ATP 2300 M Original Betriebsan Pompes turbomoléculaires Manuel de l’utilisateur FR ATP 2300 M - Pompe turbomoléculaire Bienvenue Cher client, Vous venez d’acquérir une pompe turbomoléculaire adixen sur paliers magnétiques. Nous vous en remercions et sommes fiers de vous compter parmi notre clientèle. F 02914 - Edition 05 - 03/2013 Ce produit a bénéficié de toute l’expérience acquise par adixen Vacuum Products depuis de nombreuses années dans la conception des pompes turbomoléculaires. Afin de garantir les performances et la pleine satisfaction que vous aurez à utiliser ce matériel, nous vous suggérons de prendre connaissance de ce manuel avant toute intervention sur votre pompe et plus particulièrement, du chapitre réservé à l’installation et la mise en service. Ce composant de pompage est destiné à générer du vide en pompant des gaz, mais pas de liquides ni de solides. Il est destiné à être intégré dans des équipements industriels. L’intégrateur de la pompe ATPM devra prévoir toutes les protections de sécurité vis-à-vis des opérateurs, notamment le risque de contact avec les surfaces chaudes. Ce composant de pompage n’est pas conçu pour être installé dans des zones à risque d’explosion. Nous contacter pour étudier une solution adaptée. APPLICATIONS : Applications semi-conducteur Gravure plasma, Implantation ionique, Pulvérisation cathodique, Dépôt plasma. Autres Applications Microscopes électroniques, Analyse de surface, Recherche et développement, Physique des hautes énergies, Simulation spatiale, Accélérateurs, Dépôts. AVANTAGES : Vitesse de pompage élevée pour les gaz légers - Haut rendement Vide propre et silencieux - Inoxydable - Haut MTBF - Volume, taille et poids minimaux - Contrôleur intelligent et compact - Fiabilité - Sans maintenance - Sans batterie - Intégration simple. Ce manuel comprend uniquement les informations d’installation de la pompe sur l’équipement. Se référer au manuel du contrôleur pour alimenter et utiliser la pompe (chapitres B, C et D). adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/2 ATP 2300 M - Pompe turbomoléculaire Copyright : Les produits adixen sont soumis à la loi sur le droit d’auteur et autre protection de la propriété intellectuelle en vigueur dans la majorité des pays. Toute reproduction de ce document, même partielle, par quelque procédé que ce soit est interdite sans consentement préalable écrit de la part adixen Vacuum Products. Les spécifications et informations contenues dans ce document peuvent être modifiées sans préavis par adixen Vacuum Products. 2/2 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M F 02914 - Edition 05 - 03/2013 Ce produit satisfait aux consignes essentielles des Directives et normes européennes, listées dans la Déclaration de Conformité disponible en G100 du manuel utilisateur du contrôleur. Sommaire général RÉFÉRENCE DU MANUEL : 112419 EDITION : 06 - juin 2013 Version française originale Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Chapitre A PRESENTATION A 150 - Présentation de l’ATP 2300 M A 200 - Principe d’asservissement d’une pompe sur paliers magnétiques A 210 - Principe de fonctionnement de la pompe A 400 - Les caractéristiques techniques A 510 - Les accessoires de la pompe A 515 - Dimensions des accessoires Chapitre B MISE EN SERVICE B 100 - Consignes de sécurité pour l’installation B 201 - Déballage et stockage de la pompe B 300 - Consignes de raccordement de la pompe à une installation B 310 - Raccordement à l’aspiration et au refoulement B 330 - Raccordement du dispositif de purge et d’entrée d’air B 340 - Raccordement du circuit d’eau B 401 - Schéma de câblage électrique typique Chapitre C UTILISATION C 100 - Consignes de sécurité pour utilisation du produit Chapitre D MAINTENANCE D 100 - Consignes de sécurité pour démontage de la pompe de l’installation D 150 - Fréquence de maintenance Chapitre E FICHES D’INTERVENTION E 50 - Remplacement de la bobine de la vanne d’eau E 100 - Procédure d’expédition des pompes contaminées F 02915 - Edition 06 - 03/2013 Chapitre F COMPOSANTS DE MAINTENANCE F 000 - Consignes d’utilisation des pièces détachées F 100 - Nécessaire de maintenance premier niveau Chapitre G ANNEXES G 150 - Courbes de pompage G 200 - Service après-vente Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner un dommage important du matériel et/ou des installations en cas de non respect des instructions. Ce type de message est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner des blessures légères en cas de non respect des instructions. Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/2 Sommaire général RÉFÉRENCE DU MANUEL : 112419 EDITION : 06 - Juin 2013 Version française originale Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque imminent qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Avant toute mise sous tension, l’utilisateur doit prendre connaissance du manuel de l’utilisateur et respecter les consignes de sécurité listées dans ce manuel. Elles sont repérées par les pictos «Attention», «Avertissement» et «Danger». Les bonnes pratiques et recommandations du constructeur sont présentées dans un cadre bleu. La performance et la sécurité d’emploi de ce produit sont garanties uniquement si celui-ci est utilisé conformément à son usage normal dans les conditions définies dans le présent manuel. A la charge du client : - de former ou faire former l’opérateur à l’utilisation du produit si celui-ci ne connaît pas la langue du manuel utilisateur fourni, - de s’assurer que l’opérateur sait utiliser le produit dans les conditions de sécurité optimales. Symboles / Etiquettes Description Avertissement : risque de température élevée Avertissement : risque de choc électrique Attention ! Risque de danger. Voir manuel avant utilisation Dispositif de mise en marche Ne pas toucher lorsque la pompe fonctionne Utilisation de gants recommandée Risque d’écrasement ou de coupure Risque de blessures musculaires LOCK Purge Pump exhaust Water Verrouillage du connecteur avant utilisation de la pompe. Ne pas débrancher avant arrêt de la pompe Dispositif de purge Refoulement de la pompe Raccordement du circuit d’eau Water max Pr.7 bar/101 psi Pression max. du circuit refroidissement Sens de rotation de la pompe 2/2 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M F 02915 - Edition 06 - 03/2013 Dispositif d’arrêt A Présentation Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Sommaire détaillé A 150 Présentation de l’ATP 2300 M A 200 Principe d’asservissement d’une pompe sur paliers magnétiques - 5 axes actifs - Correcteur de réjection des forces de balourd A 210 Principe de fonctionnement de la pompe - Principe de pompage - La pompe turbo dans une installation - Les roulements de secours - Sans maintenance - Sans batterie de secours - Variation de la vitesse de rotation de la pompe A 400 Les caractéristiques techniques de la pompe A 510 Les accessoires de la pompe - Accessoires de la pompe A 515 Dimensions des accessoires F 02916 - Edition 04 - 03/2013 - Dimensions de la vanne de purge (50 sccm) - Dimensions de la vanne d’entrée d’air - Dimensions de la vanne d’eau adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/1 A 150 Présentation de l’ATP 2300 M Pompe turbomoléculaire à suspension magnétique ATP 2300 M 5 axes actifs Contrôle de la position du rotor dans 5 directions. Correcteur de réjection des forces de balourd Plus bas niveau de bruit et de vibration possible. Adaptation automatique au déséquilibre du rotor, ceci à partir d’une très basse vitesse. Sans maintenance F 02917 - Edition 03 - 03/2013 Purge de gaz neutre Protège de la corrosion les bobinages de la pivoterie. Sans batterie En cas de coupure secteur, le moteur de la pompe agit comme un générateur pour transformer l’énergie du rotor en courant électrique et alimenter le contrôleur. Les contrôleurs L’ATP 2300 M fonctionne avec le contrôleur OBC ou le contrôleur MAGPOWER. (se référer au Manuel Utilisateur correspondant). adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/1 A 200 Principe d’asservissement d’une pompe sur paliers magnétiques 5 axes actifs L’ensemble mobile formé par le rotor turbo et l’arbre est désigné sous le terme rotor. Ce rotor est entraîné par le moteur et maintenu en suspension par des champs magnétiques créés par des électro-aimants situés dans les paliers actifs, type paliers magnétiques. Le rotor mobile a 5 axes de liberté gérés par 5 paliers magnétiques actifs. 3 axes de translation (X, Y, Z) Z X Y X Y 2 axes de basculement (X, Y) FR 02721- Edition 04 - Aout 07 Les mouvements en relation avec ces axes sont contrôlés par des capteurs de position. En fonction des informations de position enregistrées, le contrôleur corrige les écarts pour ramener le rotor à sa position optimale, en faisant varier le courant dans les électro-aimants. