Pfeiffer APR Mode d'emploi

APA 450
Original
riebsan
Manuel de l’utilisateur
FR
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel ......................................................... 4
1.1
1.2
2
Sécurité .................................................................................. 9
2.1
2.2
2.3
3
Préparation de l’équipement .................................................................... 21
Fixation au sol .......................................................................................... 23
Installation des analyseurs / générateurs ................................................ 24
Raccordement circuits pressurisés .......................................................... 24
Raccordement électrique ......................................................................... 25
Arrêt d’urgence client ............................................................................... 26
Connexion au réseau Ethernet client (Network) ...................................... 26
Raccordement au réseau AMHS ............................................................. 27
Raccordement évacuation ....................................................................... 27
Utilisation...............................................................................30
6.1
6.2
6.3
6.4
6.5
7
Identification du produit ............................................................................ 16
Conditions de fonctionnement.................................................................. 17
Interface homme/machine........................................................................ 18
Modules de sécurité ................................................................................. 20
Installation .............................................................................21
5.1
5.2
5.3
5.4
5.5
5.6
5.7
5.8
5.9
6
Manutention.............................................................................................. 13
Conditions de stockage et de transport ................................................... 14
Déballage ................................................................................................. 14
Description du produit ...........................................................16
4.1
4.2
4.3
4.4
5
Consignes de sécurité.............................................................................. 9
Conformité d’utilisation ............................................................................. 12
Usage non conforme à la destination ...................................................... 12
Manutention et stockage ......................................................13
3.1
3.2
3.3
4
Validité...................................................................................................... 4
Conventions ............................................................................................. 4
Précautions préalables............................................................................. 30
Mise sous tension .................................................................................... 30
Interface du logiciel .................................................................................. 35
Mesure d’un FOUP / MAC ....................................................................... 37
Arrêt de la mesure ................................................................................... 38
Interfaces de commande ......................................................39
7.1
7.2
7.3
7.4
7.5
7.6
7.7
7.8
7.9
Description des touches........................................................................... 39
Home screen............................................................................................ 40
History screen .......................................................................................... 40
Local screen............................................................................................. 41
Advanced Gas Monitoring........................................................................ 41
Maintenance screen................................................................................. 42
Events screen .......................................................................................... 43
Ambient screen ........................................................................................ 44
SECS/GEM screen .................................................................................. 45
1
Table des matières
7.10
7.11
7.12
Settings screen ........................................................................................ 46
Alarms screen .......................................................................................... 51
Login/Logout............................................................................................. 51
8
Périodicité de maintenance ..................................................52
9
Dysfonctionnement ................................................................55
9.1
9.2
9.3
9.4
9.5
Ce qui se passe en cas de défaut ........................................................... 55
Comment acquitter une alarme................................................................ 55
Le système ne démarre pas .................................................................... 55
Défaut d’alimentation ............................................................................... 56
Liste des warnings / alarmes / remèdes .................................................. 56
10 Instructions de maintenance ................................................61
10.1
10.2
10.3
10.4
10.5
10.6
10.7
10.8
10.9
Consigne de sécurité relative à la maintenance ...................................... 61
Localisation des étiquettes à l’intérieur de l’équipement ......................... 63
Localisation des composants ................................................................... 65
Nettoyage Load Port / Equipement.......................................................... 66
Leak test des IMS .................................................................................... 66
Remplacement du module batteries de l’onduleur .................................. 67
Réarmement disjoncteur .......................................................................... 69
Edition des journaux................................................................................. 70
Liste des pièces de rechange .................................................................. 70
11 Mise hors service ..................................................................72
11.1
11.2
11.3
Immobilisation prolongée ......................................................................... 72
Remise en service.................................................................................... 72
Mise au rebut ........................................................................................... 72
12 Service après vente ..............................................................73
13 Caractéristiques techniques .................................................74
13.1
13.2
13.3
Caractéristiques générales ...................................................................... 74
Caractéristiques des servitudes ............................................................... 74
Dimensions (mm) ..................................................................................... 76
14 Déclaration de conformité CE ...............................................78
2
Table des matières
Figures
Fig. 1 : Localisation étiquettes extérieures........................................................... 8
Fig. 2 : Déballage ................................................................................................. 14
Fig. 3 : Exemple de plaque signalétique .............................................................. 16
Fig. 4 : Interface homme/machine........................................................................ 18
Fig. 5 : Localisation des capteurs de sécurité...................................................... 20
Fig. 6 : Préparation au sol .................................................................................... 21
Fig. 7 : Positionnement......................................................................................... 22
Fig. 8 : Réglage des pieds ................................................................................... 23
Fig. 9 : Fixation équerres parasismiques ............................................................. 23
Fig. 10 : Raccordement au réseau AMHS ........................................................... 27
Fig. 11 : Raccordement évacuations thermiques ................................................. 28
Fig. 12 : Raccordement évacuation chimique ...................................................... 29
Fig. 13 : Localisation des étiquettes de sécurité intérieures ................................ 61
Fig. 14 : Armoire électrique .................................................................................. 62
3
A propos de ce manuel
1
A propos de ce manuel
1.1
Validité
Ce manuel de l’utilisateur s’adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit
le fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa
sécurité d’utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les
informations fournies dans ce manuel correspondent au niveau du développement actuel
du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n’a pas apporté de
modifications au produit.
Les manuels de l’utilisateur sont également disponibles sur Internet
www.pfeiffer-vacuum.com.
La langue française est la langue originale du manuel.
1.1.1 Documents utiles
APA 450 SECS/GEM*
Manuel de communication
* fichiers PDF sur le PC de l’APA 450
1.2
Conventions
1.2.1 Consignes de sécurité
Les consignes de sécurité des manuels de l’utilisateur Pfeiffer Vacuum sont inspirées des
normes de certification UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S2, ISO 3864.
Le présent document détaille les niveaux de danger et informations suivants :
DANGER
Danger direct et imminent
Peut entraîner des blessures ou la mort.
AVERTISSEMENT
Risque potentiel
Peut entraîner des blessures graves ou des dommages matériel importants.
ATTENTION
Risque potentiel
Peut entraîner des blessures légères ou des dommages matériel.
AVIS
Recommandation ou indication
Information ou obligation d’action pour assurer la pérennité du produit.
4
A propos de ce manuel
1.2.2 Définition des pictogrammes dans le manuel
Interdiction de procéder à une action pour des raisons de sécurité. Le non-respect
de cette interdiction peut conduire à de graves accidents.
Avertissement contre le danger représenté par le symbole.
Obligation d’action pour éviter tout risque d’accident. Le non respect de cette
obligation peut générer des accidents graves.
Informations importantes concernant le produit ou le présent document.
1.2.3 Instructions dans le texte
Î Instruction de travail : vous devez exécuter une opération à cette étape de la procédure.
[....] Bouton : intitulé d’un bouton d’action de l’interface utilisateur.
1.2.4 Abréviations/symboles utilisés dans le document
APA : adixen Pod Analyser.
AMHS : Automated Materiel Handling System.
BP : Bilateral Plane.
CDA : Compressed Dry Air.
EMO : Emergency Off.
Fab : Semiconductor manufacturing.
FOUP : )URQW2SHQLQJ8QL¿HG3RG
FP : Facial Plane.
HMI / IHM : Human Machine Interface.
HOST : Automation.
HP : Horizontal Plane.
LB : Load Boundary
LP : Load Port.
MAC : Multi Application Carrier.
OHT : Overhead Hoist Transport.
PGV : Person Guided Vehicle.
PM : Preventive Maintenance.
