions de réglage
Requêtes d’état
Entrées des valeurs de référence
Paramètres des fonctions de l'appareil de commande
Réglages pour la sortie analogique de l’interface « E74 »
Connexions des accessoires
Paramètre [P:060]
Paramètre [P:061]
Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires
Modes de fonctionnement de la pompe de secours
Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique
Messages d’erreur de l’unité de commande électronique
Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique
Messages d’avertissement et de dysfonctionnement
8
8
11
13
13
14
17
17
19
20
20
21
21
25
28
30
31
31
32
33
33
33
37
37
40
43
45
45
5/50
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
6/50
Panneau de connexion TC 1200 E74
Diagramme et affectations du panneau de connexion
Raccordement des accessoires RS-485
Interface "E74"
Mise en réseau de plusieurs unités de commande électronique dans le bus
RS-485
Représentation schématisée des caractéristiques de puissance, exemple de
gaz lourds [P:027] = 0
Point de commutation de vitesse de rotation 1 actif
Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] > [P:719]
Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] < [P:719]
13
16
18
20
22
34
35
35
35
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.2
Documents applicables
TC 1200 E74
Manuel de l’utilisateur
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.3
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.4
Conventions
1.4.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.4.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
7/50
A propos de ce manuel
Remarque
Conseil
1.4.3
Étiquettes du produit
Cette section décrit toutes les étiquettes du produit et leur signification.
Mod:
TC 1200 E74
Ser.-Nr.:1234567
Mod.-Nr.: PM C01 814
Input: ~ 100-120V / ~200-240V±10%
10A, 50 - 60 Hz, 1500AIC
Output:
0 - 400V 5A, 0 - 630 Hz
Masse: 3kg
Made in Germany 2017/10
Joint de fermeture
Le produit est scellé en départ d’usine. L’endommagement ou la suppression du joint de
fermeture entraîne l’annulation de la garantie.
warranty seal
Tab. 1:
1.4.4
Étiquettes du produit
Abréviations
Abréviation
Signification dans ce document
AI / AO
Entrée analogique / sortie analogique
AIC
Capacité d’interruption en ampère
DCU
Display Control Unit (appareil de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum)
DI / DO
Entrée numérique / sortie numérique
E74
Version conforme à SEMI E74
f
Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en trs/min ou Hz)
HPU
Unité de programmation portative. Assistance pour la commande et le suivi des paramètres de la pompe
I
Intensité de courant électrique
DEL
Diode électroluminescente
[P:xxx]
Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous
forme de nombres à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte description
Exemple : [P:312] version logicielle
P
Puissance électrique
PE
Conducteur de protection (terre de protection)
R
Résistance électrique
RS-485
Standard pour une interface physique, pour la transmission asynchrone de données
en série (standard recommandé)
t
Temps
TC
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de pompe
turbomoléculaire)
TMS
Système de gestion de la température
U
Tension électrique
Tab. 2:
8/50
Plaque signalétique
La plaque signalétique se trouve sur le côté
de l’unité d’entraînement électronique.
Abréviations utilisées dans ce document
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur l’analyse des risques
effectuée conformément à la Directive Basse Tension 2014/35/UE. Dans la mesure du possible, toutes
les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
9/50
Sécurité
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
AVERTISSEMENT
Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant
La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal).
► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2.
► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
Risques liés aux anomalies de fonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par les pièces déplacées après une panne de courant ou un dépannage
La fonction « groupe de pompage » de l’unité de commande électronique reste active après une panne de courant ou si des erreurs, entraînant l'arrêt de la pompe à vide ou du système, surviennent.
Lorsque la puissance est rétablie ou après la confirmation d’une défaillance, la pompe à vide démarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone
de fonctionnement des pièces en rotation.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
► Les contre-fiches présentes ou les ponts doivent être enlevés de l'unité de commande électronique avant le retour du courant secteur sous peine de risque de démarrage automatique.
► Mettre la pompe à l’arrêt en utilisant la fonction « poste de pompage » (paramètre [P:010]).
2.3
Précautions de sécurité
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
10/50
Sécurité
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Contrôler le système de sécurité pour prévenir une vitesse de rotation excessive
Prévenez les anomalies. Redémarrez l’unité à partir de l’arrêt total au moins une fois par
an pour vous assurer que la fonction de prévention de vitesse de rotation excessive fonctionne correctement dans le système de sécurité intégrée.
1. Arrêtez l'unité.
2. Attendez que la pompe à vide s'arrête complètement (vitesse de rotation = 0 Hz).
3. Démarrez l’unité conformément au manuel de l’utilisateur correspondant.
Précautions de sécurité générales lors de la manutention du produit
► Avant d’effectuer tous les travaux sur le produit, débranchez en toute sécurité la tension secteur
de toutes les installations qui y sont branchées.
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures préventives sont respectées.
► Recommandation : Établissez une connexion sécurisée à un conducteur de protection (PE) : classe de protection I.
► Ne débranchez jamais les connecteurs pendant le fonctionnement.
► Tenez les lignes et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N’effectuez pas de modification ou de conversion arbitraire de l’unité.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Respectez le degré de protection spécifiée en veillant à bien installer les bouchons d’obturation
existants.
► Débranchez l’unité de commande électronique uniquement une fois que tout est entièrement à
l’arrêt et lorsque le réseau d'alimentation de la pompe turbomoléculaire est interrompu.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Lieu de mise en place
protégé des intempéries (espace intérieur)
Pression d’air
de 750 hPa à 1060 hPa
Altitude d’installation
2000 m max.
Humidité rel. de l’air
max. 80%, à T < 31°C,
jusqu’à max. 50 % à T < 40 °C
Classe de protection
I
Catégorie de surtension
II
Niveau de contamination
2
Température ambiante
+5 ℃ à +40 ℃
Tab. 3:
Conditions ambiantes autorisées
Remarques sur les conditions ambiantes
Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonctionnement de la
pompe turbo à la pression de secours maximum admissible ou avec un débit de gaz maximum, en fonction du type de refroidissement. La pompe est intrinsèquement sûre grâce à
la surveillance redondante de la température.
● La réduction de la pression de vide ou du débit du gaz permet le fonctionnement de la
pompe turbomoléculaire à des températures ambiantes plus élevées.
● Si la température de fonctionnement maximum admissible de la pompe turbomoléculaire est dépassée, l'unité d’entraînement électronique va d'abord réduire la vitesse
d'entraînement, puis la mettre hors circuit si nécessaire.
11/50
Sécurité
2.5
Utilisation conforme
● L'unité de commande électronique est uniquement utilisée pour le fonctionnement des pompes
turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum et de leurs accessoires.
2.6
Utilisation abusive prévisible
Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute
utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme
abusive, en particulier :
● Branchement à l’alimentation électrique non conforme avec les prescriptions de la norme IEC
61010 ou IEC 60950
● Utilisation avec un rayonnement thermique excessivement élevé
● Utilisation dans des zones à radiation ionisante
● Fonctionnement dans des zones explosives
● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions
12/50
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit
ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320.
3.2
Caractéristiques du produit
L'unité d’entraînement électronique de type TM 1200 E74 est un composant fixe de la pompe turbomoléculaire. Le rôle de l’unité de commande électronique est d’entraîner, de surveiller et de commander
l’ensemble de la pompe turbomoléculaire. L’unité de commande électronique est équipée d’une tension
d’alimentation étendue intégrée. La sortie de l’unité de commande électronique dépend de la tension
secteur délivrée sur site.
Caractéristique
TC 1200 E74
Panneau de connexion
E74
Pompe turbomoléculaire HiPace
1200, 1500, 1800, 2300
Alimentation électrique secteur
100 à 120 / 200 à 240 V CA (± 10 %) 50/60 Hz
Appel de courant max.
10 A
Consommation de courant max.
1350 VA
Fusible interne (raccordement au réseau électrique)
10 A, à action retardée
Taux d’interruption (AIC)
1500 A
Tab. 4:
Tension secteur ± 10 %
Puissance d'entrée moteur de l’unité de commande électronique
100 à 120 V CA
700 à 930 W
200 à 240 V CA
1200 W
Tab. 5:
3.3
Caractéristiques de la variante d'appareil
Puissance d’entraînement délivrée en fonction de la tension secteur
Fonction
1
2
3
4
PV.can
RS485
B
A
DC in
}
accessory
E74
6
Fig. 1:
5
Panneau de connexion TC 1200 E74
1 Connexion « accessoires A+B »
2 Branchement de service « PV.can »
3 Connexion « RS485 »
4
5
6
Raccordement au réseau électrique « AC in »
Connexion « E74 »
LED d’Affichage du mode de fonctionnement
13/50
Description du produit
3.4
Contenu de la livraison
● TC 1200 E74
● Manuel de l’utilisateur
3.5
Connexions
Connexion
Description
2
3
AC in
Douille HAN 3A du boîtier pour la tension d’alimentation
1
PE
accessory1)
Prise M12 avec vis pour la connexion des accessoires Pfeiffer Vacuum. L'utilisation
d’un distributeur Y permet la double affectation d'une connexion.
