Pfeiffer QMG 700 HiQuad - Quadrupole Mass Spectrometer System Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
QMG 700 HIQUAD®
Système de spectromètre de masse quadripole
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau système
de spectromètre de masse est conçu pour vous donner entière satisfaction pour votre
application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. Le nom
Pfeiffer Vacuum représente une technique du vide de haute qualité, se décline en une
gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client
irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude
d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité
personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l’utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de.
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téléchargement sur notre site Internet.
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Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
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d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
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Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
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Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque de commerce
8
8
8
8
8
9
9
9
9
9
10
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Utilisation conforme
2.5 Utilisations non conformes prévisibles
2.6 Responsabilité et garantie
2.7 Conditions propriétaire
2.8 Qualification personnelle
2.8.1 Garantir la qualification du personnel
2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
2.9 Conditions opérateur
11
11
11
14
14
15
15
15
15
15
16
16
16
3
Description du produit
3.1 Réalisation du système
3.2 Appareil de commande QMS 700
3.2.1 Châssis système SC 700
3.2.2 Carte contrôleur quadripole QC 700
3.2.3 Alimentation source d’ions IS 716
3.2.4 Alimentation haute tension HT 701
3.2.5 Alimentation haute tension HT 702
3.2.6 Module entrée/sortie IO 700
3.2.7 Module entrée/sortie IO 720
3.3 Générateur HF QMH-40x
3.4 Analyseur QMA 4x0
3.5 Pré-amplificateur électromètre EP 422
3.6 Contre pré-amplificateur ions CP 400
3.7 Raccordements
3.7.1 Connexion I/O ANALOGIQUE, à 15 broches
3.7.2 Connexion I/O NUMÉRIQUE, à 25 broches
3.7.3 Raccordement pour la mesure TP
3.7.4 Connexions sur QC 700
3.7.5 Connexions sur IS 716
3.7.6 Connexions sur HT 701
3.7.7 Connexions sur HT 702
3.7.8 Connexions sur IO 700
3.7.9 Connexions sur IO 720
3.7.10Connexions sur EP 422
3.7.11Connexions sur CP 400
3.8 Câblage du système
3.8.1 Câblage de base pour le type de service Faraday
3.8.2 Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 701
3.8.3 Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 701
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17
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19
19
20
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Table des matières
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3.8.4 Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 702
3.8.5 Câblage pour type de service CD avec HT 702
3.8.6 Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 702
3.9 Identification du produit
3.10 Étendue de la livraison
38
39
40
40
40
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
41
41
41
5
Installation
5.1 Installation de tout le système QMG 700
5.2 Installation du châssis système
5.2.1 Installation du châssis système en tant que tiroir 19’’
5.2.2 Installation du châssis système en tant qu’unité de bureau
5.3 Installation ou remplacement des modules enfichables dans le châssis
système
5.4 Connexions sur le QC 700
5.5 Installation du pré-amplificateur électromètre EP 422 sur l’analyseur
5.6 Montage du contre pré-amplificateur ions CP 400
5.7 Installation du générateur HF QMH 40x
5.8 Installation de l’analyseur QMA 4x0
5.9 Raccordement de l’IO 700
5.10 Raccordement de l’IO 720
42
43
43
44
44
45
6
Mise en service
48
7
Fonctionnement
49
8
Mise hors service
50
9
Maintenance
9.1 Nettoyage de l’appareil de commande et du châssis système
9.2 Nettoyage de l’élément filtrant
9.3 Changement de l’élément filtrant
9.4 Changement du fusible secteur
51
51
52
52
53
10
Anomalies
54
11
Expédition
55
12
Recyclage et mise au rebut
12.1 Informations générales sur la mise au rebut
12.2 Élimination du système du spectromètre de masse
56
56
56
13
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
57
14
Informations de commande
14.1 Commande de pièces
14.2 Pièces de rechange et accessoires
14.3 Câbles et prises court-circuit
14.4 Composants du système
59
59
59
60
60
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1 Appareil de commande QMS 700
15.1.1Châssis système SC 700
15.1.2Contrôleur quadripole QC 700
15.1.3Alimentation source d’ions IS 716
15.1.4Alimentation haute tension HT 701
15.1.5Alimentation haute tension HT 702
15.1.6Module entrée/sortie IO 700
15.1.7Module entrée/sortie IO 720
61
61
61
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64
64
65
66
45
46
47
47
47
47
47
Table des matières
15.2
15.3
15.4
15.5
Générateur HF QMH-40x
Analyseur QMA 4x0
Pré-amplificateur électromètre EP 422
Contre pré-amplificateur ions CP 400
66
67
67
68
Déclaration de conformité CE
69
Déclaration de Conformité UK
70
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Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Tab. 27:
Tab. 28:
Tab. 29:
Tab. 30:
Tab. 31:
Tab. 32:
Tab. 33:
Tab. 34:
Tab. 35:
Tab. 36:
Tab. 37:
Tab. 38:
Tab. 39:
Tab. 40:
Tab. 41:
Tab. 42:
Tab. 43:
Tab. 44:
Tab. 45:
Tab. 46:
6/72
Documents applicables
Abréviations utilisées
Affectation des broches CTRL
Code de gamme du détecteur
Affectation des broches I/O AUX
Électrodes
Modes de fonctionnement du HT 702
Câblage de base pour le type de service Faraday
Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 701
Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 701
Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 702, type de service 0
Câblage pour type de service CD avec HT 702, type de service 1
Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 702, modes de
fonctionnement 2 et 3
État de la connexion Ethernet
Anomalies
Pièces de rechange et accessoires pour QMS 700
Pièces de rechange pour QMA 4x0
Composants du système
Limites d’utilisation du QMS 700
Fiche technique, SC 700
Fiche technique, QC 700
Modes de fonctionnement et paramètres QC 700
Modes de fonctionnement débit-masse QC 700
Résolution échelle de masse QC 700
Vitesses de mesure QC 700
Types de détecteur QC 700
Gammes et résolution de mesure QC 700
Filtre analogique QC 700
Filtre numérique QC 700
Fiche technique, IS 716
Alimentation filament IS 716
Émission IS 716
Fiche technique, HT 701
Partie haute tension, HT 701
Fiche technique, HT 702
Partie haute tension, HT 702
Fiche technique, IO 700
Alimentation du système externe, IO 700
Sorties numériques IO 700
Entrées numériques IO 700
Sorties analogiques IO 700
Entrées analogiques IO 700
Types QMH et QMA
Fiche technique, EP 422
Données amplificateur EP 422
Décalage EP 422
8
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66
66
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67
68
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
Fig. 17:
Fig. 18:
Fig. 19:
Fig. 20:
Fig. 21:
Fig. 22:
Fig. 23:
Fig. 24:
Fig. 25:
Fig. 26:
Fig. 27:
Fig. 28:
Fig. 29:
Fig. 30:
Fig. 31:
Fig. 32:
Fig. 33:
Fig. 34:
Fig. 35:
Fig. 36:
Fig. 37:
Fig. 38:
Fig. 39:
Fig. 40:
Fig. 41:
Fig. 42:
Fig. 43:
Fig. 44:
Fig. 45:
Fig. 46:
Fig. 47:
Fig. 48:
Fig. 49:
Fig. 50:
Fig. 51:
Fig. 52:
Fig. 53:
Fig. 54:
Exemple de configuration du QMG 700
Appareil de commande QMS 700
Châssis système SC 700
Faces avant et arrière du SC 700
Carte contrôleur quadripole QC 700
Alimentation source d’ions IS 716
Alimentation haute tension HT 701
Alimentation haute tension HT 702
Module entrée/sortie IO 700
Module entrée/sortie IO 720
Générateur HF QMH-40x
Analyseur QMA 4x0
Pré-amplificateur électromètre EP 422
Contre pré-amplificateur ions CP 400
Schéma de raccordement I/O ANALOGIQUE
Affectation des broches I/O ANALOG
Schéma de raccordement des entrées numériques
Schéma de raccordement des sorties numériques
Affectation des broches I/O NUMÉRIQUE
Affectation des broches pour la mesure TP
Connexions sur QC 700
Affectation des broches CP
Affectation des broches CTRL
Affectation des broches LAN
Connexions sur IS 716
Affectation des broches I/O AUX
Affectation des broches QMA
Potentiels ions sur IONREF pos. max. (+150 V), polarité positive
Potentiels ions sur IONREF nég. max. (-150 V), polarité négative
Connexions sur HT 701
Connexions sur HT 702
Connexions sur IO 700
Schéma de bloc du IO 700
Vue de l’IO 700 du dessus avec interrupteur de programmation pour l’adresse de nœud
Connexions sur EP 422
Câblage de base pour le type de service Faraday
Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 701
Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 701
Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 702
Câblage pour type de service CD avec HT 702
Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 702
Insérer les pieds plastique dans les alésages
Enfoncer les goupilles de serrage
Positions standard des modules enfichables dans le châssis
Connexion au PC avec câble de raccordement croisé (rouge)
Connexion au réseau avec câble de raccordement non-croisé (gris)
Connexion « Ethernet » (LAN)
Manchon de câble EMC avec séquence de pièces individuelles convenant
pour l’assemblage
La symbole vert dans Quadera passe au rouge
Changement de l’élément filtrant
Vue du panneau arrière du SC 700
Dimensions SC 700
Constante de temps de filtrage QC 700
Dimensions EP 422
18
18
19
19
19
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21
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63
67
7/72
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Manuel de l’utilisateur « Contre pré-amplificateur ions » CP 400
BG 5812
Manuel de l’utilisateur « Module entrée/sortie » IO 720
BG 5402
Manuel de l’utilisateur « Analyseur » QMA 4x0
BG 5983
Manuel de l’utilisateur « Générateur haute fréquence » QMH 40x
BG 5982
Instructions de communication « Spectromètre de masse quadripole »
QMG 700
BG 5401
Documentation du logiciel QUADERA
Partie du logiciel
Déclaration de conformité
Un composant de ce
manuel de l’utilisateur
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes :
Référence
Désignation
PT Q11 xxx xxx
QMG 700 HiQuad
PT Q12 xxx xxx
PT Q14 xxx xxx
PT Q15 xxx xxx
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d’apporter des modifications techniques sans préavis.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
8/72
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
A propos de ce manuel
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
Plaque signalétique
Exemple d’appareil de commande
QMS 700 : Les plaques signalétiques
des composants du système HiQuad
se trouvent sur les composants respectifs.