SECS/GEM : SEMI Equipment Communication Standard.
UPS : Uninterruptible Power Supply.
VOC : Volatile Organic Compounds.
XCDA : Extremely Clean Dry Air.
5
A propos de ce manuel
1.2.5 Marquage et symboles utilisés
Power On
Emergency switching Off
Main Switch
Sur les capots
Bouton : mise en énergie de l’équipement.
Bouton : arrêt d’urgence.
Sectionneur : coupure électrique générale.
230 VAC
Voyant : Présence 230 VAC.
24 VDC
Voyant : Présence 24 VDC.
Maintenance
Raccordement communication pour maintenance.
Pneumatic Gas
Raccordement du gaz de commande pneumatique.
Process Gas
Raccordement du gaz de process.
Ripple Power Supply
Power Supply
Network
Raccordement électrique pour alimentation extérieure ondulée.
Raccordement électrique pour alimentation extérieure.
Raccordement réseau client.
Customer EMO
Raccordement arrêt d’urgence client.
Ground
Raccordement de la terre de protection.
Interface
Raccordement retour information client.
1.2.6 Étiquettes
Repère 1 : Cette étiquette indique que certains des composants internes sont
sous tension et peuvent entraîner un choc électrique en cas de contact.
Elle recommande de débrancher l’équipement avant toute intervention ou de
Contact may cause electric shock or burn.
verrouiller/déverrouiller correctement le sectionneur de l’équipement avant
Turn off & lock out system before servicing.
intervention.
Le danger se situe sur l’ensemble des panneaux donnant un accès à des composants électriques à risque, plus
particulièrement sur le module d’entrée électrique, l’armoire électrique, les borniers d’alimentation au fond des baies
d’analyseurs, les analyseurs et les générateurs.
The filter and the electrical cable are
ALWAYS UNDER VOLTAGE after
you switch off the main switch.
UPS VOLTAGE PRESENT
WHEN POWER IS OFF.
Contact may cause electrical shock or burn.
Turn off and lock-out UPS
output power before servicing.
Repère 2 : Cette étiquette informe l’utilisateur de la présence de tension dans
le filtre et les câbles après coupure du sectionneur général.
Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture du panneau
donnant accès à l’armoire électrique.
Repère 3 : Cette étiquette informe l’utilisateur des risques électriques liés à
l’onduleur de l’équipement après une coupure électrique. Il est recommandé
d’éteindre l’onduleur avant toute intervention sur les éléments maintenus en
puissance par l’onduleur.
Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture du panneau
donnant accès à l’armoire électrique.
Repère 4 : Cette étiquette informe l’utilisateur des risques d’écrasement ou
coupure liés aux pièces en mouvement.
MOVING PARTS PRESENT
Eviter de s’approcher et/ou de mettre les mains à proximité des pièces en
Moving parts can crush and cut.
mouvement.
Keep hands or feet away from moving parts.
Le danger se situe sur l’avant de l’équipement au niveau des Load Port.
HEAVY OBJECT
Heavy object can cause muscle strain or back
injury. Two person lift required.
6
Repère 5 : Cette étiquette indique que le produit ne doit pas être manipulé seul
mais qu’il faut toujours être deux personnes pour manipuler ce produit.
Le danger se situe sur l’arrière et l’avant de l’équipement lors de l’ouverture des
panneaux donnant accès aux baies d’analyseurs, plus particulièrement pour
les analyseurs générateurs suivant : Air zero generator, SO2 analyzer, HF_ID+
analyzer et VOC FID analyzer.
A propos de ce manuel
RADIOACTIVE
The IMS analysers contain radioactive sources
(NI63, 370Mq)
Repère 6 : Cette étiquette indique que le produit contient des sources
radioactives (NI63, 370MBq).
Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture des
panneaux donnant accès aux baies d’analyseurs, plus particulièrement dans
les analyseurs NH3, Acid et Amines.
Avoid contact and inhalation.
Can cause severe injury or death.
Repère 7 : Cette étiquette indique que le produit contient des éléments toxiques
pouvant causer des blessures graves ou entrainer la mort.
Le danger se situe dans les FOUP, mais aussi dans l’équipement lors de
l’ouverture des panneaux donnant accès à l’arrière des baies d’analyseurs, au
niveau de l’évacuation chimique de l’équipement, des tubes de raccordement
et du générateur de gaz NH3, HF, SO2.
WARNING ASPHYXIANT
WA
W
Repère 8 : Cette étiquette indique que le produit contient des gaz asphyxiant (N2)
et qu’il peut y avoir un manque d’oxygène dans l’atmosphère de l’équipement.
Le danger se situe dans l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant
accès à l’intérieur de l’équipement.
WARNING FLAMMABLE GAS
Repère 9 : Cette étiquette indique que le produit contient des gaz inflammable
(H2). Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture des
panneaux donnant accès aux baies d’analyseurs. Plus particulièrement pour
les analyseurs générateurs suivant : H2 generator 3080+ et VOC FID analyzer.
TOXIC CHEMICAL
Possible oxygen deficient atmosphere within
Poss
P
enc
enclosure. Leak may cause severe injury.
Re
Refer to User Manual. Lock out Nitrogen
supply before servicing.
Hydrogen source inside. Leak may cause
fire or severe personal injury. Shut off before
maintenance. See instructions in manual.
HOT SURFACE
Contact with valve body may cause burn.
Switch off and wait until valve cooled
before servicing.
HOT SURFACE
Contact with analyser body may cause burn.
Switch off and wait until analyser cooled
before servicing.
CLASS 1 LASER PRODUCT
IEC 60825-1 : 2007
Repère 10 : Cette étiquette indique que le produit contient des surfaces
chaudes. Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture
des panneaux donnant accès aux servitudes. Plus particulièrement pour les
éléments suivant : DI water electrovalve.
Repère 11 : Cette étiquette indique que le produit contient des surfaces
chaudes. Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture des
panneaux donnant accès aux baies d’analyseurs. Plus particulièrement pour
les éléments suivant : SO2 analyzer.
Repère 12 : Cette etiquette informe l’utilisateur de la présence d’un laser de
classe 1. Le danger concerne le laser embarqué dans l’analyseur HF_ID+.
7
A propos de ce manuel
1
8
6
6
7
7
8
9
8
1
2
1
8
1
4
7
8
Fig. 1 : Localisation étiquettes extérieures
8
1
Sécurité
2
Sécurité
2.1
Consignes de sécurité
AVIS
Obligation d’informer
Toute personne chargée de l’installation, de l’utilisation ou de l’entretien de l’équipement
APA 450 doit avoir lu les consignes de sécurité de ce manuel et doit les respecter.
AVERTISSEMENT
Risque lié à une installation électrique non conforme
La sécurité du fonctionnement après l’installation est de la responsabilité de l’exploitant.
Î Raccorder le produit à une installation conforme aux normes de sécurités locales.
Î Ne procéder à aucune transformation ou modification du produit de votre propre initiative.
Î Vérifier que l’équipement est correctement relié à un système d’arrêt d’urgence client.
Î Pour davantage d’informations, appeler votre centre de service.
AVERTISSEMENT
Risque de choc électrique en cas de contact
Lorsque le sectionneur de l’équipement est positionné sur O ou lorsque l’arrêt d’urgence
est activé, certains composants internes restent chargés électriquement.
Le danger se situe sur l’ensemble des panneaux donnant un accès à des composants
électriques à risque, plus particulièrement sur le module d’entrée électrique, l’armoire
électrique, les borniers d’alimentation au fond des baies d’analyseurs, les analyseurs et
les générateurs.
