Pfeiffer A 100 L Dry Pump Mode d'emploi
Vous trouverez ci-dessous de brèves informations pour A 100 L, A 100 L ES. Ces pompes Roots multi-étagées compactes sont conçues pour des applications propres, telles que le pompage de sas ou de chambre de transfert. Le modèle A 100 L ES offre une option d'économie d'énergie, réduisant la consommation jusqu'à 50%. La pompe est facile à intégrer, ne nécessite pas de maintenance préventive et offre une haute fiabilité.
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MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Original A 100 L - A 100 L ES Pompe Roots multi-étagée compacte, pour applications propres Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/64 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Produits concernés 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Etiquettes 1.3.4 Abréviations 7 7 7 7 7 7 7 8 8 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.1.1 Consignes de sécurité 2.1.2 Précautions 2.2 Usage conforme à la destination 2.3 Utilisation non conforme prévisible 10 10 10 12 13 13 3 Transport et stockage 3.1 Réception du produit 3.2 Manutention 3.3 Stockage 14 14 14 15 4 Description du produit 4.1 Identification du produit 4.1.1 Contenu de la livraison 4.1.2 Fonction 4.2 Interface homme/machine 17 17 17 17 17 5 Installation 5.1 Mise en place 5.1.1 Empilage des pompes 5.1.2 Installation dans un environnement sismique 5.1.3 Raccordement du circuit d'eau 5.1.4 Raccordement du circuit d'azote 5.1.5 Raccordement à la ligne de pompage 5.2 Test d'étanchéité de l'installation 5.3 Télécommande via le connecteur 16 broches 5.4 Télécommande via le connecteur 19 broches 5.5 Raccordement électrique 5.5.1 Protection de l'installation électrique du client 5.5.2 Raccordement secteur 18 18 18 19 20 21 22 22 23 24 25 26 26 6 Utilisation 6.1 Précautions préalables à l'utilisation 6.2 Différents modes de commande 6.3 Spécificités liées au fonctionnement du modèle A 100 L ES 6.4 Utilisation en mode local 6.5 Utilisation en mode télécommande 6.6 Surveillance de fonctionnement 28 28 28 29 29 30 30 7 Maintenance 7.1 Consignes de sécurité pour la maintenance 7.2 Intervalles de maintenance 7.3 Entretien sur site 7.4 Procédure d'échange par un produit de remplacement 7.4.1 Déconnexion de la pompe de l'installation 32 32 33 33 33 34 3/64 Table des matières 7.4.2 Vidange du circuit d'eau 7.4.3 Conditionnement de la pompe pour expédition 4/64 34 35 8 Mise hors service 8.1 Immobilisation prolongée 8.2 Remise en service 8.3 Mise au rebut 36 36 36 36 9 Dysfonctionnements 9.1 Signalement des mauvais fonctionnements et défauts 9.2 La pompe ne démarre pas 9.3 La pompe fonctionne, un voyant est allumé 9.4 La pompe s'arrête de fonctionner 37 37 37 37 38 10 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 39 11 Accessoires 41 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités 12.2 Caractéristiques techniques 12.2.1Conditions environnementales 12.2.2Caractéristiques de l'eau de refroidissement 12.2.3Caractéristiques de l'azote 12.2.4Caractéristiques de l'air sec comprimé (CDA) 12.2.5Caractéristiques électriques 12.3 Dimensions 42 42 42 43 44 44 44 45 45 13 Annexes 13.1 Installation de la liaison série RS-232/RS-485 13.2 Connexions 13.3 Paramétrage du protocole de communication RS-232 13.4 Liste des commandes du protocole de communication RS-232 13.5 Paramétrage du protocole de communication RS-485 13.6 Liste des commandes du protocole de communication RS-485 50 50 50 52 53 55 56 Marquage ETL 59 Certificat SEMI 60 Déclaration de Conformité UK 61 Déclaration d'incorporation de quasi-machines 62 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Conditions environnementales Caractéristiques de l'eau de refroidissement Caractéristiques de l'azote Caractéristiques de l'air sec comprimé (CDA) Protection électrique réseau Calibre disjoncteur réseau et section des câbles Répartition des charges par pied : cas d'une seule pompe Répartition des charges par pied : 2 pompes empilées Répartition des charges sur les équerres parasismiques 43 43 43 44 44 44 45 45 46 47 49 5/64 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: 6/64 Localisation des étiquettes de sécurité Mise en place de la sangle de levage Mise en place de la poignée amovible Interface homme/machine Position de fonctionnement Empilage de deux pompes Câblage connecteur télécommande 16 broches Câblage connecteur télécommande 19 broches Câblage connecteur électrique Dimensions de la pompe Dimensions de la pompe équipée d'équerres parasismiques 9 14 15 17 18 19 23 24 26 45 48 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.1.1 1.1.2 Documents applicables Document Référence Manuel de l'utilisateur de la liaison série fournie avec ce manuel Conformité UL/CSA (Marque ETL) fournie avec ce manuel Certificat de conformité SEMI fournie avec ce manuel Déclaration d'incorporation de quasi-machines fournie avec ce manuel Déclaration de Conformité UK fournie avec ce manuel Produits concernés Ce document s'applique aux produits ayant les références suivantes : 1.2 Référence Description A100L3XXXX et A100L4XXXX Modèle pour pompage de sas ou chambre de transfert A100L5XXXX Modèle pour pompage de sas ou chambre de transfert (modèle A 100 L ES) Groupe cible Ce manuel de l‘utilisateur est destiné à toutes les personnes en charge du transport, de l'installation, de la mise en service/hors service, de l'utilisation, de la maintenance ou du stockage du produit. Les travaux décrits dans ce document doivent être effectués uniquement par des personnes ayant une formation technique appropriée (personnel spécialisé) ou ayant reçu une formation de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 7/64 A propos de ce manuel 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. Remarque Conseil 1.3.3 Etiquettes ON/OFF Marche/Arrêt INLET Aspiration de la pompe PUMP EXHAUST Refoulement de la pompe MAIN POWER Alimentation secteur SPI Raccordement télécommande (SPI Smart Pump Interface) WATER IN Raccordement du circuit d'eau : entrée PRESSURE MAX 101 PSI (7 bars) Pression maximum du circuit d'eau WATER OUT Raccordement du circuit d'eau : sortie Loc/Rem Interrupteur du mode de commande (local ou télécommande) N2 IN Raccordement du circuit d'azote ou d'air sec comprimé (A 100 L ES) Raccordement de la terre de protection 1 Cette étiquette informe l’utilisateur des risques d’écrasement ou de coupure liés aux pièces en mouvement : éviter de s’approcher et/ou de mettre les mains à proximité des pièces en mouvement. 2 Cette étiquette indique que certains des composants internes sont sous tension et peuvent entraîner un choc électrique en cas de contact : débrancher la pompe avant toute intervention ou verrouiller/déverrouiller correctement le disjoncteur de l’équipement avant intervention sur la pompe. 3 Cette étiquette met l'utilisateur en garde contre le risque de blessure en cas de contact de la main avec une surface chaude : s'équiper de gants de protection avant toute intervention. 4 Cette étiquette indique que le produit ne doit pas être manipulé à la main du fait de son poids : toujours utiliser des appareils de manutention appropriés. 5 SEISMIC TIE DOWN Cette étiquette localise les trous de fixation des équerres parasismiques. A 329 962 - 5 6 PUMP RUNNING TEMP WARNING PUMP ALARM TURN OFF POWER SWITCH TO RESET ALARM/HAZARD 8/64 Cette étiquette indique l'état de fonctionnement de la pompe via les voyants . A propos de ce manuel 7 Cette étiquette indique que l'alimentation électrique doit être coupée avant de connecter et/ou déconnecter la pompe. The main power supply must be switched off before connecting and/or disconnecting the pump. 8 9 Cette étiquette indique que le produit a été certifié en conformité avec le contrôle de qualité à la sortie de l'usine. THREE PHASES FOUR WIRES 200-230 V Δ Full-Load current 12 Amp. Cette étiquette indique le courant à pleine charge en sortie de moteur en fonction de la tension secteur (valeur à titre d'exemple). 50/60 Hz 10 Plaque signalétique du produit (exemple) 98 avenue de Brogny F-74000 ANNECY 200-230V 100 kg A100L31424 XYZXYSYSS 50/60 Hz 4 - 2016 A100L A100L31424 7 1 2 6 3 4 3 5 5 5 Fig. 1: 1 2 3 4 1.3.4 Localisation des étiquettes de sécurité Présence de pièces en mouvement Risque de choc électrique Surface chaude Objet lourd 5 6 7 Point d'ancrage des équerres parasismiques Etat de fonctionnement de la pompe Sécurité électrique Abréviations CDA Exh. IN Air sec comprimé (Compressed Dry Air) Refoulement (Exhaust) Aspiration (Inlet flange) 9/64 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.1.1 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. AVERTISSEMENT Risque d’écrasement lors de l’élingage du produit Compte tenu du poids du produit, il existe un risque d’écrasement lors de la manutention du produit avec des appareils de levage. Le constructeur dégage toute responsabilité en cas de non-respect des consignes suivantes : ► Seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut manutentionner le produit. ► Utiliser obligatoirement les dispositifs de levage fournis et respecter les procédures décrites dans ce document. DANGER Risque d'écrasement par la rupture des éléments de levage Les équerres ne sont pas dimensionnées pour soulever deux pompes empilées, elles pourraient céder ou être arrrachées par le poids des deux pompes. ► Ne jamais soulever deux pompes empilées par les équerres de levage. 10/64 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs. ► Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité électrique, CEM peut réaliser l'installation électrique. ► Ne procéder à aucune transformation ou modification arbitraire du produit. ► Vérifier que le produit est correctement relié au circuit d'arrêt d'urgence de l'équipement (ou installation de pompage). AVERTISSEMENT Risque d'électrocution par contact lors de l'entretien ou la maintenance Il y a un risque de choc électrique par contact avec un produit sous tension et non isolé électriquement. ► Avant toute intervention, placer l’interrupteur principal sur O. ► Débrancher le câble secteur du réseau électrique. ► Sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit de puissance pour éviter tout ré-enclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation). AVERTISSEMENT Risque de blessure au contact de l'eau sous pression Le produit utilise de l’eau sous pression comme fluide de refroidissement. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur. ► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller l’alimentation en eau. ► Respecter la pression et différence de pressions recommandées. ► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’eau avant d’intervenir sur le produit. ► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit d’eau sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation). ► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation. AVERTISSEMENT Risque de blessure au contact de l’azote sous pression Le produit utilise de l’azote sous pression comme gaz de balayage. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur. ► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller l’alimentation en azote. ► Respecter la pression d’alimentation recommandée. ► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’azote avant d’intervenir sur le produit. ► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit d’azote sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation). ► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation. 11/64 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un risque d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère. ► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès du service sécurité de l’exploitant. ► Raccorder impérativement le refoulement de la pompe au système d'échappement des gaz dangereux de l'installation. ► Vérifier régulièrement l’absence de fuites au niveau du raccordement de la pompe avec la canalisation d’échappement. AVERTISSEMENT Risque de brûlure par contact avec des surfaces chaudes La température des pièces reste élevée même après l’arrêt de la pompe. Il y a risque de brûlure par contact avec les surfaces chaudes, en particulier au niveau du refoulement de la pompe. ► Attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur le produit. ► Porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420. AVERTISSEMENT Risque d'écrasement et/ou de coupure au contact de pièces en mouvement La bride d’aspiration est suffisamment grande pour permettre l’introduction d'une partie du corps (un doigt, une main) : il y a risque d’écrasement par contact avec les pièces en mouvement. Les orifices d'aspiration et de refoulement sont toujours fermés à l’aide d’obturateurs. ► Attendre le raccordement à la ligne de pompage pour retirer les obturateurs. ► Attendre que la pompe soit raccordée pour mettre sous tension. 2.1.2 Précautions Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique) peut procéder à l’installation et à la maintenance décrites dans ce manuel. Nos centres de service peuvent dispenser les formations nécessaires. Les risques potentiels sur un système de pompage sec destiné au pompage de sas concernent l'électricité, les surfaces chaudes, les circuits d'azote et d'eau sous pression. ► Ne pas exposer une partie du corps humain au vide. ► Respecter toutes les prescriptions en matière de sécurité et de prévention des risques conformément aux normes de sécurités locales. ► Vérifier régulièrement que toutes les mesures de précautions sont respectées. ► Ne pas retirer les obturateurs des orifices d’aspiration et de refoulement tant que le produit n’est pas raccordé à la ligne de pompage. ► Ne pas mettre sous tension un produit dont l’aspiration et le refoulement ne sont pas raccordés à la ligne de pompage. 12/64 Sécurité ► Ne pas metttre sous tension le produit en l'absence des capots. ► Ne jamais déplacer le produit lorsqu'il est en fonctionnement. 2.2 Usage conforme à la destination ● La pompe à vide est utilisée uniquement pour générer du vide en pompant des gaz. ● La pompe à vide peut fonctionner dans un environnement industriel. ● La pompe doit fonctionner sur des applications propres, non corrosives essentiellement pour le pompage de sas, ou le prévidage de pompe turbomoléculaire. 2.3 Utilisation non conforme prévisible Toute utilisation non conforme du produit entraîne l'annulation de la garantie et des droits de réclamations. Toute utilisation, même involontaire, qui diffère de celles précitées est considérée comme non conforme, en particulier : ● ● ● ● ● ● ● ● ● Le pompage de liquides Le pompage de poussières Le pompage de gaz hors argon, hélium, azote et air Le pompage de fluides corrosifs ou explosifs Le pompage de fluides réactifs Le pompage de vapeurs condensables L’utilisation de la pompe à vide pour générer de la pression L’utilisation dans des zones à risque d'explosion L'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce manuel Le produit n’est pas conçu pour le transport de personnes, de charges, et ne fait pas office de siège, d’escabeau ou de tout autre utilisation similaire. 13/64 Transport et stockage 3 Transport et stockage 3.1 Réception du produit Etat de la livraison ● S'assurer que le produit n'a subi aucun dommage pendant le transport. ● Si le produit est endommagé, aviser le transporteur et informer le constructeur. ► Maintenir le produit dans son emballage d’origine pour préserver la propreté que nous lui avons apportée : le déballer uniquement sur son lieu d’utilisation finale. ► Conserver les obturateurs présents sur les orifices d’aspiration, de refoulement et de purge jusqu'à ce que le produit soit raccordé à la ligne de pompage. Conserver l’emballage (matériau recyclable) dans le cas où le produit doit être transporté ou stocké. 3.2 Manutention AVERTISSEMENT Risque d’écrasement lors de l’élingage du produit Compte tenu du poids du produit, il existe un risque d’écrasement lors de la manutention du produit avec des appareils de levage. Le constructeur dégage toute responsabilité en cas de non-respect des consignes suivantes : ► Seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut manutentionner le produit. ► Utiliser obligatoirement les dispositifs de levage fournis et respecter les procédures décrites dans ce document. AVERTISSEMENT Risque d’écrasement lié au basculement du produit Bien que la conformité aux règles de sécurité de l'UE soit assurée, il y a risque de basculement lors des déplacements au sol ou lorsque le produit n’est pas correctement fixé. ► Ne pas positionner le produit sur un plan incliné : du fait de son poids, il entraîne l’opérateur. ► Utiliser les roulettes uniquement pour le déplacer sur de courtes distances. ► Le positionner sur un sol plat et dur. ► Ne pas le pousser latéralement. ► Pour l’utiliser, positionner le produit sur ses pieds pour qu'il ne repose plus sur les roulettes. 1 2c 3 2b 3 2 2a Fig. 2: Mise en place de la sangle de levage 1 Sangle 2 Equerre (Qté 3) 14/64 3 Mousqueton (Qté 3) Transport et stockage Manutention avec un palan Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la masse du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle . 1. Sortir la pompe de son emballage 2. Utiliser une sangle à 3 brins ayant les caractéristiques suivantes : – longueur de chaque brin : 1 m – charge par brin : – équerre (2a) : 261 N – équerre (2b) : 236 N – équerre (2c) : 570 N 3. Utiliser les mousquetons fixés aux équerres de levage. 4. Vérifier la position des mousquetons dans les équerres. 5. Hisser la pompe avec une sangle à 3 brins. 6. Remonter les pieds du châssis et poser la pompe sur les roulettes pour la déplacer sur de courtes distances. 1 2 3 1 Fig. 3: Mise en place de la poignée amovible 1 Poignée 2 Verrou 3 Support poignée Déplacement de la pompe avec la poignée La pompe est équipée d'une poignée amovible rangée sous le produit. 1. Vérifier que les pieds d'immobilisation ne sont pas en contact avec le sol avant de déplacer la pompe. 2. Tirer la poignée le long du rail pour la retirer. 3. Déverrouiller le verrou. 4. Installer la poignée dans son support. 5. Vérifier que la poignée est correctement verrouillée avant de déplacer la pompe. 6. Ranger la poignée sous le produit lorsque la pompe est en place. 3.3 Stockage AVIS Détérioration des pièces internes en présence d’humidité Il y a risque de corrosion des pièces internes par entrée d’humidité dans la pompe. Celle-ci est livrée pressurisée à l’azote et fermée de façon étanche à l’aide d’obturateurs. ► Laisser impérativement en place les obturateurs à l’aspiration et au refoulement tant que la pompe n’est pas installée. ► Ne retirer ces obturateurs qu’au moment où la pompe est raccordée à la ligne de pompage. Pfeiffer Vacuum recommande de stocker les produits dans leur emballage de transport d'origine. 15/64 Transport et stockage Stockage d'une pompe neuve ► Laisser en place l'enveloppe de protection. ► Laisser obligatoirement en place les obturateurs à l'aspiration et refoulement car la pompe est pressurisée sous azote. ► Stocker la pompe pour une durée maximale de 1 an, selon les températures de stockage autorisées (voir chapitre « Caractéristiques environnementales »). Si les obturateurs d’aspiration et de refoulement ont été retirés, il y a risque de corrosion des pièces internes. Dans ce cas : 1. Pressuriser la pompe avec de l’azote, selon la procédure suivante. 2. Stocker la pompe pour une durée maximale de 1 an, dans un environnement propre et sec, à température ambiante (voir chapitre « Caractéristiques environnementales »). Au-delà de 1 an de stockage d’une pompe neuve, contacter notre centre de service avant de démarrer la pompe. Pressurisation en azote Pour pressuriser la pompe, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en azote ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'azote ») et des obturateurs livrés avec le produit ou disponibles en accessoires. 1. Obturer l’aspiration avec les accessoires étanches à l'air. 2. Raccorder l’azote sur le raccord gaz prévu à cet effet sur l’obturateur d’aspiration. 3. Pressuriser la pompe en azote à une pression relative de 200 hPa. 4. Lorsque l’azote s’échappe par le refoulement, fermer de manière étanche le refoulement au moyen des accessoires fournis. 5. Déconnecter l'alimentation d'azote du raccord. Ne jamais stocker une pompe qui a été utilisée ! La retourner au centre de service (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 39). 16/64 Description du produit 4 Description du produit 4.1 Identification du produit Pour identifier le produit de manière sûre et pour communiquer avec notre centre de service, se référer aux informations figurant sur la plaque signalétique du produit (voir chapitre « Etiquettes »). 4.1.1 Contenu de la livraison ● ● ● ● ● ● ● 4.1.2 1 pompe à vide 2 connecteurs d'eau 1 câble secteur équipé d'un connecteur électrique femelle 1 bride de fixation de la prise secteur 3 vis CHcM8x16 et 3 rondelles 1 guide de sécurité et d'utilisation des mousquetons de levage 1 manuel de l'utilisateur Fonction Le constructeur a développé une pompe dédiée aux applications propres, non corrosives telles que le pompage de sas ou de chambre de transfert pour l’industrie du semiconducteur ou du photovoltaïque, le prévidage de pompe turbomoléculaire. La pompe sèche multi-étagée A100 L est un modèle compact, qui s’intègre aisément dans les équipements, ne nécessite aucune maintenance préventive et présente une haute fiabilité. Le modèle A100 L ES est équipé de l’option ’Energy Saving’ qui permet de réduire de 50% la consommation d’énergie. Cette option ’Energy Saving’ est automatiquement activée lorsque les conditions de pompage sont requises. 