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/2 A 200 Principe d’asservissement d’une pompe sur paliers magnétiques Correcteur de réjection des forces de balourd C’est une fonction électronique qui gère la position du rotor et l’autorise à tourner suivant son propre axe d’inertie. Les variations d’équilibrage du rotor dues aux dépôts accumulés pendant le fonctionnement de la pompe sont automatiquement compensés par le correcteur de réjection des forces de balourd. Il assure le niveau de bruit et de vibrations le plus bas possible. FR 02721- Edition 04 - Aout 07 Axe géométrique stator Stator geometric axis Axe rotor Rotorgéométrique geometric axis Axe rotor Rotord’inertie inertia axis 2/2 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M A 210 Principe de fonctionnement de la pompe Principe de pompage L’ATP 2300 M est une pompe turbomoléculaire multi-étagée, favorable au pompage des gaz légers. Piégées entre les disques tournants du rotor et les disques fixes du stator, les molécules de gaz du système sous vide sont entraînées vers le refoulement de la pompe. Aspiration Rotor Stator Roulements de secours Moteur Refoulement Paliers magnétiques Purge* Refroidissement F 02918 - Edition 03 - 03/2013 * La purge de gaz fournit une excellente protection pour les applications corrosives et assure le refroidissement du rotor. La pompe turbo dans une installation Au refoulement, les gaz sont évacués vers l’atmosphère par une pompe primaire. Le taux de compression de l’ATPM étant fixé par conception, les performances de la pompe dépendent de la pompe primaire utilisée et de l’installation. PRESSION D’ASPIRATION PRESSION ATMOSPHERIQUE Enceinte à pomper Pompage Primaire Pompage secondaire Vide secondaire adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M Vide primaire 1/2 A 210 Les roulements de secours Ce sont des roulements à billes céramique lubrifiés à sec. Ils ne sont jamais utilisés en conditions normales. Les roulements de secours sont seulement utilisés pour protéger la pompe lors d’entrées d’air brutales, de chocs ou de coupures secteur accidentelles. Sans maintenance Par conception, la pompe ne comporte pas de pièces d’usure et ne nécessite pas de maintenance préventive. Cependant, les roulements de secours utilisés en cas d’arrêts accidentels doivent être changés lorsque le contrôleur le signale : le pourcentage du temps d’atterrissage déduit dépend du nombre d’incidents ( D 150). Sans batterie de secours En cas de coupure secteur, le moteur se comporte comme un générateur et fournit suffisamment de puissance pour les paliers magnétiques. Quand la vitesse de rotation est trop faible, la pompe s’arrête et atterrit sur les roulements de secours. Variation de la vitesse de rotation de la pompe La vitesse de rotation de la pompe ATPM peut être sélectionnée et réglée entre une vitesse minimale et la vitesse maximum. Ceci rend possible l’optimisation des caractéristiques de pompage en fonction de chaque application client (par exemple, pompage haute pression). Une distinction est faite entre les vitesses suivantes : - vitesse réduite (vitesse de STANDBY) qui peut être réglée entre la vitesse min. et la vitesse nominale. - vitesse nominale : vitesse maximum définie en usine. 2/2 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M F 02918 - Edition 03 - 03/2013 Principe de fonctionnement de la pompe A 400 Caractéristiques techniques des pompes CARACTERISTIQUES Bride (aspiration) ISO-K Bride (refoulement) Vitesse de pompage* Taux de compression Flux maximum (1) (2) DN 200 ISO KF DN 250 DN 40 Ar l/s 1 400 1 900 H2 l/s 1 600 1 700 He l/s 1 700 2 050 N2 l/s 1 450 1 950 Ar > 1 · 108 H2 > 7 · 103 He > 1· 105 N2 > 1 · 108 Ar sccm 900 H2 sccm > 3 000 He sccm > 3 000 N2 sccm 2 200 Ar hPa 1,7 Pression maximum au refoulement H2 hPa 1,9 (3) He hPa 1,5 N2 hPa 2,1 Pression maximum à l’aspiration (2) Ar hPa 0,011 N2 hPa 0,04 He hPa 0,2 hPa < 4 · 10-9 Vitesse de rotation nominale tr/mn (Hz) 31 000 (517) Vitesse de standby tr/mn (Hz) de 15 000 (250) à vitesse de rotation nominale 31 000 (517) db(A) < 46 Pression limite (4) Niveau sonore Indice de protection de la pompe F 02919 - Edition 04 - Mar 13 ATP 2300 M UNITES IP 42 Tension d’alimentation du contrôleur V 200-240 (50/60) (Hz) Courant de fuite (7) mA < 12 Puissance max. au démarrage ** W < 1 000 Puissance consommée à pression limite W < 130 Puissance apparente au démarrage ** VA < 1 250 Position de montage Indifférente Embout de purge ISO KF DN16 Taux de fuite hPa l/s < 5·10-8 * Sans filtre par éclats ** La valeur dépend du type du contrôleur. (1) A vitesse de rotation nominale : température de l’eau = 25 °C (M = froide ; MT = 65 °C). (2) Avec une faible pression de refoulement, dépend des conditions extérieures, (température et du débit d’eau, de la température ambiante (pas applicable pour la version refroidissement d’air). (3) Avec ratio pression aspiration/pression refoulement > 100, condition de flux max. réduit. (4) Bride ISO-F, meilleure avec bride CFF. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/3 A 400 Caractéristiques techniques des pompes CARACTERISTIQUES UNITES ISO-K Accélération jusqu’à 90% de la vitesse de rotation nominale, avec pression au refoulement < 0,1 hPa ** ATP 2300 M DN 200 DN 250 min <8 Température d’étuvage de la bride °C 120 Débit de purge recommandé sccm 50 Niveau de vibration à vitesse nominale μm < 0,01 Pression maximale de la ligne d’eau hPa 7·103 Poids de la pompe kg (lb) 52 (112) Pompe de prévidage recommandée modèle ADP / ADS adixen Débit d’eau de refroidissement l/h 60 Température de l’eau (5) °C 15 < T < 40 °C 5 < T < 45 Conditions environnementales : - Température ambiante d’utilisation (6) - Utilisation du produit A l’intérieur uniquement - Altitude maximum m/ft - Surtensions temporaires sur le réseau d’alimentation acceptées 2 000/6 562 Catégorie II - Degré de pollution applicable 2 - Humidité relative maximum (8) 80 % Vrms Hz A - Tension entre les phases - Fréquence d’alimentation - Courant par phase 36 1033 9,7 (5) > 25 °C : changer les conditions de fonctionnement pour réduire la puissance nominale. Contacter le Service Clients. (6) Pas applicable pour la version de refroidissement d’air. (7) Valeur pour pompe et contrôleur. Tout le courant de fuite ne passe pas nécessairement par le fil de terre ; cela dépend de la manière dont la pompe est raccordée à la terre, via l’équipement. (8) Humidité relative max. de 80 % pour des températures allant jusqu’à 31 °C avec une décroissance linéaire jusqu’à 50 % d’humidité relative à 40 °C. 2/3 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M F 02919 - Edition 04 - Mar 13 Caractéristiques du moteur triphasé (valeurs max.) : ** A 400 Caractéristiques techniques des pompes Dimensions OUT Entrée/Sortie d’eau 1/4 NPT femelle 158.4 / (6.23) Refoulement DN 40 ISO KF 138,6 / (5.45) IN Alimentation électrique 115,5 / (4.55) Purge N2 DN 16 ISO KF Centre de gravité 6 Trous M10-6H sur190 Profondeur max. = 29 Prodondeur min. = 25 F 02919 - Edition 04 - Mar 13 d2 Nbre trous sur diam. d1 équidistants Possibilité de raccorder une terre fonctionnelle sur l’une des 4 vis M4 de l’embout de purge Diam.maxi.de l’oeillet : 10,5 mm Dimensions en mm Bride aspiration E H I J K L P D d1 d2 N A° CG DN 250 ISO-F mm 16,00 253,30 257,90 278,20 255,60 289,20 215,20 335,00 310,00 11,00 12,00 15° 133,70 DN 250 ISO-K mm 12,00 253,30 257,90 278,20 255,60 289,20 215,20 290 - - - - 145,50 DN 250 CF-F mm 26,00 297,30 301,90 322,20 299,60 333,20 259,20 306,00 284,00 8,50 32,00 5,625° 170,60 DN 200 ISO-F mm 16,00 314,30 317,90 339,20 316,60 350,20 276,20 285 260,00 11,00 12,00 15° 178,50 DN 200 ISO-K mm 12,00 314,30 317,90 339,20 316,60 350,20 276,20 240 - - - - 187,60 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 3/3 A 510 Les accessoires de la pompe Filtre pare-éclats Ce filtre protège la pompe contre les particules solides. Il est intégré au carter de la pompe. DN 200 P/N Filtre bombé (Inox) + clip (diam. 4,5 mm) 108872 DN 250 P/N Filtre bombé (Inox) + clip (diam. 5 mm) Dispositif réducteur de purge Ce dispositif est utilisé pour réduire le flux de gaz de purge pour certains procédés. 108762 Flow Reduction device DN 16 * 50 SCCM P/N 066752 * Pour les pompes équipées avec vanne de purge (voir page suivante) Vanne d’isolement à l’aspiration de la pompe La vanne d’isolement secondaire s’utilise pour maintenir le vide dans la chambre quand la pompe est remise à la pression atmosphérique. F 02992 - Edition 05 - 03/2013 Voir le catalogue du constructeur. Kit boulons et rondelles pour l’installation de la pompe Modéles pompes Bride Aspir. DN Référence ISO F Description 200 110675 110676S 12 CHC M10x30 12 CHC M10x35 * 250 110675 110676S 12 CHC M10x30 12 CHC M10x35 * 200 114510 250 110034 110676S ATH 1603 M ATH 2303 M ATH 2300 MT ATP 2300 M Référence CF-F Description 12 stub M10x35 * - - 12 CHC M10x30 12 CHC M10x35 * 118690 32 goujons M8x35 * Avec anneau de centrage adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/2 A 510 Les accessoires de la pompe Vanne de purge * (50 sccm) (pilotée par l’équipement du client) Filtre à poussières Vanne d’entrée d’air * Vanne de purge 50 sccm 24 V DC 111921S La purge garantit un balayage pour protéger les roulements de secours des gaz pompés. La purge de cette vanne peut être isolée pour un test d’étanchéité. Vanne d’entrée d’air 24 V DC Filtre à poussières Réf. Réf. 114280 La vanne d’entrée d’air, actionnée par le contrôleur, est installée au refoulement de la pompe. Elle permet de réduire le temps de freinage de la pompe jusqu’à la pression atmosphérique. C’est une vanne NF qui est activée lorsque la vitesse nominale de la pompe est au-dessous de 10 000 tr/mn. Vanne d’eau Réf. Vanne d’eau Câble de vanne d’entrée d’air et de purge (pour les pompes raccordées au Magpower) 2/2 Longueur 108668 Réf. 1m A462403-010 3,5 m A462403-035 5m A462403-050 10 m A462403-100 20 m A462403-200 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M F 02992 - Edition 05 - 03/2013 * Prévoir des tensions d’alimentation conformes au réseau de très basse tension de sécurité (TBTS). A 515 Dimensions des accessoires Dimensions (côtes en mm) de la vanne de purge (50 sccm) Connecteur de la bobine 22 32 Raccord 1/8" NPT 1/8 NPT femelle Rotation possible 83.3 30 Raccordement sur pompe Dimensions de la vanne d’entrée d’air (côtes en mm) Raccordement sur la pompe Connecteur de bobine (rotation possible) 65 Raccord femelle 1/8NPT (entrée air) DN 40 ISO KF F 04430 - Edition 04 - Janvier 13 82 62 65,5 18,5 Raccord femelle 1/8 NPT Filtre à poussières adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/2 A 515 Dimensions des accessoires Dimensions de la vanne d'eau (côtes en mm) 15 34,2 22 18 54,7 câble vanne d’eau 15 Aspiration et refoulement 1/8 NPT femelle OUT Echelle 13/20 38,7 7 29,7 65,6 50,3 IN F 04430 - Edition 04 - Janvier 13 47,7 2/2 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M B Mise en service Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Sommaire détaillé B 100 Consignes de sécurité pour l’installation B 201 Déballage et stockage de la pompe B 300 Consignes de raccordement d’une pompe Turbo à une installation - Conditions d’installation sur l’équipement - Consignes de raccordement d’une pompe à une installation - Pourquoi sécuriser l’installation de la pompe - Description d’un scénario d’atterrissage brutal B 310 Raccordement à l’aspiration et au refoulement - Raccordement au circuit vide - A l’aspiration - Au refoulement B 330 Raccordement du dispositif de purge d’azote et de vanne d’entrée d’air - Caractéristiques de l’alimentation en azote sec filtré - Dispositif de purge - Vanne d’entrée d’air avec purge B 340 Raccordement du circuit d’eau - Caractéristiques de l’eau de refroidissement - Montage standard - Montage avec une vanne Schéma de câblage électrique typique F 02921 - Edition 04 - 03/2013 B 401 Tous les raccordements électriques de la pompe sur le contrôleur sont décrits dans le Manuel de l’utilisateur du contrôleur. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/1 B 100 Consignes de sécurité pour l’installation Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner un dommage important du matériel et/ou des installations en cas de non respect des instructions. Ce type de message est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner des blessures légères en cas de non respect des instructions. Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque imminent qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. F 00731 - Edition 14 - Sept. 12 Généralités Avant toute mise sous tension, l’utilisateur doit prendre connaissance du manuel de l’utilisateur et respecter les consignes de sécurité listées dans ce manuel. Elles sont repérées par les pictos «Attention», «Avertissement» et «Danger». Les bonnes pratiques et recommandations du constructeur sont présentées dans un cadre bleu. La performance et la sécurité d’emploi de ce produit sont garanties uniquement si celui-ci est utilisé conformément à son usage normal dans les conditions définies dans le présent manuel. A la charge du client : - de former ou faire former l’opérateur à l’utilisation du produit si celui-ci ne connaît pas la langue du manuel utilisateur fourni, - de s’assurer que l’opérateur sait utiliser le produit dans les conditions de sécurité optimales. Pour garder à votre produit la propreté résultant des soins que nous lui avons apportés, nous recommandons de ne le déballer que dans un endroit non contaminé et sur son lieu d’utilisation finale. En cas d’urgence En cas d’urgence ou de panne du produit, contacter le responsable du centre de service le plus proche (voir adresses des principaux contacts sur le site internet). S’assurer que l’équipement n’a subi aucun dommage pendant le transport. S’il a été endommagé, prendre les mesures nécessaires auprès du transporteur et aviser le constructeur. Dans tous les cas, nous vous recommandons de conserver l’emballage (matériau recyclable) pour transporter l’équipement ou en cas de stockage prolongé. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/6 B 100 Consignes de sécurité pour l’installation Les pompes turbomoléculaires ne peuvent refouler à la pression atmosphérique, il faut les connecter à une pompe de prévidage. Transitoirement elles peuvent démarrer leur rotation à la pression atmosphérique. Nos produits sont conçus pour répondre aux réglementations CEE en vigueur. Toute modification du produit de la part de l’utilisateur est susceptible d’entraîner une non conformité aux réglementations, voire de remettre en cause les performances CEM (Compatibilité électromagnétique) et la sécurité du produit. Le constructeur dégage sa responsabilité des conséquences résultant d’une telle intervention. Ne pas exposer une partie du corps humain au vide. Les orifices d’aspiration, de refoulement ont été fermés à l’aide d’obturateurs. Retirer ces protections au moment du raccordement à la ligne de pompage. De même, ne pas mettre sous tension un produit dont l’aspiration et le refoulement ne sont pas raccordés au circuit de pompage. Produit lourd Compte tenu du poids du produit, seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut sortir le produit de son emballage : - utiliser les anneaux de levage fournis avec le produit, - utiliser des élingues à plusieurs brins de 500 mm de long au minimum, - fixer la pompe au dispositif de manutention. Le constructeur dégage toute responsabilité en cas d’utilisation d’autres anneaux. Risque de basculement : bien que la conformité aux règles de sécurité de la CEE soit assurée, il convient de prendre les précautions vis à vis du risque de basculement lors des opérations de manutention, d’installation et d’exploitation du produit. Voir chapitre A du manuel de l’utilisateur pour la position des centres de gravité. Installation Raccordement de la pompe à l’installation : Il est fortement recommandé de sécuriser la fixation de la pompe turbo à paliers magnétiques pour garantir la fiabilité du fonctionnement et la sécurité du personnel ( B 300). Risque de coupure : L’accès au rotor d’une pompe turbomoléculaire dont l’aspiration n’est pas raccordée est dangereux. Toujours raccorder l’aspiration de la pompe avant de la mettre en service. S’assurer que les pièces, ou enceintes raccordées à l’aspiration, au refoulement et à la purge de la pompe maglev supportent une dépression de 100 kPa relativement à la pression atmosphérique et que le vide n’engendre pas de dommages (joints, ….). 2/6 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M F 00731 - Edition 14 - Sept. 12 Manutention B 100 Consignes de sécurité pour l’installation Installation (Suite) L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit ont l’entière responsabilité des conditions de sécurités liées au fonctionnement de l’équipement. Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Ces gaz étant dangereux, il appartient donc à l’utilisateur du procédé d’appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès de son service sécurité. Ces gaz peuvent causer des blessures graves ou la mort, il est impératif de relier le refoulement de la pompe turbomoleculaire à un pompage primaire compatible avec les gaz de process. Vérifier que la pompe est correctement raccordée à l’équipement ( B310), Si des matières pyrophoriques, toxiques, oxydantes ou inflammables peuvent être envoyées vers la pompe, il faut alors utiliser une surveillance du dispositif d’extraction des gaz, pour stopper le flux de gaz dans la pompe en cas de défaillance du système d’extraction. De même, si des matières inflammables sont envoyées vers la pompe, le client doit prévoir un dispositif de détection électromécanique de la LIE dans le système d’extraction (détection possible à 25 % de la LIE) qui arrête l’alimentation de la pompe en produits chimiques lors de la détection de gaz à 25 % de la LIE pour la matière inflammable concernée. F 00731 - Edition 14 - Sept. 12 Pour les pompes installées sur procédés agressifs : Si l’arrêt de la purge peut engendrer un risque important, la commande de la purge devra être assurée par un système externe capable de prendre le relais en cas de défaillance : ce système peut être verrouillé si nécessaire. Si des quantités de matières pyrophoriques supérieures à la LIE sont envoyées vers la pompe, l’alimentation en azote doit alors avoir un débit garantissant que la concentration est diluée de façon à être en dessous de la LIE. Il faut de plus prévoir un verrouillage afin que l’écoulement des gaz vers la pompe soit arrêté en cas d’arrêt de l’alimentation en azote. Les performances des produits en CEM sont obtenues sous réserve que l’installation soit effectuée dans le respect des règles applicables en CEM. En particulier, dans les environnements perturbateurs, il est indispensable d’utiliser des liaisons et raccordements blindés pour les interfaces. S’assurer que le produit est raccordé à une installation électrique : - conforme aux normes de sécurités locales et nationales, - équipée de protection électrique (fusibles, disjoncteurs,..) et d’un point de mise à la terre. Cette pompe n’est pas équipée d’un dispositif de verrouillage (LO/TO) car elle est conçue pour une utilisation sur des équipements. Afin de protéger correctement la pompe pour l’installation et/ou la maintenance, l’équipement doit être correctement et entièrement condamné et repéré, conformément à la norme 29 CFR.1910.147 de l’OSHA. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 3/6 B 100 Consignes de sécurité pour l’installation Installation (Suite) Si l’accès au connecteur secteur n’est pas aisé, prévoir un dispositif de coupure secteur supplémentaire facilement accessible par l’opérateur. Risque de choc électrique : Courant et tension peuvent provoquer des chocs électriques. Isoler et verrouiller le circuit général d’alimentation avant d’intervenir sur le produit et/ou de retirer les capots. Seul un personnel autorisé et compétent peut intervenir sur le produit. Si un dispositif de sectionnement est installé par le client, il devra être conforme à la législation locale et avoir au minimum un pouvoir de coupure en court circuit de 10 kA. Risque de choc électrique : Lors de la mise hors tension, certains composants comportant des condensateurs chargés à plus de 60 VDC restent chargés électriquement : des tensions résiduelles dues aux capacités des filtres peuvent provoquer des secousses électriques, y compris au niveau de la prise secteur. Attendre au moins 5 minutes après l’arrêt complet de la pompe avant d’intervenir sur le produit. Signalisation du fonctionnement en mode local Aucune signalisation du fonctionnement en mode local n’est disponible sur la pompe. Lorsque le pompe n’est pas intégrée dans un équipement, l’utilisateur devra prévoir un dispositif de signalisation pour signaler le fonctionnement en mode local. L’étanchéité des produits est assurée à la sortie usine pour des conditions normales d’utilisation. Il appartient à l’utilisateur de préserver le maintien du niveau d’étanchéité en particulier lors du pompage de gaz dangereux. Des conditions d’utilisation spécifiques peuvent générer des températures de nature à justifier une attention particulière de la part de l’utilisateur (surfaces externes > 70 °C) : s’équiper de gants de protection avant le dépannage et attendre le complet refroidissement avant d’intervenir sur le produit. 