Î Veiller à ce que le raccordement au secteur soit toujours visible et accessible pour
pouvoir débrancher à tout moment.
Î Débrancher le câble secteur de toute source d’énergie avant d’intervenir sur l’équipement.
AVERTISSEMENT
Risque lié aux différentes sources d’énergie
Le circuit électrique ainsi que les circuits pressurisés sont des risques énergétiques potentiels.
Î Toujours verrouiller ces sources d’énergie avant d’intervenir sur le produit.
AVERTISSEMENT
Risque lié aux sources radioactives (concerne les équipements avec
analyseurs IMS : NH3 / Acid, Amine)
Les analyseurs IMS contiennent des sources radioactives (Ni63, 370MBq).
Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant
accès aux baies d’analyseurs, plus particulièrement dans les analyseurs NH3, Acid et
Amines.
Î L’exploitant devra obtenir les autorisations nécessaires à l’importation et à l’utilisation
de tels systèmes embarquant des sources radioactives.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure liée aux charges lourdes
Compte tenu du poids de l’équipement, seul un personnel habilité et formé aux règles de
manutention des objets lourds peut sortir le produit de son emballage.
Î Utiliser un transpalette ou un chariot élévateur.
Î Le constructeur dégage toute responsabilité en cas d’utilisation d’autres moyens de
manutention.
9
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque lié aux pièces en mouvement
Certaines pièces mobiles peuvent provoquer un écrasement de la main ou des doigts ainsi
que des coupures en cas de contact :
Ɣ Les deux plateaux de chargement des Load Port.
DANGER
Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques
Le refoulement des gaz corrosifs peut entrainer des blessures graves ou la mort.
Î Toujours raccorder l’évacuation chimique de l’équipement à un système d’extraction et
de traitement des gaz (acid exhaust).
Î Veiller à ce que ce raccordement soit réalisé par des personnes habilitées.
Î Veiller à ce que le système d’extraction soit toujours fonctionnel. Flux = 20 L/min.
AVERTISSEMENT
Cas de puissance maintenue
Ɣ L’UPS* maintient en puissance après coupure électrique les éléments suivants : Le PC,
une alimentation 24 V, le switch Ethernet, les entrées automates, les cartes de sécurité
eau et le détecteur d’hydrogène. Tous les fils d’alimentation maintenus en puissance par
l’UPS possèdent un marquage jaune et l’inscription : "Live after EMO".
Ɣ L’UPS* maintient en puissance après un arrêt d’urgence les éléments suivants : Le PC,
une alimentation 24 V, le switch Ethernet, les entrées automates, les cartes de sécurité
eau et le détecteur d’hydrogène. Tous les fils d’alimentation maintenus en puissance par
l’UPS possèdent un marquage jaune et l’inscription : «Live after EMO».
(*) Manuels utilisateur (UPS _ user manual _ APC-smart) disponible dans le software de
l’APA (Appuyer sur [Events] Puis sur [components manual])
Ɣ Après coupure du sectionneur les éléments suivants restent sous tension : le filtre secteur
et les câbles reliant la prise électrique de l’équipement au sectionneur. Ces éléments sont
identifiés par une étiquette repère 2 du chapitre 1.2.6 et un marquage orange.
AVERTISSEMENT
Risques liés aux gaz de procédé
L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit ont l’entière responsabilité des conditions de
sécurités liées au fonctionnement de l’équipement. Le constructeur n’a pas la possibilité
de contrôler le type de gaz utilisé avec l’équipement.
Le danger se situe dans les FOUP, mais aussi dans l’équipement lors de l’ouverture des
panneaux donnant accès à l’arrière des baies d’analyseurs, au niveau de l’évacuation
chimique de l’équipement, des tubes de raccordement et du générateur de gaz NH3, HF,
SO2.
Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou
réactifs. Ces gaz étant dangereux, il appartient donc à l’utilisateur du procédé :
Î D’appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale.
Ces informations sont disponibles auprès de son service sécurité.
Î Ces gaz peuvent causer des blessures graves ou la mort, il est impératif de relier
le refoulement de l’équipement au système d’échappement des gaz dangereux de
l’installation, doté de filtres appropriés, de sorte que l’échappement soit conforme aux
règles de protection contre la pollution de l’eau et de l’air.
Î Pour davantage d’informations, appeler votre centre de service.
AVERTISSEMENT
Risques liés à l’asphyxie
L’équipement contient des gaz asphyxiant (N2) qui peuvent créer un manque d’oxygène
dans l’atmosphère de l’équipement. Le danger se situe dans l’équipement lors de
l’ouverture des panneaux donnant accès à l’intérieur de l’équipement.
L’installation devra comporter un orifice calibré avec un flux maximal de 10 slm.
Î Avant intervention dans l’équipement, isoler la source de N2 et vérifier avec un appareil
adéquate, que le taux d’oxygène est supérieur à 19.4% d’O2.
10
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risques liés aux gaz inflammable
L’équipement contient des gaz inflammable (H2). Le danger se situe sur l’arrière de
l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès aux baies d’analyseurs. Plus
particulièrement pour les analyseurs générateurs suivant : H2 generator 3080+ et VOC FID
analyzer.
Î Avant intervention dans l’équipement, isoler les sources électriques.
AVERTISSEMENT
Risques liés aux surfaces chaudes
L’équipement contient des surfaces chaudes. Le danger se situe sur l’arrière de
l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès aux baies d’analyseurs et
aux servitudes. Plus particulièrement pour les éléments suivant : SO2 analyzer et DI water
electrovalve.
Î Porter des gants de protection et attendre que les éléments soient complétement froid avant
intervention dessus.
AVERTISSEMENT
Risque lié aux sources de rayonnement laser (concerne les équipements
avec analyseur HF_ID+)
L’analyseur HF_ID+ contient une source de rayonnement laser classe 1.
Ɣ Ne pas ouvrir la cellule d’analyse de l’analyseur HF_ID+.
Ɣ Retourner la cellule d’analyse en cas de maintenance.
Informations laser :
1. Fabricant : NTT Electronics
2. Modéle : NLK1U5AAA.
3. L’unité d’analyse est classe 1 et est conforme avec les normes 21 CFR 1040.10 et
1040.11 et IEC 60825-1:2007. (la diode laser est elle, classe IIIB, mais complètement
isolé pendant l’utilisation de l’analyseur est donc permet d’être considéré comme
classe 1).
4. Numéro CDRH Accession : 1210026-000.
5. Le laser classe IIIB, fonctionne dans les longueurs d’onde proche de l’infra-rouge dans
la gamme de 1200-1800 nm avec une puissance maximale de 20 mW.
6. Pas de pièce de maintenance : déconnecter l’analyseur et le renvoyer pour sa
maintenance.
Le générateur 3 gaz utilisé pour la calibration contient 3 modules équipés de tube à
perméation insérés chacun dans leur four respectif.
Les gaz générés par ces tubes à perméation sont : SO2, NH3, HF.
Thresholds
TLV-TWA (*) LFL (**)
SO2
0.25 ppm
N/A
NH3
25 ppm
15 %
in air
Safety Data Sheet
Health effects
Inhalation
VERY TOXIC.
Irritation of nose and throat,
pulmonary edema, blindness.
Symptoms :
Coughing, shortness of breath,
difficult breathing and tightness
in the chest.
VERY TOXIC.
Irritation of nose and throat,
pulmonary edema, blindness.
Symptoms:
Coughing, shortness of breath,
difficult breathing and tightness
in the chest.