4.2 Interface homme/machine 5 8 6 9 4 3 10 2 11 1 7 14 Fig. 4: 1 2 3 4 5 6 7 13 12 Interface homme/machine Voyants de fonctionnement Compteur horaire Interrupteur mode de fonctionnement Loc-Rem Disjoncteur ON/OFF Support poignée Equerre de levage Poignée amovible 8 9 10 11 12 13 14 Connecteur télécommande Alimentation secteur Entrée circuit azote Entrée/sortie d'eau Aspiration Refoulement Connecteur Liaison série RS-232/RS-485 La pompe intègre un système de surveillance électronique assurant l'automatisme de fonctionnement et la gestion des sécurités : alerte et alarme température. Il permet : ● l'affichage du fonctionnement de la pompe grâce aux voyants lumineux, ● l'affichage du temps de fonctionnement de la pompe sur le compteur horaire, ● l'interfaçage de la pompe avec l'équipement via un connecteur de télécommande ou la liaison série RS-232/RS-485. 17/64 Installation 5 Installation 5.1 Mise en place IN Exh. IN Exh. 1 Fig. 5: 1 1 Position de fonctionnement 1 Trous pour fixation de la pompe dans un châssis IN Aspiration Exh. Refoulement de la pompe Le produit doit fonctionner en position horizontale en appui sur ses pieds. 1. Déterminer l'emplacement de la pompe. 2. Manutentionner la pompe avec les moyens de levage recommandés (palan et mousquetons) (voir chapitre « Manutention »). 3. Positionner la pompe et régler la hauteur des 4 pieds. 4. Utiliser un niveau pour vérifier que la pompe est positionnée dans un plan horizontal. La pompe peut être fixée dans le châssis de l'équipement sur lequel elle est installée au moyen des trous taraudés prévus à cet effet. ► Visser au minimum 4 vis M 10x25 classe 8-8 (fourniture client) dans les trous du châssis. – couple de serrage : 40 N·m. ATTENTION Risque de chute due aux câbles ou canalisations mal fixés L’espace autour de la pompe doit être dégagé afin de ne pas encombrer le passage au risque de provoquer des chutes. ► Fixer les câbles électriques et les canalisations de pompage : les acheminer dans des goulottes. 5.1.1 Empilage des pompes DANGER Risque d'écrasement par la rupture des éléments de levage Les équerres ne sont pas dimensionnées pour soulever deux pompes empilées, elles pourraient céder ou être arrrachées par le poids des deux pompes. ► Ne jamais soulever deux pompes empilées par les équerres de levage. 18/64 Installation 2 A 4 3 2 B A IN A 1 B IN B 5 Fig. 6: 1 2 3 4 Empilage de deux pompes Pied d'immobilisation (pompe A) Equerre supérieure (pompe B) Vis Equerre inférieure (pompe A) 5 A B Pied d'immobilisation (pompe B) Pompe supérieure Pompe inférieure Procédure pour empiler deux pompes Le produit est équipé d'équerres qui permettent l'empilage de deux pompes. 1. Vérifier que les équerres sont correctement vissées. – 3 équerres de levage sur le capot supérieur de la pompe A et de la pompe B – 3 équerres sous le châssis de la pompe A 2. Ajuster les pieds d'immobilisation de la pompe inférieure B : – ils doivent être en contact avec le sol ; en aucun cas, les roulettes ne sont en contact avec le sol. 3. Utiliser un niveau pour vérifier que la pompe est positionnée dans un plan horizontal. 4. Ajuster les pieds d'immobilisation de la pompe supérieure A : – les roulettes ne doivent pas être en contact avec le sol. 5. Hisser la pompe A avec un dispositif de levage (voir chapitre « Manutention »). 6. Positionner la pompe A sur le capot de la pompe B : – les pieds doivent être positionnés dans les empreintes prévues sur le capot de la pompe B. 7. Verrouiller les pieds d'immobilisation de la pompe A : – ils doivent être correctement verrouillés. 8. Utiliser un niveau pour vérifier que la pompe est positionnée dans un plan horizontal. 9. Assembler les pompes à l'aide des équerres. 10. Visser les 3 vis CHc M8x16 et les rondelles pour sécuriser l'empilage. – Couple de serrage : 22 N·m 5.1.2 Installation dans un environnement sismique Pour installer la pompe dans un environnement sismique, il est nécessaire de la fixer au sol à l'aide d'équerres parasismiques (voir chapitre « Accessoires »). Le client doit fournir les vis pour la fixation au sol en fonction de la répartition des charges sur les pieds et de la nature du sol . Lorsque deux pompes sont empilées, seule la pompe inférieure est fixée au sol avec des équerres parasismiques. 19/64 Installation D TIE MIC S I E N OW S 1 2 1 Emplacement des vis de fixation (fournies) 2 Emplacement des accessoires de fixation (fourniture client) Installation des équerres La pompe doit être placée dans son emplacement d'utilisation. 1. Installer les 4 équerres en face des trous prévus à cet effet, repérés par une étiquette "Seismic tie down". 2. Utiliser un niveau pour vérifier que la pompe est positionnée dans un plan horizontal. 3. Positionner les équerres et les fixer avec les vis de fixation fournies : – couple de serrage 40 N·m. 4. Fixer les équerres de fixation au sol. 5.1.3 Raccordement du circuit d'eau AVERTISSEMENT Risque de blessure au contact de l'eau sous pression Le produit utilise de l’eau sous pression comme fluide de refroidissement. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur. ► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller l’alimentation en eau. ► Respecter la pression et différence de pressions recommandées. ► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’eau avant d’intervenir sur le produit. ► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit d’eau sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation). ► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation. AVIS Dégradation du circuit de refroidissement en cas d’utilisation d’un réseau urbain non réglementaire L'utilisation d'un réseau d'eau urbain non réglementaire peut provoquer le colmatage du circuit de refroidissement par des dépôts calcaires. En conséquence le circuit de refroidissement devra être démonté pour nettoyage et maintenance. D'autre part, la présence de micro-organismes (algues), ou substances biologiques (bactéries) dans le réseau d'eau peut générer des problèmes dans le circuit de refroidissement. ► Raccorder le circuit de refroidissement à un réseau d’eau réglementaire. ► Appliquer les traitements nécessaires pour éviter la croissance de micro-organismes. Continuité du refroidissement pour le procédé Si l’arrêt du circuit d’eau génère un risque important pour le procédé, il est conseillé de commander le refroidissement de la pompe par un système externe capable de prendre le relais en cas de défaillance du circuit d’eau. Pour limiter la corrosion et l’encrassement du circuit d’eau, il est recommandé de disposer d’une alimentation en eau douce traitée ou en eau industrielle non agressive ayant les caractéristiques requi- 20/64 Installation ses. Si les caractéristiques de pollution solides ne sont pas respectées, installer un filtre sur l’arrivée d’eau. WATER IN WATER OUT Raccordement du circuit d'eau Les connecteurs d'eau choisis lors de la commande sont conditionnés séparément. 1. Raccorder les canalisations d'eau sur les connecteurs : – Entrée d'eau = connecteur femelle – Sortie d'eau = connecteur mâle 2. Raccorder les canalisations sur les connecteurs WATER IN et WATER OUT de la pompe. 3. Vérifier qu'il n'y ait aucune fuite au niveau des canalisations et connexions du circuit d'eau. Raccordement du circuit d'azote Remplacement de l'azote par de l'air sec comprimé (CDA) Dans le cas où les gaz pompés sont inertes, l'utilisateur a la possibilité d'utiliser de l'air sec comprimé en remplacement de l'azote. Il est nécessaire de disposer d'une alimentation en air sec comprimé et filtré, ayant les caractéristiques requises (voir chapitre "Caractéristiques de l'air sec comprimé"). AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas de contact avec un gaz neutre sous pression Le produit utilise un gaz neutre (azote par exemple) sous pression pour l'option « Energy Saving ». Les installations non conformes ou non réalisées selon les normes professionnelles peuvent mettre en danger la vie de l'utilisateur. ► Installer une vanne manuelle sur le circuit à une distance de 3 m du produit, afin de verrouiller l'alimentation en gaz neutre. ► Respecter la pression d'alimentation recommandée. ► Toujours verrouiller et déconnecter le circuit de gaz neutre avant d'intervenir sur le produit. ► Vérifier régulièrement l'état des canalisations et des raccordements du circuit d'alimentation. AVIS Risque de détérioration de la pompe en cas de surpression du gaz Un afflux soudain d’azote dans le circuit peut endommager les pièces internes de la pompe. ► Si votre installation est équipé d'un régulateur de pression, il est préférable de l'utiliser avant de mettre le circuit sous pression. 1/8 NPT 1/8 NPT 4 mm 6 mm 5.1.4 N2 IN Raccordement du circuit d'azote Pour garantir les meilleures performances, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en azote sec et filtré, ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'azote »). 21/64 Installation Le connecteur d'azote conditionné séparément est prévu pour raccordement sur tube de 6 mm diam. extérieur/ 4 mm intérieur (fourni par le client). 1. Raccorder la canalisation d'azote sur le connecteur fourni. 2. Raccorder ensuite sur le connecteur N2 IN de la pompe. 5.1.5 Raccordement à la ligne de pompage L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit a l’entière responsabilité de l’installation et doit appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. AVERTISSEMENT Risque d'écrasement et/ou de coupure au contact de pièces en mouvement La bride d’aspiration est suffisamment grande pour permettre l’introduction d'une partie du corps (un doigt, une main) : il y a risque d’écrasement par contact avec les pièces en mouvement. Les orifices d'aspiration et de refoulement sont toujours fermés à l’aide d’obturateurs. ► Attendre le raccordement à la ligne de pompage pour retirer les obturateurs. ► Attendre que la pompe soit raccordée pour mettre sous tension. Consignes générales pour une installation dans la ligne de pompage selon les règles de l'art Les raccordements à l'aspiration et au refoulement de la pompe ne doivent pas engendrer de contraintes pouvant provoquer des fuites sur la ligne de pompage. 1. Utiliser dans la ligne de pompage, à l’aspiration comme au refoulement, des accessoires dont les matériaux et l’étanchéité sont compatibles avec les gaz pompés. Consulter le catalogue des accessoires de raccordement sur le site pfeiffer-vacuum 2. Prévoir, lors du montage du circuit du vide, des accessoires pour isoler la pompe dans la ligne de pompage et faciliter la maintenance (vannes d’isolement à l’aspiration et au refoulement, purge, …). 3. Les joints toriques situés sous les obturateurs ne sont pas compatibles avec l'ensemble des applications. L'utilisateur ou l'intégrateur du produit a la responsabilité d'installer un joint compatible avec l'application. 4. Retirer les protections qui obturent les orifices d’aspiration et de refoulement. 5. Garder les obturateurs, vis, rondelles pour les réutiliser lors du transport de la pompe. 6. Veiller à ne pas faire tomber de vis, rondelles ou autres objets dans l’aspiration de la pompe. 7. Installer des canalisations flexibles dans la ligne de pompage pour limiter la transmission de vibrations. 