MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original TC 1200 E74 Unité de commande électronique Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe turbomoléculaire est conçue pour vous aider par ses performances, son parfait fonctionnement, sans interférer avec votre application. Le nom Pfeiffer Vacuum est synonyme de technologie du vide de haute qualité, d’une gamme étendue et complète de produits de qualité supérieure et d’un service clients qui se distingue par son excellence. Forts de cette expertise, nous avons acquis une multitude de compétences contribuant à une implémentation efficace et sécurisée de notre produit. Sachant que tout arrêt de production est pénalisant, nous espérons vous offrir une solution efficace et fiable pour le fonctionnement continu de votre application. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail info@pfeiffer-vacuum.de. Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de nos produits à l'adresse Download Center sur notre site internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/50 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.2 Documents applicables 1.3 Groupe cible 1.4 Conventions 1.4.1 Instructions dans le texte 1.4.2 Pictogrammes 1.4.3 Étiquettes du produit 1.4.4 Abréviations 7 7 7 7 7 7 7 8 8 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Précautions de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisation abusive prévisible 9 9 9 10 11 12 12 3 Description du produit 3.1 Identification du produit 3.2 Caractéristiques du produit 3.3 Fonction 3.4 Contenu de la livraison 3.5 Connexions 13 13 13 13 14 14 4 Installation 4.1 Diagramme de raccordement 4.2 Connexion « E74 » 4.3 Raccord « RS-485 » 4.4 Alimentation électrique secteur 15 15 17 17 18 5 Interfaces 5.1 Interface E74 5.1.1 Description du signal 5.1.2 Sortie analogique AO1 5.2 Interface RS-485 5.3 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 5.3.1 Cadre télégramme 5.3.2 Description du télégramme 5.3.3 Télégramme exemple 1 5.3.4 Télégramme exemple 2 5.3.5 Types de données 20 20 20 20 21 22 22 23 23 23 23 6 Ensemble de paramètres 6.1 Généralités 6.2 Instructions de réglage 6.3 Requêtes d’état 6.4 Entrées des valeurs de référence 6.5 Paramètres additionnels dans l'appareil de commande 25 25 25 28 30 31 7 Utilisation 7.1 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum 7.1.1 Configuration de la connexion « E74 » 7.1.2 Configuration des connexions des accessoires 7.1.3 Sélection des interfaces 7.2 Modes de fonctionnement 32 32 32 32 33 33 3/50 Table des matières 7.2.1 Fonctionnement selon le type de gaz 7.2.2 Valeur de réglage de la puissance absorbée 7.2.3 Temps d’accélération 7.2.4 Points de commutation de vitesse de rotation 7.2.5 Mode de réglage de la vitesse de rotation 7.2.6 Standby 7.2.7 Confirmation de la spécification de vitesse 7.2.8 Modes de fonctionnement de la pompe de secours 7.2.9 Mode standby de la pompe de secours 7.2.10Fonctionnement avec des accessoires 7.2.11Modes de ventilation Mise en marche de la pompe turbo Mise à l’arrêt de la pompe turbomoléculaire Surveillance des opérations 7.5.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes 7.5.2 Surveillance de la température 33 34 34 34 36 36 36 37 38 38 39 39 39 40 40 40 8 Dysfonctionnements 8.1 Généralités 8.2 Codes d’erreur 8.3 Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionnement avec des appareils de commande 41 41 41 45 9 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 46 Déclaration de conformité CE 48 Déclaration de Conformité UK 49 7.3 7.4 7.5 4/50 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Tab. 22: Tab. 23: Tab. 24: Tab. 25: Tab. 26: Tab. 27: Tab. 28: Étiquettes du produit Abréviations utilisées dans ce document Conditions ambiantes autorisées Caractéristiques de la variante d'appareil Puissance d’entraînement délivrée en fonction de la tension secteur Description de la connexion de l’unité de commande électronique Agencement du terminal de la connexion « E74 » à 15 broches Agencement de la terminaison de la borne de connexion M12 RS-485 Agencement du terminal du connecteur d'alimentation électrique Description du signal de l’interface E74 démarrage /arrêt Description du signal de l’interface E74 statut Caractéristiques de l’interface RS-485 Agencement de la terminaison de la borne de connexion M12 RS-485 Explication et signification des paramètres Instructions de réglage Requêtes d’état Entrées des valeurs de référence Paramètres des fonctions de l'appareil de commande Réglages pour la sortie analogique de l’interface « E74 » Connexions des accessoires Paramètre [P:060] Paramètre [P:061] Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires Modes de fonctionnement de la pompe de secours Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique Messages d’erreur de l’unité de commande électronique Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique Messages d’avertissement et de dysfonctionnement 8 8 11 13 13 14 17 17 19 20 20 21 21 25 28 30 31 31 32 33 33 33 37 37 40 43 45 45 5/50 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: 6/50 Panneau de connexion TC 1200 E74 Diagramme et affectations du panneau de connexion Raccordement des accessoires RS-485 Interface "E74" Mise en réseau de plusieurs unités de commande électronique dans le bus RS-485 Représentation schématisée des caractéristiques de puissance, exemple de gaz lourds [P:027] = 0 Point de commutation de vitesse de rotation 1 actif Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] > [P:719] Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] < [P:719] 13 16 18 20 22 34 35 35 35 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.2 Documents applicables TC 1200 E74 Manuel de l’utilisateur Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.3 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.4 Conventions 1.4.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.4.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. 7/50 A propos de ce manuel Remarque Conseil 1.4.3 Étiquettes du produit Cette section décrit toutes les étiquettes du produit et leur signification. Mod: TC 1200 E74 Ser.-Nr.:1234567 Mod.-Nr.: PM C01 814 Input: ~ 100-120V / ~200-240V±10% 10A, 50 - 60 Hz, 1500AIC Output: 0 - 400V 5A, 0 - 630 Hz Masse: 3kg Made in Germany 2017/10 Joint de fermeture Le produit est scellé en départ d’usine. L’endommagement ou la suppression du joint de fermeture entraîne l’annulation de la garantie. warranty seal Tab. 1: 1.4.4 Étiquettes du produit Abréviations Abréviation Signification dans ce document AI / AO Entrée analogique / sortie analogique AIC Capacité d’interruption en ampère DCU Display Control Unit (appareil de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum) DI / DO Entrée numérique / sortie numérique E74 Version conforme à SEMI E74 f Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en trs/min ou Hz) HPU Unité de programmation portative. Assistance pour la commande et le suivi des paramètres de la pompe I Intensité de courant électrique DEL Diode électroluminescente [P:xxx] Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous forme de nombres à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte description Exemple : [P:312] version logicielle P Puissance électrique PE Conducteur de protection (terre de protection) R Résistance électrique RS-485 Standard pour une interface physique, pour la transmission asynchrone de données en série (standard recommandé) t Temps TC Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de pompe turbomoléculaire) TMS Système de gestion de la température U Tension électrique Tab. 2: 8/50 Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve sur le côté de l’unité d’entraînement électronique. Abréviations utilisées dans ce document Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur l’analyse des risques effectuée conformément à la Directive Basse Tension 2014/35/UE. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. 9/50 Sécurité DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. AVERTISSEMENT Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. AVERTISSEMENT Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal). ► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2. ► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum. AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas d'installation inappropriée Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. Risques liés aux anomalies de fonctionnement AVERTISSEMENT Risque de blessure par les pièces déplacées après une panne de courant ou un dépannage La fonction « groupe de pompage » de l’unité de commande électronique reste active après une panne de courant ou si des erreurs, entraînant l'arrêt de la pompe à vide ou du système, surviennent. Lorsque la puissance est rétablie ou après la confirmation d’une défaillance, la pompe à vide démarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. ► Les contre-fiches présentes ou les ponts doivent être enlevés de l'unité de commande électronique avant le retour du courant secteur sous peine de risque de démarrage automatique. ► Mettre la pompe à l’arrêt en utilisant la fonction « poste de pompage » (paramètre [P:010]). 2.3 Précautions de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. 10/50 Sécurité Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Contrôler le système de sécurité pour prévenir une vitesse de rotation excessive Prévenez les anomalies. Redémarrez l’unité à partir de l’arrêt total au moins une fois par an pour vous assurer que la fonction de prévention de vitesse de rotation excessive fonctionne correctement dans le système de sécurité intégrée. 