SC 700
D-35614 Asslar
Mod.
P/N
S/N
Input
1.3.4
QMS 700
PT M27 580
Made in United States 2022/07
xxxxxxxxx
100 ... 240 V AC 500 W
Abréviations
Abréviation
Explication
AI
Entrée analogique
AO
Sortie analogique
AUX
Auxiliaire
CD
Dynode de transformation (type de service)
CP
Contre pré-amplificateur
CTRL
Contrôle
9/72
A propos de ce manuel
Abréviation
Explication
DI
Entrée numérique
DIP
Double paquet en ligne
DO
Sortie numérique
ECL
Logique couplée émetteur
ELM
Sortie filtre LPF
ESD
Décharge électrostatique
EP
Pré-amplificateur électromètre
EXT
Externe
FA
Axe de terrain
FB
Bus de terrain
FIR
Réponse à impulsion finie
FS
Échelle max.
GND
Masse
HF
Haute fréquence
HT
Haute tension
IO, I/O
Entrée/sortie
IS
Alimentation en ions
MID
Détection ions multiple
MSL
Niveau moyen de la mer
PZ
Pozidriv
QC
Contrôleur quadripole
QMA
Analyseur de spectromètre de masse quadripole
QMH
Générateur haute fréquence spectromètre de masse quadripole
QMS
Appareil de commande spectromètre de masse quadripole
SC
Châssis système
SEM
Multiplicateur d’électrons secondaire
SEV
Multiplicateur d’électrons secondaire
HP
Inclinaison horizontale
TTL
Logique transistor-transistor
USB
Bus universel en série
Tab. 2:
1.4
Abréviations utilisées
Justificatif de marque de commerce
● HiQuad® est une marque de commerce déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH.
● QUADERA® est une marque de commerce déposée de Inficon GmbH.
● WAGO® est une marque de commerce déposée de WAGO Kontakttechnik GmbH & Co. KG.
10/72
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
11/72
Sécurité
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur
Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de
l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dangereux au toucher. La tension électrique représente un danger mortel.
► Protégez les pièces installées, les unités raccordées et les lignes contre les connexions galvaniques, les éclats ou le flux porteur de charge.
► Assurez-vous que l’enceinte à vide, le QMA et l’appareillage complet ont toujours une connexion
correcte à la terre protectrice.
► Fournissez une protection supplémentaire si l’utilisateur risque de toucher l’analyseur quand le
système de vide est ouvert.
► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés.
► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système
(par exemple, en utilisant un contact de porte).
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double
isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010
et CEI 60950.
► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre
correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres.
Risques pendant le fonctionnement
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
12/72
Sécurité
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique
un danger de mort.
► Toute intervention sur l’appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l’appareil et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Après l’arrêt de l’appareil, attendez environ 60 secondes puis débranchez tous les câbles
(en terminant par le câble électrique).
► N’ouvrez jamais l’appareil lorsqu’il est branché à une source d’alimentation électrique.
► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un appareil défectueux.
► Protégez l’appareil contre l’humidité.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
13/72
Sécurité
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Utilisation conforme
Le système de spectromètre de masse quadripole QMG 700 HiQuad est utilisé pour l’analyse de gaz
dans la gamme de vide élevé.
► L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur.
► Se conformer aux limites d’utilisation.
► Observer la fiche technique.
14/72
Sécurité
2.5
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
●
●
●
●
●
●
2.6
Utilisation en dehors des limites prescrites dans la fiche technique
Utilisation pour des mesures déterminant la sécurité de personnes ou de grandes valeurs
Utilisation avec des substances corrosives ou explosives
Utilisation en extérieur
Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie
tierce :
● ignore ce document
● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu
● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante
● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit
correspondante
L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé.
2.7
Conditions propriétaire
Travailler en toute sécurité
1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique.
2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au
mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers
qu'il implique.
3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies :
– Utilisation conforme
– Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents
– Normes et directives applicables au niveau local, national et international
– Directives et régulations supplémentaires relatives au produit
4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum.
5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit.
6. Garantir la qualification du personnel.
2.8
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.8.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécani-
15/72
Sécurité
que, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.8.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.8.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
2.9
Conditions opérateur
Analyse des documents et données concernés
1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la
société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements.
2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur.
3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents.
4. Se conformer aux limites d’utilisation.
5. Observer la fiche technique.
6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center.
– Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum.
16/72
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Réalisation du système
Le QMG 700 comprend les composants suivants :
●
●
●
●
Appareil de commande QMS 700 avec 4 pieds plastique 1)
Générateur HF QMH-40x
Analyseur QMA 4x0
Pré-amplificateur électromètre EP 422 ou contre pré-amplificateur ions CP 400 (selon les configurations)
Décompte des ions
► Pour le décompte des ions, utilisez le contre CP 400 au lieu du pré-amplificateur électromètre EP
422.
Le schéma de bloc suivant montre la réalisation du système basique QMG 700 et les désignations des
modules individuels. De nombreuses configurations sont possibles en fonction de l’application.
1)
pour utilisation en tant qu’unité de bureau
17/72
Description du produit
QMA 4x0
2
1
7
3
5
4
8
6
9
10
11
12
Ion Supply
13
15
14
QMS 700
16
19
DI
AI
DO AO
20
18
Fig. 1:
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
3.2
17
Exemple de configuration du QMG 700
Analyseur QMA 4x0
Source d’ions
Filtre quadripolaire
Unité de déviation 90°
Collecteur Faraday
SEV
Pré-amplificateur électromètre EP 422 (2)
Pré-amplificateur électromètre EP 422 (1)
Contre pré-amplificateur ions CP 400
Générateur HF QMH-40x
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
Appareil de commande QMS 700
Carte contrôleur quadripole QC 700
Alimentation source d’ions IS 716
Alimentation haute tension HT 70x
Module entrée/sortie IO 700 ou IO 720
Unité de courant
Alimentation (AC)
Entrées et sorties numériques et analogiques
Connexion au PC (Ethernet)
PC
Appareil de commande QMS 700
L’appareil de commande QMS 700 comprend le châssis système SC 700 et la carte contrôleur quadripole QC 700. Les modules enfichables sont montés dans le châssis système, selon la configuration. Le
QMS 700 n’a pas d’éléments de contrôle manuel propres.
Fig. 2:
18/72
Appareil de commande QMS 700
Description du produit
3.2.1
Châssis système SC 700
Le châssis système SC 700 contient l’unité de courant, le bus système interne et la ventilation de l’unité. Il fournit les bornes femelles des modules QC 700, IS 716, HT 701, HT 702, IO 700 et IO 720.
Fig. 3:
Châssis système SC 700
6
1
5
2
4
3
Fig. 4:
Faces avant et arrière du SC 700
1 Capot de ventilateur
2 Connecteur de réseau unité
3 Porte-fusibles
3.2.2
4
5
6
Bornes femelles du module
Interrupteur secteur « Puissance »
DEL « DC »
Carte contrôleur quadripole QC 700
La carte contrôleur quadripole QC 700 contient :
●
●
●
●
Contrôleur système QMG 700 et les interfaces LAN/USB de raccordement au PC
Contrôle de l’étage HF
Traitement du signal de mesure
Interface CP 400
Fig. 5:
3.2.3
Carte contrôleur quadripole QC 700
Alimentation source d’ions IS 716
L’alimentation source d’ions IS 716 fournit à la source d’ions la tension de fonctionnement requise et a
les propriétés suivantes :
●
●
●
●
Potentiels programmables, résistants aux courts-circuits
Polarité réversible pour ions négatifs et positifs
Fonctionnement normal/fonctionnement dégazage
Appropriée pour tous les types de source d’ions de l’analyseur QMA 4x0
19/72
Description du produit
Fig. 6:
3.2.4
Alimentation source d’ions IS 716
Alimentation haute tension HT 701
L’alimentation haute tension HT 701 alimente le SEM 217 de l’analyseur QMA 4x0 avec une haute tension requise pour la détection des ions positifs.
Fig. 7:
3.2.5
Alimentation haute tension HT 701
Alimentation haute tension HT 702
L’alimentation haute tension HT 702 alimente
● SEM 217 de l’analyseur QMA 4x0 avec la haute tension requise pour la détection des ions négatifs et positifs (élevés).
● SEM 218 de l’analyseur QMA 4x0 avec la haute tension requise pour la détection des ions positifs.
Fig. 8:
3.2.6
Alimentation haute tension HT 702
Module entrée/sortie IO 700
Le module I/O IO 700 fournit des entrées et des sorties numériques et analogiques programmables.
Fig. 9:
3.2.7
Module entrée/sortie IO 700
Module entrée/sortie IO 720
Le module I/O IO 720 fournit des entrées et des sorties numériques et analogiques programmables et
une option de raccordement pour un émetteur de pression totale ActiveLine.
20/72
Description du produit
Fig. 10:
3.3
Module entrée/sortie IO 720
Générateur HF QMH-40x
Le générateur HF QMH-40x génère une tension à haute fréquence requise pour la séparation des masses. Le QMH 40x se rapporte toujours à tous les types, sauf spécification contraire.
Fig. 11:
3.4
Générateur HF QMH-40x
Analyseur QMA 4x0
L’analyseur QMA 4x0 est constitué d’une source d’ions, d’un filtre quadripolaire, d’un collecteur d’ions
et d’un boîtier. Le QMA 4x0 se rapporte toujours à tous les types, sauf spécification contraire.