PV.can
Douille M12 avec coupleur fileté et LED pour les besoins du Pfeiffer Vacuum service.
E74
Prise D-Sub avec 15 broches pour le raccordement et la configuration d'une commande à distance conformément à SEMI E74.
RS-485
Prise M12 avec vis pour la connexion des panneaux de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC. L'utilisation d’un distributeur Y permet l’intégration dans un système de bus.
Tab. 6:
1)
14/50
Description de la connexion de l’unité de commande électronique
Le raccordement « accessory » est décrit dans le manuel de l’utilisateur de la pompe turbomoléculaire.
Installation
4 Installation
4.1
Diagramme de raccordement
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
Charge de contact pour le raccordement des accessoires sur « accessoires »
1. Maintenez la charge de contact maximale de 200 mA par raccordement.
2. La somme totale de la charge de tous les raccordements ne doit pas dépasser
450 mA.
15/50
3
2
1
n.c.
Accessory A2
2
2
Accessory B2
24 V DC**
3
3
24 V DC**
4
Accessory B1
5
FE
1
CAN-H
2
24 V DC***
3
GND***
4
CAN-L
5
FE
1
RS 485 D +
2
24 V DC* out
3
GND*
4
RS 485 D -
5
n.c.
Accessory A1
FE
5
start / stop (+)
1
AO1 (-)
2
acceleration status (+)
3
normal status (+)
4
deceleration status (+)
5
alarm staus (+)
6
remote / local status (+)
7
~ alarm status (+)
8
start / stop (-)
9
AO1 (+)
10
acceleration status (-)
11
normal status (-)
12
deceleration status (-)
13
alarm staus (-)
14
remote / local status (-)
15
(+)
(-)
4 – 27 V DC
1
or
9
I max = 100 mA
(+)
Pin 3 – 8
(-)
Pin 11 – 15
Fig. 2:
16/50
4
or
2
3
1
4
5
4
3
1
2
(+)
1
(-)
9
(+)
Pin 3 – 8
(-)
Pin 11 – 15
4 – 27 V DC
Diagramme et affectations du panneau de connexion
accessory B
5
1
PV.can
1
n.c.
RS485
4
E74
accessory A
Installation
Installation
4.2
Connexion « E74 »
8
15
9
1
En plus des signaux définis dans la directive SEMI E74-0301, la connexion « E74 » avec connecteur
femelle 15 broches est fournie avec un signal d'alarme inversé et une sortie analogique.
Tab. 7:
4.3
Broche
Affectation
1
démarrage/arrêt (+)
2
AO1 (-)
3
statut accélération (+)
4
statut normal (+)
5
statut décélération (+)
6
statut alarme (+)
7
statut distance / local (+)
8
~ statut alarme (+)
9
démarrage/arrêt (-)
10
AO1 (+)
11
statut accélération (-)
12
statut normal (-)
13
statut décélération (-)
14
statut alarme (-)
15
statut distance / local (-)
Agencement du terminal de la connexion « E74 » à 15 broches
Raccord « RS-485 »
L’interface avec la désignation « RS-485 » sur l’unité de commande électronique ne est destinée au
raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements
sont séparés galvaniquement et isolés de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande
électronique. Les connexions électriques sont découplées visuellement en interne.
1
5
4
Tab. 8:
2
3
Broche
Affectation
1
RS-485 D+
2
Sortie +24 V, ≤ 210 mA capacité de charge
3
GND
4
RS-485 D-
5
non connectée
Agencement de la terminaison de la borne de connexion M12 RS-485
17/50
Installation
1
5
2
3
4
Fig. 3:
Raccordement des accessoires RS-485
1 Convertisseur USB/RS-485
2 PC
3 Unité de commande électronique
4
5
Appareil de commande avec unité de courant
Connexion de l’interface RS-485
Raccordement des accessoires RS-485
Un appareil de commande externe peut être raccordé à l’interface RS-485.
1. Utilisez les câbles de correspondants raccordement fournis avec l’appareil de commande ou issus
de la gamme d’accessoires.
2. Utilisez l’option pour connecter un PC via le transformateur USB/RS-485.
4.4
Alimentation électrique secteur
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
AVERTISSEMENT
Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant
La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal).
► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2.
► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum.
18/50
Installation
2
3
Broche
Affectation
1
Phase L
2
Conducteur neutre
3
non connectée
PE
Conducteur de terre
1
PE
Tab. 9:
Agencement du terminal du connecteur d'alimentation électrique
Raccordement de l’alimentation électrique
1. Commandez un câble d'alimentation électrique correspondant dans la gamme des accessoires
Pfeiffer Vacuum.
2. Assemblez votre propre câble d'alimentation électrique en utilisant le connecteur HAN 3A livré
avec le produit.
3. Branchez le câble d'alimentation électrique dans le raccordement au réseau électrique « AC in ».
4. Bloquez le câble d’alimentation électrique avec un étrier de retenue.
5. Branchez le câble d’alimentation électrique au secteur.
19/50
Interfaces
5 Interfaces
5.1
Interface E74
Les câbles de signal (-) du « statut alarme (+) » et du « ~statut alarme (+) » sont groupés pour le signal
« statut alarme (-) ».
Input signal
signal (+)
signal (+)
signal (-)
signal (-)
Fig. 4:
5.1.1
Interface "E74"
Description du signal
Signal
Broches
Fonction lors de la fermeture
Fonction lors de l’ouverture
démarrage / arrêt
1, 9
Régler priorité E74
Acquittement des erreurs
Moteur en marche (voir [P:023])
Groupe de pompage en marche (voir
[P:010])
Réinitialiser la priorité E74 (opération
possible avec d’autres interfaces)
Groupe de pompage à l’arrêt (voir
[P:010])
Tab. 10:
Description du signal de l’interface E74 démarrage /arrêt
Signal
Broches
Signification si fermé
Signification si ouvert
statut accélération
3, 11
Accélération pompe
La pompe n’accélère pas
statut normal
4, 12
Point de commutation atteint
Point de commutation non atteint
statut décélération
5, 13
Décélération pompe
La pompe ne décélère pas
statut alarme
6, 14
Pas d’erreur
Défaillance
statut distance / local
7, 15
Commande à distance de
l’équipement
Équipement non commandé à
distance
~ statut alarme
8, 14
Défaillance
Pas d’erreur
Tab. 11:
5.1.2
Output signal
Description du signal de l’interface E74 statut
Sortie analogique AO1
Une tension proportionnelle à la vitesse (de 0 à 10 V CC équivaut à une valeur comprise entre 0 et 100
% × fnominale) peut être mesurée au niveau de la sortie analogique AO1 (broches 2 et 10) (charge R ≥ 10
kΩ). Des fonctions additionnelles (courant / puissance en option) peuvent être affectées à la sortie analogique via DCU, HPU ou PC.
20/50
Interfaces
5.2
Interface RS-485
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
L’interface avec la désignation « RS-485 » sur l’unité de commande électronique ne est destinée au
raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements
sont séparés galvaniquement et isolés de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande
électronique. Les connexions électriques sont découplées visuellement en interne.
Désignation
Valeur
Interface série
RS-485
Vitesse de transmission en baud
9600 Baud
Longueur de mot
8 bit
Parité
aucune (pas de parité)
Bits de départ
1
Bits d’arrêt
1
Tab. 12:
1
5
4
Tab. 13:
Caractéristiques de l’interface RS-485
2
3
Broche
Affectation
1
RS-485 D+
2
Sortie +24 V, ≤ 210 mA capacité de charge
3
GND
4
RS-485 D-
5
non connectée
Agencement de la terminaison de la borne de connexion M12 RS-485
21/50
Interfaces
5
6
1
4
2
TC/TM
TC/TM
USB/RS-485-converter
D+
D-
USB
PC
RS 485
3
Fig. 5:
Mise en réseau de plusieurs unités de commande électronique dans le bus RS-485
1 Transformateur USB/RS-485
2 PC
3 Câble d’interface M12 - RJ 45
4
5
6
Unité de commande électronique
Connecteur Y
Câble d'interface M12-M12
Mise en réseau en tant que bus RS-485
L’adresse groupée de l’unité de commande électronique est 963.
1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485.
2. Veillez à ce que tous les appareils connectés au bus disposent d’une adresse RS-485 différente
[P:797].