1. Arrêtez l'unité. 2. Attendez que la pompe à vide s'arrête complètement (vitesse de rotation = 0 Hz). 3. Démarrez l’unité conformément au manuel de l’utilisateur correspondant. Précautions de sécurité générales lors de la manutention du produit ► Avant d’effectuer tous les travaux sur le produit, débranchez en toute sécurité la tension secteur de toutes les installations qui y sont branchées. ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures préventives sont respectées. ► Recommandation : Établissez une connexion sécurisée à un conducteur de protection (PE) : classe de protection I. ► Ne débranchez jamais les connecteurs pendant le fonctionnement. ► Tenez les lignes et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N’effectuez pas de modification ou de conversion arbitraire de l’unité. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Respectez le degré de protection spécifiée en veillant à bien installer les bouchons d’obturation existants. ► Débranchez l’unité de commande électronique uniquement une fois que tout est entièrement à l’arrêt et lorsque le réseau d'alimentation de la pompe turbomoléculaire est interrompu. 2.4 Limites d’utilisation du produit Lieu de mise en place protégé des intempéries (espace intérieur) Pression d’air de 750 hPa à 1060 hPa Altitude d’installation 2000 m max. Humidité rel. de l’air max. 80%, à T < 31°C, jusqu’à max. 50 % à T < 40 °C Classe de protection I Catégorie de surtension II Niveau de contamination 2 Température ambiante +5 ℃ à +40 ℃ Tab. 3: Conditions ambiantes autorisées Remarques sur les conditions ambiantes Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonctionnement de la pompe turbo à la pression de secours maximum admissible ou avec un débit de gaz maximum, en fonction du type de refroidissement. La pompe est intrinsèquement sûre grâce à la surveillance redondante de la température. ● La réduction de la pression de vide ou du débit du gaz permet le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à des températures ambiantes plus élevées. ● Si la température de fonctionnement maximum admissible de la pompe turbomoléculaire est dépassée, l'unité d’entraînement électronique va d'abord réduire la vitesse d'entraînement, puis la mettre hors circuit si nécessaire. 11/50 Sécurité 2.5 Utilisation conforme ● L'unité de commande électronique est uniquement utilisée pour le fonctionnement des pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum et de leurs accessoires. 2.6 Utilisation abusive prévisible Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme abusive, en particulier : ● Branchement à l’alimentation électrique non conforme avec les prescriptions de la norme IEC 61010 ou IEC 60950 ● Utilisation avec un rayonnement thermique excessivement élevé ● Utilisation dans des zones à radiation ionisante ● Fonctionnement dans des zones explosives ● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions 12/50 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320. 3.2 Caractéristiques du produit L'unité d’entraînement électronique de type TM 1200 E74 est un composant fixe de la pompe turbomoléculaire. Le rôle de l’unité de commande électronique est d’entraîner, de surveiller et de commander l’ensemble de la pompe turbomoléculaire. L’unité de commande électronique est équipée d’une tension d’alimentation étendue intégrée. La sortie de l’unité de commande électronique dépend de la tension secteur délivrée sur site. Caractéristique TC 1200 E74 Panneau de connexion E74 Pompe turbomoléculaire HiPace 1200, 1500, 1800, 2300 Alimentation électrique secteur 100 à 120 / 200 à 240 V CA (± 10 %) 50/60 Hz Appel de courant max. 10 A Consommation de courant max. 1350 VA Fusible interne (raccordement au réseau électrique) 10 A, à action retardée Taux d’interruption (AIC) 1500 A Tab. 4: Tension secteur ± 10 % Puissance d'entrée moteur de l’unité de commande électronique 100 à 120 V CA 700 à 930 W 200 à 240 V CA 1200 W Tab. 5: 3.3 Caractéristiques de la variante d'appareil Puissance d’entraînement délivrée en fonction de la tension secteur Fonction 1 2 3 4 PV.can RS485 B A DC in } accessory E74 6 Fig. 1: 5 Panneau de connexion TC 1200 E74 1 Connexion « accessoires A+B » 2 Branchement de service « PV.can » 3 Connexion « RS485 » 4 5 6 Raccordement au réseau électrique « AC in » Connexion « E74 » LED d’Affichage du mode de fonctionnement 13/50 Description du produit 3.4 Contenu de la livraison ● TC 1200 E74 ● Manuel de l’utilisateur 3.5 Connexions Connexion Description 2 3 AC in Douille HAN 3A du boîtier pour la tension d’alimentation 1 PE accessory1) Prise M12 avec vis pour la connexion des accessoires Pfeiffer Vacuum. L'utilisation d’un distributeur Y permet la double affectation d'une connexion. PV.can Douille M12 avec coupleur fileté et LED pour les besoins du Pfeiffer Vacuum service. E74 Prise D-Sub avec 15 broches pour le raccordement et la configuration d'une commande à distance conformément à SEMI E74. RS-485 Prise M12 avec vis pour la connexion des panneaux de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC. L'utilisation d’un distributeur Y permet l’intégration dans un système de bus. Tab. 6: 1) 14/50 Description de la connexion de l’unité de commande électronique Le raccordement « accessory » est décrit dans le manuel de l’utilisateur de la pompe turbomoléculaire. Installation 4 Installation 4.1 Diagramme de raccordement DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas d'installation inappropriée Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. Charge de contact pour le raccordement des accessoires sur « accessoires » 1. Maintenez la charge de contact maximale de 200 mA par raccordement. 2. La somme totale de la charge de tous les raccordements ne doit pas dépasser 450 mA. 15/50 3 2 1 n.c. Accessory A2 2 2 Accessory B2 24 V DC** 3 3 24 V DC** 4 Accessory B1 5 FE 1 CAN-H 2 24 V DC*** 3 GND*** 4 CAN-L 5 FE 1 RS 485 D + 2 24 V DC* out 3 GND* 4 RS 485 D - 5 n.c. Accessory A1 FE 5 start / stop (+) 1 AO1 (-) 2 acceleration status (+) 3 normal status (+) 4 deceleration status (+) 5 alarm staus (+) 6 remote / local status (+) 7 ~ alarm status (+) 8 start / stop (-) 9 AO1 (+) 10 acceleration status (-) 11 normal status (-) 12 deceleration status (-) 13 alarm staus (-) 14 remote / local status (-) 15 (+) (-) 4 – 27 V DC 1 or 9 I max = 100 mA (+) Pin 3 – 8 (-) Pin 11 – 15 Fig. 2: 16/50 4 or 2 3 1 4 5 4 3 1 2 (+) 1 (-) 9 (+) Pin 3 – 8 (-) Pin 11 – 15 4 – 27 V DC Diagramme et affectations du panneau de connexion accessory B 5 1 PV.can 1 n.c. RS485 4 E74 accessory A Installation Installation 4.2 Connexion « E74 » 8 15 9 1 En plus des signaux définis dans la directive SEMI E74-0301, la connexion « E74 » avec connecteur femelle 15 broches est fournie avec un signal d'alarme inversé et une sortie analogique. Tab. 7: 4.3 Broche Affectation 1 démarrage/arrêt (+) 2 AO1 (-) 3 statut accélération (+) 4 statut normal (+) 5 statut décélération (+) 6 statut alarme (+) 7 statut distance / local (+) 8 ~ statut alarme (+) 9 démarrage/arrêt (-) 10 AO1 (+) 11 statut accélération (-) 12 statut normal (-) 13 statut décélération (-) 14 statut alarme (-) 15 statut distance / local (-) Agencement du terminal de la connexion « E74 » à 15 broches Raccord « RS-485 » L’interface avec la désignation « RS-485 » sur l’unité de commande électronique ne est destinée au raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique. Les connexions électriques sont découplées visuellement en interne. 1 5 4 Tab. 8: 2 3 Broche Affectation 1 RS-485 D+ 2 Sortie +24 V, ≤ 210 mA capacité de charge 3 GND 4 RS-485 D- 5 non connectée Agencement de la terminaison de la borne de connexion M12 RS-485 17/50 Installation 1 5 2 3 4 Fig. 3: Raccordement des accessoires RS-485 1 Convertisseur USB/RS-485 2 PC 3 Unité de commande électronique 4 5 Appareil de commande avec unité de courant Connexion de l’interface RS-485 Raccordement des accessoires RS-485 Un appareil de commande externe peut être raccordé à l’interface RS-485. 1. Utilisez les câbles de correspondants raccordement fournis avec l’appareil de commande ou issus de la gamme d’accessoires. 2. Utilisez l’option pour connecter un PC via le transformateur USB/RS-485. 4.4 Alimentation électrique secteur AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas d'installation inappropriée Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. AVERTISSEMENT Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. AVERTISSEMENT Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal). ► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2. ► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum. 18/50 Installation 2 3 Broche Affectation 1 Phase L 2 Conducteur neutre 3 non connectée PE Conducteur de terre 1 PE Tab. 9: Agencement du terminal du connecteur d'alimentation électrique Raccordement de l’alimentation électrique 1. Commandez un câble d'alimentation électrique correspondant dans la gamme des accessoires Pfeiffer Vacuum. 2. Assemblez votre propre câble d'alimentation électrique en utilisant le connecteur HAN 3A livré avec le produit. 3. Branchez le câble d'alimentation électrique dans le raccordement au réseau électrique « AC in ». 4. Bloquez le câble d’alimentation électrique avec un étrier de retenue. 5. Branchez le câble d’alimentation électrique au secteur. 