Les quatre types de collecteur d’ions sont les suivants :
● Collecteur Faraday
● SEM 217, SEM 218 (les deux avec un décalage axial à 90° avec collecteur Faraday intégré)
Fig. 12:
3.5
Analyseur QMA 4x0
Pré-amplificateur électromètre EP 422
Le pré-amplificateur électromètre EP 422 amplifie le courant d’ions très faible ou les signaux de courant
d’électrons de l’analyseur QMA 4x0 à des niveaux de tension appropriés pour un traitement ultérieur.
Le pré-amplificateur électromètre EP 422 est monté directement sur l’analyseur QMA 4x0 pour minimiser les interférences liées à l’application.
21/72
Description du produit
Commutation du fonctionnement Faraday au fonctionnement SEM
Avec les analyseurs QMA 4x0 avec SEM à décalage axial de 90°, 2 pré-amplificateurs
électromètres EP 422 peuvent être raccordés. Ceci permet une commutation aisée entre le
fonctionnement Faraday et le fonctionnement SEM.
Propriétés du pré-amplificateur électromètre EP 422 :
●
●
●
●
Compact
Sensibilité minimum aux vibrations, faible bruit, faible divergence
Montage simple sur l’analyseur QMA 4x0
Réponse rapide et restauration en cas de surmodulation
Fig. 13:
3.6
Pré-amplificateur électromètre EP 422
Contre pré-amplificateur ions CP 400
Le contre pré-amplificateur ions CP 400 contient un découplage d’impulsion, un amplificateur et un discriminateur de hauteur d’impulsion à seuil réglable. Il est monté directement sur l’analyseur QMA 4x0
avec un décalage axial de 90° du SEM.
Fig. 14:
22/72
Contre pré-amplificateur ions CP 400
Description du produit
3.7
Raccordements
3.7.1
Connexion I/O ANALOGIQUE, à 15 broches
IO 720
Channel 1
1 nF
–
1
+
9
1 nF
–
Channel 2
2
+
10
–
Channel 3
3
+
11
–
Channel 4
4
+
12
–
Channel 5
5
+
13
Analog Inputs
Channel 1
22 Ω
22 Ω
6
10 nF
Channel 2
7
Channel 3
14
Channel 4
15
Analog Outputs
10 Ω
AGND
8
Screen
ChGND
Fig. 15:
Fig. 16:
1
2
3
4
5
6
7
8
1
→
15
→
8
Schéma de raccordement I/O ANALOGIQUE
9
Affectation des broches I/O ANALOG
Entrée analogique, canal 1 (-)
Entrée analogique, canal 2 (-)
Entrée analogique, canal 3 (-)
Entrée analogique, canal 4 (-)
Entrée analogique, canal 5 (-)
Sortie analogique, canal 1
Sortie analogique, canal 2
Masse de référence des sorties analogiques
9
10
11
12
13
14
15
Entrée analogique, canal 1 (+)
Entrée analogique, canal 2 (+)
Entrée analogique, canal 3 (+)
Entrée analogique, canal 4 (+)
Entrée analogique, canal 5 (+)
Sortie analogique, canal 3
Sortie analogique, canal 4
23/72
Description du produit
3.7.2
Connexion I/O NUMÉRIQUE, à 25 broches
IO 720
1K2
24
+24 V
Channel 1
1)
11
2)
Channel 2
12
Channel 3
13
Channel 4
25
+
100 Ω
–
23
Screen
GND
Fig. 17:
ChGND
Schéma de raccordement des entrées numériques
10
Optocoupler isolated
Optocoupler isolated
IO 720
Channel11
Channel
1
Channel22
Channel
2
Channel33
Channel
3
Channel44
Channel
4
Channel55
Channel
5
Channel
Channel66
6
Channel77
Channel
7
Channel88
Channel
8
RL
+
-
3)
22
Channel99
Channel
14
Channel1010
Channel
15
Channel1111
Channel
16
Channel12
Channel
12
17
Channel1313
Channel
18
Channel
Channel1414
19
Channel1515
Channel
20
Channel16
16
Channel
21
9
Screen
Screen
ChGND
Fig. 18:
24/72
Schéma de raccordement des sorties numériques
+
DO_V
–
Description du produit
1
→
13
14
→
25
Fig. 19:
1
2
3
4
5
6
7
8
9
3.7.3
Affectation des broches I/O NUMÉRIQUE
Sortie numérique, canal 1 2)
Sortie numérique, canal 2
Sortie numérique, canal 3
Sortie numérique, canal 4
Sortie numérique, canal 5
Sortie numérique, canal 6
Sortie numérique, canal 7
Sortie numérique, canal 8
Masse des sorties numériques 1 à 16 (DO_0V)
14
15
16
17
18
19
20
21
22
10 Alimentation électrique des sorties numériques
1 à 8 (DO_V+, externe)
11 Entrée numérique, canal 1 3)4)
12 Entrée numérique, canal 2
13 Entrée numérique, canal 3
23
24
25
Sortie numérique, canal 9
Sortie numérique, canal 10
Sortie numérique, canal 11
Sortie numérique, canal 12
Sortie numérique, canal 13
Sortie numérique, canal 14
Sortie numérique, canal 15
Sortie numérique, canal 16
Alimentation électrique des sorties numériques 9 à 16 (DO_V+, externe)
Masse de référence des entrées numériques (0 V)
+24 V pour sortie numérique
Entrée numérique, canal 4
Raccordement pour la mesure TP
Changement d’émetteur
Quand il est activé, le module I/O IO 720 détecte automatiquement le type d’émetteur.
● Après le remplacement d’un émetteur, désactivez le connecteur de l’appareil de commande QMS 700 pendant 10 secondes, puis réactivez-le.
─ Le module I/O IO 720 détecte ainsi le nouveau type d’émetteur.
3
2
4
6
1
Fig. 20:
5
Affectation des broches pour la mesure TP
1 Identification
2 Masse (GND)
3 Entrée de signal (signal de mesure 0 – +10 V DC)
2)
4
5
6
Masse analogique (signal de mesure -)
Blindage
Alimentation électrique (+24 V DC)
La charge RL peut être un relais, une électrovanne ou un témoin lumineux.
3)
Commande de l’entrée avec contact sans potentiel
4)
Commande de l’entrée avec tension externe (sortie PLC, par exemple)
25/72
Description du produit
3.7.4
Connexions sur QC 700
5
4
3
2
1
Fig. 21:
Connexions sur QC 700
1 Prise USB, type B
2 Connexion CTRL (HD-D-Sub, 26 broches)
3 Connexion LAN (prise RJ-45, 8 broches)
Fig. 22:
1
2
3
4
5
1
→
15
→
8
9
Connexion CP (D-Sub, 15 broches, douilles)
Connexion QMH (D-Sub, 25 broches, douilles)
Affectation des broches CP
QMA GND (masse)
Identification (6,8 kΩ sur GND)
SORTIE - (sortie ECL)
SORTIE + (sortie ECL)
V+ (alimentation)
9
6
7
8
9–15
NIVEAU - (tension seuil)
NIVEAU + (tension seuil)
V- (alimentation)
non attribué
1
18
10
26
26/72
4
5
19
Fig. 23:
Affectation des broches CTRL
Broche
Mot de signalisation
Type de signal
Description
1
GND
GND
supérieur à 100 Ω sur GND
10
GND
GND
26
GND
GND
2
RUN IN
Entrée TTL
Entrée de démarrage de cycle de mesure externe, faible
correction, pull-up interne 5,6 kΩ sur +5 V
14
SYNC IN
Entrée TTL
Réservé aux applications futures, faible correction, pull-up
interne 5,6 kΩ sur +5 V
15
IN 0
Entrée TTL
Pull-up interne 5,6 kΩ sur +5 V (utilisable seulement si le
cavalier J2 est enfiché)
3
IN 1
Entrée TTL
Pull-up interne 5,6 kΩ sur +5 V (utilisable seulement si le
cavalier J4 est enfiché)
16
IN 2
Entrée TTL
Pull-up interne 5,6 kΩ sur +5 V
23
OUT 0
Sortie TTL
Description du produit
Broche
Mot de signalisation
Type de signal
Description
11
OUT 1
Sortie TTL
25
SYNC OUT+
Sortie TTL
Le bord positif marque le démarrage de la mesure, déclencher pour l’oscilloscope
13
SYNC OUT-
GND
Signal de référence SYNC OUT+, supérieur à 200 Ω sur
GND
4
EXT IN 1+
Entrée analogique
Connexion du signal de mesure externe, différentiel, max.
±10 V, avec filtre LPF/amplificateur
17
EXT IN 1-
Entrée analogique
5
EXT IN 2+
Entrée analogique
18
EXT IN 2-
Entrée analogique
6
ELM OUT+
Sortie analogique
Sortie filtre LPF/amplificateur, ±10 V, max 0.1 mA, supérieur à 200 Ω
19
ELM OUT-
GND
Signal de référence ELM OUT+, supérieur à 200 Ω sur
GND
7
AO MON 0+
Sortie analogique
Sortie librement applicable 5), ±10 V, 12 bit, max. 0,1mA,
supérieur à 200 Ω
20
AO MON 0-
GND
Signal de référence AO MON 0+, supérieur à 200 Ω sur
GND
8
AO MON 1+
Sortie analogique
Sortie librement applicable 6), ±10 V, 12 bit, max. 0,1mA,
supérieur à 200 Ω
21
AO MON 1-
GND
Signal de référence AO MON 1+ supérieur à 200 Ω sur
GND
9
SCO+
Sortie analogique
Sortie numéro de masse, 0 à +10 V, 16 bit, max. 0,1 mA,
supérieur à 200 Ω
22
SCO-
GND
Signal de référence SCO+, supérieur à 200 Ω sur GND
12
EP OUT+
Sortie analogique
Signal électromètre, max. 0,1 mA, supérieur à 200 Ω
24
EP OUT-
GND
Signal de référence EP OUT+, supérieur à 200 Ω sur
GND
Tab. 3:
Affectation des broches CTRL
Connexion du signal de mesure externe, différentiel, max.