3. Connectez tous les appareils au bus avec RS-485 D+ et RS-485 D-.
5.3
Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
5.3.1
Cadre télégramme
Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vaccum contient uniquement des caractères ASCII [32;
(par ex. un
127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un host
PC) envoie un télégramme, auquel un device
(par ex. unité de commande électronique ou jauge)
va répondre.
a2
22/50
a1
a0
*
0
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
c2
c1
c0
CR
a2 – a0
Adresse de l’unité pour device
● Adresse individuelle de l’unité ["001";"255"]
● Adresse groupée « 9xx » pour toutes les unités identiques (pas de réponse)
● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse)
*
Action selon la description du télégramme
n2 – n0
Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum
I1 – I0
Longueur de données dn à d0
dn – d0
Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Types de données », page 23).
c2 – c0
Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) module 256
CR
Retour à la ligne (ASCII 13)
Interfaces
5.3.2
Description du télégramme
Interrogation des données
-->
?
a2
n2
n1
a1
a0
0
0
Instruction de réglage
a2
a1
a0
1
-->
!
n2
n1
0
n0
0
2
l1
l0
dn
n0
Réponse des données / instruction de réglage comprise
a2
a1
a0
1
0
Message d’erreur
a2
a1
a0
1
0
n2
NO_DEF
_RANGE
_LOGIC
5.3.3
=
?
...
c2
c1
c0
cR
d0
c2
c1
c0
cR
c2
c1
c0
cR
c1
c0
cR
-->
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
0
6
N
O
_
D
E
F
_
R
A
N
G
E
_
L
O
G
I
C
-->
n1
n0
c2
Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus
Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée
Erreur d'accès logique
Télégramme exemple 1
Demande de données
Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 »)
-->
?
ASCII
1
2
3
0
0
3
0
9
0
2
=
?
1
1
2
cR
49
50
51
48
48
51
48
57
48
50
61
63
49
49
50
13
Réponse des données : 633 Hz
Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 »)
-->
1
2
3
1
0
3
0
9
0
6
0
0
0
6
3
3
0
3
7
cR
ASCII
49
50
51
49
48
51
48
57
48
54
48
48
48
54
51
51
48
51
55
13
5.3.4
Télégramme exemple 2
Commande de contrôle
Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 »
-->
!
ASCII
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
cR
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
Commande de contrôle comprise
Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 »
-->
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
cR
ASCII
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
5.3.5
Types de données
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
0
boolean_old
Valeur logique (faux / vrai)
06
000000 est équivalent à faux
111111 est équivalent à vrai
1
u_integer
Nombre entier positif
06
000000 à 999999
23/50
Interfaces
24/50
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
2
u_real
Nombre à point fixe positif
06
001571 correspond à 15.71
4
string
Chaîne de 6 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
06
TC_110, TM_700
6
boolean_new
Valeur logique (faux / vrai)
01
0 est équivalent à faux
1 est équivalent à vrai
7
u_short_int
Nombre entier positif
03
000 à 999
10
u_expo_new
Nombre exponentiel positif. Les
deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de
20.
06
100023 est équivalent à
1,0 · 103
100000 est équivalent à
1,0 · 10-20
11
string16
Chaîne de 16 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
16
BrezelBier&Wurst
12
string8
Chaîne de 8 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
08
Exemple
Ensemble de paramètres
6 Ensemble de paramètres
6.1
Généralités
Des réglages et des caractéristiques propres aux fonctions importantes sont programmés en usine
sous forme de paramètres dans l’unité d’entraînement électronique. Chaque paramètre a un nombre à
trois chiffres et une description. Le paramètre est accessible via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou de manière externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum.
La pompe à vide démarre dans le mode standard avec les paramètres réglés par défaut en usine.
Sauvegarde de données non volatiles
Lors de la mise à l’arrêt ou en cas de chute de tension involontaire, les paramètres et les
heures de service sont sauvegardés dans le système électronique.
#
Nombre à trois chiffres du paramètre
Indicateur
Affichage de la description des paramètres
Description
Brève description des paramètres
Fonctions
Description de la fonction des paramètres
Type de donnée
Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum
Type d’accès
R (lecture) : accès en lecture ; W (écriture) : accès en écriture
Unité
Unité physique de la variable décrite
min./max.
Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur
par défaut
Pré-réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la pompe)
Le paramètre peut être sauvegardé de manière permanente sur l’unité de commande électronique
Tab. 14:
Explication et signification des paramètres
6.2
Instructions de réglage
#
Affichage
Description
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
001
Chauffage
Chauffage
0 = arrêt
1 = marche
0
002
Stand-by
Stand-by
0 = arrêt
1 = marche
004
RUTimeCtrl
Surveillance
de temps d’accélération
009
ErrorAckn
010
Unité
min.
max.
par
défaut
RW
0
1
0
0
RW
0
1
0
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
1
Acquittement
d’anomalie
1 = Acquittement de défaillance
0
W
1
1
PumpgStatn
Groupe de
pompage
0 = arrêt
1 = marche et acquittement de
défaillance
0
RW
0
1
0
012
EnableVent
Activer la ventilation
0 = non
1 = oui
0
RW
0
1
0
013
Frein
Frein
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
017
CfgSpdSwPt
Configuration
du point de
commutation
de la vitesse
de rotation
0 = Point de commutation de
la vitesse de rotation 1
1 = Points de commutation de
la vitesse de rotation 1 et 2
7
RW
0
1
0
25/50
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
019
Cfg DO2
Configuration
sortie DO2
0 = Point de commutation de
la vitesse de rotation atteint
1 = Pas d’erreur
2 = Erreur
3 = Avertissement
4 = Erreur et/ou avertissement
5 = Régime nominal atteint
6 = Pompe en marche
7 = Accélération pompe
8 = Décélération pompe
9 = Toujours « 0 »
10 = Toujours « 1 »
11 = Priorité commande à distance active
12 = Chauffage
13 = Pompe à vide primaire
14 = Purge de gaz neutre
15 = Groupe de pompage
16 = Rotation pompe
17 = la pompe s’est arrêtée
18 = TMS état stable
19 = Point de commutation de
pression 1 non atteint
20 = Point de commutation de
pression 2 non atteint
21 = Vanne à vide primaire, retardée
22 = Pompe à vide primaire
stand-by
7
023
MotorPump
Moteur de
pompe
0 = arrêt
1 = marche
024
Cfg DO1
Configuration
sortie DO1
025
OpMode BKP
026
min.
max.
par
défaut
RW
0
22
1
0
RW
0
1
0
Réglages, voir [P:019]
7
RW
0
22
0
Mode de fonctionnement de
la pompe à vide primaire
0 = mode continu
1 = mode par intermittence
2 = mise en marche retardée
7
RW
0
2
0
SpdSetMode
Mode de réglage de la vitesse de rotation
0 = arrêt
1 = marche
7
RW
0
1
0
027
GasMode
Mode du gaz
0 = gaz lourds
1 = gaz légers
2 = hélium
7
RW
0
2
0
028
Cfg Remote
Configuration
à distance
0 = par défaut
4 = relais, inversé
7
RW
0
4
0
030
VentMode
Mode de ventilation
0 = ventilation temporisée
1 = pas de ventilation
2 = ventilation directe
7
RW
0
2
0
26/50
Unité
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
035
Cfg Acc A1
Configuration
de la connexion des accessoires A1
0 = ventilateur (fonctionnement
continu)
1 = vanne de ventilation, fermée sans courant
2 = Chauffage
3 = Pompe à vide primaire
4 = ventilateur (à contrôle de
température)
5 = Purge de gaz neutre
6 = Toujours « 0 »
7 = Toujours « 1 »
8 = vanne de remise à l’air en
cas de panne de courant
9 = TMS chauffage
10 = refroidissement TMS
12 = vanne de ventilation secondaire
13 = surveillance de la purge
de gaz neutre
14 = chauffage (partie inférieure à contrôle de température)
7
036
Cfg Acc B1
Configuration
de la connexion des accessoires B1
Pour les options, voir [P:035]
037
Cfg Acc A2
Configuration
de la connexion des accessoires A2
038
Cfg Acc B2
041
Unité
min.
max.
par
défaut
RW
0
14
5
7
RW
0
14
1
Pour les options, voir [P:035]
7
RW
0
14
3
Configuration
de la connexion des accessoires B2
Pour les options, voir [P:035]
7
RW
0
14
2
Press1HVen
Capteur HT libérée intégré
(IKT uniquement)
0 = arrêt
1 = marche
2 = marche, avec point de
commutation de vitesse de rotation atteint
3 = marche, avec point de
commutation de pression non
atteint
7
RW
0
3
2
045
Cfg Rel R1
Configuration,
relais 1
Pour les options, voir [P:019]
7
RW
0
22
0
046
Cfg Rel R2
Configuration,
relais 2
Pour les options, voir [P:019]
7
RW
0
22
1
047
Cfg Rel R3
Configuration,
relais 3
Pour les options, voir [P:019]
7
RW
0
22
3
050
SealingGas
Gaz de pressurisation
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
27/50
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
055
Cfg AO1
Configuration
sortie AO1
0 = vitesse de rotation réelle
1 = sortie
2 = courant
3 = toujours 0 V
4 = toujours 10 V
5 = Suit AI1
6 = Valeur de pression 1
7 = Valeur de pression 2
8 = Commande vide préliminaire
7
057
Cfg AI1
Configuration
entrée AI1
0 = Interrupteur mis sur arrêt
1 = point de consigne en mode
de réglage vitesse de rotation
060
CtrlViaInt
Utiliser via l’interface
061
IntSelLckd
062
min.