19/50 Interfaces 5 Interfaces 5.1 Interface E74 Les câbles de signal (-) du « statut alarme (+) » et du « ~statut alarme (+) » sont groupés pour le signal « statut alarme (-) ». Input signal signal (+) signal (+) signal (-) signal (-) Fig. 4: 5.1.1 Interface "E74" Description du signal Signal Broches Fonction lors de la fermeture Fonction lors de l’ouverture démarrage / arrêt 1, 9 Régler priorité E74 Acquittement des erreurs Moteur en marche (voir [P:023]) Groupe de pompage en marche (voir [P:010]) Réinitialiser la priorité E74 (opération possible avec d’autres interfaces) Groupe de pompage à l’arrêt (voir [P:010]) Tab. 10: Description du signal de l’interface E74 démarrage /arrêt Signal Broches Signification si fermé Signification si ouvert statut accélération 3, 11 Accélération pompe La pompe n’accélère pas statut normal 4, 12 Point de commutation atteint Point de commutation non atteint statut décélération 5, 13 Décélération pompe La pompe ne décélère pas statut alarme 6, 14 Pas d’erreur Défaillance statut distance / local 7, 15 Commande à distance de l’équipement Équipement non commandé à distance ~ statut alarme 8, 14 Défaillance Pas d’erreur Tab. 11: 5.1.2 Output signal Description du signal de l’interface E74 statut Sortie analogique AO1 Une tension proportionnelle à la vitesse (de 0 à 10 V CC équivaut à une valeur comprise entre 0 et 100 % × fnominale) peut être mesurée au niveau de la sortie analogique AO1 (broches 2 et 10) (charge R ≥ 10 kΩ). Des fonctions additionnelles (courant / puissance en option) peuvent être affectées à la sortie analogique via DCU, HPU ou PC. 20/50 Interfaces 5.2 Interface RS-485 DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. L’interface avec la désignation « RS-485 » sur l’unité de commande électronique ne est destinée au raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique. Les connexions électriques sont découplées visuellement en interne. Désignation Valeur Interface série RS-485 Vitesse de transmission en baud 9600 Baud Longueur de mot 8 bit Parité aucune (pas de parité) Bits de départ 1 Bits d’arrêt 1 Tab. 12: 1 5 4 Tab. 13: Caractéristiques de l’interface RS-485 2 3 Broche Affectation 1 RS-485 D+ 2 Sortie +24 V, ≤ 210 mA capacité de charge 3 GND 4 RS-485 D- 5 non connectée Agencement de la terminaison de la borne de connexion M12 RS-485 21/50 Interfaces 5 6 1 4 2 TC/TM TC/TM USB/RS-485-converter D+ D- USB PC RS 485 3 Fig. 5: Mise en réseau de plusieurs unités de commande électronique dans le bus RS-485 1 Transformateur USB/RS-485 2 PC 3 Câble d’interface M12 - RJ 45 4 5 6 Unité de commande électronique Connecteur Y Câble d'interface M12-M12 Mise en réseau en tant que bus RS-485 L’adresse groupée de l’unité de commande électronique est 963. 1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485. 2. Veillez à ce que tous les appareils connectés au bus disposent d’une adresse RS-485 différente [P:797]. 3. Connectez tous les appareils au bus avec RS-485 D+ et RS-485 D-. 5.3 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 5.3.1 Cadre télégramme Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vaccum contient uniquement des caractères ASCII [32; (par ex. un 127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un host PC) envoie un télégramme, auquel un device (par ex. unité de commande électronique ou jauge) va répondre. a2 22/50 a1 a0 * 0 n2 n1 n0 l1 l0 dn ... d0 c2 c1 c0 CR a2 – a0 Adresse de l’unité pour device ● Adresse individuelle de l’unité ["001";"255"] ● Adresse groupée « 9xx » pour toutes les unités identiques (pas de réponse) ● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse) * Action selon la description du télégramme n2 – n0 Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum I1 – I0 Longueur de données dn à d0 dn – d0 Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Types de données », page 23). c2 – c0 Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) module 256 CR Retour à la ligne (ASCII 13) Interfaces 5.3.2 Description du télégramme Interrogation des données --> ? a2 n2 n1 a1 a0 0 0 Instruction de réglage a2 a1 a0 1 --> ! n2 n1 0 n0 0 2 l1 l0 dn n0 Réponse des données / instruction de réglage comprise a2 a1 a0 1 0 Message d’erreur a2 a1 a0 1 0 n2 NO_DEF _RANGE _LOGIC 5.3.3 = ? ... c2 c1 c0 cR d0 c2 c1 c0 cR c2 c1 c0 cR c1 c0 cR --> n2 n1 n0 l1 l0 dn ... d0 0 6 N O _ D E F _ R A N G E _ L O G I C --> n1 n0 c2 Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée Erreur d'accès logique Télégramme exemple 1 Demande de données Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 ») --> ? ASCII 1 2 3 0 0 3 0 9 0 2 = ? 1 1 2 cR 49 50 51 48 48 51 48 57 48 50 61 63 49 49 50 13 Réponse des données : 633 Hz Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 ») --> 1 2 3 1 0 3 0 9 0 6 0 0 0 6 3 3 0 3 7 cR ASCII 49 50 51 49 48 51 48 57 48 54 48 48 48 54 51 51 48 51 55 13 5.3.4 Télégramme exemple 2 Commande de contrôle Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 » --> ! ASCII 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 cR 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 Commande de contrôle comprise Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 » --> 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 cR ASCII 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 5.3.5 Types de données Nº Type de donnée Description Longueur l1 – l0 Exemple 0 boolean_old Valeur logique (faux / vrai) 06 000000 est équivalent à faux 111111 est équivalent à vrai 1 u_integer Nombre entier positif 06 000000 à 999999 23/50 Interfaces 24/50 Nº Type de donnée Description Longueur l1 – l0 Exemple 2 u_real Nombre à point fixe positif 06 001571 correspond à 15.71 4 string Chaîne de 6 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 06 TC_110, TM_700 6 boolean_new Valeur logique (faux / vrai) 01 0 est équivalent à faux 1 est équivalent à vrai 7 u_short_int Nombre entier positif 03 000 à 999 10 u_expo_new Nombre exponentiel positif. Les deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de 20. 06 100023 est équivalent à 1,0 · 103 100000 est équivalent à 1,0 · 10-20 11 string16 Chaîne de 16 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 16 BrezelBier&Wurst 12 string8 Chaîne de 8 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 08 Exemple Ensemble de paramètres 6 Ensemble de paramètres 6.1 Généralités Des réglages et des caractéristiques propres aux fonctions importantes sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité d’entraînement électronique. Chaque paramètre a un nombre à trois chiffres et une description. Le paramètre est accessible via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou de manière externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum. La pompe à vide démarre dans le mode standard avec les paramètres réglés par défaut en usine. Sauvegarde de données non volatiles Lors de la mise à l’arrêt ou en cas de chute de tension involontaire, les paramètres et les heures de service sont sauvegardés dans le système électronique. # Nombre à trois chiffres du paramètre Indicateur Affichage de la description des paramètres Description Brève description des paramètres Fonctions Description de la fonction des paramètres Type de donnée Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum Type d’accès R (lecture) : accès en lecture ; W (écriture) : accès en écriture Unité Unité physique de la variable décrite min./max. Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur par défaut Pré-réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la pompe) Le paramètre peut être sauvegardé de manière permanente sur l’unité de commande électronique Tab. 14: Explication et signification des paramètres 6.2 Instructions de réglage # Affichage Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 001 Chauffage Chauffage 0 = arrêt 1 = marche 0 002 Stand-by Stand-by 0 = arrêt 1 = marche 004 RUTimeCtrl Surveillance de temps d’accélération 009 ErrorAckn 010 Unité min. max. par défaut RW 0 1 0 0 RW 0 1 0 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 1 Acquittement d’anomalie 1 = Acquittement de défaillance 0 W 1 1 PumpgStatn Groupe de pompage 0 = arrêt 1 = marche et acquittement de défaillance 0 RW 0 1 0 012 EnableVent Activer la ventilation 0 = non 1 = oui 0 RW 0 1 0 013 Frein Frein 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 017 CfgSpdSwPt Configuration du point de commutation de la vitesse de rotation 0 = Point de commutation de la vitesse de rotation 1 1 = Points de commutation de la vitesse de rotation 1 et 2 7 RW 0 1 0 25/50 Ensemble de paramètres # Affichage Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 019 Cfg DO2 Configuration sortie DO2 0 = Point de commutation de la vitesse de rotation atteint 1 = Pas d’erreur 2 = Erreur 3 = Avertissement 4 = Erreur et/ou avertissement 5 = Régime nominal atteint 6 = Pompe en marche 7 = Accélération pompe 8 = Décélération pompe 9 = Toujours « 0 » 10 = Toujours « 1 » 11 = Priorité commande à distance active 12 = Chauffage 13 = Pompe à vide primaire 14 = Purge de gaz neutre 15 = Groupe de pompage 16 = Rotation pompe 17 = la pompe s’est arrêtée 18 = TMS état stable 19 = Point de commutation de pression 1 non atteint 20 = Point de commutation de pression 2 non atteint 21 = Vanne à vide primaire, retardée 22 = Pompe à vide primaire stand-by 7 023 MotorPump Moteur de pompe 0 = arrêt 1 = marche 024 Cfg DO1 Configuration sortie DO1 025 OpMode BKP 026 min. max. par défaut RW 0 22 1 0 RW 0 1 0 Réglages, voir [P:019] 7 RW 0 22 0 Mode de fonctionnement de la pompe à vide primaire 0 = mode continu 1 = mode par intermittence 2 = mise en marche retardée 7 RW 0 2 0 SpdSetMode Mode de réglage de la vitesse de rotation 0 = arrêt 1 = marche 7 RW 0 1 0 027 GasMode Mode du gaz 0 = gaz lourds 1 = gaz légers 2 = hélium 7 RW 0 2 0 028 Cfg Remote Configuration à distance 0 = par défaut 4 = relais, inversé 