8. Réaliser un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage après installation de la pompe. Raccordement côté aspiration ► Pour une vitesse de pompage optimum, prévoir une ligne de pompage la plus courte et la plus droite possible avec un diamètre interne qui n'est pas inférieur à la bride d'aspiration de la pompe. Veiller à ce que les pièces ou enceintes raccordées à l’aspiration de nos produits supportent une dépression de 1·10-3 hPa absolue. Raccordement côté refoulement ► Toujours raccorder le refoulement de la pompe à un système d'extraction et de traitement des gaz. S'assurer que tous les composants de la ligne de refoulement peuvent supporter une surpression supérieure à la pression maximale qui peut être générée par la pompe. 5.2 Test d'étanchéité de l'installation L'étanchéité du produit est assurée en sortie d'usine pour les conditions normales d'utilisation. L'exploitant doit préserver ce niveau d'étanchéité particulièrement lors du pompage de gaz dangereux. Pour davantage d'information concernant les tests d'étanchéité, contacter notre centre de service. 22/64 Installation 1. Réaliser un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage après installation de la pompe. 2. Vérifier régulièrement l'absence de traces de gaz pompés dans l'environnement ainsi que toute trace d'entrée d'air dans la ligne de pompage pendant le fonctionnement. Télécommande via le connecteur 16 broches AVIS Sécurité des circuits très basse tension Les circuits de télécommande sont équipés de sorties à contact sec (50 V - 1 A max.). Toute surtension ou surintensité peut entraîner des dommages électriques internes. L'utilisateur doit respecter les conditions de câblages suivantes : ► Relier ces sorties conformément aux règles et protection des réseaux très basse tension de sécurité (TBTS). ► Alimenter ces contacts avec une tension inférieure à 50 V et un courant inférieur à 1 A. 11 + 4 5 - + 6 - 7 8 + - 9 + 10 11 12 13 14 - + - + - S1 15 3 + Fig. 7: 15 16 - +0 VDC +0 VDC 7 2 0/24 VDC - 3 A2 0-10 VDC 1 1 Câblage connecteur télécommande 16 broches Description Le raccordement réalisé via le connecteur télécommande permet : ● la commande à distance des fonctions démarrage, arrêt et ajustement de la vitesse de rotation. ● la recopie de l'état de la pompe sous forme de contacts secs. Câblage des entrées Contact Fonction Entrée logique Le câblage est de la responsabilité du client. S1 (1-2) Marche/Arrêt de la pompe ● pour une mise en marche de la pompe : tension appliquée 24 VDC ● pour l'arrêt de la pompe : tension appliquée 0 VDC Entrée analogique 5.3 A2 (15-16) Consigne de fréquence de rotation Cette fonction est possible si le mode 'Rem' est configuré (voir chapitre « Utilisation en mode télécommande », page 30) . Consigne de fréquence de rotation (entrée 0/10 VDC). ● pour la fréquence maximum : tension appliquée 0 VDC ● pour la fréquence minimum : tension appliquée 10 VDC Câblage des sorties logiques Il s'agit de contacts normalement ouverts (NO) : ces contacts s'ouvrent en présence d'un défaut. Contact Fonction 3-4 Etat de la pompe 7-8 Présence d'une alerte 9-10 Présence d'une alarme 11-12 Réservé 13-14 Autorisation de pilotage d'une vanne d'isolement de l'équipement 23/64 Installation 5.4 Etat de la pompe 3-4 7-8 9-10 11-12 13-14 Pompe en fonctionnement fermé fermé fermé fermé fermé Pompe arrêtée ouvert fermé fermé fermé ouvert Pompe en fonctionnement + une alerte fermé ouvert fermé fermé fermé Pompe arrêtée + une alarme ouvert fermé ouvert fermé ouvert Télécommande via le connecteur 19 broches AVIS Sécurité des circuits très basse tension Les circuits de télécommande sont équipés de sorties à contact sec (50 V - 1 A max.). Toute surtension ou surintensité peut entraîner des dommages électriques internes. L'utilisateur doit respecter les conditions de câblages suivantes : ► Relier ces sorties conformément aux règles et protection des réseaux très basse tension de sécurité (TBTS). ► Alimenter ces contacts avec une tension inférieure à 50 V et un courant inférieur à 1 A. +15 VDC G H J K L M N P - + - + - + - + - R S T U - + - V (25mA) F + +0 VDC E - E T J D + +15 VDC D S K C + A2 0-10 VDC C R V U 15-24 VDC B NP L +0 VDC A M B S1 A - F H G Fig. 8: Câblage connecteur télécommande 19 broches Description Le raccordement réalisé via le connecteur télecommande permet : ● la commande à distance des fonctions démarrage, arrêt et ajustement de la vitesse de rotation. ● la recopie de l'état de la pompe sous forme de contacts secs. Câblage des entrées Contact Fonction Entrée logique S1 (A-B) Marche/Arrêt de la pompe Lorsqu'une tension entre 15 et 24 VDC est appliquée, la pompe est en marche. Si aucune tension n'est appliquée (0 VDC), la pompe s'arrête. Entrée analogique Le câblage est de la responsabilité du client. A2 (R-S) Consigne de fréquence de rotation Consigne de fréquence de rotation (entrée 0/10 VDC). ● pour la fréquence maximum : tension appliquée 0 VDC ● pour la fréquence minimum : tension appliquée 10 VDC Cette fonction est possible si le mode 'Rem' est configuré (voir chapitre « Utilisation en mode télécommande », page 30). Câblage des sorties logiques Il s'agit de contacts normalement ouverts (NO) : ces contacts s'ouvrent en présence d'un défaut. 24/64 Contact Fonction C-D Etat de la pompe E-F Présence d'une alerte Installation 5.5 Contact Fonction G-H Présence d'une alerte J-K Présence d'une alarme pompe L-M Réservé N-P Autorisation de pilotage d'une vanne d'isolement de l'équipement T-U Défaillance pompe Etat de la pompe C-D E-F G-H J-K L-M N-P T-U Pompe en fonctionnement fermé fermé fermé fermé fermé fermé fermé Pompe arrêtée ouvert fermé fermé fermé fermé ouvert fermé Pompe en fonctionnement + une alerte fermé ouvert ouvert fermé fermé fermé fermé Pompe arrêtée + une alarme ouvert fermé fermé ouvert fermé ouvert ouvert Raccordement électrique AVERTISSEMENT Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs. ► Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité électrique, CEM peut réaliser l'installation électrique. ► Ne procéder à aucune transformation ou modification arbitraire du produit. ► Vérifier que le produit est correctement relié au circuit d'arrêt d'urgence de l'équipement (ou installation de pompage). AVIS Risque de perturbation électromagnétique Tensions et courants induisent une multitude de champs électromagnétiques et des signaux parasites. Une installation non conforme aux règles CEM perturbe les autres équipements ou plus généralement l’environnement. ► Utiliser des liaisons et raccordements blindés pour les interfaces dans les environnements perturbateurs. Sécurité électrique La pompe est équipée d'un disjoncteur 2 positions ON/OFF qui isole la pompe du circuit de puissance lorsqu'il est en position OFF. Le moteur de la pompe est équipé d'une protection thermique : lorsque la température interne du moteur dépasse la valeur limite préréglée, le moteur s'arrête. L'alimentation de la surveillance électronique est protégée par une protection thermique. Lorsque ces sécurités sont déclenchées, l'alimentation est coupée et la pompe est en position de sécurité. Procédure pour redémarrer la pompe 1. couper l'alimentation générale (disjoncteur en position OFF), 2. supprimer l'origine du défaut, puis, 3. attendre environ 15 secondes, 4. basculer le disjoncteur en position ON. Deux fusibles 0,1A/250 VAC à action semi-retardée protègent le circuit électronique : l'installateur ne doit pas remplacer ces fusibles. 25/64 Installation 5.5.1 Protection de l'installation électrique du client Protection par disjoncteur Le réseau de puissance alimentant l’équipement doit être équipé d’un disjoncteur, courbe D suivant IEC 60947-2, conforme aux certifications UL/CSA et à la législation locale. Le pouvoir de coupure en court-circuit doit être d’une valeur minimum de 10 kA. Ce dispositif de protection sera placé de façon visible à une distance maximum de 7 m du produit, facilement accessible et identifié comme dispositif de coupure du produit. Ce disjoncteur est de fourniture client : calibre du disjoncteur réseau (voir chapitre « Caractéristiques électriques »). Disjoncteur différentiel Pour assurer la protection des personnes en cas de défaut d’isolation, il est indispensable d’installer un disjoncteur différentiel (voir chapitre « Caractéristiques électriques »). Si besoin, consulter notre centre de service. Dans tous les cas, se conformer aux réglementations électriques locales en vigueur. Mise à la terre L'installateur doit prévoir une double protection constituée d'un fil de terre de section égale au fil conducteur. Le symbole IEC 60417 #5019 ment à la terre de protection. est localisé en face arrière du produit pour permettre le raccorde- ► Raccorder le goujon de terre au point de mise à la terre de l'installation, par exemple au châssis de l’installation. 5.5.2 Raccordement secteur Le client doit prévoir un câble secteur ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques électriques »). ● Raccorder le réseau électrique suivant le schéma suivant. ● Raccorder le connecteur à la prise située sur le châssis de la pompe et la verrouiller. GND 3 2 1 PE 3 2 1 4 Fig. 9: Câblage connecteur électrique Verrouillage du connecteur électrique basse tension 2 1 3 4 1 Connecteur femelle 2 Bague de serrage 3 4 Bride de fixation Vis 1. Retirer la bride de fixation présente sur le connecteur femelle. 2. Visser la bague de serrage du connecteur femelle sur la prise d'alimentation. 3. Installer la bride de fixation à l'aide des 2 vis de fixation. 26/64 Installation Verrouillage du connecteur électrique haute tension 1 2 1 2 Prise d'alimentation Verrou 1. Verrouiller le connecteur femelle sur la prise d'alimentation avec le verrou. Absence d'arrêt d'urgence La pompe n'est pas équipée d'un dispositif d'arrêt d'urgence EMS ni de verrouillage électrique. La pompe est conçue pour être intégrée dans un équipement possédant un dispositif d'arrêt d'urgence. ● Ce dispositif d'arrêt d'urgence doit mettre la pompe hors tension lorsqu'il est activé. 27/64 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Précautions préalables à l'utilisation AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un risque d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère. ► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès du service sécurité de l’exploitant. ► Raccorder impérativement le refoulement de la pompe au système d'échappement des gaz dangereux de l'installation. ► Vérifier régulièrement l’absence de fuites au niveau du raccordement de la pompe avec la canalisation d’échappement. AVERTISSEMENT Risque de choc électrique au contact du connecteur secteur à la mise hors tension Certains composants comportent des condensateurs chargés à plus de 60 VDC qui restent chargés électriquement à la mise hors tension : des tensions résiduelles dues aux capacités des filtres provoquent des chocs électriques, y compris au niveau de la prise secteur. ► Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d’intervenir sur le produit. AVERTISSEMENT Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. Charge d'huile La quantité d'huile nécessaire au fonctionnement a été introduite dans la pompe en usine. ● Ne pas retoucher au niveau d'huile. ● Ne pas vidanger la pompe : cette opération est réalisée par nos centres de service lors de la révision. Avant chaque mise en service : 1. Vérifier que l'aspiration de la pompe est bien raccordée à la ligne de pompage. 