Dermal
MSDS (***)
MSDS_SO2_sulfur dioxide_Praxair.pdf
CORROSIVE
Irritates or burns the skin,
frostbite.
Symptoms :
Burning sensation and
stiffness. The skin may become
waxy white or yellow.
MSDS_NH3 ammonia_P4562_Praxair.pdf
CORROSIVE.
Irritates or burns the skin,
frostbite.
Symptoms:
Burning sensation and
stiffness. The skin may become
waxy white or yellow.
11
Sécurité
Thresholds
TLV-TWA (*) LFL (**)
HF
0.5 ppm
N/A
Safety Data Sheet
Health effects
Inhalation
Dermal
HIGHLY TOXIC
Irritation of eyes, nose and
throat.
Symptoms :
Irritation, pulmonary
edema, rhinitis, bronchitis,
bone changes.
HIGHLY CORROSIVE
Irritation of eyes, skin and
mucous membranes. Skin
absorption.
Symptoms :
Irritation, eye and skin
burns, bone changes.
MSDS (***)
MSDS_
HydrogenFluoride-1015_121305_
Praxair.pdf
(*) Threshold Limit Value – Time Weighted Average (concentration for a normal 8-hour workday or 40-hour workweek) / data from ACGIH)
(**) Lower Flammable Limit
(***) MSDS available on APA software (Press [Events] then [components manual])
Les risques potentiels sur cet équipement concernent l’électricité, les procédés chimiques
(radioactivité, génération d’hydrogène), les surfaces chaudes, le circuit CDA / gaz de
procédé.
Ɣ Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique,
pollution chimique) peut procéder à l’installation et à la maintenance décrite dans ce
manuel. Nos centres de service peuvent dispenser les formations nécessaires.
Ɣ Ne pas obstruer les ports de prélèvement.
Ɣ Respecter toutes les prescriptions de sécurité et de prévention des risques
conformément aux normes de sécurités locales et nationales.
Ɣ Vérifier régulièrement que toutes les mesures de précautions sont respectées.
Ɣ Ne pas mettre en service l’équipement en l’absence des capots.
2.2
Conformité d’utilisation
AVIS
Conformité CE
La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d’origine a été modifié par
l’exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires !
Î Après incorporation dans une installation et avant la mise en service, l’exploitant
s’engage à vérifier la conformité de l’ensemble du système dans l’esprit des directives
UE en vigueur, et de la réévaluer en conséquence.
Î Pour les analyseurs IMS, l’exploitant devra obtenir une autorisation pour l’importation et
l’utilisation de tels systèmes embarquant des sources radioactives.
Ɣ Le système est spécialement conçu pour contrôler des FOUP et MAC de plaques
de silicium (wafer) 450 mm. Il fournit des informations sur le taux de contamination
moléculaire à l’intérieur des FOUP et MAC.
2.3
Usage non conforme à la destination
En cas d’usage non conforme, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté.
Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui différent de celles précitées, dont
notamment :
– l’utilisation d’accessoires ou pièces de rechange qui n’ont pas été désignés dans ce
manuel,
– l’utilisation d’analyseurs et générateurs non qualifiés par Pfeiffer Vacuum,
– présence d’un opérateur dans l’équipement,
– l’exploitation dans des zones à risque d’explosion.
12
Manutention et stockage
3
Manutention et stockage
A la livraison, assurez-vous que le produit n’a subi aucun dommage pendant le transport.
S’il a été endommagé, prendre contact avec le transporteur et en informer le constructeur.
Dans tous les cas, nous recommandons de :
Î maintenir le produit dans son emballage d’origine pour préserver la propreté résultant
des soins que nous lui avons apportés, ne le déballer que sur le lieu d’utilisation finale,
Î conserver l’emballage, dans le cas où le produit doit être transporté ou stocké.
3.1
Manutention
3.1.1 Manutention équipement APA 450
AVERTISSEMENT
Risque de blessure liée aux charges lourdes
Compte tenu du poids de l’équipement, seul un personnel habilité et formé aux règles de
manutention des objets lourds peut sortir le produit de son emballage.
Î Utiliser un transpalette ou un chariot élévateur.
Î Le constructeur dégage toute responsabilité en cas d’utilisation d’autres moyens de
manutention.
AVERTISSEMENT
Risque de basculement
Bien que la conformité aux règles de sécurité de la CEE soit assurée, il convient de
prendre les précautions nécessaires lors des opérations de manutention, d’installation et
d’exploitation du produit.
Î Ne pas positionner le produit sur un plan incliné, il peut entraîner l’opérateur du fait de
son poids :
Î utiliser les roulettes uniquement pour le déplacer sur de courtes distances,
Î le positionner sur un sol plat et dur,
Î utiliser un transpalette ou un chariot élévateur pour les déplacements,
Î le positionner sur ses pieds pour l’utiliser, de sorte à ce qu’il ne soit pas en appui
sur les roulettes.
Voir chapitre 13.3 pour la position du centre de gravité (Poids machine à vide et pleine).
3.1.2 Manutention des analyseurs / générateurs
Certains analyseurs / générateurs sont transportés à part de l’équipement, car ils
nécessitent une attention particulière de transport, d’emballage et de stockage.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure liée aux charges lourdes
Compte tenu de leur poids, la manipulation des analyseurs / générateurs peut entraîner de
la fatigue musculaire ou des blessures au dos.
Les analyseurs / générateurs doivent toujours être manutentionnés en position horizontale.
13
Manutention et stockage
3.2
Conditions de stockage et de transport
Lors d’un stockage prolongé, les facteurs tels que la température, l’humidité, brouillard
salin, etc..., peuvent endommager le système.
3.3
Température de stockage
+1°C à 45°C
Humidité
30% à 80%
Choc et vibration
Choc < 1g ; vibration < 0,2g @ 5 Hz
Position
Horizontale
Déballage
3.3.1 Déballage de l’équipement APA 450
Le poids approximatif du système varie selon sa configuration entre 685 kg et 1045 kg,
avec un poids maximum par pied de 200 kg à 440 kg.
Î Utiliser un chariot élévateur adapté à la masse maximale de l’équipement.
Fig. 2 : Déballage
Î Enlever les panneaux latéraux de la caisse de transport.
Î Enlever les cales de protections.
Î Soulever l’équipement pour permettre le dégagement du plateau support.
Î Enlever les emballages de protection en sas propre.
Î Déplacer l’équipement sur son lieu d’installation.
14
Manutention et stockage
3.3.2 Déballage des analyseurs / générateurs
AVERTISSEMENT
Risque de blessure liée aux charges lourdes
Compte tenu de leur poids, la manipulation des analyseurs / générateurs peut entraîner de
la fatigue musculaire ou des blessures au dos.
Î Enlever les panneaux latéraux de la caisse de transport.
Î Enlever les cales de protections.
Î Soulever l’appareil à deux personnes pour permettre le dégagement du plateau support.
Î Enlever les emballages de protection en sas propre.
Î Déplacer l’appareil sur son lieu d’installation délicatement en position horizontale (sans
vibration et choc).
ATTENTION
Stockage en position horizontale (sans vibration et choc).
3.3.3 Déplacement de l’APA 450 en salle blanche
ATTENTION
Avant de déplacer l’équipement, l’utilisateur doit lire les consignes de sécurité fournies et
les respecter.
L’APA 450 est équipé de quatre roulettes pivotantes.
AVERTISSEMENT
Compte tenu de son poids, la manipulation de l’équipement peut entraîner de la fatigue
musculaire ou des blessures au dos.
Utiliser les dispositifs de manutention appropriés.