7 RW 0 4 0 030 VentMode Mode de ventilation 0 = ventilation temporisée 1 = pas de ventilation 2 = ventilation directe 7 RW 0 2 0 26/50 Unité Ensemble de paramètres # Affichage Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 035 Cfg Acc A1 Configuration de la connexion des accessoires A1 0 = ventilateur (fonctionnement continu) 1 = vanne de ventilation, fermée sans courant 2 = Chauffage 3 = Pompe à vide primaire 4 = ventilateur (à contrôle de température) 5 = Purge de gaz neutre 6 = Toujours « 0 » 7 = Toujours « 1 » 8 = vanne de remise à l’air en cas de panne de courant 9 = TMS chauffage 10 = refroidissement TMS 12 = vanne de ventilation secondaire 13 = surveillance de la purge de gaz neutre 14 = chauffage (partie inférieure à contrôle de température) 7 036 Cfg Acc B1 Configuration de la connexion des accessoires B1 Pour les options, voir [P:035] 037 Cfg Acc A2 Configuration de la connexion des accessoires A2 038 Cfg Acc B2 041 Unité min. max. par défaut RW 0 14 5 7 RW 0 14 1 Pour les options, voir [P:035] 7 RW 0 14 3 Configuration de la connexion des accessoires B2 Pour les options, voir [P:035] 7 RW 0 14 2 Press1HVen Capteur HT libérée intégré (IKT uniquement) 0 = arrêt 1 = marche 2 = marche, avec point de commutation de vitesse de rotation atteint 3 = marche, avec point de commutation de pression non atteint 7 RW 0 3 2 045 Cfg Rel R1 Configuration, relais 1 Pour les options, voir [P:019] 7 RW 0 22 0 046 Cfg Rel R2 Configuration, relais 2 Pour les options, voir [P:019] 7 RW 0 22 1 047 Cfg Rel R3 Configuration, relais 3 Pour les options, voir [P:019] 7 RW 0 22 3 050 SealingGas Gaz de pressurisation 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 27/50 Ensemble de paramètres # Affichage Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 055 Cfg AO1 Configuration sortie AO1 0 = vitesse de rotation réelle 1 = sortie 2 = courant 3 = toujours 0 V 4 = toujours 10 V 5 = Suit AI1 6 = Valeur de pression 1 7 = Valeur de pression 2 8 = Commande vide préliminaire 7 057 Cfg AI1 Configuration entrée AI1 0 = Interrupteur mis sur arrêt 1 = point de consigne en mode de réglage vitesse de rotation 060 CtrlViaInt Utiliser via l’interface 061 IntSelLckd 062 min. max. par défaut RW 0 8 0 7 RW 0 1 0 1 = à distance 2 = RS-485 4 = PV.can 8 = bus de terrain 16 = E74 255 = Déverrouiller la sélection de l’interface 7 RW 0 255 1 Sélection de l’interface verrouillée 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 Cfg DI1 Configuration entrée DI1 Réglage ≠ [P:063/064] 0 = Désactivée 1 = activer la remise à l'air 2 = Chauffage 3 = Purge de gaz neutre 4 = Surveillance de temps d'accélération 5 = Mode de réglage de vitesse de rotation 7 = Activer capteur HV 7 RW 0 7 1 063 Cfg DI2 Configuration entrée DI2 Pour les options, voir [P:062] Réglage ≠ [P:062/064] 7 RW 0 5 2 064 Cfg DI3 Configuration entrée DI3 Pour les options, voir [P:062] Réglage ≠ [P:062/063] 7 RW 0 5 3 min. max. Tab. 15: Unité Instructions de réglage 6.3 Requêtes d’état # Affichage Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 300 RemotePrio Priorité à distance 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 301 OpFluidDef Fluide d’exploitation bas 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 302 SpdSwPtAtt Point de commutation de la vitesse de rotation atteint 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 303 Code d’erreur Code d’erreur 4 R 28/50 Unité par défaut Ensemble de paramètres # Affichage Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 304 OvTempElec Température excessive électronique d’entraînement 0 = non 1 = oui 0 305 OvTempPump Température excessive pompe 0 = non 1 = oui 306 SetSpdAtt Régime nominal atteint 307 PumpAccel Accélération pompe 308 SetRotSpd 309 ActualSpd 310 311 min. max. R 0 1 0 R 0 1 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 0 = non 1 = oui 0 R 0 1 Régime nominal (Hz) 1 R Hz 0 999999 Vitesse de rotation réelle (Hz) 1 R Hz 0 999999 DrvCurrent Courant d’alimentation 2 R A 0 9999,99 OpHrsPump Heures de fonctionnement de la pompe 1 R h 0 65535 312 Fw version Version logiciel électronique d’entraînement 4 R 313 DrvVoltage Tension entraînement 2 R V 0 9999,99 314 OpHrsElec Heures de service électronique d’entraînement 1 R h 0 65535 315 Nominal Spd Vitesse de rotation nominale (Hz) 1 R Hz 0 999999 316 DrvPower Puissance d’entraînement 1 R W 0 999999 319 PumpCycles Cycles de pompe 1 R 0 65535 324 TempPwrStg Température étage final 1 R °C 0 999999 326 TempElec Température électronique 1 R °C 0 999999 330 TempPmpBot Température partie inférieure pompe 1 R °C 0 999999 331 TMSactTemp Température TMS de chauffage réelle 1 R °C 0 999999 333 TMS steady Température TMS état stable 0 R 0 1 336 AccelDecel Accélération / décélération 1 R tr/min/ s 0 999999 337 SealGasFlw Débit purge de gaz neutre 1 R sccm 0 999999 342 TempBearng Température des paliers 1 R °C 0 999999 346 TempMotor Température du moteur 1 R °C 0 999999 349 ElecName Désignation de l’unité de commande électronique 4 R 354 HW Version Version matériel, unité de commande électronique 4 R 360 ErrHist1 Historique des codes d’erreur, point 1 4 R 361 ErrHist2 Historique des codes d’erreur, point 2 4 R 362 ErrHist3 Historique des codes d’erreur, point 3 4 R 363 ErrHist4 Historique des codes d’erreur, point 4 4 R 364 ErrHist5 Historique des codes d’erreur, point 5 4 R 365 ErrHist6 Historique des codes d’erreur, point 6 4 R 0 = non 1 = oui Unité par défaut 29/50 Ensemble de paramètres # Affichage Description 366 ErrHist7 367 Type de donnée Type d’accès Historique des codes d’erreur, point 7 4 R ErrHist8 Historique des codes d’erreur, point 8 4 R 368 ErrHist9 Historique des codes d’erreur, point 9 4 R 369 ErrHist10 Historique des codes d’erreur, point 10 4 R 384 TempRotor Température du rotor 1 397 SetRotSpd Vitesse de rotation de consigne (tr/min) 1 398 ActualSpd Vitesse de rotation réelle (tr/ min) 399 NominalSpd Vitesse de rotation nominale (tr/min) Tab. 16: Fonctions Unité min. max. R °C 0 999999 R tr/min 0 999999 1 R tr/min 0 999999 1 R tr/min 0 999999 par défaut Requêtes d’état 6.4 Entrées des valeurs de référence # Affichage Description 700 RUTimeSVal 701 Type de donnée Type d’accès Unité min. max. par défaut Définir la valeur du temps d’accélération 1 RW min 1 120 8 SpdSwPt1 Point de commutation 1 vitesse de rotation 1 RW % 50 97 80 704 TMSsetTemp Spécification de température TMS du chauffage 1 RW °C 30 75 40 707 SpdSVal Régler la valeur en mode de réglage de la vitesse de rotation 2 RW % 20 100 65 708 PwrSVal Valeur de consigne de la consommation électrique 7 RW % 10 100 1002) 710 Swoff BKP Seuil de désactivation de la pompe à vide primaire pour le fonctionnement par intermittence 1 RW W 0 1000 0 711 SwOn BKP Seuil d’activation de la pompe à vide primaire pour le fonctionnement par intermittence 1 RW W 0 1000 0 717 StdbySVal Valeur fixée de la vitesse de rotation en mode stand-by 2 RW % 20 100 66,7 719 SpdSwPt2 Point de commutation 2 vitesse de rotation 1 RW % 5 97 20 720 VentSpd Mise à l’air à la vitesse de rotation, mise à l’air retardée 7 RW % 40 98 50 721 VentTime Temps de remise à l’air, ventilation temporisée 1 RW s 6 3600 3600 730 PrsSwPt 1 Point de commutation de pression 1 10 RW hPa 732 PrsSwPt 2 Point de commutation de pression 2 10 RW hPa 739 PrsSn1Name Nom du capteur 1 4 R 2) 30/50 Dépend du type de pompe Fonctions Ensemble de paramètres # Affichage Description 740 Pression 1 742 Type de donnée Type d’accès Unité Valeur de pression 1 10 RW hPa PrsCorrPi 1 Facteur de correction 1 2 RW 749 PrsSn2Name Nom du capteur 2 4 R 750 Pression 2 Valeur de pression 2 10 RW 752 PrsCorrPi 2 Facteur de correction 2 2 RW 777 NomSpdConf Confirmation de la vitesse de rotation nominale 1 RW 791 SlgWrnThrs Seuil d’avertissement du débit de gaz de pressurisation 1 RW 797 RS485Adr Adresse interface RS-485 1 RW Tab. 17: 6.5 Fonctions min. max. par défaut Hz 0 1500 0 sccm 5 200 15 1 255 1 hPa Entrées des valeurs de référence Paramètres additionnels dans l'appareil de commande Paramètres additionnels dans l'appareil de commande L’ensemble de paramètres de base est défini, départ usine, dans l’unité de commande électronique. Des paramètres additionnels (ensemble de paramètres étendus) sont disponibles dans les unités de commande Pfeiffer Vacuum correspondantes pour la régulation de composants externes raccordés (comme un équipement de mesure du vide). ● Se reporter aux consignes d’utilisation correspondantes des différents composants. ● Sélectionner l’ensemble de paramètres avancés avec le paramètre [P:794] = 1. # Indicateur Description 340 Pression 350 Type de donnée Type d’accès Unité min. max. Valeur de pression actuelle (ActiveLine) 7 R hPa 1·10 -10 1·10 3 Nom ctr Type d'appareil de commande 4 R 351 Logiciel ctr Version du logiciel de l'appareil de commande 4 R 738 Type de jauge Type de manomètre 4 RW 794 Ensemble param Ensemble de paramètres 7 RW 0 1 795 Servicelin Insérer ligne de service 7 RW Tab. 18: Fonctions 0 = ensemble de paramètres de base 1 = ensemble de paramètres avancés par défaut 0 795 Paramètres des fonctions de l'appareil de commande 31/50 Utilisation 7 Utilisation 7.1 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et prête à l’emploi. Pour des impératifs particuliers, il est possible de configurer la plupart des connexions pour l’unité de commande électronique avec l’ensemble de paramètres. 