±10 V, en option avec ou sans filtre LPF/amplificateur
Gamme du détecteur (A)
Tension de sortie (V)
-5
8
-6
7
1 x 10
-7
6
1 x 10-8
5
1 x 10
-9
4
1 x 10-10
3
-11
2
-12
1
1 x 10
1 x 10
1 x 10
1 x 10
Dans le type de service avec compteur d’ions, la tension de sortie est de 0 V.
Tab. 4:
Code de gamme du détecteur
Configurations possibles du signal d’intensité :
● Linéaire (±10 V / décade)
● Logarithmique (±10 V FS, 1–10 décades)
5)
En mode écran de contrôle, réservée au code de gamme du détecteur
6)
En mode écran de contrôle, réservée au signal d’intensité
27/72
Description du produit
RJ-45
1
8
green yellow
Fig. 24:
Affectation des broches LAN
1 Données de transmission (TD+)
2 Données de transmission (TD-)
3 Données de réception (RD+)
3.7.5
4, 5, 7, 8
6
Non utilisé
Données de réception (RD-)
Connexions sur IS 716
2
1
Fig. 25:
Connexions sur IS 716
1 Connexion I/O AUX pour protection filament
28/72
5
1
9
6
2
Connexion de l’analyseur QMA
Fig. 26:
Affectation des broches I/O AUX
Broche
Mot de signalisation
Type de signal
Description
1
EXT PROT
Entrée numérique 24 V
Entrée de protection filament
Gardez la broche avec la protection externe activée à
l’aide du contact sans potentiel sur GND, (résistante
interne à déclenchement 5,6 kΩ sur +24 V), sinon
l’émission sera désactivée.
2
GND
GND
3
DI RES 1
Entrée TTL
4
DI RES 3
Entrée TTL
5
DO RES 1
Sortie TTL
6
DO RES 2
Sortie TTL
7
DO RES 3
Sortie TTL
8
DO RES 4
Sortie TTL
9
n.c.
-
Tab. 5:
Affectation des broches I/O AUX
Réservée à des applications futures.
Description du produit
9
10
16
11
8
7
15
12
6
1
14
13
5
2
3
Fig. 27:
1
2
3
4
5
6
7
8
4
Affectation des broches QMA
QMA GND
SPEC SRC RET 7)
V6, déviation interne
V3, mise au point
V9, Wehnelt
V5, évacuation
Filament +
Filament - / cathode
9
10
11
12
13
14
15
16
Filament commun
V4, axe de terrain
V0, Ref GND
Écran
V8, réserve
V1, Ion Ref
SPEC SRC ON 8)
V7, déviation externe
Connexion QMA (potentiels)
Activation du QMS 700 seulement avec le câble QMA
Activez seulement le QMS 700 avec le câble QMA correctement connecté.
Source de tension externe
Vous devez limiter la source de tension externe pour V0 de façon fiable à ≤2 mA.
Fig. 28:
V6
V7
V8
-450V.........................................................0..................+300V
-450V.........................................................0..................+300V
-450V.........................................................0..................+300V
V9
V5
-450V.........................................................0..................+300V
QMA-GND
V2
V4
-150V.............0...+60V
V0
-60V.......0
-125V.........0
0.............+150
V1
V3
-150V.............0...+60V
● V1 se rapportant à V0
● V2 à V8 se rapportant à V1
● V9 se rapportant à V2
IONREF (V1)
Potentiels ions sur IONREF pos. max. (+150 V), polarité positive
7)
Signal de référence pour SPEC SRC ON
8)
+24 V si activé, max. 200 mA
29/72
V7
V8
-300V....................0........................................................+450V
-300V....................0........................................................+450V
-60V....0............+150V
V6
-300V....................0........................................................+450V
V2
V5
-300V....................0........................................................+450V
V4
-60V....0............+150V
V1
V3
-60V.......0
QMA-GND
-125V.........0
V0
-150..............0
Description du produit
IONREF (V1)
V9
Fig. 29:
Désignation des
électrodes
Domaine, gamme
V0
10)
Courant
nominal
Résolution
Décalage
Erreur
de gain
Potentiel
de dégazage 9)
V1
IONREF
-150 –
+150 V
±2,5 mA
20 mV
±120 mV
1,6 %
+550 V
V2
CATH
0 – -125
V
-10 mA
10 mV
±60 mV
1,6 %
+7 V
V3
MISE AU
POINT
±3 mA
20 mV
±120 mV
1,6 %
0V
V4
AXE F
±3 mA
20 mV
±120 mV
1,6 %
0V
V5
EXTRACTION
±100 μA
58,82 mV
±240 mV
1,6 %
0V
V6
DEF-I
11)
±100 μA
58,82 mV
±240 mV
1,6 %
0V
V7
DEF-O
12)
±100 μA
58,82 mV
±240 mV
1,6 %
0V
V8
RES
±100 μA
58,82 mV
±240 mV
1,6 %
0V
V9
WEHNELT
-500 μA
3,92 mV
±30 mV
1,6 %
0V
Tab. 6:
30/72
Potentiels ions sur IONREF nég. max. (-150 V), polarité négative
0 – -60 V
Électrodes
9)
Se rapportant à V0
10)
Normalement, V0 dans l’analyseur est raccordé à QMA GND (GND système). Pour des applications spéciales, vous pouvez régler V0 sur max ±200 V sur QMA GND.
11)
Dans le type de service Faraday, V6 et V7 sont raccordés sur QMA GND.
12)
Dans le type de service Faraday, V6 et V7 sont raccordés sur QMA GND.
Description du produit
3.7.6
Connexions sur HT 701
1
Fig. 30:
Connexions sur HT 701
1 Connexion haute tension HT-
3.7.7
Connexions sur HT 702
La fonction et la configuration du HT 702 dépendent du type de service.
3
2
1
Fig. 31:
Connexions sur HT 702
1 Connexion de dynode de transformation CD
2 Connexion haute tension HT-
3
Connexion haute tension HT+
31/72
Description du produit
Type
de
service
Description
Connexion HT 702
0
SEM
HT+ : Prise court-circuit enfichée
(connexion HT+ raccordée électriquement à GND QMA)
HT- : -> SEM
CD : non utilisé
1
SEM + CD
HT+ : Prise court-circuit enfichée
(connexion HT+ raccordée électriquement à GND QMA)
HT- : -> SEM
CD : -> CD
Schéma basique
HV 702
HV+
+
U SEM
_
HV
HV 702
_
QMA, HV_
HV+
+
U SEM
_
HV
_
QMA, HV _
CD
QMA, CD
_
UCD
+
2
SEM élevé
positivement
Détection des
ions négatifs
HT+ : -> SEM HT+
HT- : -> SEM HT- (tension haut niveau positive)
CD : non utilisé
HV 702
HV+
UBIAS
3
SEM élevé
négativement
Détection des
ions positifs
HT+ : -> SEM HT+
HT- : -> SEM HT- (tension haut niveau négative)
CD : non utilisé
_
HV+
USEM
Modes de fonctionnement du HT 702
Connexions sur IO 700
IO 700 contient des modules entrées/sorties numériques et analogiques.
2
1
Fig. 32:
Connexions sur IO 700
1 Manchons de câble
32/72
2
Module WAGO®
CP, HV_
HV 702
UBIAS
3.7.8
_
HV
+
_
CP, HV+
+
_
_
Tab. 7:
CP, HV+
+
USEM
+
_
HV
CP, HV_
+24 V
0V
X2
16a
Internal QMS 700 BUS
16c
green 0.25 mm2
TWISTED
blue 0.5 mm2
red 0.5 mm 2
24 V
0V
TWISTED
CAN GND black 0.25 mm 2
CAN_L
(SHIELD)
1c
1a
X1
6a
5c
5a
-
-
EXT +24V
10 nF
ISOLATION
10 nF
X3
EXT 0 V
8
10 nF
CHASSIS
EXT +24 V
10 nF
CHASSIS
X4
1 5 2 6 3 7 4 8
GND
ISOLATION
CONNECTION BOARD
R_LOAD
>5 K
1 2 5 6 3 4 7 8
I/O Module IO 700
CHASSIS
1 5 2 6 3 7 4
typ 2.8 mA
ISOLATION
max 0.5 A
CHASSIS
+24 V
0V
EXT 0V
EXTERNAL 24 V
POWER SUPPLY
+24 V 0 V
max 10 A
+ +
ISOLATION
750
SYSTEM
BUS
DO 1
DO 2
DO 3
DO 4
DO 5
DO 6
DO 7
DO 8
yellow 0.25 mm 2
AO 1
CAN_H
AO 4
6c
DI 1
DI 2
DI 3
DI 4
DI 5
DI 6
DI 7
DI 8
AO 2
AO 1
ANALOG OUT 4 CH
750-559
AO 2
CANopen
COUPLER
750-337
GND
ISOLATION
AI 2
AI 1
ANALOG IN 4 CH
750-459
AI 4
+
-
V IN
R_IN 100 K
END
MODULE
750-600
USER WIRING
FACTORY WIRING
1 2 5 6 3 4 7 8
AI 1
CONNECTION BOARD
AO 3
DI 4
DI 3
DI 2
DI 1
DIGITAL IN 8 BIT
750-430
AI 2
Fig. 33:
AI 3
DO 4
DO 3
DO 2
DO 1
DIGITAL OUT 8 BIT
750-530
Description du produit
Schéma de bloc du IO 700
Adressage d’un module I/O
► Définir une adresse de nœud du module sur un interrupteur DIP.
33/72
Description du produit
IO 700
ON
OFF
8
1
Fig. 34:
Vue de l’IO 700 du dessus avec interrupteur de programmation pour l’adresse de
nœud
Adresses de nœuds
● Premier module IO 700 :
─ 14Hex, (20Dec), interrupteurs 3 et 5 réglés sur ON
3.7.9
Connexions sur IO 720
IO 700 contient des modules entrées/sorties numériques et analogiques.
Vous trouverez des informations sur les connexions dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour
le IO 720.