2. Vérifier que les canalisations de refoulement ne sont pas bloquées et que toutes les vannes du systèmes d'extraction sont ouvertes. 3. Mettre en service le circuit d'eau et le circuit d'azote (si présent). 4. Activer le sectionneur de l'installation électrique du client. 6.2 Différents modes de commande Ce chapitre décrit pour chaque mode de commande, les raccordements et protocoles associés. On distingue 3 modes de commande : ● LOCAL La pompe est pilotée par le disjoncteur ON/OFF situé sur la face avant. La pompe fonctionne indépendamment de l'équipement sur lequel elle est intégrée. ● TELECOMMANDE La pompe est pilotée à distance par l’ouverture ou la fermeture des différents contacts secs, sa vitesse de rotation peut être réglée par application d'une tension sur les bornes de la prise télé- 28/64 Utilisation commande 16 broches (voir chapitre « Télécommande via le connecteur 16 broches ») ou 19 broches (voir chapitre « Télécommande via le connecteur 19 broches »). ● LIAISON SERIE La pompe est pilotée à partir des ordres de commande transmis sur la liaison série RS-232/ RS-485. Sélection du mode de commande L'interrupteur 'Loc-Rem' situé en face de la pompe permet de basculer d'un mode de commande à l'autre. 1 2 1 Interrupteur à gauche : 'Loc', fonctionnement en mode local 6.3 2 Interrupteur à droite : 'Rem', fonctionnement en mode télécommande Spécificités liées au fonctionnement du modèle A 100 L ES Par sa conception, la pompe A 100 L ES se charactérise par sa réduction de consommation d'énergie grâce à l'option "Energy Saving" : L'option intègre un système qui réduit la puissance consommée lorsqu'elle est en fonctionnement à pression limite. Ce système est géré automatiquement par la surveillance selon les conditions de pompage. 6.4 Utilisation en mode local Démarrage du pompage 1. Vérifier que l'interrupteur est en mode local 'Loc' à gauche. 2. Positionner le disjoncteur de la pompe sur ON : la pompe démarre automatiquement. ● Le voyant vert s'éclaire. ● Les capteurs de surveillance de température sont activés. Arrêt de la pompe 1. Positionner le disjoncteur sur OFF : la pompe s'arrête automatiquement. ● Le voyant vert s'éteint. DANGER Risque de blessure lié au démarrage automatique En mode local, la pompe est configurée pour démarrer automatiquement lorsque le disjoncteur est positionné sur I. ► Intégrer un dispositif de sécurité dans l'équipement pour alerter ou éviter le redémarrage automatique. ► Prendre toutes les mesures nécessaires pour éviter les risques découlant de ce type de fonctionnement. Redémarrage après arrêt d'urgence (à partir de l'équipement) L'arrêt d'urgence est géré par l'équipement dans lequel la pompe est intégrée. Après un arrêt d'urgence, pour redémarrer la pompe, il est nécessaire de : 1. corriger le problème, 2. déverrouiller le bouton d'arrêt d'urgence de l'équipement. 29/64 Utilisation 6.5 Utilisation en mode télécommande Configuration préalable 1. Câbler et connecter le connecteur télécommande situé à l'arrière de la pompe (voir chapitre « Télécommande via le connecteur 16 broches ») ou (voir chapitre « Télécommande via le connecteur 19 broches »). 2. Positionner l'interrupteur mode télécommande'Rem' à droite. Réglage de la vitesse de rotation 1. Appliquer une tension continue comprise entre 0 et 10 V sur l'entrée analogique A2 du connecteur télécommande pour règler la vitesse de rotation de la pompe : ● la vitesse décroit de la valeur maximum (0 V) à la vitesse minimum (10 V). Speed Maxi Mini 0V 8V 10V Voltage Démarrage du pompage 1. Positionner le disjoncteur de la pompe sur ON : – La pompe est sous tension. – Le compteur horaire est éclairé. 2. Appliquer une tension continue sur l'entrée S1 du connecteur télécommande (voir chapitre « Télécommande via le connecteur 16 broches ») ou (voir chapitre « Télécommande via le connecteur 19 broches »). ● La pompe fonctionne selon la vitesse réglée. ● Le voyant vert s'éclaire. Arrêt du pompage ► Ne plus appliquer de tension sur l'entrée S1 (ouvrir le contact) : ● La pompe s'arrête automatiquement. ● Le voyant vert s'éteint. Lors d'un arrêt sur coupure secteur, la pompe redémarre automatiquement après retour secteur à la vitesse réglée. Mise hors tension 1. Positionner le disjoncteur sur OFF: – La pompe n'est plus sous tension. – Le compteur horaire s'éteint. Redémarrage après arrêt d'urgence (à partir de l'équipement) L'arrêt d'urgence est géré par l'équipement dans lequel la pompe est intégrée. 1. Pour redémarrer la pompe après un arrêt d'urgence : – Corriger le problème, – Déverrouiller le bouton d'arrêt d'urgence de l'équipement. – Appliquer une tension sur le contact "Marche/Arrêt" du connecteur télécommande : – La pompe redémarre à la vitesse réglée. 6.6 Surveillance de fonctionnement La pompe est équipée de capteurs de surveillance de la température qui signalent : ● une alerte lorsque la température de la pompe atteint le seuil préréglé (réglage usine non modifiable), ● une alarme lorsque la température de la pompe ou la sécurité moteur dépasse ce seuil. La pompe s'arrête immédiatement lorsqu'une alarme est détectée. Lorsqu'un problème survient, l'utilisateur est averti par : ● l'éclairage du voyant relatif au défaut : jaune en cas d'alerte, rouge en cas d'alarme, ● l'activation des contacts défauts sur la prise télécommande, 30/64 Utilisation ● l'arrêt du pompage alors que la commande OFF n'a pas été activée, ● un message via la liaison RS-232 ou RS-485. Message Etat des voyants Etat de la pompe Voyants éteints La pompe ne fonctionne pas. Pump running Voyant vert allumé La pompe est en fonctionnement. Warning Voyants vert et jaune allumés Premier niveau d'alerte température sur la pompe : la pompe continue de fonctionner à vitesse maximum. ● Remédier au problème pour supprimer le défaut . Motor temp alarm Voyant rouge allumé Présence d'une alarme température moteur : la pompe est arrêtée. ● La pompe doit être remplacée. En cas d'anomalie de fonctionnement (voir chapitre « Dysfonctionnements », page 37) 31/64 Maintenance 7 Maintenance 7.1 Consignes de sécurité pour la maintenance Les instructions de sécurité concernant les gaz corrosifs ne s’appliquent pas aux pompes destinées au pompage de sas ou de chambre de transfert. En cas de présence accidentelle de gaz corrosifs, l’utilisateur doit respecter les précautions suivantes pour déconnecter la pompe de l’installation et intervenir sur le produit. DANGER Risque pour la santé lié aux traces résiduelles de gaz de procédés à l'intérieur de la pompe Les gaz de procédés sont toxiques et dangereux pour la santé. Ils peuvent entraîner l’empoisonnement ou la mort. Aussi, avant de déconnecter la pompe, il convient d’éliminer un maximum de traces résiduelles de gaz de procédés. ► Effectuer obligatoirement un balayage de l’équipement (installation de pompage) avec un flux d'azote pendant 30 minutes : la pression et le débit d'azote doivent être identiques aux valeurs programmées pour le procédé. DANGER Risque d'empoisonnement par contact avec des substances toxiques et sous-produits générés par le procédé La pompe à vide, les composants de la ligne de pompage, les fluides d'exploitation sont contaminés par des substances toxiques, corrosives, réactives ou radioactives liées au procédé. Tout contact avec les pièces contaminées ou les sous-produits générés par le procédé présente un risque d’empoisonnement pour la santé. ► Porter les équipements de protection appropriés lors de la déconnexion pour maintenance de la pompe, ainsi que pour le remplissage ou la vidange du fluide d’exploitation. ► Bien aérer le local ou effectuer la maintenance sous hotte ventilée. ► Ne pas jeter les sous-produits/résidus au réseau usuel : faire appel à un organisme compétent pour leur destruction si nécessaire. ► Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air (obturateurs livrés avec le produit et disponibles en accessoires). AVERTISSEMENT Risque d'électrocution par contact lors de l'entretien ou la maintenance Il y a un risque de choc électrique par contact avec un produit sous tension et non isolé électriquement. ► Avant toute intervention, placer l’interrupteur principal sur O. ► Débrancher le câble secteur du réseau électrique. ► Sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit de puissance pour éviter tout ré-enclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation). AVERTISSEMENT Risque de brûlure par contact avec des surfaces chaudes La température des pièces reste élevée même après l’arrêt de la pompe. Il y a risque de brûlure par contact avec les surfaces chaudes, en particulier au niveau du refoulement de la pompe. ► Attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur le produit. ► Porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420. 32/64 Maintenance AVERTISSEMENT Risque d'intoxication en cas de fuites de gaz de procédés Lors de la déconnexion/connexion de composants dans la ligne de pompage (pompe, canalisations, vannes....) pour maintenance, l'étanchéité de l'installation est rompue : il y a un risque potentiel de fuites de gaz de procédés. ► Pendant le démontage, toujours protéger les surfaces des brides d'aspiration et de refoulement. ► Après remontage, effectuer un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage. Recommandations générales pour la maintenance ● S’assurer que le technicien de maintenance est formé aux règles de sécurité qui concernent les gaz pompés. ● La lumière dans la zone de maintenance doit être suffisante pour travailler et réaliser la maintenance de la pompe : luminosité supérieure à 300 lux. ● Débrancher le câble secteur du produit de toute source d’énergie avant d’intervenir sur le produit. ● Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d’intervenir sur les composants électriques. ● Fixer les câbles électriques, les canalisations de pompage : les acheminer dans des goulottes pour éviter les chutes. ● Porter les protections de sécurité appropriées et démonter le produit dans un environnement ventilé ou sous hotte. ● Collecter les résidus de procédés et faire appel à un organisme compétent pour leur destruction. ● Toujours protéger les surfaces des brides d’aspiration et de refoulement. ● Les circuits pressurisés - azote et eau - sont des risques énergétiques potentiels : toujours verrouiller ces circuits (LO/TO procédure de consignation/déconsignation) avant d'intervenir sur le produit. 