15
Description du produit
4
Description du produit
4.1
Identification du produit
Pour identifier l’équipement de manière sûre et pour communiquer avec Pfeiffer Vacuum,
référez vous aux informations figurant sur la plaque signalétique du produit :
Fig. 3 : Exemple de plaque signalétique
4.1.1 Contenu de la livraison
Ɣ Un équipement complet,
Ɣ Une boîte contenant :
– un manuel de l’utilisateur,
– une prise d’alimentation électrique,
– une prise bouchon Arrêt d’Urgence client,
– quatre équerres parasismiques (visserie incluse),
– un module d’évacuation chimique,
– deux modules d’évacuation thermique,
– quatre lockout pin.
Ɣ Un sachet plastique contenant :
– deux tubes flexibles Ø 180 mm pour déporter l’évacuation thermique (dont colliers).
Ɣ Une ou plusieurs caisses complémentaires en fonction des types d’analyseurs /
générateurs commandés.
16
Description du produit
4.1.2 Les différents accessoires
Un modèle standard :
– APA 450 standard (référence 200101)
Des accessoires :
Ɣ L’ensemble des analyseurs / générateurs présents au catalogue sont disponibles
(précision à la commande).
Analyseurs / générateurs
Référence
Manuels utilisateur (*)
HF_ID+ analyzer
122852S
HF_ID+ analyzer_user manual_Tiger-i M7020 Rev H
VOC FID analyzer
IS0960S
VOC FID analyzer_user manual_HC51M
SO2 analyzer
IS0961S
SO2 analyzer_user manual_APSA370
NH3 / acid analyzer
IS1123S
NH3-acid-amine analyzer_user manual_IMS
Amine analyzer
IS1122S
NH3-acid-amine analyzer_user manual_IMS
Air Zero generator
IS1078S
Air zero generator_user manual
H2 generator 3080+
123593
H2 generator_user manual_SONIMIX 3080
Gas generator
IS1105S
Gas generator_user manual
Hygrometer analyzer
IS1023
Hygrometer analyzer_user manual_TESTO 6651
Module injection APA 450
200106
N/A
(*) Manuels utilisateur disponible dans le software de l’APA (Appuyer sur [Events] Puis sur [components manual])
–
–
4.2
Un module d’injection d’air propre dans le carrier est disponible (précision à la
commande). L’air injecté provient du réseau client, possibilité d’ajouter à ce module un
générateur d’air zéro afin de purifier l’air fourni. (précision à la commande),
les voyants du Load Port sont personnalisables : précision à la commande.
Conditions de fonctionnement
Se référer au chapitre 13.
17
Description du produit
4.3
Interface homme/machine
Face avant
1
2
3
4
5
24
6
7
1 Indication d’état LP (x2)
4 Mise sous tension (Power ON)
6 Load Port 1
2 Tour lumineuse
5 Arrêt d’urgence (EMO)
7 Load Port 2
3 IHM
Face arrière
8
9
10
11
12
13
1
0
14
24
16
23
22
21
19
18
17
16
8 Ouverture panneaux
14 Terre
20 Entrée gaz de procédé
15
9 Armoire électrique
15 Arrêt d’urgence client
21 Entrée eau déionisée (2 bar max.)
10 LED 230 V / LED 24 V
16 Evacuation thermique
22 Vanne de sécurité eau déionisée
11 Arrêt d’urgence
17 Maintenance (RJ 45)
23 Evacuation chimique
12 Sectionneur principal
18 Interface Sub-D
24 Baies d’analyseurs / générateurs
13 Gaz pneumatique (CDA)
19 Prise réseau client
Fig. 4 : Interface homme/machine
18
20
Description du produit
4.3.1 Tour lumineuse et sonore
Située sur la face avant de l’équipement.
Règles d’activation de la lampe :
Indicateurs
Description
Lampe
ROUGE
allumée
Lampe
ORANGE
allumée
Lampe
VERTE
allumée
Lampe
BLEUE
allumée
Lampe
BLANCHE
allumée
Fonctions
Selon configuration client, précisée à la commande
Avertisseur
sonore
4.3.2 Indicateurs Load Port
Indicateurs
Description
Fonctions
Prêt à charger
Prêt à décharger Selon configuration client,précisée à la commande
.....
.....
LP1
LP2
Load
Load
Load : permet de valider le bon positionnement du carrier. Lorsqu’un carrier est posé sur la
platine de chargement, le bouton s’allume.
Il faut appuyer sur le bouton pour valider le placement du carrier (dépend de la
configuration client précisée à la commande).
19
Description du produit
4.4
Modules de sécurité
Afin de sécuriser l’équipement, des modules de sécurité et des capteurs associés ont été
mis en place.
Capteur d’hydrogène, déclenchement de l’EMO :
–
En cas de fuite d’hydrogène dans la ligne reliant le générateur d’hydrogène à
l’analyseur à alimenter.
–
En cas de panne du détecteur d’hydrogène.
Capteur de fuite d’eau, déclenchement de l’EMO :
–
En cas de détection de fuite d’eau sur le ruban de détection.
Capteur de surconsommation d’eau, déclenchement de l’EMO :
–
En cas de détection de surconsommation d’eau par le mesureur de débit d’eau.
Modules de sécurité
Capteurs associés
Localisation
des capteurs
Fuite d’hydrogène dans
l’équipement.
Relais de sécurité : 04H2D1
Cellule de détection d’hydrogène
Détail A
Fuite d’eau dans l’équipement.
Relais de sécurité : 04RAR1
Rubans de détection d’eau
Détail B
Surconsommation d’eau de
l’équipement.
Relais de sécurité : 04FMR1
Débitmètre d’eau
Détail C
Risques / Condition
d’activation
Relais de sécurité
- 04H2D1
- 04RAR1
- 04FMR1
Détail B
Détail A
Fig. 5 : Localisation des capteurs de sécurité
20
Détail C
Installation
5
Installation
5.1
Préparation de l’équipement
L’ APA 450 doit fonctionner en position horizontale en appui sur ses pieds.
Î Définir le Point Zéro pour l’emplacement.
Î Préparer les trous pour la fixation au sol de l’équipement (voir chapitre 5.1.1).
Î Manutentionner l’équipement à l’aide d’un chariot élévateur ou d’un transpalette
(voir chapitre 3.1).
Î Positionner l’équipement à partir de son Point Zéro (voir chapitre 5.1.1).
Î Utiliser si besoin un niveau pour vérifier que l’équipement est positionné dans un plan
horizontal.
ATTENTION
Risque d’arrachement ou de chute
Î Fixer les câbles électriques et les canalisations (gaz de procédé, CDA et eau déionisée)
et les acheminer dans des goulottes.
5.1.1 Préparation au sol
Zone de Maintenance
700
1364
100
8 trous Ø 12 mm
fixation équerres
parasismiques
110
Ouverture pour
arrivée servitudes
300
724,5
Ouverture pour
évacuation air chaud
100
420
Ouverture pour
évacuation chimique
2064
50
15
100
100
110
699,5
Ouverture pour
évacuation air chaud
269
1439
300
300
LB
POINT ZERO
Fig. 6 : Préparation au sol
21
Installation
5.1.2 Positionnement
3364
1200
Zone de Maintenance
BP LP2
2654,15
BP LP1
600
600
FP
LP1/LP2
252,5
voir détail A
638
LB
524,25
15
252,5
DETAIL A
524,25
LB
POINT ZERO
913 ± 10
réglable
HP LP1/LP2
105
Zone réservée
PGV
126
Zone réservée
PGV
Fig. 7 : Positionnement
22
374,25
638
524,25
Installation
5.2
Fixation au sol
Î Régler la hauteur des quatre pieds (tiges filetées en acier inox) afin que la cote HP soit
à la hauteur souhaitée par rapport au sol.