3.7.10
Connexions sur EP 422
1
2
Fig. 35:
Connexions sur EP 422
1 Connexion de l’analyseur
QMA
3.7.11
2
Câble de raccordement au générateur HF QMH (monté en permanence)
Connexions sur CP 400
Vous trouverez des informations sur les connexions dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour
le CP 400.
3.8
Câblage du système
Le câblage du système dépend du type de service. Vous trouverez ci-dessous le câblage des trois types de service.
Modes de fonctionnement 90°-SEM et CP
Les modes de fonctionnement 90°-SEM et CP nécessitent chacun en plus le câblage basique décrit.
34/72
Description du produit
3.8.1
Câblage de base pour le type de service Faraday
QC 700
IS 716
QMH
QMA
QMH 4xx
2
EP 1
FARAD
EP 2
SEM
3
1
1)
1)
RF+
RF FA
4
5
RF A
RF B
6
EP
FA
IS
QMA
Fig. 36:
Câblage de base pour le type de service Faraday
Ce câblage s’applique aux applications avec HT 701 et HT 702.
Position
Câble
Longueur (m)
Référence de commande
1
Connexion IS 716 – QMA 4x0
3
10
BG548082 -T
BG548083 -T
2
Connexion QC 700 – QMH 4xx
Câble d’extension
3
7
- (monté sur QMH 4xx)
BG448175 -T
Connexion EP 422 (1) – QMH 4xx
0,85
- (monté sur EP 422)
Connexion HF QMH 4xx – QMA 4x0
0,7
BG448295 -T
Connexion FA QMH 4xx – QMA 4x0
0,7
BG541962 -T
3
4
1)
5
1)
6
1)
Câbles croisés 4 et 5 si nécessaire conformément au rapport de test.
Tab. 8:
Câblage de base pour le type de service Faraday
35/72
Description du produit
3.8.2
Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 701
HV 701
HV -
QMH 4xx
12
EP 2
SEM
RF A
RF B
8
EP
FA
7
IS
QMA
EP
HV+
HV -
SEM 217
36/72
11
Fig. 37:
Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 701
Position
Câble/prise court-circuit
Longueur (m)
Référence de commande
7
Connexion EP 422 (2) – QMH 4xx
0,85
- (monté sur EP 422)
8
Connexion HT HT 701 – QMA 4x0 (HT–)
3
10
BG541978 -T
BG541979 -T
11
Prise court-circuit HT (type SHV)
-
B4728891B9
12
Prise court-circuit EP (type TNC)
-
B4728138BC
Tab. 9:
Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 701
Description du produit
3.8.3
Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 701
HV 701
QC 700
CP
HV -
RF A
RF B
8
EP
10
FA
IS
QMA
CP 400
HV- HV+
QC
SEM 217
11
Fig. 38:
Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 701
Position
Câble/prise court-circuit
Longueur (m)
Référence de commande
8
Connexion HT HT 701 – CP 400
3
10
BG541978 -T
BG541979 -T
10
Connexion QC 700 – CP 400
3
10
BG448134 -T
BG448199 -T
11
Prise court-circuit HT (type SHV)
-
B4728891B9
Tab. 10:
Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 701
37/72
Description du produit
3.8.4
Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 702
HV 702
11
HV +
HV CD
QMH 4xx
12
EP 2
SEM
RF A
RF B
8
EP
FA
7
IS
QMA
EP
HV+
HV -
SEM 217
11
Fig. 39:
Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 702
Ce câblage s’applique aux applications avec HT 702 et type de service 0.
38/72
Position
Câble/prise court-circuit
Longueur (m)
Référence de commande
7
Connexion EP 422 (2) – QMH 4xx
0,85
- (monté sur EP 422)
8
Connexion HT HT 702 – QMA 4x0 (HT–)
3
10
BG541978 -T
BG541979 -T
11
Prise court-circuit HT (type SHV)
-
B4728891B9
12
Prise court-circuit EP (type TNC)
-
B4728138BC
Tab. 11:
Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 702, type de service 0
Description du produit
3.8.5
Câblage pour type de service CD avec HT 702
HV 702
11
HV +
HV CD
QMH 4xx
12
EP 2
SEM
RF A
RF B
9
8
EP
FA
7
IS
QMA
EP
HVCD
SEM 218
Fig. 40:
Câblage pour type de service CD avec HT 702
Ce câblage s’applique aux applications avec HT 702 et type de service 1.
Position
Câble/prise court-circuit
Longueur (m)
Référence de commande
7
Connexion EP 422 (2) – QMH 4xx
0,85
- (monté sur EP 422)
8
Connexion HT HT 702 – QMA 4x0 (HT–)
9
Connexion HT HT 702 – QMA 4x0 (CD)
3
10
BG541978 -T
BG541979 -T
11
Prise court-circuit HT (type SHV)
-
B4728891B9
12
Prise court-circuit EP (type TNC)
-
B4728138BC
Tab. 12:
Câblage pour type de service CD avec HT 702, type de service 1
39/72
Description du produit
3.8.6
Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 702
QC 700
HV 702
HV +
CP
HV CD
RF A
RF B
10
8
9
EP
FA
IS
QMA
CP 400
HV- HV+
QC
SEM 217
Fig. 41:
Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 702
Ce câblage s’applique aux applications avec HT 702 et modes de fonctionnement 2 et 3.
Position
Câble
Longueur (m)
Référence de commande
8
Connexion HT HT 702 – CP 400
3
10
BG541978 -T
BG541979 -T
Connexion QC 700 – CP 400
3
10
BG448134 -T
BG448199 -T
9
10
Tab. 13:
3.9
Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 702, modes de fonctionnement 2 et 3
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
3.10
Étendue de la livraison
● QMG 700 HiQad (composants individuels, selon la configuration)
● Manuel de l’utilisateur
Déballage et vérification du produit
1. Déballez le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Contrôlez qu’aucune pièce n’a été endommagée.
40/72
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transporter le produit en toute sécurité
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant
l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Stocker le produit en toute sécurité
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température d’entreposage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
41/72
Installation
5 Installation
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique
un danger de mort.
► Toute intervention sur l’appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l’appareil et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Après l’arrêt de l’appareil, attendez environ 60 secondes puis débranchez tous les câbles
(en terminant par le câble électrique).
► N’ouvrez jamais l’appareil lorsqu’il est branché à une source d’alimentation électrique.
► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un appareil défectueux.
► Protégez l’appareil contre l’humidité.
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double
isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010
et CEI 60950.
► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre
correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres.
AVIS
Défaillance liée à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à
toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
42/72
Installation
5.1
Installation de tout le système QMG 700
DANGER
Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur
Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de
l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dangereux au toucher. La tension électrique représente un danger mortel.
► Protégez les pièces installées, les unités raccordées et les lignes contre les connexions galvaniques, les éclats ou le flux porteur de charge.
► Assurez-vous que l’enceinte à vide, le QMA et l’appareillage complet ont toujours une connexion
correcte à la terre protectrice.
► Fournissez une protection supplémentaire si l’utilisateur risque de toucher l’analyseur quand le
système de vide est ouvert.
► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés.
► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système
(par exemple, en utilisant un contact de porte).
AVIS
Endommagement de l'analyseur causé par des tensions et des champs magnétiques externes
N’exposez jamais le système d'électrodes de l'analyseur à des tensions externes dangereuses en
cas de contact, provenant de connexions galvaniques, d'un contact, d’un éclat, de faisceau d'électrons ou d'ions, etc. Si des sources dangereuses de ce type existent dans l’enceinte à vide, vous devez fournir des mesures protectrices qui éliminent en toute sécurité ces influences. Des tensions externes, même faibles, sur l'analyseur vont endommager l'électronique et entraîner des résultats de
mesure inexacts.
► Prenez des mesures protectrices efficaces contre les tensions externes (par exemple, meilleure
disposition, blindage, prise de terre, etc.).
► Ne montez pas l’analyseur à côté de champs magnétiques de > 0,2 mT.
► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés.
► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système
(par exemple, en utilisant un contact de porte).
► Observez les standards applicables au système de vide.
Condition préalable
● Interrupteur secteur du QMS 700 réglé sur OFF
Installation de tout le système
1. Montez les groupes périphériques comme l’analyseur, l’étage HF, etc. conformément aux spécifications dans les manuels de l’utilisateur correspondants.
2. Mettez à la terre tous les équipements concernés à un seul point conformément à la réglementation.
– La seule exception est le PC raccordé.
3. Il est recommandé d’utilise un distributeur secteur unique.
5.2
Installation du châssis système
AVIS
Dégâts causés par surchauffe
La température ambiante ne doit pas excéder la température de service admissible de l'appareil.
► Veillez à assurer une bonne circulation de l'air lors de l'installation de l'appareil.
► Si nécessaire, contrôlez et nettoyez régulièrement le filtre à air installé.
43/72
Installation
AVIS
Annulation de la classe de protection de l'armoire de commande
En tant qu'unité intégrée, l'appareil peut remettre en cause la classe de protection requise (contre les
particules étrangères et l'eau) des armoires de commande conformément à la norme CEI 60204-1,
par exemple.
► Prendre les mesures adéquates pour rétablir la classe de protection requise.
5.2.1
Installation du châssis système en tant que tiroir 19’’
Procédure
1. Insérez l’unité dans l’armoire de commande conformément à la spécification DIN 41 494.
2. Fixez l’unité à l’aide des vis correspondantes.
3. Serrez toujours toutes les vis et les dispositifs destinés à soulager la tension pour assurer un contact fiable et éviter une déconnexion imprévue des connecteurs.
5.2.2
Installation du châssis système en tant qu’unité de bureau
Outils nécessaires
● Tournevis
Équipement nécessaire
● 4 pieds plastique
Fig. 42:
Insérer les pieds plastique dans les alésages
Fig. 43:
Enfoncer les goupilles de serrage
Procédure
1. Retournez l’unité.
2. Insérez les pieds plastique dans les alésages du socle.
3. Avec le manche d’un tournevis, poussez à fond les goupilles d’arrêt qui dépassent dans les pieds
plastique.