7.2 Intervalles de maintenance D’une manière générale, il n’y a pas d’opération de maintenance avant la révision du produit dans un centre de service. La périodicité de maintenance dépend du procédé et de l’équipement utilisé. Contacter notre centre de service (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 39). Comment nous contacter ? La révision du produit doit être réalisée par du personnel formé par le constructeur. Contacter notre centre de service le plus proche à l'adresse suivante : service.fr@pfeiffer-vacuum.com. 7.3 Entretien sur site La pompe ne nécessite aucune maintenance sur le site client excepté l’entretien courant décrit dans ce manuel. Toute autre maintenance doit être réalisée par notre centre de service (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 39). ► Nettoyer les faces externes du produit à l’aide d’un chiffon propre non pelucheux et d’un produit ne détériorant pas les surfaces sérigraphiées et les étiquettes autocollantes. ► Vérifier que la canalisation de refoulement ne soit pas obstruée. ► Vérifier l’état des canalisations et leurs connexions et les remettre en état si présence de corrosion ou de fuite. ► Comparer la couleur de l’huile à un échantillon d’huile neuve. Cela permet de contrôler le niveau de pollution ou de dégradation du lubrifiant. Le changement d’huile est réalisé par nos centres de service. 7.4 Procédure d'échange par un produit de remplacement Pour procéder à un échange standard, il est nécessaire de respecter la chronologie des étapes suivantes : 1. Déconnexion de la pompe de l’installation. 2. Vidange du circuit d’eau. 3. Conditionnement de la pompe pour expédition. 33/64 Maintenance 4. Déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 39). 5. Manutention de la nouvelle pompe (voir chapitre « Manutention »). 6. Mise en place d’une nouvelle pompe (voir chapitre « Mise en place »). Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de demande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 39). 7.4.1 Déconnexion de la pompe de l'installation Rappel des risques et mesures de sécurité ● Observer les consignes de sécurité pour la maintenance. ● Appliquer les consignes de sécurité spécifiques conformément à la législation locale : ces informations sont disponibles auprès du service de sécurité du client. Procédure de déconnexion 1. Mettre la pompe hors tension en positionnant le disjoncteur sur OFF. 2. Déclencher le disjoncteur réseau de l’installation client. 3. Déconnecter le câble secteur au niveau du connecteur électrique. 4. Déconnecter tous les connecteurs à l'arrière de la pompe. 5. Déconnecter le raccord WATER IN puis le raccord WATER OUT. 6. Déconnecter l'alimentation d'azote (si présente). 7. Désolidariser la pompe de la canalisation de pompage et obturer l’orifice d’aspiration avec les accessoires de raccordement étanches à l'air (accessoires). 8. Désolidariser le refoulement de la pompe et obturer l’orifice de refoulement avec les accessoires de raccordement étanches à l'air (accessoires). 9. Retirer les équerres parasismiques (accessoires). 10. Relever les 4 pieds de positionnement. – La pompe repose sur ses roulettes. 11. Dégager la pompe de l’installation. 7.4.2 Vidange du circuit d'eau L'eau doit être évacuée de la pompe pour éviter le gel dans les canalisations pendant le transport. Pour cela, le client doit prévoir des tuyaux flexibles et des raccords ainsi qu'un circuit d'air comprimé (pression de 2 à 5·103 hPa). AIR PRESSURE IN OUT 1 2 3 1 Tuyau d'arrivée d'eau avec raccord femelle 2 Tuyau de vidange avec raccord mâle 34/64 3 Récipient (contenance supérieure à 1 litre). Maintenance Procédure de vidange du circuit d'eau 1. Connecter le tuyau de vidange sur le raccord WATER OUT et placer l’autre extrémité dans le récipient. 2. Connecter le tuyau d'arrivée sur le raccord WATER IN et raccorder l’autre extrémité au circuit d’air comprimé. 3. Injecter de l’air comprimé dans la pompe jusqu’à ce que toute l’eau du circuit d’eau soit évacuée. 7.4.3 Conditionnement de la pompe pour expédition ► Installer les accessoires de raccordement étanches à l'air, fournis avec la pompe à la première livraison. ► Pressuriser la pompe avec de l’azote, selon la procédure suivante. Pressurisation en azote Pour pressuriser la pompe, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en azote ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'azote ») et des obturateurs livrés avec le produit ou disponibles en accessoires. 1. Obturer l’aspiration avec les accessoires étanches à l'air. 2. Raccorder l’azote sur le raccord gaz prévu à cet effet sur l’obturateur d’aspiration. 3. Pressuriser la pompe en azote à une pression relative de 200 hPa. 4. Lorsque l’azote s’échappe par le refoulement, fermer de manière étanche le refoulement au moyen des accessoires fournis. 5. Déconnecter l'alimentation d'azote du raccord. 35/64 Mise hors service 8 Mise hors service 8.1 Immobilisation prolongée Les pompes destinées au pompage de sas et de chambres de transfert sont conçues pour fonctionner en continu sur les installations de pompage. Si la pompe doit être arrêtée pour une longue période, respecter les instructions suivantes : 1. Déconnecter la pompe de l’installation (voir chapitre « Déconnexion de la pompe de l'installation »). 2. Vidanger le circuit d’eau (voir chapitre « Vidange du circuit d'eau »). 3. Pressuriser la pompe et la stocker (voir chapitre « Conditionnement de la pompe pour expédition »). 8.2 Remise en service Pour remettre en service la pompe après un arrêt prolongé, procédé à l'installation de la pompe (voir chapitre « Installation », page 18) 8.3 Mise au rebut Conformément à la Directive concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques (DEEE), et à la Directive relative à la restriction des matières dangereuses (RoHS), les produits en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation. Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, utilisant des pièces détachées d’origine Pfeiffer Vacuum SAS, vendues par Pfeiffer Vacuum et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles. Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la prestation de service qui sera facturée au client. Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de demande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 39). Protection de l'environnement La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et prévenir de la pollution. Nos produits contiennent différents matériaux qui doivent être recyclés : fer, acier, acier inoxydable, fonte, aluminium, cuivre, élastomères fluorés, PTFE, silicone, fluide d'exploitation, composants électriques et électroniques. Prendre des précautions particulières pour : ● les élastomères fluorés qui peuvent se décomposer s’ils ont été soumis à de hautes températures, ● les composants en contact avec les produits résultant de procédés qui ont pu être contaminés, ● les batteries lithium. 36/64 Dysfonctionnements 9 Dysfonctionnements 9.1 Signalement des mauvais fonctionnements et défauts Lorsqu'un problème survient, l'utilisateur est averti par : ● ● ● ● Aucun voyant n'est allumé 9.2 La pompe ne démarre pas Symptôme Cause Remède L'interrupteur est en position ON et la pompe ne fonctionne pas. Le disjoncteur est en position OFF Positionner le disjoncteur sur ON. La tension de la pompe n’est pas compatible avec la tension d'alimentation de l’installation Vérifier la tension de l'installation. L'interrupteur Loc-Rem est sur 'Rem' Vérifier la présence d'une tension 15 ou 24 VDC sur l'entrée analogique 12 ou A-B de la prise télécommande. Mettre l'interrupteur en position 'Loc'. 9.3 Voyant vert allumé L'éclairage du voyant relatif au défaut : jaune en cas d'alerte, rouge en cas d'alarme. L'activation des contacts défauts sur la prise télécommande. L'arrêt du pompage alors que la commande OFF n'a pas été activée. Un message via la liaison série RS-232 ou RS-485. L'interrupteur Loc-Rem est sur 'Loc' Contacter notre centre de service. Autre problème Contacter notre centre de service. La pompe fonctionne, un voyant est allumé Symptôme Cause Remède Mauvais vide ou pas de vide. La pompe ne fonctionne pas à pleine vitesse Vérifier l'abscence de tension appliquée sur l'entrée analogique 15-16 (ou Q-R) de la prise télécommande. Fuite dans la ligne de prévidage Déconnecter la ligne de prévidage et vérifier le niveau de vide. Vérifier les raccordements et effectuer un test de fuites. Pompe bruyante La pompe fonctionne à vitesse réduite Vérifier les conditions de pompage. Autre problème Contacter notre centre de service. La pompe n'est pas correctement fixée sur l'équipement Vérifier la fixation de la pompe sur l'équipement. Le refoulement n'est pas raccordé Vérifier le raccordement du refoulement. Autre problème Contacter notre centre de service. 37/64 Voyants vert et jaune allumés Dysfonctionnements Symptôme Cause Remède La température du bloc fonctionnel est trop élevée Problème d'eau Vérifier l'alimentation du circuit d'eau. Vérifier que les canalisations d'eau ne sont pas obstruées ou l'éventuelle présence de fuites. Vérifier que le débit d'eau est à 100 l/h mini. Vérifier les conditions de pompage. La pompe ne fonctionne pas à vitesse maximum Problème d’eau Vérifier l'alimentation du circuit d'eau. Vérifier que les canalisations d'eau ne sont pas obstruées ou l'éventuelle présence de fuites. Autre problème Contacter notre centre de service. Voyant rouge allumé 9.4 La pompe s'arrête de fonctionner Symptôme Cause Remède La pompe s’arrête alors qu’aucun ordre d’arrêt n’a été activé. La température du moteur est trop élevée Déconnecter la pompe pour la remplacer (voir chapitre « Maintenance »). Autre problème Contacter notre centre de service. 38/64 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 10 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 39/64 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 40/64 Accessoires 11 Accessoires Accessoire Description Equerres parasismiques Lot de 4 équerres Dimension Réf. 109790 Raccord femelle 1/4" NPT Entrée d’eau 076721 Raccord mâle 1/4" NPT Sortie d’eau 076720 Lot de pressurisation azote comprenant Obturateur refoulement DN 25 ISO-KF Collier de serrage DN 25 ISO-KF Anneau de centrage équipé du joint torique DN 25 ISO-KF Obturateur aspiration + raccord gaz 1/8’’ DN 25 ISO-KF Anneau de centrage équipé du joint torique DN 25 ISO-KF 107956S Dispositif anti-bruit DN 25 ISO-KF 110868 Lot télécommande Connecteur 16 broches (AMP182 642-1 + AMP 182 655-1 + AMP 163 088-2) 112460 Lot télécommande Connecteur 19 broches (ITT Canon 192926-0530 + 192922-1340 + 192990-0030) 112464 RS-232/RS-485 liaison série Circuit imprimé, connecteur RS + platine 111923 Obturateurs, griffes de serrage, colliers de serrage, voir catalogue des accessoires de raccordement sur le site PfeifferVacuum. Choisir des matériaux compatibles avec l’application. 