7.1.1 Configuration de la connexion « E74 » Option Description 0 = vitesse de rotation Signal de vitesse ; 0 à 10 V CC = 0 à 100 % × fnominal 1 = sortie : Signal de sortie ; 0 à 10 V CC = 0 à 100 % × Pmax 2 = courant Signal de courant ; 0 à 10 V CC = 0 à 100 % × Imax 3 = toujours 0 V Toujours GND 4 = toujours 10 V Sortie de la tension 10 V CC permanente 5 = suit AI1 Suit l'entrée analogique 1 6 = valeur de pression 1 Signal de valeur de pression ; 0 V : Défaillance 1 V : Non atteint 1,5 à 8,5 V: p [hPa] = 10(U-5,5 V) 9 V : Dépassé 7 = valeur de pression 2 8 = contrôle vide préliminaire Tab. 19: Côté vide primaire ; commande des groupes de pompage turbomoléculaires Pfeiffer Vaccum Réglages pour la sortie analogique de l’interface « E74 » Procédure ► Configurez la sortie analogique via le paramètre [P:055]. 7.1.2 32/50 Configuration des connexions des accessoires Option Description 0 = ventilateur Commande via les paramètres du poste de pompage 1 = vanne de remise à l’air, fermée sans courant Commande via le paramètre Activer ventilation. Lors de l’utilisation d'une vanne de ventilation, fermée sans courant 2 = dispositif de chauffage Commande via les paramètres Points de commutation de chauffage et de vitesse atteints 3 = pompe de secours Commande via le paramètre Poste de pompage et le mode de fonctionnement de la pompe de secours 4 = ventilateur (à contrôle de température) Commande via le paramètre Poste de pompage et la valeur seuil de température 5 = gaz de pressurisation Commande via le paramètre Poste de pompage et le gaz de pressurisation 6 = toujours « 0 » GND pour la commande d’un appareil externe 7 = toujours « 1 » +24 V CC pour la commande d'un appareil externe 8 = vanne de remise à l'air en cas de panne de courant Commande via le paramètre Activer ventilation. Lors d’une panne de courant de l’unité de ventilation 9 = dispositif de chauffage TMS3) Commande via le boîtier de commutation TMS 10 = refroidissement TMS4) Commande de l’alimentation en eau de refroidissement TMS 3) Uniquement pour les pompes à vide avec système de gestion de la température (TMS) 4) Uniquement pour les pompes à vide avec système de gestion de la température (TMS) Utilisation Option Description 13 = surveillance du gaz de pressurisation Commande via le paramètre Poste de pompage et le gaz de pressurisation 14 = chauffage (partie inférieure à contrôle de température) Commande du chauffage. Commande via les paramètres de la partie inférieure du chauffage Tab. 20: Connexions des accessoires Procédure ► Réglage des raccordements via les paramètres [P:035], [P:036], [P:037] ou [P:038]. 7.1.3 Sélection des interfaces L’option « Commande via interface » sert à l’affichage de l’interface actuellement active dans l’unité de commande électronique. Les interfaces de communication obtiennent ainsi automatiquement la priorité de commande. Option Description 1 = à distance Fonctionnement via connexion « à distance » 2 = RS-485 Fonctionnement via la connexion « RS-485 » 4 = PV.can À des fins de maintenance uniquement 8 = bus de terrain Fonctionnement via bus de terrain 16 = E74 Fonctionnement via la connexion « E74 » Tab. 21: Paramètre [P:060] Option Description 0 = arrêt La sélection de l’interface peut être définie avec [P:060]. 1 = marche Sélection de l’interface verrouillée Tab. 22: Paramètre [P:061] 7.2 Modes de fonctionnement 7.2.1 Fonctionnement selon le type de gaz AVIS Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo. ► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique. ► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (> 80). Un débit de gaz et une vitesse de rotation élevés entraînent un important échauffement du rotor par friction. Afin d’éviter toute surchauffe, des caractéristiques de vitesse de rotation et de puissance sont implémentées dans l’unité de commande électronique. La caractéristique de puissance permet le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à toute vitesse de rotation avec le débit de gaz maximal autorisé sans surcharge thermique de la pompe turbomoléculaire. La consommation électrique maximale dépend du type de gaz. 3 caractéristiques sont disponibles pour le paramétrage afin d’exploiter complètement la capacité de la pompe turbomoléculaire pour chaque type de gaz. 33/50 Utilisation P Pmax [P:708] D B F E A C fN Fig. 6: f Représentation schématisée des caractéristiques de puissance, exemple de gaz lourds [P:027] = 0 P Consommation de courant C-D f Vitesse de rotation A-B Pmax Consommation électrique maximale fN Vitesse de rotation nominale E-F Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 0 » (gaz de classe moléculaire > 39, par ex. argon) Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 1 » (gaz de classe moléculaire ≤ 39) Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 2 » (hélium) Réglage du mode gaz 1. Contrôlez le mode gaz actuellement réglé avec le paramètre [P:027]. 2. Réglez le paramètre [P:027] à la valeur requise. 3. Si nécessaire, réglez sur une fréquence plus basse dans le mode de réglage de la vitesse de rotation afin d’éviter les variations de vitesse de rotation. La pompe turbomoléculaire fonctionne avec la consommation de courant maximale. Lorsque le régime nominal et/ou réglé est atteint, l’unité de commande électronique bascule automatiquement sur la caractéristique de puissance choisie du mode gaz sélectionné. L’augmentation de la consommation de courant compense initialement une augmentation du débit de gaz pour maintenir constante la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire. La pompe turbomoléculaire s’échauffe davantage en raison de la friction croissante des gaz. Lorsque la puissance maximale dépendant du type de gaz est dépassée, la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire est réduite par l’unité de commande électronique jusqu’à ce qu’un équilibre admissible entre la puissance et la friction du gaz soit atteint. 7.2.2 Valeur de réglage de la puissance absorbée Régler le paramètre [P:708] Lorsque la consommation électrique spécifiée est inférieure à 100%, le temps de démarrage est augmenté. 1. Régler le paramètre [P:708] à la valeur requise en %. 2. Si nécessaire, ajuster le paramètre [P:700] RUTimeSVal afin d’éviter les messages d’erreur lors du démarrage. 7.2.3 Temps d’accélération Le temps d’accélération de la pompe turbomoléculaire est surveillé en usine. Différentes causes peuvent prolonger les temps de démarrage, par exemple : ● Débit de gaz excessif ● Fuite dans le système ● Point de consigne du temps de démarrage trop bas Régler le paramètre [P:700] 1. Si possible, éliminer toute cause externe et associée à l’application. 2. Ajuster le temps de démarrage avec le paramètre [P:700]. 7.2.4 Points de commutation de vitesse de rotation Vous pouvez utiliser le point de commutation de vitesse de rotation pour le message « pompe turbomoléculaire opérationnelle pour le processus ». Lorsque le point de commutation de vitesse de rotation est 34/50 Utilisation dépassé ou n'est pas atteint, cela active ou désactive un signal au niveau de la sortie pré-configurée sur l’unité d’entraînement électronique et au niveau du paramètre d'état [P:302]. Point de commutation 1 vitesse de rotation [P:017] = 0 f(%) [P:701] t [P:010] [P:302] 1 0 t 1 0 Fig. 7: Process t Point de commutation de vitesse de rotation 1 actif Réglage du point de commutation de vitesse de rotation 1 La sortie du signal et les paramètres d'état sont basés sur la valeur réglée pour le point de commutation de vitesse de rotation 1 [P:701]. 1. Régler le paramètre [P:701] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:017] sur « 0 ». Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 [P:017] = 1 f(%) [P:701] [P:719] t [P:010] [P:302] 1 0 t 1 0 Fig. 8: Process t Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] > [P:719] [P:017] = 1 f(%) [P:719] [P:701] t [P:010] [P:302] Fig. 9: 1 0 t 1 0 Process t Points de commutation de vitesse de rotation 1 & 2 actifs, [P:701] < [P:719] 35/50 Utilisation Réglage des points de commutation de la vitesse de rotation 1 & 2 1. Régler le paramètre [P:701] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:719] à la valeur requise en %. 3. Régler le paramètre [P:017] sur « 1 ». Lorsque le poste de pompage [P:010] est mis en marche, le point de commutation de vitesse de rotation 1 est le générateur du signal. Lorsque le poste de pompage est mis à l’arrêt, la sortie du signal et la demande du statut s’orientent vers le point de commutation de vitesse de rotation 2. La sortie du signal est soumise à l’hystérèse entre les deux points de commutation. 7.2.5 Mode de réglage de la vitesse de rotation Le mode de réglage de la vitesse de rotation réduit la vitesse et par conséquent la vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire. La vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire varie proportionnellement à sa vitesse de rotation. Le mode standby est inactif pendant le mode de réglage de la vitesse de rotation. La valeur définie dans le mode de réglage de la vitesse de rotation [P:707] définit la vitesse de rotation. Le point de commutation de la vitesse de rotation varie avec la vitesse de rotation réglée. Si la valeur définie n’est pas atteinte ou est dépassée pendant le mode de réglage de la vitesse de rotation, le signal d'état [P:306] SetSpdAtt est activé ou désactivé. Vitesse de rotation variable autorisée Les valeurs dans le mode de réglage de la vitesse de rotation ou dans le mode standby sont soumises à la plage de vitesse de rotation autorisée de la pompe à vide correspondante (caractéristiques techniques). Une chute en-dessous des valeurs minimales autorisées entraîne un message d’avertissement Wrn100. L’unité de commande électronique ajuste la vitesse de rotation réglée sur la prochaine valeur valide. Régler le mode de réglage de la vitesse de rotation 1. Régler le paramètre [P:707] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:026] sur « 1 ». 3. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]). 7.2.6 Standby Pfeiffer Vacuum recommande le mode standby pour la pompe turbomoléculaire lors des arrêts de processus et de production. Lorsque le mode standby est actif, l’unité d’entraînement électronique réduit la vitesse de rotation de la turbopompe. Le mode standby est inactif pendant le mode de réglage de la vitesse de rotation. Le réglage en usine pour le mode standby est 66,7 % de la vitesse de rotation nominale. Si la valeur définie n’est pas atteinte ou est dépassée pendant le mode standby, le signal d'état [P:306] SetSpdAtt est respectivement activé et désactivé. Vitesse de rotation variable autorisée Les valeurs dans le mode de réglage de la vitesse de rotation ou dans le mode standby sont soumises à la plage de vitesse de rotation autorisée de la pompe à vide correspondante (caractéristiques techniques). Une chute en-dessous des valeurs minimales autorisées entraîne un message d’avertissement Wrn100. L’unité de commande électronique ajuste la vitesse de rotation réglée sur la prochaine valeur valide. Réglage des paramètres associés 1. Régler le paramètre [P:717] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:026] sur « 0 ». 3. Régler le paramètre [P:002] sur « 1 ». 4. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]). 7.2.7 Confirmation de la spécification de vitesse La vitesse de rotation nominale typique d’une pompe turbomoléculaire est préréglée en usine dans l’unité de commande électronique. Si l’unité de commande électronique est remplacée ou si un autre type de pompe est utilisé, la présélection de consignes pour la vitesse de rotation nominale est effacée. La confirmation manuelle de la vitesse de rotation nominale fait partie d’un système de sécurité redondant et sert de mesure de prévention contre les vitesses de rotation excessives. 36/50 Utilisation HiPace Confirmation de la vitesse de rotation nominale [P:777] 1200/1500 630 Hz 1800/2300 525 Hz 2800 455 Hz Tab. 23: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires Accessoires requis ● Un appareil de commande Pfeiffer Vacuum raccordé. ● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de travail de l’unité de commande électronique. Réglage de confirmation de la vitesse de rotation nominale 1. Observer le manuel de l'utilisateur de l’appareil de commande. 2. Voir le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique. 3. Définir le paramètre [P:794] sur « 1 » et activer le jeu de paramètres étendu. 4. Ouvrir et éditer le paramètre [P:777]. 5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz. 7.2.8 Modes de fonctionnement de la pompe de secours Le fonctionnement d'une pompe de secours connectée via l’unité d’entraînement électronique dépend du type de pompe de secours. Mode de fonctionnement [P:025] Pompe booster recommandée « 0 » mode continu Toutes les pompes à vide primaire « 1 » mode par intermittence Pompes à membrane uniquement « 2 » mise en marche temporisée Toutes les pompes à vide primaire « 3 » mode par intermittence temporisé Pompes à membrane uniquement Tab. 24: Modes de fonctionnement de la pompe de secours Réglage du mode continu Avec « poste de pompage marche », l’unité d’entraînement électronique envoie un signal à la connexion d’accessoire configurée pour mettre la pompe de secours en marche. 1. Régler le paramètre [P:025] sur « 0 ». 2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire. Réglage du mode de fonctionnement par intermittence et détermination du seuil de commutation Le mode de fonctionnement par intermittence augmente la durée de vie de la membrane d’une pompe à membrane connectée. Soit une pompe à membrane avec relais semi-conducteur intégré, soit un boîtier de relais interconnecté avec relais semi-conducteur est requis(e) pour le mode de fonctionnement par intermittence. L’unité de commande électronique met la pompe à vide primaire en marche ou à l’arrêt selon la consommation électrique de la pompe turbomoléculaire. Une relation avec la pression de vide préliminaire résulte de la consommation électrique. Le mode de fonctionnement de la pompe de secours offre des seuils de mise en marche et de mise à l’arrêt réglables. Les variations de consommation électrique des pompes turbomoléculaires au ralenti et les variations de pression de vide préliminaire des pompes à vide primaire nécessitent des réglages individuels du mode de fonctionnement par intermittence. Pfeiffer Vacuum recommande un fonctionnement par intermittence entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et une vanne de dosage sont nécessaires pour régler les seuils de commutation. 1. Régler le paramètre [P:025] sur « 1 ». 2. Mettre le système de vide en marche avec le paramètre [P:010] (« poste de pompage »). 3. Attendre le démarrage. 4. Laisser le gaz circuler à travers la vanne de dosage et régler la pression de vide préliminaire sur 10 hPa. 5. Relever la puissance d’entraînement sur le paramètre [P:316] et noter la valeur. 6. Régler le seuil de mise en marche de la pompe de secours avec le paramètre [P:711] sur la puissance d’entraînement déterminée pour une pression de vide préliminaire de 10 hPa. 37/50 Utilisation 7. Réduire la pression du vide préliminaire à 5 hPa. 8. Relever la puissance d’entraînement sur le paramètre [P:316] et noter la valeur. 9. Régler le seuil de mise à l’arrêt de la pompe de secours avec le paramètre [P:710] sur la puissance d’entraînement déterminée pour une pression de vide préliminaire de 5 hPa. Mise en marche temporisée La mise en marche simultanée de la pompe de vide primaire et de la pompe turbomoléculaire peut entraîner un flux de gaz indésirable. Afin d’éviter cela, selon les exigences du processus ou de l’application, il est possible de faire fonctionner la pompe de secours avec une mise en marche temporisée. La mise en marche temporisée dépend de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire. La mise en marche temporisée présente une valeur fixe de 360 tr/min dans l’unité de commande électronique. ● Seuil de mise à l’arrêt, paramètre [P:710] ● Seuil de mise en marche, paramètre [P:711] ● Temporisation 8 s. 1. Régler le paramètre [P:025] sur « 2 ». 2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire. Fonctionnement par intermittence temporisé Des variations au cours du fonctionnement par intermittence peuvent entraîner un non-respect des seuils de commutation, ils ne sont pas atteints ou sont dépassés. Afin d’éviter toute commutation non désirée de la pompe à vide primaire, le fonctionnement par intermittence est possible en utilisant une temporisation de la mise en marche, selon le processus ou les exigences de l’application. La temporisation dépend d’un seuil de commutation spécifié dépassé ou non atteint de manière ininterrompue. ● Seuil de mise à l’arrêt, paramètre [P:710] ● Seuil de mise en marche, paramètre [P:711] ● Temporisation 8 s. 1. Régler le paramètre [P:025] sur « 3 ». 2. Utiliser ce signal pour la commande d’une soupape de sécurité de vide préliminaire. 7.2.9 Mode standby de la pompe de secours Lors de l’utilisation d'une pompe de secours Pfeiffer Vacuum avec commande de la vitesse de rotation, elle peut être utilisée dans le mode standby en configurant la sortie numérique [P:019] ou [P:024]. La consommation de courant de la pompe turbomoléculaire a une influence directe sur la vitesse de rotation de la pompe à vide primaire. Configuration du mode de standby 1. Établir la connexion de la pompe à vide primaire à l’aide d’un câble de raccordement approprié. 2. Régler le paramètre [P:019] ou [P:024] sur « 22 » (pompe à vide primaire en mode standby). 3. Consulter la vitesse de standby correspondante dans le mode d’emploi correspondant de la pompe à vide primaire. 7.2.10 Fonctionnement avec des accessoires Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés sont disponibles en ligne. ● Les accessoires suivants ne sont pas inclus dans la livraison. Configuration du chauffage L’activation du chauffage connecté dépend du point de commutation de vitesse de rotation 1 (réglage en usine 80% x fnominal). ► Mettre le chauffage en marche ou à l’arrêt avec le paramètre [P:001]. Configuration de la vanne de purge de gaz neutre ► À l’aide du paramètre [P:050], mettre en marche ou à l’arrêt une vanne de purge de gaz neutre connectée via la sortie pré-configurée. 38/50 Utilisation Surveillance du gaz de pressurisation 1. Régler le paramètre sélectionné sur « 13 ». 2. Régler le paramètre [P:791] sur le débit de gaz de pressurisation désiré pour le seuil d'avertissement. 3. Consulter le débit de gaz de pressurisation via le paramètre [P:337]. 7.2.11 Modes de ventilation La fonction « poste de pompage » active le mode de ventilation de la pompe turbomoléculaire après la mise à l’arrêt. La sortie de signal est effectuée avec une temporisation fixe. Sélection du mode de ventilation 1. Régler le paramètre [P:012] sur « 1 ». 2. Sélectionner le mode de ventilation avec le paramètre [P:030] (3 modes possibles). Ventilation temporisée 1. Configurer le début et la durée de ventilation après « Station de pompage désactivée » en fonction de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire. 2. Régler le paramètre [P:030] sur « 0 ». 3. Avec le paramètre [P:720], régler la vitesse de ventilation à la vitesse de rotation nominale en %. 