4. Retournez à nouveau l’unité.
44/72
Installation
5.3 Installation ou remplacement des modules enfichables dans le châssis système
AVIS
Détérioration de l’unité à cause d’une décharge électrostatique
Une décharge électrostatique endommage les composants électroniques. Si cet avertissement n’est
pas respecté, les défauts qui en résultent ne sont pas pris en charge par la garantie.
► Les opérations sur les stations de travail à protection CEM doivent être effectuées conformément
aux méthodes appropriées.
► Lorsque l’unité est ouverte, prenez les mesures de précaution appropriées contre les charges
électrostatiques.
► Stockez toujours les unités électroniques et les composants dans des emballages antistatiques.
► Observez la norme EN 61340, 5-1 et 5-2, « Protection des appareils électroniques contre les
phénomènes électrostatiques ».
Outils nécessaires
● Tournevis de type « PZ », taille 1
2)
Power Supply
SC 700
2)
IO 700/720
Blank Panel
4TE
Blank Panel
8TE
1)
Blank Panel
4TE
HV 701
IS 716
FB 711
QC 700
Chassis (with HV 701):
3)
1)
Fig. 44:
Power Supply
SC 700
IO 700/720
Blank Panel
8TE
HV 702
IS 716
FB 711
QC 700
Chassis (with HV 702):
3)
Positions standard des modules enfichables dans le châssis
Procédure
► Rendez étanche les bornes femelles avec des plaques borgnes appropriées pour assurer la sécurité et la ventilation.
► Installez une plaque borgne 4HP si le module FB 711 n’est pas ajusté.
► Installez 3 plaques borgnes 8HP si le module IO 700 n’est pas ajusté.
– En option : Installez une IO 720 à la place de l’IO 700.
► Installez une plaque borgne 4HP à droite du module IS 716.
– Exception : Aucune plaque borgne n’est requise en cas d’utilisation du HT 702.
► Installez la FB 711 ou une plaque borgne 4HP à gauche de l’IS 716.
► Serrez fermement toutes les vis de fixation pour assurer un bon maintien et un bon contact.
5.4
Connexions sur le QC 700
La connexion PC (USB) est seulement requise pour la maintenance. Il est impossible d’utiliser le logiciel Quadera pour faire fonctionner le système QMG 700 via cette connexion USB.
45/72
Installation
Fig. 45:
Connexion au PC avec câble de raccordement croisé (rouge)
Fig. 46:
Connexion au réseau avec câble de raccordement non-croisé (gris)
RJ-45
1
8
green yellow
Fig. 47:
Connexion « Ethernet » (LAN)
1 Données de transmission (TD+)
2 Données de transmission (TD-)
3 Données de réception (RD+)
6
4, 5, 7, 8
LED
État
Signification
Verte (lien)
allumée
Connexion de l'équipement présente
éteinte
Connexion de l'équipement absente
allumée (clignotement)
Transmission de données en cours
éteinte
Aucune transmission de données/absence de connexion
Jaune (activité)
Tab. 14:
Données de réception (RD-)
Non utilisé
État de la connexion Ethernet
Connexion Ethernet
► Utilisez le QMS 700 via un PC ou un réseau.
► Pour établir la connexion entre le QMS 700 (QC 700) et le PC :
– Utilisez le câble rouge fourni pour la connexion Ethernet LAN directe.
– Utilisez le câble gris fourni pour une connexion via un commutateur ou un réseau.
5.5
Installation du pré-amplificateur électromètre EP 422 sur l’analyseur
Stabilité du signal de l’EP 422
Pour une stabilité optimale du signal, protégez l’EP 422 contre les vibrations, les variations
de température, les hautes températures, l’humidité et des champs magnétiques alternant
considérablement.
46/72
Installation
Procédure
1. Fixez l’EP 422 au connecteur correspondant sur le QMA.
2. Positionnez l’EP 422 pour qu’il ne touche pas les connecteurs environnants.
3. Serrez les écrous moletés.
4. Connectez le câble de contrôle au connecteur ep1 (Faraday) ou ep2 (SEV) sur le QMH 40x.
5. Verrouillez le connecteur.
5.6
Montage du contre pré-amplificateur ions CP 400
Vous trouverez des informations sur le montage du contre pré-amplificateur ions CP 400 dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le CP 400.
5.7
Installation du générateur HF QMH 40x
Vous trouverez des informations sur l’installation du générateur HF QMH 40x dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le QMH 40x.
5.8
Installation de l’analyseur QMA 4x0
Vous trouverez des informations sur l’installation et le montage de l’analyseur QMA 4x0 dans le manuel
de l’utilisateur correspondant pour le QMA 4x0.
5.9
Raccordement de l’IO 700
Pfeiffer Vacuum installe des options départ d’usine si vous les avez commandées avec le système global. Une installation subséquente est possible.
1
Fig. 48:
Manchon de câble EMC avec séquence de pièces individuelles convenant pour l’assemblage
1 Tresse de blindage mise à nu
Câblage de l’IO 700
► Utilisez des câbles blindés (EMC).
► Quand vous fermez et serrez le manchon de câble EMC, découvrez le blindage du câble pour
une connexion électrique correcte au potentiel du châssis du panneau arrière.
► Raccordez directement le câble aux bornes à ressort de charge des modules I/O.
– Pour de plus amples informations, consultez le schéma des connexions de l’IO 700.
► Passez 3 câbles (Ø5 à 9 mm) et 3 câbles (Ø9 à 13 mm) par les manchons de câbles et dans
l’unité.
► Sécurisez les câbles et les fils à l’intérieur de l’IO 700 pour éviter un arrachement des connexions
lors de l’installation ou de la dépose de l’IO 700, par exemple avec des serre-câbles.
5.10
Raccordement de l’IO 720
Pfeiffer Vacuum installe des options départ d’usine si vous les avez commandées avec le système global. Une installation subséquente est possible.
Vous trouverez des informations sur les options de raccordement et sur le câblage de l’IO 720 dans le
manuel de l’utilisateur pour IO 720.
47/72
Mise en service
6 Mise en service
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique
un danger de mort.
► Toute intervention sur l’appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l’appareil et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Après l’arrêt de l’appareil, attendez environ 60 secondes puis débranchez tous les câbles
(en terminant par le câble électrique).
► N’ouvrez jamais l’appareil lorsqu’il est branché à une source d’alimentation électrique.
► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un appareil défectueux.
► Protégez l’appareil contre l’humidité.
Activation du QMS 700 seulement avec le câble QMA
Activez seulement le QMS 700 avec le câble QMA correctement connecté.
Paramètres d’usine
Pfeiffer Vacuum configure de façon optimale les systèmes complets à l’usine. Vous ne devez donc pas effectuer de changements sans une bonne raison.
Transmission de données
Si la DEL jaune de la connexion Ethernet reste éteinte, un problème est apparu pendant la
transmission des données. Contrôlez le câble et les composants dans le chemin de connexion, ainsi que la configuration correcte du PC (logiciel, état du pare-feu, etc.).
Conditions préalables
●
●
●
●
●
●
●
●
●
Interrupteur secteur du QMS 700 réglé sur OFF
Tous les composants du système ont été installés selon le manuel de l’utilisateur
Les conditions de vide et du système ont été testées et remplies
Les composants du système ont été raccordés avec des câbles selon le manuel de l’utilisateur
La connexion LAN au PC a été établie (directement ou via un réseau)
L’alimentation du QMS 700 a été établie
Le PC est prêt pour l’utilisation et a été préparé selon la documentation du logiciel
Les limites d’utilisation ont été observées
Le manuel de l’utilisateur pertinent des autres composants du système a été observé
Activation du système
1. Réglez l’interrupteur secteur sur la face avant du QMS 700 sur ON (I).
– La DEL « DC » s’allume et le QMS 700 est prêt pour l’utilisation.
2. Activez le PC.
3. Démarrez le logiciel QUADERA.
– La DEL jaune de la connexion Ethernet du QC 700 s’allume par intermittence pour indiquer
que des données sont échangées.
4. Continuez la mise en marche dans QUADERA.
48/72
Fonctionnement
7 Fonctionnement
Le QMG 700 fonctionne avec le logiciel Quadera. Vous trouverez des informations sur le logiciel Quadera dans la documentation jointe au logiciel.
Utilisation du QMG 700 avec le logiciel Quadera
► Utilisez le logiciel Quadera pour
– Régler des paramètres de l’unité
– Optimiser les paramètres de l’unité
– Effectuer des mesures
– Sauvegarder et évaluer les données de mesure
49/72
Mise hors service
8 Mise hors service
Perte de données en cas d’arrêt prématuré de la tension secteur
Après la déconnexion, attendez au moins 1 minute avant d’arrêter la tension secteur, sinon
les réglages enregistrés auparavant risquent d’être perdus.
Fig. 49:
La symbole vert dans Quadera passe au rouge
Désactivation du système
1. Désactivez le SEM et, si nécessaire, le filament.
2. Quittez la connexion entre le QMG 700 HiQuad et le PC dans QUADERA.
3. Cochez « Connecter » dans le menu « Dispositif » ou cliquez sur le symbole vert dans l’affichage
de l’état de l’unité.
– Le symbole passe au rouge.
4. Réglez l’interrupteur secteur sur la face avant du QMS 700 sur OFF (0).
La DEL « DC » s’éteint et le QMS 700 est désactivé.
50/72
Maintenance
9 Maintenance
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Demande de garantie
Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
9.1
Nettoyage de l’appareil de commande et du châssis système
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d'humidité
La pénétration d'humidité, sous la forme de condensation ou d'égouttement, endommage l'appareil.
► Protéger l'appareil contre la pénétration de l'humidité.
► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement propre et sec.
► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d'égouttement d'eau.
► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
51/72
Maintenance
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface.
► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Conditions préalables
● L’appareil est mis hors circuit
● Le connecteur de réseau est retiré
Consommables requis
● Agent nettoyant ordinaire (détergent ménager doux, par exemple).