4/6 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M F 00731 - Edition 14 - Sept. 12 Autres risques énergétiques : Le circuit de balayage d’azote et le circuit de refroidissement comportent des circuits pressurisés. Avant d’intervenir sur le produit, supprimer les risques : 1- pour le circuit d’azote, déconnecter la pompe du circuit d’alimentation de gaz, 2- Pour le circuit de refroidissement, déconnecter l’arrivée d’eau sur la pompe, laisser la sortie d’eau connectée. Prendre la précaution de vider le circuit d’eau ; mettre un récipient d’une capacité 1 l. B 100 Consignes de sécurité pour l’installation Installation (Suite) Verrouillage de sécurité Le moteur de la pompe est protégé contre les surcharges par la limitation de courant du variateur de vitesse dans le contrôleur (en cas de surcharge la vitesse se réduit automatiquement). Le bouton de commande “start/stop” permet le contrôle des circuits de commande de variation de vitesse. Il comprend des composants monolithiques. Lorsqu’il existe un danger lié à un contact accidentel avec du matériel mobile ou à un échappement accidentel de liquide, de gaz ou d’éléments solides, il est nécessaire d’installer un circuit d’arrêt supplémentaire câblé pour éliminer l’alimentation alternative du contrôleur. Il faut déconnecter l’alimentation pendant l’installation, l’utilisation ou la maintenance. Lorsque ce verrouillage est activé, l’alimentation est coupée et la pompe est en position de sécurité. Lors d’une panne, la cause doit être corrigée avant que le défaut ne puisse être acquitté. Il faut couper l’alimentation puis la rétablir après l’arrêt de la pompe pour la reprise d’un fonctionnement normal. Dans le cas d’une utilisation sur des applications pouvant générer des particules ou des condensables, il faut éviter que celles-ci se déposent dans le circuit de pompage au risque d’endommager la pompe. Contacter le service Clients. Le constructeur garantit le bon fonctionnement de la pompe lorsqu’elle est F 00731 - Edition 14 - Sept. 12 utilisée dans un champ magnétique uniforme n’excédant pas 0,5 mT. Pour des valeurs comprises entre 0,5 et 5 mT, le bon fonctionnement dépendra du refroidissement et de la charge des gaz. Au-delà de 5 mT de champ magnétique, cela peut provoquer un échauffement du rotor. Prévoir dans ce cas les blindages nécessaires. La pompe seule peut résister à un niveau de radiation inférieur à 103 Gy. Les coffrets contenant les circuits de commande sont conçus de façon à assurer des conditions de sécurité normales compte tenu de leur environnement habituel d’exploitation (utilisation en baie). Dans les cas spécifiques d’utilisation sur table, veiller lors des manipulations des coffrets à ne pas introduire des objets dans les ouïes de ventilation ou obturer ces ouïes. Protection contre les corps solides Il y a risque de détérioration du produit si des objets sont introduits ou des liquides pénètrent dans l’appareil. Ne pas introduire des objets par les fentes d’aération. Préserver l’appareil de l’humidité. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 5/6 B 100 Consignes de sécurité pour l’installation Etiquettes collées sur le produit Cette étiquette indique que la manutention peut entraîner des blessures musculaires. Pour toute manutention du matériel, utiliser les dispositifs prévus à cet effet (anneaux de levage, poignée…). Cette étiquette indique que certains des composants internes sont sous tension et peuvent entraîner un choc électrique en cas de contact. Cette étiquette recommande de débrancher la pompe avant toute intervention ou de verrouiller/déverrouiller correctement le disjoncteur de l’équipement avant intervention sur la pompe. WARNING HAZARDOUS VOLTAGE ENCLOSED Danger risk of electric shock, disconnect main power source and heater power. (if heater is used, max 110/230 V, 300 VA, 50/60 Hz). Prior to servicing and wait 5 minutes before working on this equipment. Cette étiquette met l’utilisateur en garde contre le risque de blessure en cas de contact de la main avec une surface chaude. Il faut s’équiper de protections avant toute intervention. Eviter de provoquer des chocs sur une pompe pendant que le rotor tourne au risque de perturber le fonctionnement. Autres étiquettes Le client doit coller ces étiquettes sur la pompe ATHM, à l’endroit le plus approprié, afin de prévenir l’opérateur sur de probables risques. WARNING Cette étiquette informe l’utilisateur des risques d’écrasement ou de MOVING PARTS PRESENT coupure liés aux pièces en mouvement. Eviter de s’approcher et/ou de Moving parts can crush and cut. Keep hands or feet away from moving parts. mettre les mains à proximité des pièces en mouvement. L’étiquette “surfaces chaudes“ doit être collée sur le carter de la pompe d’une manière visible. WARNING FLAMMABLE, CORROSIVE AND TOXIC CHEMICALS LOCATED WHITHIN THE ENCLOSURE Explosure may result in severe injury or death. Preventive maintenance must be done by trained personnel only. 6/6 L’utilisateur doit coller visiblement cette étiquette sur le produit pour informer de l’utilisation de gaz pompés qui peuvent être dangereux et toxiques et qui peuvent entraîner des blessures graves ou la mort. Elle précise que toute opération de maintenance préventive doit être réalisée par un personnel compétent. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M F 00731 - Edition 14 - Sept. 12 Cette étiquette signifie que vous devez verrouiller le connecteur avant d’utiliser la pompe. Ne pas débrancher avant l’arrêt de celle-ci. LOCK B 201 Déballage et stockage de la pompe Déballage S’assurer que l’équipement n’a subi aucun dommage pendant le transport. S’il a été endommagé, prendre les mesures nécessaires auprès du transporteur et aviser le constructeur. Dans tous les cas, nous vous recommandons de conserver l’emballage (matériau recyclable) pour transporter l’équipement ou en cas de stockage prolongé. Le contenu de l’emballage dépend de la configuration de la pompe. Il contient ainsi d’autres boîtes pour les accessoires : filtre pare éclats, vanne d’entrée d’air, dispositif de purge, étiquette haute température, câble électrique... Risque de pollution : Eviter de polluer la pompe au risque d’augmenter le temps de pompage et de polluer le process. Utiliser des canalisations propres, sèches et porter des gants pour effectuer les raccordements à la ligne de pompage. Manutention de la pompe FR 00732 - Edition 10 - Novembre 11 Cette étiquette indique que la manutention peut entraîner des blessures musculaires. Pour toute manutention du matériel, utiliser les dispositifs prévus à cet effet (anneaux de levage, poignée…). Produit lourd Compte tenu du poids du produit, seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut sortir le produit de son emballage : - utiliser les anneaux de levage fournis avec le produit, - utiliser des élingues à plusieurs brins de 500 mm de long au minimum, - fixer la pompe au dispositif de manutention. Le constructeur dégage toute responsabilité en cas d’utilisation d’autres anneaux. Installation pompe aspiration vers le haut : raccorder la pompe au dispositif de manutention client en utilisant les trous à l’arrière de la pompe ( chapitre A 400 du manuel utilisateur). Risque de basculement : bien que la conformité aux règles de sécurité de la CEE soit assurée, il convient de prendre les précautions vis à vis du risque de basculement lors des opérations de manutention, d’installation et chapitre A du manuel de l’utilisateur pour la d’exploitation du produit. position des centres de gravité. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/2 B 201 Déballage et stockage de la pompe Stockage de la pompe Si une pompe neuve doit être stockée, laisser en place le film de protection. Stocker le produit dans les conditions suivantes: - environnement propre, sec et non pollué, - température ambiante comprise entre -5 °C et + 50 °C. - durée maximale 2 ans. Dans le cas de stockage d’une pompe ayant déjà pompée sur «des process propres», vidanger le circuit de refroidissement, et effectuer un balayage d’azote sur la pompe. Fermer les orifices d’aspiration, de refoulement et de purge à l’aide des obturateurs. Stocker la pompe au maximum pendant 6 mois dans un environnement propre et sec, Après utilisation sur des procédés agressifs, retourner le produit pour la E 100). maintenance ( Les orifices d’aspiration, de refoulement ont été fermés à l’aide d’obturateurs. Ils empêchent l’introduction de corps étrangers dans la pompe pendant le transport et le stockage. Ces accessoires ne doivent être retirés que lors du raccordement du produit à la ligne de pompage. 2/2 Tape de fermeture ASA 6’’, ISO ou CF-F (selon modèles). Refoulement Fermé avec une tape de protection DN 40 ISO-KF. Connexion pour la vanne d’entrée d’air et la purge d’azote Fermée avec une tape de protection DN 16 ISO-KF. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M FR 00732 - Edition 10 - Novembre 11 Aspiration B 300 Consignes de raccordement d’une pompe Turbo à une installation Conditions d’installation sur l’équipement Le raccordement de la pompe à l’équipement doit être suffisamment rigide pour absorber l’énergie cinétique libérée par le rotor si la pompe grippe brutalement. Pour cela, tenir compte : • des charges maximum pour dimensionner les dispositifs de fixation, • de la dimension de la bride d’aspiration, • de la qualité et du nombre de vis, • Ne pas utiliser de bride de réduction ou de flexible entre la bride d’aspiration et la chambre. La bride de réduction doit être correctement dimentionnée. Lorsque la pompe est raccordée selon les recommandations du B 300), en cas d’incident générant une surpression, constructeur ( l’enveloppe de la pompe est capable de supporter une pression statique de 1,1 MPa maximum pendant 1 minute. Installation pompe aspiration vers le haut : raccorder la pompe au dispositif A 400 de manutention client en utilisant les trous à l’arrière de la pompe ( du manuel utilisateur). Asp. La pompe peut fonctionner dans toutes les positions F 02923 - Edition 05 - 03/2013 Asp. Asp. Asp. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/5 B 300 Consignes de raccordement d’une pompe Turbo à une installation Consignes de raccordement d’une pompe à une installation Pourquoi sécuriser l’installation de la pompe ? De par leur conception, les pompes à paliers magnétiques sont conçues pour n’entraîner aucun risque pour la sécurité de l’utilisateur dans des conditions normales de fonctionnement. Toutefois certaines conditions d’exploitation peuvent générer des risques pour la sécurité des utilisateurs et de l’environnement : l’énergie cinétique stockée par une pompe Turbo est considérable. En cas d’accident, si cette énergie se libérait, une pompe mal installée pourrait se désolidariser de l’équipement. Pour garantir la fiabilité du fonctionnement ainsi que la sécurité du personnel et du matériel, il est indispensable de respecter les spécifications d’installation décrites ci-après. En cas de non respect des spécifications d’installation, adixen dégage sa responsabilité des conséquences qui peuvent résulter. Spécifications d’installation Chambre 2 3 ATPM ATPM Equipement Châssis Consignes d’installation 2/5 Respecter les consignes d’installation suivantes pour les connexions repérées 1, 2 et 3. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M F 02923 - Edition 05 - 03/2013 1 B 300 Consignes de raccordement d’une pompe Turbo à une installation Description d’un scénario d’atterrissage brutal L’énergie cinétique du rotor doit être absorbée par l’installation si la pompe grippe brutalement. Les charges résultantes maximum ont été mesurés sur un banc de test en simulant la cassure du rotor en 2 morceaux, à vitesse nominale. L’impact des morceaux de rotor génère les charges transitoires décrites ci-dessous. Force axiale (a) Les morceaux du rotor peuvent être éjectés par l’aspiration de la pompe et endommager la plaque de fixation de la vanne ou de tout autre partie de l’installation. Dans la mesure où l’impact est proche de la pompe, et la surface impactée est rigide, il y a création d’une importante force axiale sur l’installation. En présence d’une vanne pendulaire, on ne constate pas cette force axiale. Flexion (b) L’impact des morceaux de rotor sur le carter de la pompe crée une force radiale sur le carter. Celle ci engendre un moment de flexion sur l’installation dépendant de la distance du point d’impact par rapport au point d’ancrage sur l’installation. Couple (c) La décélération des morceaux de rotor engendre un couple sur le carter de pompe qui se transmet à l’installation. La valeur maximum de la force axiale et du moment de flexion apparaissent en même temps. Un délai de plusieurs millisecondes s’écoule avant l’apparition du couple maximum. Pompe F 02923 - Edition 05 - 03/2013 Charges transmises à l’installation (rep 1) Charges : Rotor Pompe raccordée à la vanne Flexion (b) Plaque pendulaire Force axiale (a) Vue de face Pompe Couple (c) Vue de dessus adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 3/5 B 300 Consignes de raccordement d’une pompe Turbo à une installation Charges transmises à l’installation (suite) ATP 2300 M Charges mesurées sur banc de test adixen 700 60 Unité ATP 2300 M Vitesse nominale tr/mn 31000 Energie kN·m 116 Couple Max. kN·m 50 Durée ms 3,0 Delais ms 2,5 Max. kN·m 35 Durée ms 1,5 Flexion 500 40 400 30 300 20 200 10 Force axiale - kN 600 50 Force axiale * Delais ms 0 Max. kN 0 << 650 Durée ms 1,0 Delais ms 0 * La force axiale est maximale lorsque l’aspiration de la pompe est obstruée par des pièces rigides. Il n’y a pas de charge sur l’installation en cas de faible rigidité (par exemple, avec une vanne). 100 0 0 0 1 2 3 4 5 6 Temps ms Conditions d’installation de la bride d’aspiration (rep 2) Couple Flexion Force axiale Les charges maximum résultant d’un atterrissage brutal doivent être absorbées par les écrous de fixation de la pompe. Concevoir et sécuriser le châssis de la pompe de sorte qu’il supporte les charges maximum. Selon le type de carter : Fixation sur bride d’aspiration Type de bride ATP 2300 M DN250 ISO-F DN250 ISO-F & DN 200 ISO-K sans anneau DN250 CFF avec anneau de centrage de centrage ** Type de vis imposées M 10 M 10 M8 Nombre de vis imposées 12 12 32 Longueur des vis (mm) 35 30 40 Qualité des vis 12-9 12-9 12-9 Couple de serrage par vis (N·m) 30 30 20 161500 161500 355000 Force de serrage totale (N) ** Bride d’aspiration DN250 ISO-F sans anneau de centrage : utiliser uniquement des vis spéciales avec rondelles frein fournies par adixen (kit de 12 vis et rondelles référence 110676S). 4/5 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M F 02923 - Edition 05 - 03/2013 Couple –Flexion kN·m- Pompe modèle B 300 Consignes de raccordement d’une pompe Turbo à une installation Conditions d’installation de la bride d’aspiration (suite) Pour des raisons de sécurité, il est recommandé de serrer les vis à la clé dynamométrique selon les couples de serrage définis : - couple faible : risque de desserrage des vis - couple fort : risque de détérioration des vis. Nous recommandons fortement un raccordement en bride ISO-F ou CF-F. Les brides de type ISO-K ne sont pas conseillées pour le raccordement des pompes, ceci pour les raisons qui suivent : • il n’y a pas de repérage visuel pour connaître le nombre de griffes de serrage, nécessaire et suffisant pour garantir la fixation (nombre de trous sur une bride ISO-F), • il n’est pas aussi facile de positionner et monter les griffes de bride ISO-K que d’assembler des vis sur bride ISO-F, • les brides ISO-K n’empêchent pas la rotation accidentelle de la pompe par rapport à la bride de l’équipement en cas de rupture d’un élément tournant. Cette rotation peut endommager les lignes de prévidage et de purge et présenter un risque vis à vis des utilisateurs. Conditions d’installation sur l’équipement (rep 3) F 02923 - Edition 05 - 03/2013 (Option) Si l’équipement n’est pas conçu pour absorber les charges maximum en cas d’atterrissage brutal, il est possible de rajouter une équerre de fixation raccordée dans la partie inférieure de la pompe (6 trous filetés M10 prévus). Dans ce cas, contacter le constructeur qui vous assistera pour le dimensionnement de votre installation. Chambre ATPM ATPM 3 Equerre support Equipement Châssis adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 5/5 B 310 Raccordement à l’aspiration et au refoulement Raccordement au circuit vide Ne pas exposer une partie du corps humain au vide. Les orifices d’aspiration, de refoulement ont été fermés à l’aide d’obturateurs. Retirer ces protections au moment du raccordement à la ligne de pompage. De même, ne pas mettre sous tension un produit dont l’aspiration et le refoulement ne sont pas raccordés au circuit de pompage. Risque de coupure lors de l’intervention sur l’équipement. Le contact avec le rotor de la cellule de pompage provoque des coupures. Toujours utiliser des gants pour raccorder ou retirer la pompe de l’équipement. S’assurer que les pièces, ou enceintes raccordées à l’aspiration, au refoulement et à la purge de la pompe maglev supportent une dépression de 100 kPa relativement à la pression atmosphérique et que le vide n’engendre pas de dommages (joints, ….). Pour des raisons de sécurité, utiliser à l’aspiration comme au refoulement de la pompe, des accessoires dont les matériaux et l’étanchéité sont compatibles avec les gaz pompés. Matériel en contact avec les gaz de process Fr 02924 - Edition 05 - 03/2013 COMPOSANTS MATERIEL Pompe, aspiration, refoulement Acier inoxydable, alliage aluminium Joint à lèvre Elastomère fluoré, FPM Installation pompe aspiration vers le haut : - raccorder la pompe au dispositif de manutention client en utilisant les chapitre A 400 du manuel utilisateur). trous à l’arrière de la pompe ( Risque de pollution. Eviter de polluer la pompe au risque d’augmenter le temps de pompage et de polluer le process. Utiliser des canalisations propres, sèches et porter des gants pour effectuer les raccordements à la ligne de pompage. Lorsque le produit est raccordé au circuit de pompage, réaliser un test d’étanchéité sur l’ensemble de la ligne afin de s’assurer que les connexions sont correctes (pompe, canalisations, vannes, …). adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/2 B 310 Raccordement à l’aspiration et au refoulement A l’aspiration: Filtre pare-éclats Montage du filtre insérable Vérifier que l’accessoire filtre pare-éclats ou filtre dense est installé, ou l’installer sur la pompe (les pompes sont livrées avec le filtre). Positionner le filtre (2) dans la gorge du carter d’aspiration (1), côté bombé à l’extérieur. Positionner le clips (3) et le plaquer manuellement au fond de la gorge sur toute sa circonférence. 