4. Avec le paramètre [P:721], régler la vitesse de ventilation en s. La soupape de ventilation s'ouvre pour la durée de ventilation définie. En cas de panne de courant, la ventilation démarre lorsque la vitesse tombe sous la vitesse de ventilation de consigne. La durée de ventilation dépend de l’énergie résiduelle fournie par le rotor en rotation. Le processus de ventilation s’arrête lorsque la puissance est rétablie. Pas de remise à l'air Dans ce mode de fonctionnement, la ventilation est désactivée. ► Régler le paramètre [P:030] sur « 1 ». Ventilation directe La mise à l’air commence avec un retard de 6 secondes après l’arrêt du groupe de pompage. Lorsque la fonction du groupe de pompage est réactivée, la vanne de remise à l'air se ferme automatiquement. Après une panne de courant, la ventilation démarre après que la vitesse de rotation soit retombée audessous d’une valeur type spécifiée. Une fois la puissance rétablie, le processus de ventilation reprend. ► Réglez le paramètre [P:030] sur « 2 ». 7.3 Mise en marche de la pompe turbo Le paramètre « poste de pompage » [P:010] comprend le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire avec la commande de tous les accessoires connectés (par ex. pompe à vide primaire). Procédure Une fois l’auto-test correctement effectué, l’unité d’entraînement électronique réinitialise les messages d’erreurs en cours et corrigés. La turbopompe démarre et tous les accessoires connectés démarrent en fonction de leur configuration. 1. Régler le paramètre [P:023] sur « 1 ». – Le paramètre [P:023] met le moteur de la turbopompe en marche. 2. Régler le paramètre [P:010] sur « 1 ». 7.4 Mise à l’arrêt de la pompe turbomoléculaire Procédure L’unité de commande électronique met la pompe turbomoléculaire à l’arrêt et active les options d’accessoires pré-réglés (par ex. ventilation MARCHE, pompe de secours ARRÊT). 1. Réglez le paramètre [P:010] sur « 0 ». 2. Attendre que la pompe turbomoléculaire soit complètement immobilisée. 3. Débrancher l’alimentation électrique conformément aux instructions du mode d’emploi de la pompe turbomoléculaire ou de l’unité de courant. Déconnexion du secteur 1. Déconnectez l’unité de courant du secteur pour débrancher complètement l’alimentation en courant. 39/50 Utilisation Débranchement du connecteur de réseau Le débranchement du connecteur de réseau pendant le fonctionnement coupe immédiatement l’alimentation électrique de l’unité de courant et des appareils qui y sont connectés. 7.5 Surveillance des opérations 7.5.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionnement avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. LED Vert Jaune Rouge Tab. 25: 7.5.2 Symbole État LED Affichage Signification Désactivé Sans courant Activé, clignotant « Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min Activé, clignotement inverse « Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite non atteinte Activé, éclairé en continu « Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite atteinte Activé, clignotant « Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de > 60 tr/min Désactivé Pas d'avertissement Activé, éclairé en continu Avertissement Désactivé Pas d'erreur, pas d'avertissement Activé, éclairé en continu Erreur, dysfonctionnement Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique Surveillance de la température Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent d’amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température pour les messages d’avertissement et d’erreur sont mémorisés systématiquement dans l’unité de commande électronique. À titre d'information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de paramètres. ● Afin d’éviter que la pompe turbomoléculaire ne se coupe, l'unité de commande électronique réduit déjà la consommation de courant en cas de dépassement du seuil d’avertissement pour l’excès de température. ─ Exemples : température moteur inadmissible, surchauffe inadmissible du corps de pompe. ● Le point de commutation de la vitesse de rotation peut ne pas être atteint en cas de réduction supplémentaire de la puissance d’entraînement et par conséquent de la vitesse. La pompe turbomoléculaire se coupe. ● Le dépassement du seuil de température pour les messages d’erreur entraîne la coupure immédiate de la pompe turbomoléculaire. 40/50 Dysfonctionnements 8 Dysfonctionnements 8.1 Généralités AVERTISSEMENT Risque de blessure par les pièces déplacées après une panne de courant ou un dépannage La fonction « groupe de pompage » de l’unité de commande électronique reste active après une panne de courant ou si des erreurs, entraînant l'arrêt de la pompe à vide ou du système, surviennent. Lorsque la puissance est rétablie ou après la confirmation d’une défaillance, la pompe à vide démarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. ► Les contre-fiches présentes ou les ponts doivent être enlevés de l'unité de commande électronique avant le retour du courant secteur sous peine de risque de démarrage automatique. ► Mettre la pompe à l’arrêt en utilisant la fonction « poste de pompage » (paramètre [P:010]). Tout dysfonctionnement de la pompe turbomoléculaire et de l’unité de commande électronique entraîne systématiquement un message d’avertissement ou d’erreur. Dans les deux cas, un code d’erreur est émis, ce dernier peut être lu via les interfaces de l’unité de commande électronique. De manière générale, les LED sur l’unité de commande électronique indiquent les messages de fonctionnement. En présence d’une erreur, la pompe turbomoléculaire et les appareils connectés sont mis à l’arrêt. Le mode de remise à l'air sélectionné sera déclenché après une temporisation définie. 8.2 Codes d’erreur Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours l’arrêt des appareils périphériques connectés. Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la coupure des composants. Traitement des messages d’anomalie 1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. 2. Éliminez la cause de l’anomalie. 3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009]. – Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d’écran sur les appareils de commande Pfeiffer Vacuum. Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Err001 Vitesse de rotation excessive ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err002 Surtension ● Unité de courant inappropriée ● Tension d’entrée de secteur incorrecte ● Contrôlez le type d’ensemble d’alimentation électrique ● Vérifiez la tension d’entrée de secteur ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err006 Erreur de démarrage ● Seuil de temps de démarrage réglé trop bas ● Débit de gaz dans les récipients suite à des fuites ou vannes ouvertes ● Toujours en-dessous du point de commutation de contrôle de vitesse, le temps de démarrage s’écoule ● Ajustez le temps de démarrage aux conditions du processus ● Contrôlez les fuites ou les vannes fermées dans les chambres de vide ● Réglez le point de commutation de vitesse de rotation Err007 Fluide d’exploitation bas ● Fluide d’exploitation bas ● Contrôlez le fluide d’exploitation ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 41/50 Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Err008 Unité d’entraînement électronique - raccordement de la pompe turbomoléculaire défaillant ● Raccordement à la pompe turbomoléculaire défaillant ● Contrôlez les raccordements ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err010 Erreur appareil interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err021 L'unité d’entraînement électronique ne détecte pas la pompe turbomoléculaire ● Version de logiciel incompatible ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err041 Défaut du moteur ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err043 Erreur de configuration interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err044 Température excessive, électronique ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err045 Température excessive, moteur ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err046 Erreur d’initialisation interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err073 Surcharge du palier magnétique axial ● Taux de remontée de pression trop élevé ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err074 Surcharge du palier magnétique radial ● Taux de remontée de pression trop élevé ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err089 Rotor instable ● Impacts, vibrations ● Appareil défectueux ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err091 Erreur appareil interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err092 Panneau de connexion inconnu ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err093 Évaluation de la température du moteur défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err094 Évaluation de la température de l’électronique défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err098 Erreur de communication interne ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err106 Température élevée du rotor ● Débit élevé du gaz ● Rayonnement thermique interdit ● Champ magnétique interdit ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err107 Erreur groupée étage final ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err108 Mesure de la vitesse de rotation défaillante ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err109 Logiciel non publié ● Mise à jour erronée du logiciel ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err110 Évaluation du fluide d'exploitation défaillante ● Capteur du fluide d'exploitation défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err111 Erreur de communication, pompe à liquide de refroidissement ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 42/50 Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Err112 