● Chiffon doux et propre
Nettoyage externe de l’appareil
1. Utilisez un chiffon doux humide pour nettoyer les surfaces.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
9.2
Nettoyage de l’élément filtrant
Intervalle de nettoyage
Définissez l'intervalle de nettoyage par des inspection visuelles et en fonction du dégagement de poussière sur site.
Accessoires requis
● Aspirateur
Procédure
1. Nettoyez le filtre à poussières au niveau de l’entrée d’air dès qu’une couche est visible et avant
que la circulation de l’air ne tombe au-dessous du niveau requis.
2. Utilisez un aspirateur pour éliminer la poussière de l’élément filtrant par les fentes de ventilation.
3. Remplacez l’élément filtrant en cas de contamination sévère.
9.3
Changement de l’élément filtrant
Pièce de rechange requise
● Élément filtrant
1
45°
2
Fig. 50:
Changement de l’élément filtrant
1 Élément filtrant
2
Couvercle du filtre
Procédure
1. Changez l’élément filtrant en cas de contamination sévère.
2. Saisissez le couvercle de filtre au niveau du dégagement par rainure fourni à cet effet et pivotez le
couvercle de filtre sur environ 45°.
3. Détachez le couvercle du filtre.
4. Retirez l’élément filtrant du couvercle du filtre.
5. Mettez au rebut l’élément filtrant.
52/72
Maintenance
6. Insérez le nouvel élément filtrant dans le couvercle du filtre.
7. Remontez le couvercle frontal sur la face avant.
9.4
Changement du fusible secteur
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique
un danger de mort.
► Toute intervention sur l’appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l’appareil et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Après l’arrêt de l’appareil, attendez environ 60 secondes puis débranchez tous les câbles
(en terminant par le câble électrique).
► N’ouvrez jamais l’appareil lorsqu’il est branché à une source d’alimentation électrique.
► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un appareil défectueux.
► Protégez l’appareil contre l’humidité.
Problème avec l'appareil ou le système
Un fusible défectueux indique généralement un problème dans l'appareil ou le système. Si
après le remplacement, le fusible neuf grille également, contacter le centre Pfeiffer Vacuum
Service le plus proche.
Pièce de rechange requise
● Fusible secteur
SC 700
1
Fig. 51:
Vue du panneau arrière du SC 700
1 Support pour le fusible secteur
Procédure
1. Arrêtez l’unité.
2. Déconnectez le câble de secteur.
3. Ouvrez le support du fusible secteur.
4. Remplacez le fusible secteur défectueux.
5. Raccordez le support pour le fusible secteur.
6. Branchez le câble de secteur.
53/72
Anomalies
10
Anomalies
Erreur
Cause possible
Action corrective
La DEL « DC » sur la face avant de l’unité reste
éteinte quand la tension secteur est appliquée et
que l’interrupteur secteur est activé.
Fusible secteur défectueux
● Remplacez le fusible
secteur.
Tab. 15:
54/72
Anomalies
Expédition
11
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédier le produit en toute sécurité
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
55/72
Recyclage et mise au rebut
12
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
12.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
12.2
Élimination du système du spectromètre de masse
Les systèmes de spectromètre de masse Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez
recycler.
1. Démontez les éléments du boîtier.
2. Démontez tous les composants individuels.
3. Démontez les composants électroniques.
4. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
5. Séparez les composants en matériaux recyclables.
6. Recyclez les composants non contaminés.
7. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
56/72
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
13
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
57/72
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
58/72
Informations de commande
14
Informations de commande
14.1 Commande de pièces
Commande de pièces détachées, d’accessoires ou de composants optionnels
► Toujours préciser les informations suivantes pour commander des pièces détachées, des accessoires ou des composants optionnels :
● Tous les détails de la plaque signalétique
● Description et référence de commande correspondant à la liste des pièces
14.2
Pièces de rechange et accessoires
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits.
● Les informations et les options de commande pour les accessoires Équipements
d’analyse sont disponibles en ligne.
Description
Référence de commande
QC 700
PT 450 000
IS 716
PT 450 001
HT 701
PT 450 004
HT 702
PT 450 005
IO 700
PT 450 006
IO 720
PT 450 011
Élément filtrant pour QMS 700
PT 451 067
Câble de correctif UTP, 3 m, croisé, rouge
PT 163 512
Tab. 16:
Pièces de rechange et accessoires pour QMS 700
Description
Référence de commande
Sources d’ions
Source d’ions axiaux avec filament en tungstène
BN845055 -T
Source d’ions axiaux avec filament iridium, recouvert Y2O3
PT 160 040 -T
Source d’ions croisés avec filament en tungstène
BN846481 -T
Source d’ions croisés avec filament iridium, recouvert Y2O3
PT 449 025 -T
Source d’ions croisés, étanche au gaz, avec filament en tungstène
BN846529 -T
Source d’ions croisés, étanche au gaz, avec filament iridium, recouvert
Y2O3
Sur demande
Source d’ions à grille avec filament en tungstène
BN845097 -T
Filaments
Filaments en tungstène, lot de 5 pièces, pour source d’ions axiaux
BN845024 -T
Filament iridium, recouvert Y2O3, pour source d’ions axiaux, 1 pièce
BN845057 -T
Unité filament avec 2 filaments en tungstène, pour source d’ions croisés, également étanche au gaz
BN845088 -T
Unité filament avec 2 filaments en tungstène, recouvert Y2O3, pour source d’ions croisés, également étanche au gaz
BN845282 -T
Unité filament avec 2 filaments en tungstène, pour source d’ions à grille
BN845095 -T
Tab. 17:
Pièces de rechange pour QMA 4x0
59/72
Informations de commande
14.3 Câbles et prises court-circuit
(voir chapitre « Câblage du système », page 34)
14.4
Composants du système
Description
Référence de commande
EP 422
PT 444 570 -T
CP 400
PT 442 210 -T
QMH 400-1, 1 – 128 u (QMA 410)
PT M23 067
QMH 400-5, 1 – 300/512 u (QMA 430/QMA 400)
PT M23 066
QMS 700 avec SC 700 et QC 700
PT M27 580
Tab. 18:
60/72
Composants du système
Caractéristiques techniques et dimensions
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1
Appareil de commande QMS 700
Modules QMS
L’information s’applique à tous les modules QMS 700, sauf spécification contraire.
Paramètre
Valeur
Température (stockage)
-40 – +65 °C
Température (fonctionnement)
+5 – +40 °C
Humidité relative
≤ 80 % – +31 °C, diminution linéaire à 50 % à +40 °C
Usage
À l’intérieur
Altitude
≤ 2000 m au-dessus du niveau de la mer
Degré de protection
IP30
Catégorie de surtension
II
Degré de pollution
2
Tab. 19:
15.1.1
Limites d’utilisation du QMS 700
Châssis système SC 700
Paramètre
Valeur
Tension secteur
100 – 240 V AC, 50 – 60 Hz
Puissance absorbée
≤500 W
Alimentation
Prise unité avec porte-fusible secteur intégré à l’arrière de l’unité
Fusible secteur
Fusible 6,3 AT HBC, 5 × 20 mm
Câble secteur
spécifique au pays d’utilisation
Poids
7,5 kg (sans modules enfichables)
Bornes femelles
18 (par 4 DUs)
Tab. 20:
Fiche technique, SC 700
Fig. 52:
Dimensions SC 700
Dimensions en mm
61/72
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1.2
Contrôleur quadripole QC 700
Paramètre
Valeur
Convient à
Châssis système SC 700
Bornes femelles requises
2
Quantité par système
1
Bornes femelles
Bornes femelles nº 1 et 2 (tout à gauche dans le châssis système
SC 700)
Poids
0,4 kg
Tab. 21:
Fiche technique, QC 700
Paramètre
Valeur
Nombre de canaux de mesure
128
Modes de fonctionnement
Canal MONO/MULTI
Cycles de mesure
1 – 10 000 ou RÉPÉTITION
Temps de changement de canal
100 – 200 μs (avec une PAUSE min. dans le cycle)
Tab. 22:
Modes de fonctionnement et paramètres QC 700
Mass MODE
Méthode de mesure
SCAN-N
Balayage analogique, normal
SCAN-F
Balayage analogique avec filtre FIR pour la valeur mesurée
STAIR
Graphique à barres de balayage
SAMPLE
Masse unique et MID
PEAK-L
Recherche de crête avec critères de niveau
PEAK-F
Recherche de crête avec filtre FIR
ADJUST-C
Recherche grossière
ADJUST-F
Recherche fine
Tab. 23:
Modes de fonctionnement débit-masse QC 700
Scan SPEED
Gamme FIX
Gamme AUTO
125 μs/u
8/u
---
250 μs/u
16/u
---
0,5 – 1 ms/u
32/u
---
2 – 20 ms/u
64/u
32/u
50 ms/u – 60 s/u
64/u
64/u
Tab. 24:
Résolution échelle de masse QC 700
Mass MODE
EP 422 ou entrées externes
Compteur d’ions (CP 400)
Gamme FIX
Gamme AUTO
Gamme AUTO
SAMPLE
125 μs – 60 s
0,5 ms – 60 s
125 μs – 60 s
STAIR
125 μs/u – 60 s/u
2 ms/u – 60 s/u
0,5 ms/u – 60 s/u
SCAN
125 μs/u – 60 s/u
5 ms/u – 60 s/u
1,25 ms/u – 60 s/u