max.
par
défaut
RW
0
8
0
7
RW
0
1
0
1 = à distance
2 = RS-485
4 = PV.can
8 = bus de terrain
16 = E74
255 = Déverrouiller la sélection
de l’interface
7
RW
0
255
1
Sélection de
l’interface verrouillée
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
Cfg DI1
Configuration
entrée DI1
Réglage ≠ [P:063/064]
0 = Désactivée
1 = activer la remise à l'air
2 = Chauffage
3 = Purge de gaz neutre
4 = Surveillance de temps
d'accélération
5 = Mode de réglage de vitesse de rotation
7 = Activer capteur HV
7
RW
0
7
1
063
Cfg DI2
Configuration
entrée DI2
Pour les options, voir [P:062]
Réglage ≠ [P:062/064]
7
RW
0
5
2
064
Cfg DI3
Configuration
entrée DI3
Pour les options, voir [P:062]
Réglage ≠ [P:062/063]
7
RW
0
5
3
min.
max.
Tab. 15:
Unité
Instructions de réglage
6.3
Requêtes d’état
#
Affichage
Description
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
300
RemotePrio
Priorité à distance
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
301
OpFluidDef
Fluide d’exploitation bas
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
302
SpdSwPtAtt
Point de commutation de la
vitesse de rotation atteint
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
303
Code d’erreur
Code d’erreur
4
R
28/50
Unité
par
défaut
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
304
OvTempElec
Température excessive
électronique d’entraînement
0 = non
1 = oui
0
305
OvTempPump
Température excessive
pompe
0 = non
1 = oui
306
SetSpdAtt
Régime nominal atteint
307
PumpAccel
Accélération pompe
308
SetRotSpd
309
ActualSpd
310
311
min.
max.
R
0
1
0
R
0
1
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
Régime nominal (Hz)
1
R
Hz
0
999999
Vitesse de rotation réelle
(Hz)
1
R
Hz
0
999999
DrvCurrent
Courant d’alimentation
2
R
A
0
9999,99
OpHrsPump
Heures de fonctionnement
de la pompe
1
R
h
0
65535
312
Fw version
Version logiciel électronique
d’entraînement
4
R
313
DrvVoltage
Tension entraînement
2
R
V
0
9999,99
314
OpHrsElec
Heures de service électronique d’entraînement
1
R
h
0
65535
315
Nominal Spd
Vitesse de rotation nominale
(Hz)
1
R
Hz
0
999999
316
DrvPower
Puissance d’entraînement
1
R
W
0
999999
319
PumpCycles
Cycles de pompe
1
R
0
65535
324
TempPwrStg
Température étage final
1
R
°C
0
999999
326
TempElec
Température électronique
1
R
°C
0
999999
330
TempPmpBot
Température partie inférieure pompe
1
R
°C
0
999999
331
TMSactTemp
Température TMS de chauffage réelle
1
R
°C
0
999999
333
TMS steady
Température TMS état stable
0
R
0
1
336
AccelDecel
Accélération / décélération
1
R
tr/min/
s
0
999999
337
SealGasFlw
Débit purge de gaz neutre
1
R
sccm
0
999999
342
TempBearng
Température des paliers
1
R
°C
0
999999
346
TempMotor
Température du moteur
1
R
°C
0
999999
349
ElecName
Désignation de l’unité de
commande électronique
4
R
354
HW Version
Version matériel, unité de
commande électronique
4
R
360
ErrHist1
Historique des codes d’erreur, point 1
4
R
361
ErrHist2
Historique des codes d’erreur, point 2
4
R
362
ErrHist3
Historique des codes d’erreur, point 3
4
R
363
ErrHist4
Historique des codes d’erreur, point 4
4
R
364
ErrHist5
Historique des codes d’erreur, point 5
4
R
365
ErrHist6
Historique des codes d’erreur, point 6
4
R
0 = non
1 = oui
Unité
par
défaut
29/50
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
366
ErrHist7
367
Type
de
donnée
Type
d’accès
Historique des codes d’erreur, point 7
4
R
ErrHist8
Historique des codes d’erreur, point 8
4
R
368
ErrHist9
Historique des codes d’erreur, point 9
4
R
369
ErrHist10
Historique des codes d’erreur, point 10
4
R
384
TempRotor
Température du rotor
1
397
SetRotSpd
Vitesse de rotation de consigne (tr/min)
1
398
ActualSpd
Vitesse de rotation réelle (tr/
min)
399
NominalSpd
Vitesse de rotation nominale
(tr/min)
Tab. 16:
Fonctions
Unité
min.
max.
R
°C
0
999999
R
tr/min
0
999999
1
R
tr/min
0
999999
1
R
tr/min
0
999999
par
défaut
Requêtes d’état
6.4
Entrées des valeurs de référence
#
Affichage
Description
700
RUTimeSVal
701
Type
de
donnée
Type
d’accès
Unité
min.
max.
par
défaut
Définir la valeur du temps d’accélération
1
RW
min
1
120
8
SpdSwPt1
Point de commutation 1 vitesse
de rotation
1
RW
%
50
97
80
704
TMSsetTemp
Spécification de température
TMS du chauffage
1
RW
°C
30
75
40
707
SpdSVal
Régler la valeur en mode de réglage de la vitesse de rotation
2
RW
%
20
100
65
708
PwrSVal
Valeur de consigne de la consommation électrique
7
RW
%
10
100
1002)
710
Swoff BKP
Seuil de désactivation de la pompe à vide primaire pour le fonctionnement par intermittence
1
RW
W
0
1000
0
711
SwOn BKP
Seuil d’activation de la pompe à
vide primaire pour le fonctionnement par intermittence
1
RW
W
0
1000
0
717
StdbySVal
Valeur fixée de la vitesse de rotation en mode stand-by
2
RW
%
20
100
66,7
719
SpdSwPt2
Point de commutation 2 vitesse
de rotation
1
RW
%
5
97
20
720
VentSpd
Mise à l’air à la vitesse de rotation, mise à l’air retardée
7
RW
%
40
98
50
721
VentTime
Temps de remise à l’air, ventilation temporisée
1
RW
s
6
3600
3600
730
PrsSwPt 1
Point de commutation de pression 1
10
RW
hPa
732
PrsSwPt 2
Point de commutation de pression 2
10
RW
hPa
739
PrsSn1Name
Nom du capteur 1
4
R
2)
30/50
Dépend du type de pompe
Fonctions
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
740
Pression 1
742
Type
de
donnée
Type
d’accès
Unité
Valeur de pression 1
10
RW
hPa
PrsCorrPi 1
Facteur de correction 1
2
RW
749
PrsSn2Name
Nom du capteur 2
4
R
750
Pression 2
Valeur de pression 2
10
RW
752
PrsCorrPi 2
Facteur de correction 2
2
RW
777
NomSpdConf
Confirmation de la vitesse de rotation nominale
1
RW
791
SlgWrnThrs
Seuil d’avertissement du débit de
gaz de pressurisation
1
RW
797
RS485Adr
Adresse interface RS-485
1
RW
Tab. 17:
6.5
Fonctions
min.
max.
par
défaut
Hz
0
1500
0
sccm
5
200
15
1
255
1
hPa
Entrées des valeurs de référence
Paramètres additionnels dans l'appareil de commande
Paramètres additionnels dans l'appareil de commande
L’ensemble de paramètres de base est défini, départ usine, dans l’unité de commande
électronique. Des paramètres additionnels (ensemble de paramètres étendus) sont disponibles dans les unités de commande Pfeiffer Vacuum correspondantes pour la régulation
de composants externes raccordés (comme un équipement de mesure du vide).
● Se reporter aux consignes d’utilisation correspondantes des différents composants.
● Sélectionner l’ensemble de paramètres avancés avec le paramètre [P:794] = 1.
#
Indicateur
Description
340
Pression
350
Type
de donnée
Type
d’accès
Unité
min.
max.
Valeur de pression actuelle (ActiveLine)
7
R
hPa
1·10 -10
1·10 3
Nom ctr
Type d'appareil de
commande
4
R
351
Logiciel ctr
Version du logiciel de
l'appareil de commande
4
R
738
Type de jauge
Type de manomètre
4
RW
794
Ensemble
param
Ensemble de paramètres
7
RW
0
1
795
Servicelin
Insérer ligne de service
7
RW
Tab. 18:
Fonctions
0 = ensemble
de paramètres de base
1 = ensemble
de paramètres avancés
par
défaut
0
795
Paramètres des fonctions de l'appareil de commande
31/50
Utilisation
7 Utilisation
7.1 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer
Vacuum
L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et
prête à l’emploi. Pour des impératifs particuliers, il est possible de configurer la plupart des connexions
pour l’unité de commande électronique avec l’ensemble de paramètres.