Hauteur de réglage variant de 903mm à 923mm (voir chapitre 5.1.2).
Î Utiliser une clé plate de 24 mm pour régler les pieds et une clé plate de 24 mm pour
serrer les contre écrous (x4).
x4
Fig. 8 : Réglage des pieds
Î Fixer les quatre équerres parasismiques à l’aide des 8 vis CHC M10x30 inox
+ 8 rondelles M10 inox fournies. Utiliser une clé hexagonale mâle appropriée.
Les vis de fixation des équerres au sol ne sont pas fournies. Il conviendra d’utiliser des vis
de type CHC M10 avec rondelles (longueur à définir sur site).
x4
x8
x8
Fig. 9 : Fixation équerres parasismiques
23
Installation
5.3
Installation des analyseurs / générateurs
AVERTISSEMENT
L’installation et les raccordements des analyseurs / générateurs à l’équipement
doivent être réalisés par des personnes qualifiées et sous la supervision de
Pfeiffer Vacuum.
Prendre contact avec votre centre de service.
Ne jamais intervenir sur un analyseur et/ou un générateur.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure liée aux charges lourdes
Compte tenu de leur poids, la manipulation des analyseurs / générateurs peut entraîner de
la fatigue musculaire ou des blessures au dos.
Les analyseurs / générateurs doivent toujours être manutentionnés en position horizontale.
5.4
Raccordement circuits pressurisés
La ligne de gaz pneumatique est équipée d’une vanne à décompression verrouillable qui
permet d’assurer la sécurité lors des interventions sur les lignes de gaz de l’équipement.
La ligne de gaz procédé est équipée d’une vanne permettant l’isolement de cette ligne de
gaz procédé.
5.4.1 Raccordement du gaz de procédé (XCDA ou N2 ou CDA)
Si vous disposez de l’accessoire "module d’injection d’air propre
dans le carrier" et de la configuration de cet accessoire :
– Connecter l’arrivée "process gas" sur le connecteur double
bague 1/4’ à son emplacement spécifié (voir chapitre 4.3).
– En cas d’utilisation de N2, l’installation devra comporter un orifice
calibré avec un flux maximal de 10 slm.
Avant intervention dans l’équipement, isoler la source de N2 et
vérifier avec un appareil adéquate, que le taux d’oxygène est
supérieur à 19.4% d’O2.
5.4.2 Raccordement du circuit pneumatique (CDA)
– Connecter l’arrivée "pneumatic gas" sur le connecteur double
bague 1/4’ à son emplacement spécifié (voir chapitre 4.3).
5.4.3 Raccordement du circuit d’eau déionisée
Si vous disposez de l’analyseur "VOC FID" et du générateur
"H2 generator 3080+" et de la configuration de cet accessoire :
– Connecter l’arrivée "DI water" sur le connecteur double bague
1/4’ à son emplacement spécifié (voir chapitre 4.3).
24
Installation
5.5
Raccordement électrique
AVERTISSEMENT
Risque de choc électrique
Courant et tension peuvent provoquer des chocs électriques.
Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique,
pollution chimique) peut intervenir sur le produit.
Î Passer le sectionneur en position « OFF/0 », débrancher la prise d’alimentation et la
verrouiller avant d’intervenir sur l’équipement et/ou de retirer les panneaux.
AVIS
Risque de perturbations électromagnétiques
Les performances des produits en CEM sont obtenues sous réserve que l’installation soit
effectuée dans le respect des règles applicables en CEM.
Î Utiliser des liaisons et raccordements blindés pour les interfaces, dans les
environnements perturbateurs.
AVERTISSEMENT
Risque lié à une installation électrique non conforme
La sécurité du fonctionnement après l’installation est de la responsabilité de l’exploitant.
Î Raccorder l’équipement à une installation conforme aux normes de sécurités locales.
Î Ne procéder à aucune transformation ou modification de l’équipement de votre propre
initiative.
Î Vérifier que l’équipement est correctement relié au système d’arrêt d’urgence.
Î Pour davantage d’informations, appeler votre centre de service.
Il reste à la charge de l’installateur le raccordement électrique de l’alimentation générale.
AVIS
Sécurité électrique
L’équipement est protégé contre les surcharges par des disjoncteurs de type composants
électromécaniques.
Î Ne pas neutraliser ces sécurités pendant l’installation, l’utilisation ou l’entretien.
Lorsque ces disjoncteurs sont déclenchés, l’alimentation est coupée et l’équipement est en
position de sécurité. Pour réarmer ces disjoncteurs, il faudra :
Î supprimer l’origine du défaut,
Î passer le sectionneur en position « OFF/0 »,
Î débrancher la prise d’alimentation et la verrouiller,
Î ouvrir le panneau haut à l’arrière de l’équipement (armoire électrique),
Î réarmer les disjoncteurs.
5.5.1 Protection de l’installation électrique du client
Protection par disjoncteur
Le réseau de puissance alimentant l’équipement doit être équipé d’un disjoncteur 40 A
courbe D suivant IEC 60947-2, il doit être conforme à la législation locale et avoir un
pouvoir de coupure en court-circuit d’une valeur minimum de 10 kAIC (Ampere Interrupting
Capacity).
Ce dispositif de protection sera placé de façon visible à une distance maximum de 7 m du
produit et identifié comme dispositif de coupure du produit.
25
Installation
5.5.2 Raccordement au réseau électrique
Raccorder le réseau électrique en suivant les instructions suivantes :
Î Ouvrir le panneau arrière de facilities.
Î Passer le câble par le dessous de
l’équipement et à travers le presseétoupe.
Î Serrer le presse étoupe pour assurer la
fixation du câble.
Î Connecter les fils de phase et de neutre
sur le disjoncteur 04Q2, avec un couple
de serrage de 3,5 N.m.
Î Connecter le fil de terre principal sur la
masse du panneau, avec un couple de
serrage de 3,5 N.m.
Î Vérifier que la tension d’alimentation est
compatible avec la configuration de la
puissance de l’équipement.
5.5.3 Connexion de la masse de l’équipement
Î Connecter la masse générale sur la masse de
l’équipement (GROUND). Serrer modérément.
5.6
Arrêt d’urgence client
Cet arrêt d’urgence permet au client de couper l’alimentation
de l’équipement.
Il est impératif d’utiliser un câble blindé pour raccorder
l’installation à l’arrêt d’urgence client.
En cas de non utilisation, la prise bouchon fournie devra
être connectée.
5.7
Connexion au réseau Ethernet client (Network)
– Utiliser le connecteur RJ45 pour connecter l’équipement
au réseau Ethernet.
26
Installation
5.8
Raccordement au réseau AMHS
AMHS LP2
AMHS LP1
Fig. 10 : Raccordement au réseau AMHS
5.9
Raccordement évacuation
5.9.1 Raccordement des évacuations thermiques
Î Enlever les capots latéraux.
Remarque : Le panneau du bas (coté gauche de l’équipement) n’est pas amovible, le
raccordement pourra néanmoins être effectué sans gène pour l’intervenant.
Î Fixer les deux évacuations thermiques à l’aide des 2 x 4 vis CHC M8x20 inox fournies.
Utiliser une clé hexagonale mâle appropriée.
Î Connecter électriquement les deux ventilateurs.
Î Connecter les deux conduits flexibles* Ø 180 mm sur les lignes d’évacuation air chaud.