41/64 Caractéristiques techniques et dimensions 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités Bases des caractéristiques techniques des pompes Roots multi-étagées compactes pour applications propres de Pfeiffer Vacuum : ● Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5 ● ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puissance de pompes à vide - Description générale » ● Niveau de pression acoustique : distance par rapport à la pompe 1 m 12.2 Caractéristiques techniques Caractéristiques Unités Vitesse de rotation maximale A 100 L A 100 L ES -1 6000 6000 min -1 3000 3000 3 100 min Vitesse de rotation minimum Vitesse de pompage m /h 100 Pression limite (valeur moyenne) 1) hPa 6,6 · 10-3 7 · 10-4 1) hPa -2 1,2 · 10 3 · 10- 3 Volume de pompage maximum 2) m3 1 1 Taux de cycles maximum sur un volume de 20 L cycle/h 90 90 Taux de cycles maximum sur un volume de 25 L cycle/h - - Flux continu maximum à l’aspiration slm 20 20 Débit d'azote / CDA slpm - 30 3) V 200-230 V 3 phases 50/60 Hz ou 380-480 V 3 phases 50/60 Hz 200-230 V 3 phases 50/60 Hz Consommation à pression limite (valeur maximale) kW 1,6 < 0,8 Puissance maximale consommée kW 3,5 3,5 Courant à pleine charge (200-230 V) A 12 15 Courant à pleine charge (380-480 V) A 7 - Surpression maximale au refoulement hPa 1200 1200 l/h 100 mini 100 mini l 0,09 0,09 Bride d’aspiration DN 50 ISO-KF DN 50 ISO-KF Bride de refoulement DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF Pression limite (valeur maximale) Tension d’alimentation Débit d’eau de refroidissement 4) Capacité en huile Poids kg 100 100 Niveau de vibration sur la bride d’aspiration (10-1000Hz) (valeur maximale) g < 0,1 < 0,1 Niveau sonore 5)(valeur moyenne) dB(A) < 55 < 52 Niveau sonore 5)(valeur maximale) dB(A) < 58 < 55 1) En fonctionnement très basse consommation. 2) Cette pompe est qualifiée sur un volume de 1 m3, avec un cyclage de 20 mn. Pour un volume supérieur ou une fréquence de cyclage supérieure, contacter Pfeiffer Vacuum. 3) Conformément aux réglementations CE, les pompes peuvent supporter une variation de tension de ± 10 %. 4) Selon les conditions d’utilisation . Contacter Pfeiffer Vacuum. 5) Mesuré à une distance de 1 m et à une hauteur de 1,6 m conformément à la norme ISO 9614-2 42/64 Caractéristiques techniques et dimensions mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg mbar 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 bar 1,000 1 Pa 0,01 1 · 10-5 1 · 10 1,000 100 750 1 0,01 1 · 10-3 7.5 · 10-3 hPa 1 kPa 10 1 · 10 100 1 0,1 0,75 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 0,133 1 5 -3 133,32 -3 1,33 · 10 1 Pa = 1 N/m Tab. 1: Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 Pa m /s 10 1 592 7,5 9,87 sccm 1.69 · 10-2 1.69 · 10-3 1 1,27 · 10-2 1.67 · 10-2 Torr l/s 1,33 0,133 78,9 1 1,32 atm cm3/s 1,01 0,101 59,8 0,76 1 mbar l/s 3 Tab. 2: 12.2.1 2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz Conditions environnementales Utilisation intérieur Altitude jusqu'à 2000 m Indice de protection IP20 / IP22 2) Température ambiante de fonctionnement 5 - 35 °C Température de stockage -25 - +55 °C Humidité relative maximale 80% max. avec T ≤ 31 °C, à 50% max. avec T ≤ 40 °C Protection contre les surtensions transitoires 1) catégorie II Degré de pollution niveau 2 1) Surtensions transitoires jusqu'aux niveaux de la catégorie de surtension II. Surtensions temporaires survenant sur le réseau d'alimentation.2)Si option IP22 Tab. 3: Conditions environnementales 43/64 Caractéristiques techniques et dimensions 12.2.2 Caractéristiques de l'eau de refroidissement Chlorure (ppm) 100 pH 5,5 à 9 Chlorure 1) 100 à 20 ppm selon le pH Dureté < 10 °fH (degré français) < 2 milli-équivalent/L < 100 mg/L de CaCO3 (carbonate de calcium) Résidus à sec < 300 mg/L Indice de Langelier LSI = pH - pHs - 0,5 < LSI < 0 à 20 °C Taille des particules < 0,2 mm Résistivité 2 000 Ω·cm < R < 1 000 000 Ω·cm Température d’entrée 2) 10-35 °C Pression d’entrée relative de 2 · 103 à 6 · 103 hPa Différence de pression entrée/sortie > 2 · 103 hPa 50 40 20 pH 0 5 6 7 8 9 10 1) L’activité oxydante du chlore dépend du pH (agressivité de l’eau). La teneur en chlorures doit être située dans la zone colorisée du graphique. 2) Selon les conditions d’utilisation. Nous contacter. Tab. 4: Caractéristiques de l'eau de refroidissement Type de raccords 12.2.3 Entrée d’eau Raccord mâle 1/4’’ NPT Acier inoxydable Sortie d’eau Raccord femelle 1/4’’ NPT Acier inoxydable Caractéristiques de l'azote Concentration H2O < 10 ppm v Concentration O2 < 5 ppm v Poussière < 1 µm Huile < 0,1 ppm v Pression relative 2 · 103 à 6 · 103 hPa Tab. 5: Caractéristiques de l'azote Type de raccords 12.2.4 Entrée d’azote Raccord mâle 1/8’’ NPT Acier inoxydable Entrée d’azote Raccord mâle pour tube 1/4’’ Acier inoxydable Caractéristiques de l'air sec comprimé (CDA) Type Classe 4 selon norme ISO 8573-1 Poussière < 15 µm Huile < 0,005 ppm v Pression absolue 2 · 103 à 6 · 103 hPa Tab. 6: Caractéristiques de l'air sec comprimé (CDA) Type de raccords 44/64 Caractéristiques techniques et dimensions 12.2.5 Entrée Raccord mâle 1/8’’ NPT Acier inoxydable Entrée Raccord mâle pour tube 1/4’’ Acier inoxydable Caractéristiques électriques Pouvoir de coupure en court-circuit du sectionneur 10 kA Disjoncteur différentiel GFI (ou RCD) type B compatible réseau électrique type T.T 300 mA 1) 1) pour un réseau de type T.N ou I.T, appliquer une protection adéquate Tab. 7: Protection électrique réseau Tension secteur Calibre Section des conducteurs 200-230V 50/60 Hz 380-480V 50/60 Hz 15 A 15 A 2,08 mm2 2,08 mm2 AWG-14 AWG-14 Pour tout changement de tension d'alimentation par rapport à la configuration usine, contacter notre centre de service. Tab. 8: Calibre disjoncteur réseau et section des câbles 12.3 Dimensions Dimensions en mm Centre de gravité (mm) 605 280 136 X 590 51 Y 53 30 53 32 70 140 Z 14 24 190,5 85 230 Fig. 10: 65 22 39 136 25 Exh. 14 14 30 73,5 98 300 208,5 50 46 IN 420 Dimensions de la pompe 45/64 Caractéristiques techniques et dimensions 1 2 4 3 Centre de gravité (mm) 1) Charges par pied 1) X Y Z 1 2 3 4 135 325 152 22 N 24 N 29 N 28 N Selon norme Semi S2-200 Section 19 Tab. 9: Répartition des charges par pied : cas d'une seule pompe Dimensions pour des pompes empilées 280 590 51 511,5 46 IN 376,5 603 Exh. 208,5 Z 46 IN 73,5 Exh. X 46/64 Y Caractéristiques techniques et dimensions 1 3 2 4 Centre de gravité (mm) 1) Charges par pied 1) X Y Z 1 2 3 4 135 325 302 44 N 48 N 58 N 56 N Selon norme Semi S2-200 Section 19 Tab. 10: Répartition des charges par pied : 2 pompes empilées 47/64 280 70 140 348 426 34 11 73 23 Caractéristiques techniques et dimensions 29 600 23 8 302 590 Fig. 11: Dimensions de la pompe équipée d'équerres parasismiques 2 4 1 3 1 2 3 4 X 69 N 33 27 -129 Y -272 N -183 -237 -258 Z -580 N 155 19 -454 Répartition des charges sur les équerres parasismiques 1) Cas d'une pompe seule 1) 48/64 Selon norme Semi S2-200 Section 19 Caractéristiques techniques et dimensions 1 2 3 4 X 334 N -300 364 -368 Y -356 N -642 -391 -511 Z -1845 N 1008 498 -1381 Répartition des charges sur les équerres parasismiques 1) Cas de 2 pompes empilées 1) Selon norme Semi S2-200 Section 19 Tab. 11: Répartition des charges sur les équerres parasismiques 49/64 Annexes 13 Annexes 13.1 Installation de la liaison série RS-232/RS-485 AVIS Risque de perturbation électromagnétique Tensions et courants induisent une multitude de champs électromagnétiques et des signaux parasites. Une installation non conforme aux règles CEM perturbe les autres équipements ou plus généralement l’environnement. ► Utiliser des liaisons et raccordements blindés pour les interfaces dans les environnements perturbateurs. AVERTISSEMENT Risque de choc électrique par contact avec un produit non isolé électriquement A la mise hors tension _interrupteur secteur sur O_, certains composants situés entre le connecteur électrique et le disjoncteur restent sous tension. Il y a un risque de choc électrique par contact. ► Veiller à ce que le raccordement au secteur soit toujours visible et accessible pour pouvoir débrancher à tout moment. ► Débrancher le câble secteur du réseau électrique avant d'intervenir sur le produit. Procédure 1. Basculer le disjoncteur en position OFF pour couper l'alimentation générale. 2. Déclencher le sectionneur réseau de l'installation client. 3. Déconnecter le câble secteur au niveau du connecteur électrique. 4. Retirer la plaque à l'arrière de la pompe en dévissant les 4 vis. 5. Couper le collier qui maintient le câble derrière la plaque. 6. Connecter l'accessoire RS-232/RS-485 sur le câble. 7. Positionner la carte RS-232/RS-485 dans le châssis et revisser les 4 vis. 8. Raccorder la pompe au réseau électrique. 9. Basculer le disjoncteur en position ON pour mettre la pompe sous tension. Lorsque le disjoncteur est en position ON, la LED verte située sur la carte RS-232/RS-485 est allumée. 3 1 2 4 RS 1 Plaque 2 Carte RS-232/RS-485 3 4 LED Interrupteur rouge (x2) 13.2 Connexions Le connecteur Sub-D 9 broches permet de piloter et surveiller la pompe avec un ordinateur. Le connecteur Sub-D 9 broches permet également la mise en réseau de plusieurs pompes. L’ordinateur connecté permet de modifier les paramètres initiaux de la liaison série (voir chapitre « Liste des commandes du protocole de communication RS-232 »). 50/64 Annexes Configuration initiale de la liaison série Désignation Valeur Interface série RS-232 Vitesse de transmission 9600 bauds Longueur d'un mot de données 8 bits Parité aucune (no parity) Bits de stop 1 Echo non Connecteur RS-232/RS-485 - 9 broches, mâle Broche Affectation 2 Réception données (RS-232) 3 Transmission données (RS-232) 5 GND 8 RS-485 : V- 9 RS-485 : V+ L’utilisateur doit assurer les blindages extérieurs permettant de satisfaire aux normes CEM et de sécurité électrique. Connexion RS-232 Un ordinateur gère une seule pompe (P1) par liaison RS-232 via le connecteur RS-232/RS-485. P1 Connexion RS-485 Un ordinateur gère plusieurs pompes (P1, P2, Pn,..) par liaison série RS-485 via le connecteur RS-232/ RS-485. Ce type de câblage parallèle permet de maintenir la communication entre les pompes même si une pompe est déconnectée. 1. Positionner les interrupteurs de couleur rouge de chaque pompe sur 1 et 2. 2. Positionner les interrupteurs de couleur rouge de la pompe en bout de ligne sur ON. 51/64 Annexes RS-485 communication box V(+) V(-) P1 P2 Pn ON ON ON 1 2 1 2 1 2 13.3 Paramétrage du protocole de communication RS-232 Lorsque le câblage est réalisé, pour permettre le pilotage et la surveillance de la pompe : 1. Positionner le disjoncteur en position ON : la LED verte située sur la carte RS-232/RS-485 est allumée. 