7.1.1
Configuration de la connexion « E74 »
Option
Description
0 = vitesse de rotation
Signal de vitesse ; 0 à 10 V CC = 0 à 100 % × fnominal
1 = sortie :
Signal de sortie ; 0 à 10 V CC = 0 à 100 % × Pmax
2 = courant
Signal de courant ; 0 à 10 V CC = 0 à 100 % × Imax
3 = toujours 0 V
Toujours GND
4 = toujours 10 V
Sortie de la tension 10 V CC permanente
5 = suit AI1
Suit l'entrée analogique 1
6 = valeur de pression 1
Signal de valeur de pression ;
0 V : Défaillance
1 V : Non atteint
1,5 à 8,5 V: p [hPa] = 10(U-5,5 V)
9 V : Dépassé
7 = valeur de pression 2
8 = contrôle vide préliminaire
Tab. 19:
Côté vide primaire ; commande des groupes de pompage turbomoléculaires Pfeiffer Vaccum
Réglages pour la sortie analogique de l’interface « E74 »
Procédure
► Configurez la sortie analogique via le paramètre [P:055].
7.1.2
32/50
Configuration des connexions des accessoires
Option
Description
0 = ventilateur
Commande via les paramètres du poste de pompage
1 = vanne de remise à l’air, fermée sans courant
Commande via le paramètre Activer ventilation. Lors de l’utilisation d'une vanne de ventilation, fermée sans courant
2 = dispositif de chauffage
Commande via les paramètres Points de commutation de chauffage et de vitesse atteints
3 = pompe de secours
Commande via le paramètre Poste de pompage et le mode de
fonctionnement de la pompe de secours
4 = ventilateur (à contrôle de température)
Commande via le paramètre Poste de pompage et la valeur
seuil de température
5 = gaz de pressurisation
Commande via le paramètre Poste de pompage et le gaz de
pressurisation
6 = toujours « 0 »
GND pour la commande d’un appareil externe
7 = toujours « 1 »
+24 V CC pour la commande d'un appareil externe
8 = vanne de remise à l'air en cas
de panne de courant
Commande via le paramètre Activer ventilation. Lors d’une panne de courant de l’unité de ventilation
9 = dispositif de chauffage TMS3)
Commande via le boîtier de commutation TMS
10 = refroidissement TMS4)
Commande de l’alimentation en eau de refroidissement TMS
3)
Uniquement pour les pompes à vide avec système de gestion de la température (TMS)
4)
Uniquement pour les pompes à vide avec système de gestion de la température (TMS)
Utilisation
Option
Description
13 = surveillance du gaz de pressurisation
Commande via le paramètre Poste de pompage et le gaz de
pressurisation
14 = chauffage (partie inférieure à
contrôle de température)
Commande du chauffage. Commande via les paramètres de la
partie inférieure du chauffage
Tab. 20:
Connexions des accessoires
Procédure
► Réglage des raccordements via les paramètres [P:035], [P:036], [P:037] ou [P:038].
7.1.3
Sélection des interfaces
L’option « Commande via interface » sert à l’affichage de l’interface actuellement active dans l’unité de
commande électronique. Les interfaces de communication obtiennent ainsi automatiquement la priorité
de commande.
Option
Description
1 = à distance
Fonctionnement via connexion « à distance »
2 = RS-485
Fonctionnement via la connexion « RS-485 »
4 = PV.can
À des fins de maintenance uniquement
8 = bus de terrain
Fonctionnement via bus de terrain
16 = E74
Fonctionnement via la connexion « E74 »
Tab. 21:
Paramètre [P:060]
Option
Description
0 = arrêt
La sélection de l’interface peut être définie avec [P:060].
1 = marche
Sélection de l’interface verrouillée
Tab. 22:
Paramètre [P:061]
7.2
Modes de fonctionnement
7.2.1
Fonctionnement selon le type de gaz
AVIS
Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées
Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo.
► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique.
► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (>
80).
Un débit de gaz et une vitesse de rotation élevés entraînent un important échauffement du rotor par
friction. Afin d’éviter toute surchauffe, des caractéristiques de vitesse de rotation et de puissance sont
implémentées dans l’unité de commande électronique. La caractéristique de puissance permet le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à toute vitesse de rotation avec le débit de gaz maximal autorisé sans surcharge thermique de la pompe turbomoléculaire. La consommation électrique maximale
dépend du type de gaz. 3 caractéristiques sont disponibles pour le paramétrage afin d’exploiter complètement la capacité de la pompe turbomoléculaire pour chaque type de gaz.
33/50
Utilisation
P
Pmax
[P:708]
D
B
F
E
A
C
fN
Fig. 6:
f
Représentation schématisée des caractéristiques de puissance, exemple de gaz
lourds [P:027] = 0
P
Consommation de courant
C-D
f
Vitesse de rotation
A-B
Pmax Consommation électrique
maximale
fN
Vitesse de rotation nominale
E-F
Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 0 »
(gaz de classe moléculaire > 39, par ex. argon)
Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 1 »
(gaz de classe moléculaire ≤ 39)
Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 2 »
(hélium)
Réglage du mode gaz
1. Contrôlez le mode gaz actuellement réglé avec le paramètre [P:027].
2. Réglez le paramètre [P:027] à la valeur requise.
3. Si nécessaire, réglez sur une fréquence plus basse dans le mode de réglage de la vitesse de rotation afin d’éviter les variations de vitesse de rotation.
La pompe turbomoléculaire fonctionne avec la consommation de courant maximale. Lorsque le régime
nominal et/ou réglé est atteint, l’unité de commande électronique bascule automatiquement sur la caractéristique de puissance choisie du mode gaz sélectionné. L’augmentation de la consommation de
courant compense initialement une augmentation du débit de gaz pour maintenir constante la vitesse
de rotation de la pompe turbomoléculaire. La pompe turbomoléculaire s’échauffe davantage en raison
de la friction croissante des gaz. Lorsque la puissance maximale dépendant du type de gaz est dépassée, la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire est réduite par l’unité de commande électronique jusqu’à ce qu’un équilibre admissible entre la puissance et la friction du gaz soit atteint.
7.2.2
Valeur de réglage de la puissance absorbée
Régler le paramètre [P:708]
Lorsque la consommation électrique spécifiée est inférieure à 100%, le temps de démarrage est augmenté.
1. Régler le paramètre [P:708] à la valeur requise en %.
2. Si nécessaire, ajuster le paramètre [P:700] RUTimeSVal afin d’éviter les messages d’erreur lors
du démarrage.
7.2.3
Temps d’accélération
Le temps d’accélération de la pompe turbomoléculaire est surveillé en usine. Différentes causes peuvent prolonger les temps de démarrage, par exemple :
● Débit de gaz excessif
● Fuite dans le système
● Point de consigne du temps de démarrage trop bas
Régler le paramètre [P:700]
1. Si possible, éliminer toute cause externe et associée à l’application.
2. Ajuster le temps de démarrage avec le paramètre [P:700].
7.2.4
Points de commutation de vitesse de rotation
Vous pouvez utiliser le point de commutation de vitesse de rotation pour le message « pompe turbomoléculaire opérationnelle pour le processus ». Lorsque le point de commutation de vitesse de rotation est
34/50
Utilisation
dépassé ou n'est pas atteint, cela active ou désactive un signal au niveau de la sortie pré-configurée
sur l’unité d’entraînement électronique et au niveau du paramètre d'état [P:302].
Point de commutation 1 vitesse de rotation
[P:017] = 0
f(%)
[P:701]
t
[P:010]
[P:302]
1
0
t
1
0
Fig. 7:
Process
t
Point de commutation de vitesse de rotation 1 actif
Réglage du point de commutation de vitesse de rotation 1
La sortie du signal et les paramètres d'état sont basés sur la valeur réglée pour le point de commutation
de vitesse de rotation 1 [P:701].
1. Régler le paramètre [P:701] à la valeur requise en %.
2. Régler le paramètre [P:017] sur « 0 ».
Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2
[P:017] = 1
f(%)
[P:701]
[P:719]
t
[P:010]
[P:302]
1
0
t
1
0
Fig. 8:
Process
t
Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] > [P:719]
[P:017] = 1
f(%)
[P:719]
[P:701]
t
[P:010]
[P:302]
Fig. 9:
1
0
t
1
0
Process
t
Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] < [P:719]
35/50
Utilisation
Réglage des points de commutation de la vitesse de rotation 1 & 2
1. Régler le paramètre [P:701] à la valeur requise en %.
2. Régler le paramètre [P:719] à la valeur requise en %.
3. Régler le paramètre [P:017] sur « 1 ».
Lorsque le poste de pompage [P:010] est mis en marche, le point de commutation de vitesse de rotation 1 est le générateur du signal. Lorsque le poste de pompage est mis à l’arrêt, la sortie du signal et la
demande du statut s’orientent vers le point de commutation de vitesse de rotation 2. La sortie du signal
est soumise à l’hystérèse entre les deux points de commutation.