3 2 Aspiration 3 1 1 2 Il est recommandé d’installer une vanne d’isolement entre l’enceinte à pomper et l’entrée de la pompe pour remettre à l’air la chambre sans arrêter la pompe. Les pompes turbomoléculaires ne peuvent refouler à la pression atmosphérique, il faut les connecter à une pompe de prévidage. Transitoirement elles peuvent démarrer leur rotation à la pression atmosphérique. En cas de pompages de gaz corrosifs, ou agressifs, on devra obligatoirement raccorder le refoulement à un pompage primaire compatible avec les gaz de process. Il est fortement recommandé d’installer une vanne d’isolement, entre la pompe et le circuit primaire. La vanne est commandée par le contact «START» du contrôleur. Si cette vanne est absente, le temps de ralentissement de la pompe est augmenté, réduisant ainsi la durée de vie des roulements de secours. Raccorder cette vanne V1 le plus prés possible du refoulement de la pompe au moyen des accessoires de raccordement disponibles au catalogue du constructeur. Raccorder la vanne au circuit de pompage primaire. Voir schéma de montage B 400 du manuel du contrôleur. 2/2 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M Fr 02924 - Edition 05 - 03/2013 Au refoulement B 330 Raccordement du dispositif de purge d’azote et de la vanne d’entrée d’air Caractéristiques de l’alimentation en azote sec filtré Les caractéristiques de l’alimentation en azote sec filtré nécessaire sont les suivantes : - Concentration H2O : < 1 ppm - Concentration O2 : < 1 ppm - Point de rosée < 22 °C - Poussière < 1 μm - Vapeur d’huile < 0.1 ppm - Pression absolue de 100 à 120 kPa. Dispositif de purge pour DN16 (50 sccm) Purge N2 A Purge N2 Réducteur de flux d’azote A La purge d’azote doit être connectée directement sur l’embout de la pompe prévu à cet effet. F 02999 - Edition 05 - 03/2013 La pression maximum de la purge ne doit pas dépasser 200 kPa. Le fonctionnement de cette purge est continu. Raccorder le tuyau d’azote au raccord DN 16 de la purge*. Le réducteur de flux contrôle la pression et garantit un débit de 50 sccm pour une pression de 110 kPa. Régler le débit Remarque : la purge N2 peut être équipée d’un débitmètre massique. Dans ce cas, il n’est pas utile d’installer le réducteur de flux d’azote. Alimenter la purge d’azote en Débit (SCCM) 70 fonction des valeurs de débit CM SC et de la pression indiquées ci50 e g 60 Pur contre. 50 40 30 20 1.0 Pression absolue à l’aspiration (kPa) 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 * Différents accessoires de raccordement sont disponibles dans le catalogue constructeur. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/2 B 330 Raccordement du dispositif de purge d’azote et de la vanne d’entrée d’air Lorsque la purge de gaz neutre s’arrête, les gaz agressifs pompés peuvent rétrodiffuser et endommager les paliers internes de la pompe. Il est conseillé de maintenir la purge tant que le rotor tourne, pour garantir un balayage permanent et protéger l’intérieur de la broche. Vanne avec dispositif de purge (50 sccm) Air filtré ou purge N2 Pendant le fonctionnement, il est possible d’arrêter la purge, pour un test de fuite par exemple. En lieu et place du filtre à poussières peut être raccordée une purge d’azote (1/8 NPT femelle). A filtre à poussières Vanne d’entrée d’air A Air filtré ou N2 Installée au refoulement de la pompe, la vanne d’entrée d’air est calibrée pour remettre à pression atmosphérique le volume de la pompe. La possibilité d’isoler la pompe à son aspiration ou au refoulement augmente l’efficacité du ralentissement. Si la fonction ”VENTING TIME” est sélectionnée, la remise à pression atmosphérique a lieu quand l’arrêt de la pompe est demandé ou sur défauts enregistrés par le contrôleur Manuel Utilisateur du ( contrôleur) F 02999 - Edition 05 - 03/2013 Remplacer régulièrement le filtre à poussières en cas d’utilisation en milieu poussiéreux. filtre à poussières En lieu et place du filtre à poussières peut être raccordée une purge d’azote (1/8 NPT femelle). 2/2 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M B 340 Raccordement du circuit d’eau Caractéristiques de l’eau de refroidissement Pour éviter les corrosions et l’obstruction des canalisations, il est conseillé d’utiliser une eau de refroidissement ayant les caractéristiques suivantes : - Eau douce traitée ou eau industrielle non corrosive - Taille des particules (maxi): 0,2 mm - Dureté < 7 milli-équivalent/l = 350 mg/l de CaCO3 (carbonate de calcium) = 35° f (degré français) - pH compris entre 7,5 et 11 - Résistivité 1 500 .cm < R < 20 000 .cm - Température : 15 °C < T < 40 °C - Pression comprise entre 200 et 700 hPa absolus - Débit : 60 l/h - Eau désionisée compatible Il y a un risque de condensation si la température est < 20 °C. L’utilisation d’un réseau d’eau urbain non réglementé peut provoquer le colmatage du circuit de refroidissement par des dépôts calcaires. En conséquence le circuit de refroidissement devra être démonté pour nettoyage et maintenance. La présence de micro-organismes (algues), ou substances biologiques (bactéries) dans le réseau d’eau peut générer des problèmes dans le circuit de refroidissement. Appliquer les traitements nécessaires pour éviter la croissance de ces micro-organismes. F 02926 - Edition 05 - 03/2013 Risque de fuite : maintenir avec une clé plate le raccord sur l’entrée de la vanne d’eau, lors du raccordement du circuit d’eau (tuyau équipé de son raccord), ceci afin de ne pas détériorer le raccord. Ne pas installer les raccords d’eau en-dessus des composants électriques. Cela peut générer des décharges électriques en cas de fuites au niveau des raccords. Connexion des raccords laiton Retirer toute trace de colle sur les filets des raccords mâle et femelle. Appliquer une bande de Teflon™ ou de colle frein filets type Loctite™ sur le connecteur mâle, insérer manuellement le connecteur femelle. Maintenir le raccord fixe avec une clé et serrer le raccord avec une seconde clé. Vérifier qu’il n’y ait pas de fuites. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/2 B 340 Raccordement du circuit d’eau sortie d’eau Montage standard - Fournir une arrivée d’eau et un robinet pour ajuster le débit. - Raccorder la ligne d’arrivée d’eau sur l’un des raccords de refroidissement, (diam.ext.1/4 NPT femelle), relier l’autre au circuit d’évacuation par un tuyau flexible (fourniture client). Montage avec une vanne - Fournir une arrivée d’eau et un robinet pour ajuster le débit. - Raccorder la vanne d’eau au circuit d’arrivée d’eau à l’aide de tuyau flexible en respectant le sens de montage ci-contre sur l’électrovanne. - Raccorder l’autre embout au circuit d’évacuation. entrée d’eau sortie d’eau entrée d’eau F 02926 - Edition 05 - 03/2013 raccord de la vanne 2/2 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M B 401 Schéma de câblage électrique typique Raccordement de la pompe à l’installation Pour cette installation nous utilisons : - une vanne d’isolement primaire V1 entre la pompe turbomoléculaire et la pompe primaire; - une vanne d’isolement secondaire V2 entre la pompe turbomoléculaire et l’enceinte à pomper; - un relais K1, ses contacts commandent la vanne V1 et l’alimentation de la pompe primaire; - l’option thermostat (Modèle MT). Contrôleur 1 Vanne d’isolement secondaire V2 Vanne d’isolation ATHM ou ATPM Vanne d’eau V3 Vanne d’eau 3 Vanne de purge Vanne d’air N2 Vanne de purge Vanne d’air V1 K1 Vanne d’isolation primaire Thermostat (pompe Télécommande modèles MT) 2 Relais client Démarrage F 03199 - Edition 04 -03/2013 Alimentation Câble Pompe Pompe primaire K1 K1 PE Le câble contient les informations du capteur de température 1 Les connexions dépendent du modèle de contrôleur. Voir le Manuel Utilisateur du contrôleur. 2 3 Connexions électriques (version MT uniquement) Recommandé pour connecter la pompe à la prise de terre, même dans un environnement perturbé en ondes électromagnétiques Légende : Schéma de câblage (typique) Connexions électriques minimum Connexions électriques optionnelles recommandées par le constructeur (version M uniquement) Connexions électriques (version MT uniquement) L’utilisateur devra prévoir une protection de mise à la terre distincte de la protection en place. Elle sera constituée soit d’une tresse non isolée, soit d’un fil vert/jaune isolé de section minimum 9AWG (3mm2). Raccorder ce fil au moyen d’une vis et d’une rondelle frein sur le trou prévu à cet effet sur la pompe, puis au point de mise à la terre de l’installation. L’impédance entre le corps de pompe et le point de mise à la terre de l’installation doit être < 0,1 Ohm à 25 A. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/1 C Utilisation Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Sommaire détaillé C 100 Consignes de sécurité pour l’utilisation du produit F 02927 - Edition 02 - 03/2013 Pour toutes les instructions relatives à l’utilisation de la pompe, se référer au manuel du contrôleur Magpower ou OBC. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/1 C 100 Consignes de sécurité pour l’utilisation du produit Avant d’utiliser la pompe avec son contrôleur, assurez-vous que les raccordements mécaniques et électriques ont bien été effectués dans le respect des consignes de sécurité : se référer aux chapitre B des manuels de pompe et du manuel du contrôleur associé. Il est fortement recommandé d’utiliser : • un filtre pare-éclats à l’aspiration de la pompe ; • une vanne d’isolation entre la chambre et la pompe ; • une vanne d’isolation entre la pompe et le circuit de pompage primaire. Ne pas mettre en service la pompe si elle n’est pas raccordée à un équipement rigide : si la pompe grippe brutalement il y a des risques pour la sécurité des utilisateurs et de l’environnement. Se référer à B 300 pour l’installation. Risque de coupure L’accès au rotor d’une pompe turbomoléculaire dont l’aspiration n’est pas raccordée est dangereux. Toujours raccorder l’aspiration de la pompe avant de la mettre en service. Des conditions d’utilisation spécifiques peuvent générer des températures de nature à justifier une attention particulière de la part de l’utilisateur (surfaces externes > 70 °C) : s‘équiper de gants de protection avant le dépannage et attendre le complet refroidissement avant d’intervenir sur le produit. GB 00745 - Edition 09 - Nov. 11 Risque de dégradation de la pompe. Veiller à ce que les canalisations de refoulement et l’intérieur de la pompe ne soient pas obturés par des dépôts résultant du process. (ex. condensables ...). En cas de présence de dépôts conséquents, contacter le service client. L’arrêt du circuit de refroidissement peut engendrer un risque de dégradation du produit : s’assurer du bon fonctionnement de la ligne de refroidissement. Risque de coupure Ne pas déconnecter l’aspiration de la pompe avant l’arrêt complet de la rotation et sans l’avoir débrancher de l’alimentation électrique. Cela peut prendre plusieurs minutes avant l’arrêt complet de la rotation. Risque de choc électrique La pompe et le contrôleur ne peuvent être débranchés l’un de l’autre avant l’arrêt complet de la rotation du rotor, et tant que le contrôleur n’est pas isolé du réseau électrique. Ne jamais arrêter la pompe en arrachant le câble secteur. Seul un personnel autorisé et compétent peut intervenir sur le produit. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/2 C 100 Consignes de sécurité pour l’utilisation du produit Placée sur le contrôleur, cette étiquette indique que le contrôleur ne doit pas être débranché tant que la pompe est en rotation. Précautions habituelles avant d’intervenir sur le produit : avant d’exécuter une opération de maintenance, stopper la pompe en plaçant le commutateur du contrôleur sur «0», débrancher le câble secteur et attendre 5 minutes avant d’intervenir sur le produit. Si le câble secteur n’est pas débranché, certains composants seront toujours sous tension. Si l’état du contrôleur n’est pas visible par l’opérateur, alors débrancher le câble de la pompe. GB 00745 - Edition 09 - Nov. 11 Vous référer au Manuel Utilisateur du contrôleur pour piloter la pompe chapitre C). Surveiller le fonctionnement de la pompe au moyen du ( contrôleur. Si un défaut apparaît, vous référer au Manuel Utilisateur du contrôleur ( D 200). 2/2 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M D Maintenance Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Sommaire détaillé Consignes de sécurité pour le démontage de la pompe de l’installation D 150 Fréquence de la maintenance F 02928 - Edition 03 - 03/2013 D 100 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/1 D 100 Consignes de sécurité pour le démontage de la pompe de l’installation Toute intervention de maintenance doit être effectuée par un opérateur de maintenance formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique, ...). Isoler le produit de ses différentes sources d’énergie (électricité, air comprimé, eau, gaz...) avant d’intervenir. Précautions habituelles avant d’intervenir sur le produit : avant d’exécuter une opération de maintenance, stopper la pompe en plaçant le commutateur du contrôleur sur «0», débrancher le câble secteur et attendre 5 minutes avant d’intervenir sur le produit. Si le câble secteur n’est pas débranché, certains composants seront toujours sous tension. Si l’état du contrôleur n’est pas visible par l’opérateur, alors débrancher le câble de la pompe. Risque de coupure : Ne pas déconnecter l’aspiration de la pompe avant l’arrêt complet de la rotation et sans l’avoir débrancher de l’alimentation électrique. Cela peut prendre plusieurs minutes avant l’arrêt complet de la rotation. FR 01739 - Edition 16 - Nov. 12 Après le pompage de gaz corrosifs ou toxiques, si le produit doit être retourné pour réparation, il faut obturer la pompe de manière étanche selon les instructions du constructeur ( E 100). Ne pas oublier de coller l’étiquette de manière visible sur le produit. Risque lié aux conditions de pompage de l’installation : Les gaz résiduels à l’intérieur de la pompe peuvent entraîner des blessures graves ou la mort. Avant la déconnexion de la pompe, effectuer un balayage de l’équipement avec un flux de gaz neutre durant 30 minutes. La pression et le débit du gaz neutre doivent être identiques aux valeurs programmées pour le process. Les alimentations en produits chimiques provenant de l’équipement ainsi que l’eau et l’azote doivent être condamnées et repérées. Durant la déconnexion de la pompe, l’opérateur peut être en contact, au niveau des orifices d’aspiration et refoulement, avec des résidus de process qui peuvent entraîner des blessures graves ou la mort. Appliquer les consignes de sécurité spécifiques conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès du service de sécurité. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/2 D 100 Consignes de sécurité pour le démontage de la pompe de l’installation Avertissements pour l’utilisateur Porter des gants, des lunettes de protection, un masque respiratoire, ou tout autre équipement de sécurité approprié, Bien aérer le local. Ne pas jeter les résidus au réseau usuel et si besoin, faire appel à un organisme compétent pour leur destruction. Mettre en place les obturateurs à l’aspiration et au refoulement de la pompe (livrés avec le produit) ou disponibles en accessoires (E100). Décontamination - recyclage des produits Conformément à la Directive 2002/96/CE concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques, et à la Directive 2011/65/CE relative à la restriction des matières dangereuses, les produits adixen en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation. Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, non rétrofités, utilisant des pièces détachées d’origine adixen Vacuum Products, vendues par Pfeiffer Vacuum et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles. Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la prestation de service qui sera facturée au client. Pour tout retour d’un produit vers un de nos centres de service, prendre connaissance de la procédure Service après-vente et remplir la déclaration de contamination disponible sur notre site internet. Maintenance du produit 2/2 Les opérations de maintenance doivent être effectuées par du personnel formé par le constructeur. Contacter le service clients du constructeur ou le service support à l’adresse suivante : support.service@adixen.fr adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M FR 01739 - Edition 16 - Nov. 12 Les faces externes du coffret/produit peuvent être nettoyées à l’aide d’un chiffon propre non pelucheux et d’un produit ne détériorant pas les surfaces sérigraphiées et les étiquettes autocollantes. Toute autre opération de nettoyage doit être réalisée dans nos centres de service. D 150 Fréquence de la maintenance Lorsque la pompe fonctionne, le rotor est suspendu magnétiquement. Il n’y a donc aucun frottement entre les pièces mobiles et les pièces fixes. Lorsque la pompe est arrêtée depuis la liaison série ou la télécommande, les roulements de secours ne sont pas utilisés. Le rotor est maintenu en sustentation par les paliers magnétiques. Seuls les roulements de secours nécessitent une maintenance : ils sont dimensionnés pour supporter plusieurs arrêts accidentels, c’est à dire plusieurs «atterrissages» à pleine vitesse du rotor sur les roulements. Ces arrêts accidentels ont un caractère exceptionnel : rupture du câble d’alimentation, tremblement de terre, électronique défaillante. Il est recommandé de vérifier le compteur des roulements de secours pour en prévoir la maintenance. Le compteur des roulements de secours Les roulements de secours sont conçus pour résister à des atterrissages anormaux à pleine vitesse. L’usure des roulements est gérée par l’électronique qui prend en compte la vitesse de rotation et la durée de l’atterrissage. Le pourcentage initial est de 100 %. Quand cette valeur est de 0 % une alarme se déclenche : la pompe ne peut pas redémarrer et les roulements de secours doivent être remplacés par un Centre de Service agréé. Messages de précaution pour la maintenance des pompes Le seuil d’alerte des roulements peut être réglé dans le menu ( C300 du Manuel Utilisateur des contrôleurs). Si la durée de vie des roulements est inférieure au seuil d’alerte, un message d’alerte est affiché. F 04628 - Edition 01 - Septembre 10 Roulements de secours Les messages d’alerte sont disponibles dans le Manuel Utilisateur des D200). contrôleurs ( Le contrôleur informe l’opérateur de la nécessité de la maintenance Manuel Utilisateur des contrôleurs). de ces roulements ( La durée de vie du rotor est d’au moins 5 ans dans des conditions de fonctionnement en milieu non pollué. Contacter le Service Client pour faire contrôler votre installation. Maintenance du produit Les opérations de maintenance complète doivent être réalisées par du personnel formé par le constructeur. Les seules opérations de maintenance autorisées par le client sont le remplacement du contrôleur, du filtre pare éclats ou des vannes sur la pompe. Contacter le service clients du constructeur ou le service support à l’adresse suivante : support.service@adixen.fr adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/1 E Fiches d’intervention Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Sommaire détaillé E 50 Remplacement de la bobine de la vanne d’eau - Démontage de la bobine - Remontage de la bobine E 100 Procédure d’expédition des pompes contaminées F 02929 - Edition 02 - 03/2013 - Raccordements - Procédure de décontamination grossière adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/1 E 50 Remplacement de la bobine de la vanne d’eau Démontage de la bobine Dévisser le raccord M5 du corps de la vanne et le retirer. Ôter le clip de rétention. Enlever la bobine. Remplacer la bobine par une nouvelle. Remontage de la bobine Remettre le clip de rétention. FR 04883 - Edition 01 - Jan 13 Placer le joint neuf sur le raccord M5. Encoller les premiers filets du raccord avec