* fourniture adixen
Evacuations thermiques
27
Installation
Fig. 11 : Raccordement évacuations thermiques
5.9.2 Raccordement de l’évacuation chimique
DANGER
Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques
Le refoulement des gaz corrosifs peut entrainer des blessures graves ou la mort.
Î Toujours raccorder l’évacuation chimique de l’équipement à un système d’extraction et
de traitement des gaz (acid exhaust).
Î Veiller à ce que ce raccordement soit réalisé par des personnes habilitées.
Î Veiller à ce que le système d’extraction soit toujours fonctionnel. Flux = 20 L/min.
Î Porter des gants nitriles.
Î Porter des gants antiacide au dessus des gants nitrile.
Î Porter un tablier.
Î Porter une visière.
Î Enlever le capot en face avant.
Î Fixer l’évacuation chimique à l’aide des quatre vis CHC M5x16 inox fournies. Utiliser
une clé hexagonale mâle appropriée.
Î Connecter l’ensemble des tubes d’évacuation provenant des analyseurs au système
d’évacuation chimique de l’APA 450.
Î Connecter un conduit sur la ligne d’évacuation chimique de l’équipement.
Raccordement en DN 40 iso-KF. Flux de 20 L/min maximum.
28
Installation
Evacuation chimique
Fig. 12 : Raccordement évacuation chimique
29
Utilisation
6
Utilisation
Les étapes suivantes décrivent l’utilisation de l’équipement.
L’organe de contrôle est le bras «IHM» composé du clavier et de l’écran tactile.
Se référer au chapitre 4.3 pour la description de l’interface homme-machine.
6.1
Précautions préalables
Se référer au chapitre 5.
AVERTISSEMENT
Risques liés aux gaz de procédé
L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit ont l’entière responsabilité des conditions de
sécurités liées au fonctionnement de l’équipement. Le constructeur n’a pas la possibilité
de contrôler le type de gaz utilisé avec l’équipement.
Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou
réactifs. Ces gaz étant dangereux, il appartient donc à l’utilisateur du procédé :
Î D’appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale.
Ces informations sont disponibles auprès de son service sécurité.
Î Ces gaz peuvent causer des blessures graves ou la mort, il est impératif de relier
le refoulement de l’équipement au système d’échappement des gaz dangereux de
l’installation, doté de filtres appropriés, de sorte que l’échappement soit conforme aux
règles de protection contre la pollution de l’eau et de l’air.
Î Vérifier que l’équipement est correctement raccordé aux servitudes.
Î Pour davantage d’informations, appeler votre centre de service.
Avant la première mise en service et après un arrêt du système pour maintenance :
Î Vérifier les connexions de l’équipement (gaz, eau, évacuations chimiques / thermiques,
connexions électriques).
Î Vérifier que le connecteur "arrêt d’urgence client" soit équipé de la prise bouchon ou
qu’il soit câblé sur l’installation arrêt d’urgence client.
6.2
Mise sous tension
AVIS
Vérifier que la tension d’alimentation est compatible avec la configuration
de l’équipement.
6.2.1 Mise sous tension
Î Connecter les câbles d’alimentation électrique phase,
neutre et terre. (couple de serrage de 3,5 N.m).
Î Vérifier que la tension d’alimentation est compatible avec
la configuration de la puissance de l’équipement.
30
Utilisation
Î Commuter le sectionneur principal sur « ON/1 ».
Î Ouvrir la vanne de sécurité du circuit pressurisé (CDA).
Î Ouvrir la vanne de sécurité d’eau déionisée (si
l’équipement est équipé).
Î Allumer l’onduleur (UPS). Appuyez sur la touche
panneau avant.
I
Test
du
6.2.2 Démarrage de l’équipement
Lors du démarrage de l’équipement, d’un redémarrage PC,
d’un redémarrage après un arrêt d’urgence ou redémarrage
après coupure secteur, suivre la démarche suivante :
Î Déverrouiller les deux arrêts d’urgence.
Avant
Arrière
Î Appuyer sur le bouton poussoir "Power On" pour remettre
l’équipement en énergie.
Î Afin que l’équipement soit de nouveau fonctionnel,
l’opérateur doit s’identifier et appuyer sur [ALARM], et
acquitter les défauts.
AVIS
Une mesure ne pourra être lancée qu’après un délai nécessaire.
Se reporter au chapitre 13.1
31
Utilisation
6.2.3 Arrêt d’urgence
Les deux arrêts d’urgence situés en face avant et arrière ainsi que l’arrêt d’urgence client
situé en face arrière coupent l’alimentation de tous les organes de l’équipement (dont le
gaz pneumatique CDA et l’eau déionisée) sauf :
– Le sectionneur principal ;
– Le filtre secteur ;
– Le disjoncteur principal ;
– L’onduleur ;
– Les entrées automate (24 V) ;
– Le PC (24 V) ;
– Le Switch Ethernet (24 V).
6.2.4 Arrêt équipement
L’arrêt de l’équipement se fait de la façon suivante :
Î S’identifier avec des droits suffisants.
Î Appuyer sur [Settings] puis sur [Exit] et enfin sur [Shutdown Computer].
Attendre que le PC s’arrête (voir chapitre 7.10.1).
Î Appuyer sur l’arrêt d’urgence de l’équipement.
Î Eteindre l’onduleur (UPS). Appuyer sur la touche
du panneau avant.
Î Passer le sectionneur en position « OFF/0 ».
Î Couper l’alimentation électrique client en amont de l’équipement.
Î Vérifier avec un V.A.T.* que la tension est à « 0 »
(* Vérificateur d’Absence de Tension).
Î Fermer les vannes des servitudes.
Î Déconnecter les servitudes.
6.2.5 Isolation des sources d’énergie
Alimentation eau déionisée
Ligne d’eau déionisée sous pression : 2 · 10 3 hPa maximum
Î Fermer la vanne manuelle de sécurité.
Alimentation gaz pneumatique
Ligne d’air sous pression : 6 · 10 3 hPa
Î Dépressuriser la ligne en fermant la vanne à décompression
située sur la face arrière de l’équipement. Il s’agit d’une
vanne trois voies: la troisième voie est destinée à libérer la
pression dans les conduites pneumatiques, et est équipée d’un
silencieux.
Î Mettre un cadenas sur cette vanne pour la verrouiller.
Î Vérifier que la jauge de pression pneumatique indique « 0 ».
32
Utilisation
Alimentation gaz de procédé
Ligne d’air sous pression : 6 · 10 3 hPa
Î Dépressuriser la ligne en fermant la vanne d’isolement située
dans l’équipement derrière l’arrivée du gaz de procédé sur
l’équipement.
Alimentation électrique
Î Passer le sectionneur en position "OFF/0".
Î Mettre un cadenas sur le sectionneur.
Î Couper l’alimentation électrique client en amont de
l’équipement.
Î Vérifier avec un V.A.T.* que la tension est à "0".
*(Vérificateur d’Absence de Tension).
Î Déconnecter les câbles d’alimentation.
6.2.6 Remise en service de l’équipement
Alimentation gaz pneumatique
Î Retirer le cadenas installé sur la vanne d’isolement de la
ligne de gaz pneumatique.
Î Ouvrir la vanne de sécurité.
Alimentation eau déionisée
Î Ouvrir la vanne de sécurité.
33
Utilisation
Alimentation gaz de procédé
Î Ouvrir la vanne d’isolement.
Alimentation électrique
Î Connecter les câbles d’alimentation électrique phase,
neutre et terre. (couple de serrage de 3,5 N.m).