7.2.5
Mode de réglage de la vitesse de rotation
Le mode de réglage de la vitesse de rotation réduit la vitesse et par conséquent la vitesse de pompage
de la pompe turbomoléculaire. La vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire varie proportionnellement à sa vitesse de rotation. Le mode standby est inactif pendant le mode de réglage de la vitesse de rotation. La valeur définie dans le mode de réglage de la vitesse de rotation [P:707] définit la vitesse de rotation. Le point de commutation de la vitesse de rotation varie avec la vitesse de rotation
réglée. Si la valeur définie n’est pas atteinte ou est dépassée pendant le mode de réglage de la vitesse
de rotation, le signal d'état [P:306] SetSpdAtt est activé ou désactivé.
Vitesse de rotation variable autorisée
Les valeurs dans le mode de réglage de la vitesse de rotation ou dans le mode standby
sont soumises à la plage de vitesse de rotation autorisée de la pompe à vide correspondante (caractéristiques techniques). Une chute en-dessous des valeurs minimales autorisées entraîne un message d’avertissement Wrn100. L’unité de commande électronique
ajuste la vitesse de rotation réglée sur la prochaine valeur valide.
Régler le mode de réglage de la vitesse de rotation
1. Régler le paramètre [P:707] à la valeur requise en %.
2. Régler le paramètre [P:026] sur « 1 ».
3. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]).
7.2.6
Standby
Pfeiffer Vacuum recommande le mode standby pour la pompe turbomoléculaire lors des arrêts de processus et de production. Lorsque le mode standby est actif, l’unité d’entraînement électronique réduit la
vitesse de rotation de la turbopompe. Le mode standby est inactif pendant le mode de réglage de la
vitesse de rotation. Le réglage en usine pour le mode standby est 66,7 % de la vitesse de rotation nominale. Si la valeur définie n’est pas atteinte ou est dépassée pendant le mode standby, le signal d'état
[P:306] SetSpdAtt est respectivement activé et désactivé.
Vitesse de rotation variable autorisée
Les valeurs dans le mode de réglage de la vitesse de rotation ou dans le mode standby
sont soumises à la plage de vitesse de rotation autorisée de la pompe à vide correspondante (caractéristiques techniques). Une chute en-dessous des valeurs minimales autorisées entraîne un message d’avertissement Wrn100. L’unité de commande électronique
ajuste la vitesse de rotation réglée sur la prochaine valeur valide.
Réglage des paramètres associés
1. Régler le paramètre [P:717] à la valeur requise en %.
2. Régler le paramètre [P:026] sur « 0 ».
3. Régler le paramètre [P:002] sur « 1 ».
4. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]).
7.2.7
Confirmation de la spécification de vitesse
La vitesse de rotation nominale typique d’une pompe turbomoléculaire est préréglée en usine dans
l’unité de commande électronique. Si l’unité de commande électronique est remplacée ou si un autre
type de pompe est utilisé, la présélection de consignes pour la vitesse de rotation nominale est effacée.
La confirmation manuelle de la vitesse de rotation nominale fait partie d’un système de sécurité redondant et sert de mesure de prévention contre les vitesses de rotation excessives.
36/50
Utilisation
HiPace
Confirmation de la vitesse de rotation nominale [P:777]
1200/1500
630 Hz
1800/2300
525 Hz
2800
455 Hz
Tab. 23:
Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires
Accessoires requis
● Un appareil de commande Pfeiffer Vacuum raccordé.
● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de travail de l’unité de commande
électronique.
Réglage de confirmation de la vitesse de rotation nominale
1. Observer le manuel de l'utilisateur de l’appareil de commande.
2. Voir le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique.
3. Définir le paramètre [P:794] sur « 1 » et activer le jeu de paramètres étendu.
4. Ouvrir et éditer le paramètre [P:777].
5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz.
7.2.8
Modes de fonctionnement de la pompe de secours
Le fonctionnement d'une pompe de secours connectée via l’unité d’entraînement électronique dépend
du type de pompe de secours.
Mode de fonctionnement [P:025]
Pompe booster recommandée
« 0 » mode continu
Toutes les pompes à vide primaire
« 1 » mode par intermittence
Pompes à membrane uniquement
« 2 » mise en marche temporisée
Toutes les pompes à vide primaire
« 3 » mode par intermittence temporisé
Pompes à membrane uniquement
Tab. 24:
Modes de fonctionnement de la pompe de secours
Réglage du mode continu
Avec « poste de pompage marche », l’unité d’entraînement électronique envoie un signal à la connexion d’accessoire configurée pour mettre la pompe de secours en marche.
1. Régler le paramètre [P:025] sur « 0 ».
2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire.
Réglage du mode de fonctionnement par intermittence et détermination du seuil de commutation
Le mode de fonctionnement par intermittence augmente la durée de vie de la membrane d’une pompe
à membrane connectée. Soit une pompe à membrane avec relais semi-conducteur intégré, soit un boîtier de relais interconnecté avec relais semi-conducteur est requis(e) pour le mode de fonctionnement
par intermittence. L’unité de commande électronique met la pompe à vide primaire en marche ou à l’arrêt selon la consommation électrique de la pompe turbomoléculaire. Une relation avec la pression de
vide préliminaire résulte de la consommation électrique. Le mode de fonctionnement de la pompe de
secours offre des seuils de mise en marche et de mise à l’arrêt réglables. Les variations de consommation électrique des pompes turbomoléculaires au ralenti et les variations de pression de vide préliminaire des pompes à vide primaire nécessitent des réglages individuels du mode de fonctionnement par
intermittence.
Pfeiffer Vacuum recommande un fonctionnement par intermittence entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et
une vanne de dosage sont nécessaires pour régler les seuils de commutation.
1. Régler le paramètre [P:025] sur « 1 ».
2. Mettre le système de vide en marche avec le paramètre [P:010] (« poste de pompage »).
3. Attendre le démarrage.
4. Laisser le gaz circuler à travers la vanne de dosage et régler la pression de vide préliminaire sur
10 hPa.
5. Relever la puissance d’entraînement sur le paramètre [P:316] et noter la valeur.
6. Régler le seuil de mise en marche de la pompe de secours avec le paramètre [P:711] sur la puissance d’entraînement déterminée pour une pression de vide préliminaire de 10 hPa.
37/50
Utilisation
7. Réduire la pression du vide préliminaire à 5 hPa.
8. Relever la puissance d’entraînement sur le paramètre [P:316] et noter la valeur.
9. Régler le seuil de mise à l’arrêt de la pompe de secours avec le paramètre [P:710] sur la puissance d’entraînement déterminée pour une pression de vide préliminaire de 5 hPa.
Mise en marche temporisée
La mise en marche simultanée de la pompe de vide primaire et de la pompe turbomoléculaire peut entraîner un flux de gaz indésirable. Afin d’éviter cela, selon les exigences du processus ou de l’application, il est possible de faire fonctionner la pompe de secours avec une mise en marche temporisée. La
mise en marche temporisée dépend de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire. La mise en
marche temporisée présente une valeur fixe de 360 tr/min dans l’unité de commande électronique.
● Seuil de mise à l’arrêt, paramètre [P:710]
● Seuil de mise en marche, paramètre [P:711]
● Temporisation 8 s.
1. Régler le paramètre [P:025] sur « 2 ».
2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire.
Fonctionnement par intermittence temporisé
Des variations au cours du fonctionnement par intermittence peuvent entraîner un non-respect des
seuils de commutation, ils ne sont pas atteints ou sont dépassés. Afin d’éviter toute commutation non
désirée de la pompe à vide primaire, le fonctionnement par intermittence est possible en utilisant une
temporisation de la mise en marche, selon le processus ou les exigences de l’application. La temporisation dépend d’un seuil de commutation spécifié dépassé ou non atteint de manière ininterrompue.
● Seuil de mise à l’arrêt, paramètre [P:710]
● Seuil de mise en marche, paramètre [P:711]
● Temporisation 8 s.
1. Régler le paramètre [P:025] sur « 3 ».
2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire.
7.2.9
Mode standby de la pompe de secours
Lors de l’utilisation d'une pompe de secours Pfeiffer Vacuum avec commande de la vitesse de rotation,
elle peut être utilisée dans le mode standby en configurant la sortie numérique [P:019] ou [P:024]. La
consommation de courant de la pompe turbomoléculaire a une influence directe sur la vitesse de rotation de la pompe à vide primaire.