Erreur de groupe, pompe à liquide de refroidissement ● Défauts externes ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err113 Évaluation de la température du rotor défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err114 Évaluation de la température de l’étage final défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err117 Température excessive, partie inférieure de la pompe ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err118 Température excessive, étage final ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err119 Température excessive, palier ● Refroidissement insuffisant ● Mode de gaz sélectionné incorrect ● Débit insuffisant du gaz de pressurisation ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Err143 Température excessive, pompe à liquide d'exploitation ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err777 Vitesse de rotation nominale non confirmée ● Vitesse de rotation nominale non confirmée après le remplacement de l’unité d’entraînement électronique ● Confirmez la vitesse de rotation nominale avec [P:777] ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err800 Débordement du palier magnétique ● Impacts, vibrations ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err802 Défaut technologique du capteur du palier magnétique ● Valeurs de calibrage invalides ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Procédez à une procédure de calibrage ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err810 Erreur de configuration interne ● Version de logiciel incompatible ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err815 Débordement du palier magnétique ● Impacts, vibrations ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err890 Palier de sécurité usé ● Usure palier de sécurité > 100% ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Err891 Déséquilibre trop important du rotor ● Déséquilibre du rotor > 100% ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Tab. 26: Messages d’erreur de l’unité de commande électronique Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Wrn001 Temps de montée en température TMS expiré ● Minuterie interne de surveillance de montée en température dépassée ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Vérifiez la tension d’entrée de secteur Wrn003 Température TMS invalide ● La température TMS n'est pas dans la plage admissible, entre 5 °C et 85 °C ● Capteur de température TMS défectueux ● Vérifiez les conditions de fonctionnement ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn007 Sous-tension ou panne de courant ● Panne de secteur ● Unité de courant insuffisamment dimensionnée ● Contrôlez le type d’ensemble d’alimentation électrique ● Vérifiez la tension d’entrée de secteur 43/50 Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Wrn016 Configuration invalide des accessoires ● Configuration interdire des sorties accessoires ● Vérifiez la configuration des sorties accessoires Wrn018 Conflit de primauté de fonctionnement ● Groupe de pompage mis en marche avec [P:010] alors que l’entrée E74 « start/stop » est à l’arrêt (ouverte) ● Mettre le poste de pompage en marche via E74 « start/stop » ● Désactiver [P:010] Wrn021 Signal de verrouillage invalide ● Le signal de la surveillance du signal de verrouillage se trouve en-dehors de la plage valide ● Contrôlez les connexions de la surveillance du gaz de pressurisation ● Contrôlez l’alimentation en gaz de pressurisation Wrn034 Débit de gaz de pressurisation bas ● Signal de la surveillance du gaz de pressurisation valide mais en-dessous du seuil réglé [P:791] ● Contrôlez et corrigez l’alimentation en gaz de pressurisation Wrn045 Température élevée du moteur ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn076 Température élevée de l’électronique ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn089 Déséquilibre élevé ● Déséquilibre du rotor ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn097 Informations de pompe invalides ● Erreur de communication interne 1. Arrêtez le groupe de pompage 2. Attendez que la pompe turbomoléculaire se soit complètement immobilisée 3. Déconnectez l’alimentation électrique 4. Si cela se reproduit, contactez Pfeiffer Vacuum Service Wrn098 Informations de pompe incomplètes ● Erreur de communication interne 1. Arrêtez le groupe de pompage 2. Attendez que la pompe turbomoléculaire se soit complètement immobilisée 3. Déconnectez l’alimentation électrique 4. Si cela se reproduit, contactez Pfeiffer Vacuum Service Wrn100 Vitesse minimale non atteinte ● Réglages du régime nominal inférieurs à la vitesse minimale spécifique de la pompe ● Contrôlez [P:707] ou [P:717] ● Consultez la plage de vitesse de rotation valide dans la fiche technique de la pompe turbomoléculaire Wrn106 Température élevée du rotor ● Débit élevé du gaz ● Rayonnement thermique interdit ● Champ magnétique interdit ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn113 Température du rotor incorrecte ● Erreur de communication interne ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn115 Évaluation de la température de la partie inférieure de la pompe défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn116 Évaluation de la température du palier défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn117 Température élevée de la partie inférieure de la pompe ● Refroidissement insuffisant ● Mode de gaz sélectionné incorrect ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn118 Température élevée de l’étage final ● Refroidissement insuffisant ● Mode de gaz sélectionné incorrect ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn119 Température élevée du palier ● Refroidissement insuffisant ● Mode de gaz sélectionné incorrect ● Débit insuffisant du gaz de pressurisation ● Améliorez le refroidissement ● Vérifiez les conditions de fonctionnement Wrn143 Température de pompe à liquide d'exploitation élevée ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement 44/50 Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Action corrective Wrn168 Temporisation importante ● Taux de remontée de pression trop élevé ● Taux de remise à l'air trop élevé ● Contrôlez le taux de remise à l’air ● Adaptez le taux de remise à l'air à la pompe Wrn801 Convertisseur de freinage défectueux ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn806 Résistance de freinage défaillante ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn807 Calibrage requis ● Calibrage expiré ● Calibrez la pompe turbomoléculaire en la démarrant depuis l’arrêt Wrn890 Usure trop importante du palier de sécurité ● Usure palier de sécurité > 75 % ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn891 Déséquilibre important du rotor ● Déséquilibre du rotor > 75 % ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Tab. 27: Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique 8.3 Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionnement avec des appareils de commande Outre des messages d’avertissement et d’erreur spécifiques à l’appareil sur l’unité de commande électronique, des messages additionnels sont affichés sur l’appareil de commande connecté. Indicateur Problème Causes possibles Action corrective * Warning F110 * Manomètre ● Manomètre défaillant ● Connexion au manomètre perdue lors du fonctionnement ● Contrôler le branchement des câbles ● Effectuer un redémarrage avec le manomètre connecté ● Remplacer complètement le manomètre ** Error E040 ** Erreur hardware ● RAM externe défaillante ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ** Error E042 ** Erreur hardware ● Somme de contrôle EPROM incorrecte ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ** Error E043 ** Erreur hardware ● Erreur d’écriture E2PROM ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ** Error E090 ** Erreur appareil interne ● Quantité de RAM insuffisante ● L’unité est raccordée à une unité de commande électronique incorrecte ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Raccorder l’unité à l’unité de commande électronique correcte ** Error E698 ** Erreur de communication ● L’unité de commande électronique ne répond pas ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Tab. 28: Messages d’avertissement et de dysfonctionnement 45/50 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 9 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 46/50 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 47/50 Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Unité de commande électronique TC 1200 E74 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Basse tension 2014/35/CE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN ISO 12100 : 2011 DIN EN 62061 : 2016 DIN EN 1012-2 : 2011 DIN ISO 21360-1 : 2016 DIN EN IEC 61000-3-2 : 2019 ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61000-3-3 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 DIN EN 61010-1 : 2020 Semi F47-0200 DIN EN 61326-1 : 2013 Semi S2-0706 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2022-12-07 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Unité de commande électronique TC 1200 E74 Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Normes et spécifications appliquées: EN ISO 12100:2010 EN 1012-2+A1:1996 EN IEC 61000-3-2+A1:2019 EN 61000-3-3+A2:2013 EN 61010-1+A1:2017 EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 62061:2021 ISO 21360-1:2020 ISO 21360-4:2018 IEC 63000:2018 Semi F47-0200 Semi S2-0706 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2022-12-07 *PT0303* ed. K - Date 2304 - P/N:PT0303BFR ">
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