PEAK
125 μs/u – 60 s/u
5 ms/u – 60 s/u
1,25 ms/u – 60 s/u
Tab. 25:
62/72
PAS par masse
Vitesses de mesure QC 700
Caractéristiques techniques et dimensions
Detect TYPE
Type de détecteur
FARAD
Collecteur Faraday, EP 422
SEM
SEV (construction configurable), EP 422
ION-CNT
Compteur d’ions, CP 400
EXTERN 1
Entrée analogique externe du QC 700 (EXT IN 1)
EXTERN 2
Entrée analogique externe du QC 700 (EXT IN 2)
A-INPUT (1–n)
Signaux analogiques via IO 700/IO 720 (canaux analogiques 1 – n)
Tab. 26:
Types de détecteur QC 700
Type de détecteur
Gammes de mesure
Modes de fonctionnement
Résolution
FARAD, SEM
10-12 – 10-5 A fsd
Gammes FIX et
AUTO
16 bit 13) (par gamme)
EXTERNE
GAIN 1 : ±10,240 V
GAIN 10 : ±1,024 V
Gamme FIX
16 bit 14)
ION-CNT
10-2 – 108 cps
(utilisation pratique jusqu’à 106 to 107
cps)
Gamme AUTO
pour MODE masse :
SAMPLE : 1 / DWELL
STAIR : 2 / SPEED
SCAN : u / SPEED
Tab. 27:
Gammes et résolution de mesure QC 700
Paramètre
Valeur
Type de filtre
LPF, à deux étages, efficace pour entrées pré-amplificateur et externes
Constantes de temps de filtrage
peuvent être sélectionnées automatiquement ou par 9 étages :
5, 18, 85, 400 μs ; 1,7, 8, 40, 180, 800 ms
Réponse par pas
τ63 : Constante de temps de filtrage
Temps d’établissement à ± 1 ‰ : ts ≈ 4 x τ63
Tab. 28:
Filtre analogique QC 700
τ63
ts
Fig. 53:
Paramètre
Valeur
NORMAL (N)
LPF (valeur moyenne)
FIR (F)
Réponse à impulsion finie
Tab. 29:
15.1.3
Constante de temps de filtrage QC 700
Filtre numérique QC 700
Alimentation source d’ions IS 716
Paramètre
Valeur
Convient à
Châssis système SC 700
Bornes femelles requises
4
13)
à augmentation supplémentaire via détermination valeur moyenne
14)
à augmentation supplémentaire via détermination valeur moyenne
63/72
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Valeur
Quantité par système
max. 2
Borne femelle
(voir chapitre « Installation ou remplacement des modules enfichables
dans le châssis système », page 45)
Poids
1 kg
Tab. 30:
Paramètre
Valeur
Tension
0 – +10 V
Courant
max. 5 A
Puissance
max. 50 W
Modes de fonctionnement
Fil 1, Fil 2
Protection filament
0–5A
Tab. 31:
Valeur
Normal
0 – 10 mA
Dégazage
0 – 20 mA
Paramètre
Valeur
Convient à
Châssis système SC 700
Bornes femelles requises
1
Quantité par système
max. 4
Borne femelle
(voir chapitre « Installation ou remplacement des modules enfichables
dans le châssis système », page 45)
Poids
0,3 kg
Fiche technique, HT 701
Paramètre
Valeur
Tension SEM HT-
-30 – -3500 V (typ. ondulation 10 mV)
Résolution
219 mV
Charge
≥ 15 MΩ
Limitation du courant
≤ 1 mA
Résistance interne
≈0 Ω
Temps de réglage
0,3 s (0,1 %, activation, RL = 15 MΩ)
Séparation du potentiel (entre châssis et QMA GND)
≤ 0,5 V
Tab. 34:
64/72
Émission IS 716
Alimentation haute tension HT 701
Tab. 33:
15.1.5
Alimentation filament IS 716
Paramètre
Tab. 32:
15.1.4
Fiche technique, IS 716
Partie haute tension, HT 701
Alimentation haute tension HT 702
Paramètre
Valeur
Convient à
Châssis système SC 700
Bornes femelles requises
3
Quantité par système
max. 2
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Valeur
Borne femelle
(voir chapitre « Installation ou remplacement des modules enfichables
dans le châssis système », page 45)
Poids
0,54 kg
Tab. 35:
Paramètre
Alimentation SEV
(USEM) 15)
Alimentation CD
(UCD) 16)
Tension de niveau
élevé (UBIAS) 17)
Tension
-100 V – -3500 V
-100 V – -7000 V
+1500 – +3500 V
-1500 – -3500 V
Ondulation (typ.)
30 mV pp
20 mV pp
20 mV pp
Résolution
219 mV
438 mV
438 mV
Charge
≥ 15 MΩ
≥ 100 MΩ
≥ 100 MΩ
Limitation du courant
≤ 0,6 mA
≤ 0,3 mA
≤ 0,3 mA
Temps de réglage
0,3 s 18)
0,3 s 19)
0,3 s 20)
Séparation de potentiel 21)
< 0,5V
< 0,5V
-
Tab. 36:
15.1.6
Fiche technique, HT 702
Partie haute tension, HT 702
Module entrée/sortie IO 700
Paramètre
Valeur
Convient à
Châssis système SC 700
Bornes femelles requises
6
Quantité par système
max. 3
Borne femelle
(voir chapitre « Installation ou remplacement des modules enfichables
dans le châssis système », page 45)
Poids
1,4 kg
Tab. 37:
Fiche technique, IO 700
Paramètre
Valeur
Tension
24 VDC (-15 % – +20 %)
Courant
max. 10 A
Seulement pour I/O numériques, les I/O analogiques ne nécessitent pas d’alimentation externe.
Tab. 38:
Alimentation du système externe, IO 700
Paramètre
Valeur
Module utilisé
WAGO® 750-530
Nombre de sorties
32
Tension de sortie
0/+24 V (source)
Charge
max. 0,5 A (résistant aux courts-circuits)
Courant total par module
max. 10 A total
15)
La configuration et le câblage dépendent du type de service
16)
La configuration et le câblage dépendent du type de service
17)
La configuration et le câblage dépendent du type de service
18)
1 %, activation, RL = 15 MΩ
19)
1 %, activation, RL = 100 MΩ
20)
1 %, activation, RL = 100 MΩ
21)
entre châssis et QMA GND
65/72
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Valeur
Charges admissibles
ohmiques, inductives, lampes
Taux de rafraichissement
10 ms
Tab. 39:
Paramètre
Valeur
Module utilisé
WAGO® 750-430
Nombre d’entrées
32
Tension d’entrée
0/+24 V
Courant d’entrée
2,8 mA
Filtre d’entrée
Constante de temps 3 ms
Taux de rafraichissement
10 ms
Tab. 40:
Entrées numériques IO 700
Paramètre
Valeur
Module utilisé
WAGO® 750-559
Nombre de canaux
8
Tension de sortie
0 – +10 V
Résolution
12 bit
Résistance de charge
≥5 kΩ
Temps de transformation
10 ms
Taux de rafraichissement
10 ms
Point de référence
Les mises à la terre des 4 canaux sont respectivement connectées en interne.
Tab. 41:
Sorties analogiques IO 700
Paramètre
Valeur
Module utilisé
WAGO® 750-459
Nombre de canaux
8
Résolution
12 bit
Résistance d’entrée
100 kΩ
Temps de transformation
10 ms
Taux de rafraichissement
10 ms
Point de référence
Les mises à la terre des 4 canaux sont respectivement connectées en interne.
Tab. 42:
15.1.7
Sorties numériques IO 700
Entrées analogiques IO 700
Module entrée/sortie IO 720
Vous trouverez la fiche technique de l’IO 720 dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour l’IO
720.
15.2 Générateur HF QMH-40x
Vous trouverez la fiche technique du QMH 40x dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le
QMH 40x.
66/72
Caractéristiques techniques et dimensions
Type QMH
Domaine de masse [u]
Type QMA
Diamètre de tige [mm]
QMH 400-1
128
QMA 410
16
QMH 400-5
300
QMA 430
8
512
QMA 400
8
16
QMA 410
16
QMH 402
Tab. 43:
Types QMH et QMA
15.3 Analyseur QMA 4x0
Vous trouverez la fiche technique du QMA 4x0 dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le
QMA 4x0.
15.4 Pré-amplificateur électromètre EP 422
Paramètre
Valeur
Lieu d’implantation
vissé directement sur l’analyseur QMA
Interfaces vers
QMH, QMA
Connexion (entrée)
Type de prise coaxiale TNC
Connexion (sortie)
Prise D-Sub, 9 broches, à broches
Tension d’entrée
±16 V (±0,2 V, ondulation ≤ 10 mV)
(par QMS 700)
Courant d’entrée
±10 mA
(par QMS 700)
Quantité par système
max. 2
Température de stockage
-40 – +70 °C
Température de service
0 – +50 °C
Poids
0,15 kg
Fiche technique, EP 422
8
18
72
18.6
Tab. 44:
50
Fig. 54:
850
20
Dimensions EP 422
Dimensions en mm
Paramètre
Valeur
Courant d’entrée
±10 mA
Impédance d’entrée
100 kΩ
Tension de sortie
-10 – +10 V
Courant de sortie
≤ 2 mA
Déviation
Décalage doublé par 10 °C d’augmentation de température
Bruit
typiquement 2 × 10-13 App non filtré
Tab. 45:
Données amplificateur EP 422
67/72
Caractéristiques techniques et dimensions
Gamme de mesure
Sensibilité
Tolérance à 25 °C
Temps de montée de
10 à 90 %
Décalage à 25 °C
± 10-5 A
10-6 A/V
±1%
50 μs
± 0,5 mV
-8
-7
10 A/V
±1%
90 μs
± 0,5 mV
-9
-10
± 10 A
± 10 A
10
A/V
±2%
1,9 ms
± 2 mV
± 10-11 A
10-12 A/V
±2%
2,6 ms
-50 – +150 mV
Tab. 46:
Décalage EP 422
15.5 Contre pré-amplificateur ions CP 400
Vous trouverez la fiche technique du CP 400 dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le
CP 400.
68/72
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Système de spectromètre de masse quadripole
QMG 700 HiQuad®
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Basse tension 2014/35/CE
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses 2011/65/UE (article 2,
numéro 4, d, e et j)
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN 61010-1:2011
DIN EN 61326-1:2013
DIN EN 55011:2018
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-11-01
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Système de spectromètre de masse quadripole
QMG 700 HiQuad®
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards et spécifications appliqués :
EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
EN IEC 61326-1:2021
EN 55011:2016 + A1:2017 + A11:2020 + A2:2021
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-11-01
71/72
*BG5400*
ed. B - Date 2301 - P/N:BG5400BFR
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