Configuration du mode de standby
1. Établir la connexion de la pompe à vide primaire à l’aide d’un câble de raccordement approprié.
2. Régler le paramètre [P:019] ou [P:024] sur « 22 » (pompe à vide primaire en mode standby).
3. Consulter la vitesse de standby correspondante dans le mode d’emploi correspondant de la pompe à vide primaire.
7.2.10
Fonctionnement avec des accessoires
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits.
● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés sont disponibles en ligne.
● Les accessoires suivants ne sont pas inclus dans la livraison.
Configuration du chauffage
L’activation du chauffage connecté dépend du point de commutation de vitesse de rotation 1 (réglage
en usine 80% x fnominal).
► Mettre le chauffage en marche ou à l’arrêt avec le paramètre [P:001].
Configuration de la vanne de purge de gaz neutre
► À l’aide du paramètre [P:050], mettre en marche ou à l’arrêt une vanne de purge de gaz neutre
connectée via la sortie pré-configurée.
38/50
Utilisation
Surveillance du gaz de pressurisation
1. Régler le paramètre sélectionné sur « 13 ».
2. Régler le paramètre [P:791] sur le débit de gaz de pressurisation désiré pour le seuil d'avertissement.
3. Consulter le débit de gaz de pressurisation via le paramètre [P:337].
7.2.11
Modes de ventilation
La fonction « poste de pompage » active le mode de ventilation de la pompe turbomoléculaire après la
mise à l’arrêt. La sortie de signal est effectuée avec une temporisation fixe.
Sélection du mode de ventilation
1. Régler le paramètre [P:012] sur « 1 ».
2. Sélectionner le mode de ventilation avec le paramètre [P:030] (3 modes possibles).
Ventilation temporisée
1. Configurer le début et la durée de ventilation après « Station de pompage désactivée » en fonction de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire.
2. Régler le paramètre [P:030] sur « 0 ».
3. Avec le paramètre [P:720], régler la vitesse de ventilation à la vitesse de rotation nominale en %.
4. Avec le paramètre [P:721], régler la vitesse de ventilation en s.
La soupape de ventilation s'ouvre pour la durée de ventilation définie. En cas de panne de courant, la
ventilation démarre lorsque la vitesse tombe sous la vitesse de ventilation de consigne. La durée de
ventilation dépend de l’énergie résiduelle fournie par le rotor en rotation. Le processus de ventilation
s’arrête lorsque la puissance est rétablie.
Pas de remise à l'air
Dans ce mode de fonctionnement, la ventilation est désactivée.
► Régler le paramètre [P:030] sur « 1 ».
Ventilation directe
La mise à l’air commence avec un retard de 6 secondes après l’arrêt du groupe de pompage. Lorsque
la fonction du groupe de pompage est réactivée, la vanne de remise à l'air se ferme automatiquement.
Après une panne de courant, la ventilation démarre après que la vitesse de rotation soit retombée audessous d’une valeur type spécifiée. Une fois la puissance rétablie, le processus de ventilation reprend.
► Réglez le paramètre [P:030] sur « 2 ».
7.3
Mise en marche de la pompe turbo
Le paramètre « poste de pompage » [P:010] comprend le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire avec la commande de tous les accessoires connectés (par ex. pompe à vide primaire).
Procédure
Une fois l’auto-test correctement effectué, l’unité d’entraînement électronique réinitialise les messages
d’erreurs en cours et corrigés. La turbopompe démarre et tous les accessoires connectés démarrent en
fonction de leur configuration.
1. Régler le paramètre [P:023] sur « 1 ».
– Le paramètre [P:023] met le moteur de la turbopompe en marche.
2. Régler le paramètre [P:010] sur « 1 ».
7.4
Mise à l’arrêt de la pompe turbomoléculaire
Procédure
L’unité de commande électronique met la pompe turbomoléculaire à l’arrêt et active les options d’accessoires pré-réglés (par ex. ventilation MARCHE, pompe de secours ARRÊT).
1. Réglez le paramètre [P:010] sur « 0 ».
2. Attendre que la pompe turbomoléculaire soit complètement immobilisée.
3. Débrancher l’alimentation électrique conformément aux instructions du mode d’emploi de la pompe turbomoléculaire ou de l’unité de courant.
Déconnexion du secteur
1. Déconnectez l’unité de courant du secteur pour débrancher complètement l’alimentation en courant.
39/50
Utilisation
Débranchement du connecteur de réseau
Le débranchement du connecteur de réseau pendant le fonctionnement coupe immédiatement l’alimentation électrique de l’unité de courant et des appareils qui y sont connectés.
7.5
Surveillance des opérations
7.5.1
Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la
pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionnement avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
LED
Vert
Jaune
Rouge
Tab. 25:
7.5.2
Symbole
État LED
Affichage
Signification
Désactivé
Sans courant
Activé, clignotant
« Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min
Activé, clignotement inverse
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite non atteinte
Activé, éclairé en continu
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite atteinte
Activé, clignotant
« Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de > 60 tr/min
Désactivé
Pas d'avertissement
Activé, éclairé en continu
Avertissement
Désactivé
Pas d'erreur, pas d'avertissement
Activé, éclairé en continu
Erreur, dysfonctionnement
Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique
Surveillance de la température
Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent
d’amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température
pour les messages d’avertissement et d’erreur sont mémorisés systématiquement dans l’unité de commande électronique. À titre d'information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de
paramètres.
● Afin d’éviter que la pompe turbomoléculaire ne se coupe, l'unité de commande électronique réduit
déjà la consommation de courant en cas de dépassement du seuil d’avertissement pour l’excès
de température.
─ Exemples : température moteur inadmissible, surchauffe inadmissible du corps de pompe.
● Le point de commutation de la vitesse de rotation peut ne pas être atteint en cas de réduction
supplémentaire de la puissance d’entraînement et par conséquent de la vitesse. La pompe turbomoléculaire se coupe.
● Le dépassement du seuil de température pour les messages d’erreur entraîne la coupure immédiate de la pompe turbomoléculaire.
40/50
Dysfonctionnements
8 Dysfonctionnements
8.1
Généralités
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par les pièces déplacées après une panne de courant ou un dépannage
La fonction « groupe de pompage » de l’unité de commande électronique reste active après une panne de courant ou si des erreurs, entraînant l'arrêt de la pompe à vide ou du système, surviennent.
Lorsque la puissance est rétablie ou après la confirmation d’une défaillance, la pompe à vide démarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone
de fonctionnement des pièces en rotation.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
► Les contre-fiches présentes ou les ponts doivent être enlevés de l'unité de commande électronique avant le retour du courant secteur sous peine de risque de démarrage automatique.
► Mettre la pompe à l’arrêt en utilisant la fonction « poste de pompage » (paramètre [P:010]).
Tout dysfonctionnement de la pompe turbomoléculaire et de l’unité de commande électronique entraîne
systématiquement un message d’avertissement ou d’erreur. Dans les deux cas, un code d’erreur est
émis, ce dernier peut être lu via les interfaces de l’unité de commande électronique. De manière générale, les LED sur l’unité de commande électronique indiquent les messages de fonctionnement. En présence d’une erreur, la pompe turbomoléculaire et les appareils connectés sont mis à l’arrêt. Le mode de
remise à l'air sélectionné sera déclenché après une temporisation définie.
8.2
Codes d’erreur
Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours l’arrêt des appareils périphériques connectés.
Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la coupure des composants.
Traitement des messages d’anomalie
1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
2. Éliminez la cause de l’anomalie.
3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009].
– Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d’écran sur les appareils de commande
Pfeiffer Vacuum.