de la colle Loctite 542*. Visser le raccord M5 et le serrer légèrement avec une clé plate de 14 mm. * Marque déposée Loctite. adixen Vacuum Products - Operating Instructions - ATP 2300 M 1/1 E 100 Procédure d’expédition des pompes contaminées Prendre connaissance des consignes de sécurité avant d’intervenir sur la D 100. pompe WARNING FLAMMABLE, CORROSIVE AND TOXIC CHEMICALS LOCATED WHITHIN THE ENCLOSURE Explosure may result in severe injury or death. Preventive maintenance must be done by trained personnel only. L’utilisateur doit coller cette étiquette sur le produit pour informer de l’utilisation de gaz pompés qui peuvent être dangereux et toxiques et qui peuvent entraîner des blessures graves ou la mort. Elle précise que toute opération de maintenance préventive doit être réalisée par un personnel compétent. P Pour tout retour d’un d’ produit d i vers un de d nos centres de d service, i prendre d connaissance de la procédure Service après-vente et remplir la déclaration de contamination disponible sur notre site internet. Risque de coupure lors de l’intervention sur l’équipement. Le contact avec le rotor de la cellule de pompage provoque des coupures. Toujours utiliser des gants pour raccorder ou retirer la pompe de l’équipement. Les pompes qui doivent être expédiées seront d’abord grossièrement décontaminées puis pressurisées à l’Azote sec (voir procédure folio 2/3). Pour les pressuriser, l’utilisateur devra disposer des accessoires de raccordement suivant : Des kits de fermeture composés de joint d’étanchéité, vis et écrous de fixation, obturateur d’aspiration et anneaux de levage sont disponibles sur commande. Raccordements F 00756 - Edition 15- Novembre 12 A A l’aspiration *kit fermeture DN 200 ISO-F DN 250 ISO-F DN 320 ISO-F P/N 108496 108497 114503 Description DN 40 DN 50** Anneau de centrage avec joint 068194 087164 Collier de centrage DN 40 083267 087163 Obturateur 068197 087162 A * selon le modèle de pompe B Au refoulement DN 40 - ISO-KF B D C ** DN 50 ISO KF (si disponible au configurateur de commande) C *** Purge DN16 - ISO KF 1/4 VCR Anneau de centrage avec joint DN 16 068193 Joint 076705 Collier de serrage DN 16 083333 Raccord femelle 1/4 VCR 108500 *** Accessoires de raccordement standard disponibles au catalogue des produits. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/3 E 100 Procédure d’expédition des pompes contaminées Purge D (pressurisation) Note :Il existe des kits de pressurisation comportant les accessoires de raccordements pour l’aspiration, le refoulement, la purge ainsi que l’injecteur de gaz. Procédure de décontamination grossière Description Référence Obturateur DN 16 1/8 BSPT équipé d’un anti-retour avec un injecteur inclus A458805 Injecteur 106859 Description Référence Kit pour bride DN 200-ISO-F + Purge DN 16 108499 Kit pour bride DN 250-ISO-F + Purge 1/4 VCR 108498 La pompe est déconnectée de son installation et isolée électriquement. Installer la pompe sous une hotte aspirante. Elle y restera pendant toute la durée de l’opération. Mettre en place l’obturateur DN 16 muni de son anti-retour sur l’embout de purge. Réaliser un balayage à l’azote sec* à l’aide de l’injecteur à une pression de 110 à 150 kPa absolue pendant 30 minutes. 2 Balayage purge/aspiration 30’ N2 Mettre en place l’obturateur DN 40 sur l’embout de refoulement de la pompe. 10’ Réaliser un balayage à l’azote sec* pendant 10 minutes. Couper le flux d’azote. * Caractéristiques de l’Azote sec : 2/3 N2 B 330. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M F 00756 - Edition 15- Novembre 12 1 Balayage général E 100 Procédure d’expédition des pompes contaminées 3 Pressuriser la pompe Obturer l’aspiration de la pompe. Pressuriser la pompe à l’azote sec* à une pression de 110 kPa absolue à l’aide de l’injecteur. N2 B 330. F 00756 - Edition 15- Novembre 12 * Caractéristiques de l’Azote sec : adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 3/3 F Composants de maintenance Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Sommaire détaillé F 000 Consignes d’utilisation des pièces détachées - Remplacement de pièces et usage de pièces non d’origine Nécessaire de maintenance premier niveau F 02930 - Edition 03 - Septembre 07 F 100 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/1 F 000 Consignes d’utilisation des pièces détachées Remplacement de pièces et usage de pièces non d’origine Nos produits sont conçus pour répondre aux réglementations CE en vigueur et garantir un fonctionnement optimal dans des conditions de sécurité maximales pour l’utilisateur. Toute modification du produit de la part de l’utilisateur est susceptible d’entraîner une non conformité aux réglementations, voire de remettre en cause les performances du produit et la sécurité des utilisateurs. Le remplacement de composants défectueux par des pièces non d’origine, et l’usage de telles pièces remettent en cause les conditions initiales de sécurité. Dans ce cas, la déclaration de conformité CE devient caduque. Le constructeur dégage sa responsabilité des conséquences résultant d’une telle intervention. D’autre part, la contrefaçon de pièces de maintenance et la concurrence déloyale sont passibles de condamnation par la loi civile et pénale. Le constructeur invite les utilisateurs à ne pas faire usage de «copies» et à ne pas participer au détournement et «pillage» de la propriété intellectuelle auxquels se livrent certains opérateurs indélicats. F 01390 - Edition 04 - Mai 09 Le constructeur propose des composants de maintenance, pièces ou kits pour la maintenance de ses produits ( F). adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/1 F 100 Nécessaire de maintenance premier niveau Purge d’azote Réf. et vanne d’entrée d’air Filtre à poussières Bobine 24 VDC Remplacer régulièrement le filtre à poussières en cas d’utilisation en milieu pollué. 038066 Réf. Filtre à poussières 106229 Une gamme complète d’accessoires de raccordement est disponible dans le catalogue constructeur (colliers de serrage, anneaux de centrage, etc.). Bobine vanne d’eau Réf. 108667 F 03869 - Edition 03 - Nov 12 Bobine 24 VDC adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/1 G Annexes Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Sommaire détaillé Service après vente F 02932 - Edition 04 - 12/2012 G 200 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/1 G 200 Service après-vente Maintenance sur site pour de nombreux produits Révision / Réparation dans un centre de service proche de chez vous Remplacement rapide par des produits d’échange standard reconditionnés Conseils sur la solution la plus avantageuse et la plus rapide Informations détaillées, adresses et formulaires à l’adresse suivante : www.pfeiffer-vacuum.com (Service). Révision et réparation dans votre centre de service Pfeiffer Vacuum Les recommandations suivantes permettront de garantir un service rapide et de qualité : Remplissez le formulaire «Demande de service» et renvoyez le à votre contact Pfeiffer Vacuum local. A cet envoi, joignez la confirmation de prise en charge transmise par Pfeiffer Vacuum. Remplissez la déclaration de contamination et joignez-la obligatoirement à l’envoi du produit. La déclaration de contamination est valable pour tout produit comportant un élément exposé au vide. Démontez et gardez tous les accessoires. Obturez de manière étanche tous les orifices avec les obturateurs de protection d’origine ou des obturateurs métalliques pour les produits contaminés. Envoyez la pompe ou l’appareil dans son emballage d’origine si possible. Envoi de pompes ou appareils contaminés Les appareils contaminés avec des substances microbiologiques, explosives ou radioactives sont systématiquement refusés. Les «substances toxiques» sont les substances et composés chimiques cités dans la réglementation actuellement applicable, concernant les substances dangereuses. Neutralisez la pompe en réalisant un balayage de gaz avec de l’azote ou de l’air sec. Obturez toutes les ouvertures pour les rendre étanches à l’air. Conditionnez la pompe ou l’appareil sous une feuille de protection adaptée et scellée. Renvoyez la pompe / l’appareil uniquement dans un conteneur de transport approprié et robuste, en respectant les conditions de transport applicables. Tout produit retourné sans la déclaration de contamination dûment remplie et/ou non sécurisé dans son emballage par rapport à l’environnement extérieur sera décontaminé et/ou retourné à ses frais à l’expéditeur. Produits d’échange ou réparés Les produits d’échange standard ou réparés sont fournis selon configuration et paramétrage usine. Si votre application fonctionne avec un paramétrage spécifique, vous devrez de nouveau modifier le paramétrage du produit. Commandes de service après-vente Toutes les commandes de service après-vente sont exécutées exclusivement selon nos conditions de service en vigueur et disponibles sur notre site internet. FR 00956 - Edition 12 - Janvier 13 Pfeiffer Vacuum vous propose un service client haut de gamme ! adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M 1/1 Une large gamme de produits Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de produits. Un savoir faire théorique et pratique Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation ! Nous vous assistons pour concevoir vos installations, grâce à un service de proximité de première qualité dans le monde entier. Êtes-vous à la recherche d’une solution de vide dédiée à vos besoins ? Contactez-nous : Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters T +49 6441 802-0 Info@pfeiffer-vacuum.de adixen Vacuum Products France T +33 (0) 4 50 65 77 77 info@adixen.fr www.pfeiffer-vacuum.com *112419* Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service. Ed 06- Date: 06/13- Ref.:112419 Un seul fournisseur de solutions de vide ">
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