2. Envoyer une commande sur la liaison série : cette commande n’est pas prioritaire par rapport au fonctionnement en mode télécommande via le connecteur SPI. Les commandes Caractère d'en-tête Le réglage usine est le code décimal 035 du caractère # Adresse Numéro affecté à la pompe sur 3 caractères Ordre Commande envoyée sur la liaison série, sur 3 caractères Paramètre Format et nombre de caractère dépendent de la commande Caractère de fin Caractère de fin de message. Le réglage est le code ASCII 13 <CR> Le carac­ tère <LF> n'est pas pris en compte. Exemple : Caractère d'en-tête Adresse de la pompe Ordre Paramètre Caractère de fin # ADR ODR XXXX <CR> Les réponses Caractère d'en-tête Adresse de la pompe Ordre Caractère de fin # ADR yyyxxxabc <CR> OK Si tout est OK, ou réponse spécifique à l'ordre transmis ERR0 Erreur de réglage ERR1 Erreur d'ordre ERR2 Erreur de paramètre ERR3 Erreur d'ordre ERR4 Erreur checksum Exemple de dialogue 52/64 Commande #005ECHON<CR> Réponse #005OK<CR> Annexes 13.4 Liste des commandes du protocole de communication RS-232 ADR : Numéro affecté à la pompe dans la liaison Paramètres Limite de réglage Modifiable pompe arrêtée adr = Adresse de la pompe avant la commande aaa = Nouvelle adresse 000-255 ECH : Autorisation de renvoi caractère reçu sur la liaison série Description Activé si ECHON Désactivé si ECHOFF HDR : Change le caractère d’en-tête de la commande Paramètres Limite de réglage Valeur décimale du code ASCII du caractère. 020 : Correspond à "aucun caractère d’en-tête" 035 : Correspond à # (paramétrage usine) 001-127 IDN : Retourne la version du logiciel du produit en communication avec l’ordinateur Paramètres 0 = Caractère d’en-tête 1-3 = Adresse 4 = Caractère séparateur 5-19 = Type de surveillance 20-24 = X version logiciel, ZZ édition logiciel 25 = Caractère fin de message LEV : Etat des paramètres de fonctionnement définis avec la commande SET Exemple : #adr,A001,A002,B001,B002,C001,C002,D001,D002,E001,E002,F001,F002,G000, H0000,I0000,J0000,K0000,L0000,M0000,N0000,O001,O002,P001,P002,Q001,Q002<CR> Paramètres 0 = Caractère d’en-tête 1-3 = Adresse 4 = Caractère séparateur 5-68 = Réservé 69 = Caractère séparateur 70-74 = Intervalle de révision (x 100h) 75 = Caractère séparateur 76-140 = Réservé 141 = Caractère fin de message SEL : Etat des paramètres de configuration Exemple : #adr,A,B,C,D,E,F,G,H,I,J,K,L,M,N,O,P,Q,R,S,T<CR> Paramètres 0 = Caractère d’en-tête 1-3 = Adresse 4 = Caractère séparateur 53/64 Annexes Paramètres 5-11 = Réservé 12 = Caractère séparateur 13 = Système sélectionné (5 = A 100 L/A 200 L/A 180 L) 14 = Caractère séparateur 15 = Réservé 16-27 = Réservé 28 = Caractère séparateur 29-43 = Réservé 44 = Caractère fin de message SET : Réglage des paramètres de fonctionnement de la pompe Exemple : # adrSETXXYZZZZ<CR> Paramètres Limite de réglage XX= 07 Intervalle de révision : A 100 L/A 200 L/A 180 L. 0 = temps x100 0010-0420 ZZZZ= valeur Exemple : 0010 correspond à 1000 heures SYS : Démarrage/Arrêt la pompe SYSON : La pompe démarre SYSOFF : La pompe s'arrête STA : Etat de la pompe Exemple : #adr,ABCDEFGHIJK,L123,M123,N12,O12,P12,Q123,R1,abcdefghijllmnopqrstu,S123<CR> Paramètres 0 = Caractère d’en-tête 1-3 = Adresse 4 = Caractère séparateur 5 = Etat de la pompe 0 = pompe arrêtée 1= pompe en fonctionnement 6-14 = Réservé 15 = Mode de commande 16 = Caractère séparateur 17-20 = Réservé 21 = Caractère séparateur 22-25 = Réservé 26 = Caractère séparateur 27-29 = Réservé 30 = Caractère séparateur 31-33 = Réservé 34 = Caractère séparateur 35-37 = Réservé 38 = Caractère séparateur 39-42 = Réservé 43 = Caractère séparateur 44-45 = Réservé 46 = Caractère séparateur 54/64 Bit 2,1,0 = 000 = local Bit 2,1,0, = 001 = distance Bit 4,5,6 = 0 libre Bit 7 = toujours 1 Annexes Paramètres 47-52 = Réservé 53 = Défaut de variateur de fréquence 0 = OK 2 = alarme 54 = Caractère séparateur 55 = Alimentation 0 = OK 2 = défaut (alarme) 56 = Défaut température moteur 0 = OK 1 = alerte 2 = alarme 57-59 = Réservé 60 = Révision 1 = OK 1 = alerte 61-65 = Réservé 66-67 = Libre 68 = Caractère séparateur 69-72 = Réservé 73 = Caractère fin de message TPE : Définit les temps de maintenance Exemple : # adr,TPEXXYYYY<CR> Paramètres XX = 00 Temps de fonctionnement XX = 01 Révision du produit XX = 02 Réservé XX = 03 Réservé XX = 04 Réservé XX = 05 Réservé XX = 06 Réservé YYYY = Temps x 100h TPS : Affiche le temps de maintenance Exemple : #adr,A1234,B1234,C1234, D1234,E1234,F1234,G1234<CR> Paramètres 0 = Caractère d’en-tête 1-3 = Adresse 4 = Caractère séparateur 5-9 = Temps de fonctionnement 10 = Caractère séparateur 11-15 = Temps de maintenance atteint (A 100 L/A 200 L/A 180 L) 16-45 = Caractère séparateur 46 = Caractère fin de message 13.5 Paramétrage du protocole de communication RS-485 Les commandes sont identiques à celles de la liaison série RS-232 : liste des commandes (voir chapitre « Liste des commandes du protocole de communication RS-232 », page 53) Les commandes Caractère d'en-tête Le réglage usine est le code décimal 035 du caractère # Adresse Numéro affecté à la pompe sur 3 caractères 55/64 Annexes Ordre Commande envoyée sur la liaison série, sur 3 caractères Paramètre Format et nombre de caractère dépendent de la commande Caractère de fin Caractère de fin de message. Le réglage est le code ASCII 13 <CR> Le carac­ tère <LF> n'est pas pris en compte. Exemple : Caractère d'en-tête Adresse de la pompe Ordre Paramètre Caractère de fin # ADR ODR XXXX <CR> Les réponses Les réponses aux commandes SEL et STA sont en caractères hexadécimaux. Caractère d'en-tête Adresse de la pompe Ordre Caractère de fin # ADR ABCDEF <CR> OK Si tout est OK, ou réponse spécifique à l'ordre transmis ERR0 Erreur de réglage ERR1 Erreur d'ordre ERR2 Erreur de paramètre ERR3 Erreur de contexte ERR4 Erreur checksum Exemple de dialogue Commande #005ECHON<CR> Réponse #005OK<CR> 13.6 Liste des commandes du protocole de communication RS-485 Ordre Description Fonctions SEL Etat des paramètres de configuration Exemple : #adr,A,B,C,D,E,F<CR> SEL SEL 56/64 A : état des paramètres bit 1 B : état des paramètres bit 2 A1A2A3A4A5A6A7A8 = état des paramètres bit 1* B1B2B3B4B5B6B7B8 = état des paramètres bit 2* C1C2C3C4C5C6C7C8 = état des paramètres bit 3* D1D2D3D4D5D6D7D8 = état des paramètres bit 4* E1E2E3E4E5E6E7E8 = état des paramètres bit 5* F1F2F3F4F5F6F7F8 = état des paramètres bit 6* * nécessite de convertir de hexadécimal à binaire Bit 7 6 5 4 3 2 1 0 Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved 0 - - - - - - - - 1 1 - - - - - - - Bit 7 6 5 4 3 2 1 0 Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved 0 - - - - - - - - 1 1 - - - - - - - Annexes Ordre Description Fonctions SEL C : état des paramètres bit 3 Bit SEL SEL SEL D : état des paramètres bit 4 E : état des paramètres bit 5 F : état des paramètres bit 6 7 6 5 4 3 2 1 0 Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved 0 - - - - - - - - 1 - - - - - - - - Bit 7 6 5 4 3 2 1 0 Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved 0 - - - - - - - - 1 - - - - - - - - Bit 7 6 5 4 3 2 1 0 Reserved Reserved Reserved Select System Reserved Reserved Reserved - - - 0 - - - - - 1 1 - - - bit 3,2,1,0 = 5 = ADP 100LON Bit 7 6 5 4 3 2 1 0 Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved 0 - - - - - - - - 1 1 - - - - - - - Ordre Description Fonctions STA Etat de la pompe Exemple : #adr,A,B,000,000,E,0000,0000,000, 0000,00, abcdef <CR> A1A2A3A4A5A6A7A8 = bit d’état 1* B1B2B 3B4B5B6B7B8 = bit d’état 2* E1E2E3E4E5E6E7E8 = bit d’état 3* a à f = bit d’alertes et défauts* * nécessite de convertir de hexadécimal à binaire STA STA STA STA A : bit d’état 1 B : bit d’état 2 E : bit d’état 3 a : bit alerte 1 Bit 7 6 5 4 3 2 1 0 0 - ADP Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Pompe à l'arrêt - - - - - - 1 1 Pompe en fonctionnement - - - - - - Bit 7 6 5 4 3 2 1 0 Reserved Reserved Reserved (Free) (Free) (Free) (Free) 0 - - - - - - - - 1 1 - - - - - - - Bit 7 6 5 4 3 2 1 0 (Free) (Free) (Free) Reserved - - 0 - - - - - - 1 1 - - - - bit 2,1,0 = 000 : mode local bit 2,1,0 = 001 : mode remote Bit 7 6 5 4 3 2 1 0 Reserved (Free) Reserved Reserved Reserved (Free) (Free) 0 - - - - - - - - 1 1 - - - - - - - 57/64 Annexes Ordre Description Fonctions STA b : bit alarme 1 Bit 7 0 - 1 Bit STA STA STA STA 58/64 c : bit alerte 2 d : bit alarme 2 e : bit alerte 3 f : bit alarme 3 6 5 4 3 2 1 0 Reserved (Free) Reserved Reserved Reserved (Free) (Free) - - - - - - - 1 - - - - - - - 7 6 5 4 3 2 1 0 Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved 0 - - - - - - - - 1 1 - - - - - - - Bit 7 6 5 4 3 2 1 0 Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Variator 0 - - - - - - - OK 1 1 - - - - - - Alarme Bit 7 6 5 4 3 2 1 0 Reserved Reserved Motor temperature Reserved Reserved Reserved Maintenance 0 - - - OK - - - 0 1 1 - - Alerte - - - Alerte Bit 7 6 5 4 3 2 1 0 Reserved Reserved Motor temperature Reserved Reserved Reserved Reserved 0 - - - OK - - - - 1 1 - - Alarme - - - - Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompes Roots Multi-étagées A 100 L A 100 L ES Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Normes et spécifications appliquées : EN 1012-2 : 2009 EN 61010-1 : 2011 EN 61000-6-2 : 2005 EN 61000-6-4 : 2007 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum SAS 98, avenue de Brogny 74009 Annecy cedex France B.P. 2069 (Guillaume Kreziak) Directeur Général Annecy, le 31/05/2023 Déclaration d'incorporation de quasi-machines Déclaration pour produit(s) du type : Pompe Roots multi-étagée, compacte A 100 L A 100 L ES Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Normes harmonisées et normes nationales appliquées : EN 1012-2: 2009 EN 61010-1: 2010 EN 61000-6-2: 2005 EN 61000-6-4: 2007 Ce produit ne doit pas être mis en service avant que la machine finale dans laquelle il doit être incorporé, ait été déclarée conforme à la Directive machines 2006/42/CE. Les soussignés s'engagent également à transmettre les informations pertinentes concernant la (les) quasi-machines(s), en réponse à toute demande motivée de façon adéquate formulée par une autorité nationale. Le responsable de la constitution du dossier technique est M. d'Harboullé Philippe, Pfeiffer Vacuum SAS, 98, avenue de Brogny B.P. 2069, 74009 Annecy cedex. Signature: Pfeiffer Vacuum SAS 98, avenue de Brogny 74009 Annecy cedex France B.P. 2069 (Guillaume Kreziak) Directeur Général Annecy, le 2023/08/29 63/64 *119404* Ed 05 - Date 2023/09 - P/N:119404OFR ">
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Caractéristiques clés
- Conception compacte pour une intégration facile
- Adaptée aux applications propres et non corrosives
- Modèle A 100 L ES avec option d'économie d'énergie
- Haute fiabilité et longue durée de vie
- Pas de maintenance préventive requise
- Surveillance électronique intégrée avec alarmes
Questions fréquemment posées
Pompage de sas ou de chambre de transfert dans l'industrie du semiconducteur ou du photovoltaïque, prévidage de pompe turbomoléculaire.
Le modèle A 100 L ES est équipé de l'option 'Energy Saving' qui permet de réduire de 50% la consommation d'énergie lorsque les conditions de pompage le permettent.
Non, la pompe sèche multi-étagée A100 L est conçue pour ne nécessiter aucune maintenance préventive.
La pompe intègre un système de surveillance électronique avec des voyants lumineux pour indiquer l'état de fonctionnement et un compteur horaire pour suivre le temps d'utilisation.