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Err001
Vitesse de rotation excessive
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err002
Surtension
● Unité de courant inappropriée
● Tension d’entrée de secteur
incorrecte
● Contrôlez le type d’ensemble d’alimentation électrique
● Vérifiez la tension d’entrée de secteur
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err006
Erreur de démarrage
● Seuil de temps de démarrage réglé trop bas
● Débit de gaz dans les récipients suite à des fuites ou
vannes ouvertes
● Toujours en-dessous du
point de commutation de
contrôle de vitesse, le temps
de démarrage s’écoule
● Ajustez le temps de démarrage aux conditions du processus
● Contrôlez les fuites ou les vannes fermées
dans les chambres de vide
● Réglez le point de commutation de vitesse
de rotation
Err007
Fluide d’exploitation bas
● Fluide d’exploitation bas
● Contrôlez le fluide d’exploitation
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
41/50
Dysfonctionnements
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Err008
Unité d’entraînement
électronique - raccordement de la pompe turbomoléculaire défaillant
● Raccordement à la pompe
turbomoléculaire défaillant
● Contrôlez les raccordements
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err010
Erreur appareil interne
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err021
L'unité d’entraînement
électronique ne détecte
pas la pompe turbomoléculaire
● Version de logiciel incompatible
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err041
Défaut du moteur
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err043
Erreur de configuration
interne
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err044
Température excessive,
électronique
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err045
Température excessive,
moteur
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err046
Erreur d’initialisation interne
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err073
Surcharge du palier magnétique axial
● Taux de remontée de pression trop élevé
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err074
Surcharge du palier magnétique radial
● Taux de remontée de pression trop élevé
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err089
Rotor instable
● Impacts, vibrations
● Appareil défectueux
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err091
Erreur appareil interne
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err092
Panneau de connexion
inconnu
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err093
Évaluation de la température du moteur défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err094
Évaluation de la température de l’électronique défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err098
Erreur de communication
interne
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err106
Température élevée du
rotor
● Débit élevé du gaz
● Rayonnement thermique interdit
● Champ magnétique interdit
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err107
Erreur groupée étage final
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err108
Mesure de la vitesse de
rotation défaillante
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err109
Logiciel non publié
● Mise à jour erronée du logiciel
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err110
Évaluation du fluide d'exploitation défaillante
● Capteur du fluide d'exploitation défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err111
Erreur de communication, pompe à liquide de
refroidissement
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
42/50
Dysfonctionnements
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Err112
Erreur de groupe, pompe
à liquide de refroidissement
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err113
Évaluation de la température du rotor défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err114
Évaluation de la température de l’étage final défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err117
Température excessive,
partie inférieure de la
pompe
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err118
Température excessive,
étage final
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err119
Température excessive,
palier
● Refroidissement insuffisant
● Mode de gaz sélectionné incorrect
● Débit insuffisant du gaz de
pressurisation
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err143
Température excessive,
pompe à liquide d'exploitation
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err777
Vitesse de rotation nominale non confirmée
● Vitesse de rotation nominale
non confirmée après le remplacement de l’unité d’entraînement électronique
● Confirmez la vitesse de rotation nominale
avec [P:777]
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err800
Débordement du palier
magnétique
● Impacts, vibrations
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err802
Défaut technologique du
capteur du palier magnétique
● Valeurs de calibrage invalides
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Procédez à une procédure de calibrage
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err810
Erreur de configuration
interne
● Version de logiciel incompatible
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err815
Débordement du palier
magnétique
● Impacts, vibrations
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err890
Palier de sécurité usé
● Usure palier de sécurité
> 100%
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err891
Déséquilibre trop important du rotor
● Déséquilibre du rotor
> 100%
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Tab. 26:
Messages d’erreur de l’unité de commande électronique
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Wrn001
Temps de montée en
température TMS expiré
● Minuterie interne de surveillance
de montée en température dépassée
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Vérifiez la tension d’entrée de secteur
Wrn003
Température TMS invalide
● La température TMS n'est pas
dans la plage admissible, entre
5 °C et 85 °C
● Capteur de température TMS
défectueux
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn007
Sous-tension ou panne
de courant
● Panne de secteur
● Unité de courant insuffisamment
dimensionnée
● Contrôlez le type d’ensemble d’alimentation électrique
● Vérifiez la tension d’entrée de secteur
43/50
Dysfonctionnements
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Wrn016
Configuration invalide
des accessoires
● Configuration interdire des sorties accessoires
● Vérifiez la configuration des sorties accessoires
Wrn018
Conflit de primauté de
fonctionnement
● Groupe de pompage mis en
marche avec [P:010] alors que
l’entrée E74 « start/stop » est à
l’arrêt (ouverte)
● Mettre le poste de pompage en marche
via E74 « start/stop »
● Désactiver [P:010]
Wrn021
Signal de verrouillage invalide
● Le signal de la surveillance du
signal de verrouillage se trouve
en-dehors de la plage valide
● Contrôlez les connexions de la surveillance du gaz de pressurisation
● Contrôlez l’alimentation en gaz de
pressurisation
Wrn034
Débit de gaz de pressurisation bas
● Signal de la surveillance du gaz
de pressurisation valide mais
en-dessous du seuil réglé
[P:791]
● Contrôlez et corrigez l’alimentation en
gaz de pressurisation
Wrn045
Température élevée du
moteur
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn076
Température élevée de
l’électronique
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn089
Déséquilibre élevé
● Déséquilibre du rotor
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn097
Informations de pompe
invalides
● Erreur de communication interne
1. Arrêtez le groupe de pompage
2. Attendez que la pompe turbomoléculaire se soit complètement immobilisée
3. Déconnectez l’alimentation électrique
4. Si cela se reproduit, contactez Pfeiffer Vacuum Service
Wrn098
Informations de pompe
incomplètes
● Erreur de communication interne
1. Arrêtez le groupe de pompage
2. Attendez que la pompe turbomoléculaire se soit complètement immobilisée
3. Déconnectez l’alimentation électrique
4. Si cela se reproduit, contactez Pfeiffer Vacuum Service
Wrn100
Vitesse minimale non atteinte
● Réglages du régime nominal inférieurs à la vitesse minimale
spécifique de la pompe
● Contrôlez [P:707] ou [P:717]
● Consultez la plage de vitesse de rotation valide dans la fiche technique de la
pompe turbomoléculaire
Wrn106
Température élevée du
rotor
● Débit élevé du gaz
● Rayonnement thermique interdit
● Champ magnétique interdit
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn113
Température du rotor incorrecte
● Erreur de communication interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn115
Évaluation de la température de la partie inférieure de la pompe défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn116
Évaluation de la température du palier défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn117
Température élevée de
la partie inférieure de la
pompe
● Refroidissement insuffisant
● Mode de gaz sélectionné incorrect
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn118
Température élevée de
l’étage final
● Refroidissement insuffisant
● Mode de gaz sélectionné incorrect
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn119
Température élevée du
palier
● Refroidissement insuffisant
● Mode de gaz sélectionné incorrect
● Débit insuffisant du gaz de pressurisation
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn143
Température de pompe
à liquide d'exploitation
élevée
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
44/50
Dysfonctionnements
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Wrn168
Temporisation importante
● Taux de remontée de pression
trop élevé
● Taux de remise à l'air trop élevé
● Contrôlez le taux de remise à l’air
● Adaptez le taux de remise à l'air à la
pompe
Wrn801
Convertisseur de freinage défectueux
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn806
Résistance de freinage
défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn807
Calibrage requis
● Calibrage expiré
● Calibrez la pompe turbomoléculaire en
la démarrant depuis l’arrêt
Wrn890
Usure trop importante
du palier de sécurité
● Usure palier de sécurité > 75 %
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn891
Déséquilibre important
du rotor
● Déséquilibre du rotor > 75 %
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Tab. 27:
Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique
8.3 Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionnement avec des appareils de commande
Outre des messages d’avertissement et d’erreur spécifiques à l’appareil sur l’unité de commande électronique, des messages additionnels sont affichés sur l’appareil de commande connecté.
Indicateur
Problème
Causes possibles
Action corrective
* Warning F110
*
Manomètre
● Manomètre défaillant
● Connexion au manomètre perdue
lors du fonctionnement
● Contrôler le branchement des câbles
● Effectuer un redémarrage avec le
manomètre connecté
● Remplacer complètement le manomètre
** Error E040 **
Erreur hardware
● RAM externe défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
** Error E042 **
Erreur hardware
● Somme de contrôle EPROM incorrecte
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
** Error E043 **
Erreur hardware
● Erreur d’écriture E2PROM
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
** Error E090 **
Erreur appareil
interne
● Quantité de RAM insuffisante
● L’unité est raccordée à une unité de
commande électronique incorrecte
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Raccorder l’unité à l’unité de commande électronique correcte
** Error E698 **
Erreur de communication
● L’unité de commande électronique
ne répond pas
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Tab. 28:
Messages d’avertissement et de dysfonctionnement
45/50
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
9 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
46/50
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
47/50
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Unité de commande électronique
TC 1200 E74
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Basse tension 2014/35/CE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN ISO 12100 : 2011
DIN EN 62061 : 2016
DIN EN 1012-2 : 2011
DIN ISO 21360-1 : 2016
DIN EN IEC 61000-3-2 : 2019
ISO 21360-4 : 2018
DIN EN 61000-3-3 : 2020
DIN EN IEC 63000 : 2019
DIN EN 61010-1 : 2020
Semi F47-0200
DIN EN 61326-1 : 2013
Semi S2-0706
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-12-07
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Unité de commande électronique
TC 1200 E74
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications appliquées:
EN ISO 12100:2010
EN 1012-2+A1:1996
EN IEC 61000-3-2+A1:2019
EN 61000-3-3+A2:2013
EN 61010-1+A1:2017
EN IEC 61326-1:2021
EN IEC 62061:2021
ISO 21360-1:2020
ISO 21360-4:2018
IEC 63000:2018
Semi F47-0200
Semi S2-0706
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-12-07
*PT0303*
ed. K - Date 2304 - P/N:PT0303BFR
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