Î Vérifier que la tension d’alimentation est compatible avec
la configuration de la puissance de l’équipement.
Î Mettre l’interrupteur principal « ON/1 ».
Î Vérifier que la tension est correcte (voir chapitre 5.5.2).
Î Allumer l’onduleur (UPS). Appuyer sur la touche
panneau avant.
I
Test
du
Évacuations chimique et thermiques
Î Vérifier le bon raccordement de ces évacuations ainsi que leur fonctionnement.
AVIS
Une mesure ne pourra être lancée qu’après un délai nécessaire.
Se reporter au chapitre 13.1
34
Utilisation
6.3
Interface du logiciel
L’écran de l’IHM est organisé de la façon suivante :
– 1 zone d’informations située en haut de l’écran qui s’affiche de manière permanente
(il s’agit d’une zone en lecture seule qui contient les zones 1 et 2),
– 1 zone (écran) sur laquelle les fonctions de l’APA 450 apparaissent,
– 1 zone de boutons (barre d’outils des boutons) située en bas de l’écran, qui s’affiche de
manière permanente et permet un accès aux fonctions.
NOTE
Utilisez l’écran tactile à l’aide de vos doigts ou d’un objet à bout arrondi.
Zone d’informations
Zone 1
Zone 2
Ecran principal
Barre d’outils
des boutons
35
Utilisation
6.3.1 Description des icônes de la zone 1
Zone d’informations située en haut de l’écran.
Les icônes du Load Port, SECS/GEM control state et SECS/GEM communication sont
disponibles dans cette zone. Il suffit de placer le curseur de la souris sur une icône pour
que sa description apparaisse sous la forme d’un texte.
Icon
Description
RTL
Le Load Port est prêt à charger un FOUP / MAC.
TB
Le Load Port n’est pas prêt à charger ou décharger un FOUP / MAC
par l’intermédiaire de l’AMHS ou d’un opérateur.
RTU
Le Load Port est prêt à décharger un FOUP / MAC.
OOS
Le Load Port a été désactivé par l’opérateur. Aucune action ne peut
être effectuée.
R
Système en «remote» mode (mode d’exploitation standard).
L
Système en «local» mode.
E
Communication SECS/GEM activée et communique avec
l’automation : cela correspond à l’utilisation standard du système.
D
Communication SECS/GEM désactivée.
E
SECS/GEM : Communication SECS activée mais sans connexion
avec l’automation.
Une icône représentant une enveloppe indique qu’un message du
terminal envoyé par l’automatisation n’a pas encore été lu.
Lorsque vous cliquez sur cette icône, le message s’affiche dans une
fenêtre.
Lorsque vous avez lu le message, cliquez sur le bouton « Message
lu » afin de signaler à l’automation que la lecture a été effectuée.
Ce cadre résume les informations importantes comme le statut
actuel.
6.3.2 Description des icônes de la zone 2
Dans cette zone s’affichent :
–
–
–
–
–
–
la date et l’heure du système,
la version du logiciel,
le nom de l’utilisateur connecté,
les six derniers événements ou informations,
une icône indiquant les avertissements en cours,
une icône indiquant les alarmes non visualisées.
Les six derniers événements/informations sont structurés de la façon suivante :
– type de message (Information, Warning ou Alarm),
– émetteur du message (IHM, LP1),
– heure de l’émission,
– texte du message.
36
Utilisation
Lorsque l’arrière-plan est rouge, il s’agit d’une alarme activée.
Le message passe au vert lorsque l’alarme a été visualisée.
Icône
Description
Cette icône signifie qu’il y a un avertissement en cours.
Lorsque vous cliquez sur celle-ci, une fenêtre s’ouvre
pour vous indiquer quel composant est concerné. Il n’est
pas nécessaire d’ acquitter l’avertissement. Lorsque
l’avertissement disparaît, le message disparaît également.
Cette icône signifie qu’il y a une alarme en cours. Lorsque
vous cliquez sur celle-ci, une fenêtre s’ouvre pour vous
indiquer quel composant est concerné. Une alarme doit être
acquittée.
2 boutons sont disponibles :
– [Acknowledge] : acquitter le message sélectionné,
– [Acknowledge All] : marquer simultanément toutes les
alarmes comme acquittées.
Cette icône permet de couper le son de l’alarme sonore.
6.3.3 Ecran Principal
Dans cette zone, s’affichent :
–
–
–
l’état des LP
les résultats (xxxxxxxxxxxx .........)
le statut de la mesure en cours ainsi qu’une zone de commentaire client.
6.3.4 Barre d’outils des boutons
Zone de boutons située en bas de l’écran.
Cette zone de boutons permet de faire apparaître les écrans de fonctions du logiciel
APA 450 (voir chapitre 7.1).
Par défaut, tous les boutons apparaissent en gris et sont désactivés, sauf le bouton de
[Login].
Se référer au chapitre 7.12 pour la description des boutons [Login] et [Logout].
6.4
Mesure d’un FOUP / MAC
Un carrier (FOUP / MAC) peut être chargé manuellement ou de façon automatique.
– Dans le cas d’un chargement automatique (mode AUTO activé sur le Load Port), un
véhicule de type AMHS peut faire le chargement. L’opérateur n’est pas autorisé à faire
le chargement manuel.
– Dans le cas d’un chargement manuel (mode MANUAL activé sur le Load Port),
l’opérateur est le seul à pouvoir charger un FOUP / MAC sur le Load Port.
En fonction de la configuration de la machine, l’opérateur devra appuyer ou non sur le
bouton [LOAD] pour valider le bon placement.
Les trois façons de lancer une mesure de FOUP / MAC sont décrites ci-dessous.
Se référer au chapitre 7 pour le détail des différents boutons et menus.
6.4.1 Mode «Remote»
Dans ce mode, la Fab pilote l’APA 450 : lorsqu’un FOUP / MAC est placé sur le Load Port,
l’opérateur n’a aucune action à faire, c’est le HOST de la Fab qui envoie tous les ordres via
la communication SECS/GEM.
37
Utilisation
6.4.2 Mode «Local» identifié
Dans ce mode, l’opérateur doit être identifié.
Lorsqu’ un FOUP / MAC est placé sur le Load Port, l’opérateur doit effectuer les actions
suivantes :
Î Cliquer sur [Local].
Î Dans l’écran Local, cliquer sur le dessin du FOUP / MAC du Load Port concerné : LP1
ou LP2.
Sur la partie droite de l’écran, des boutons d’actions deviennent accessibles : [Carrier In] et
[Cancel Carrier]
Î Appuyer sur [Carrier In], puis sur [Execute] : Le FOUP / MAC est clampé.
Î Cliquer sur le dessin du FOUP / MAC du Load Port concerné : LP1 ou LP2.
La liste des recettes disponibles apparait.
Î Sélectionner la recette et appuyer sur [Start process].
Le process démarre.
6.4.3 Mode «Local» non identifié («Operator»)
Dans ce mode il ne faut pas être Identifié et l’équipement doit être en mode Local.
Lorsqu’un FOUP / MAC est placé sur le Load Port, la mesure démarre automatiquement si
la configuration a été faite au préalable.
Se référer au paragraphe chapitre 7.10.4 (Operator mode) pour la configuration de ce
mode.
6.4.4 Déroulement de la mesure
La buse de prélèvement monte et vient se plaquer contre le FOUP / MAC. L’air contenu
dans le FOUP / MAC est aspiré puis analysé. A la fin de la mesure, la concentration de
chaque gaz est affichée à l’écran.
Le FOUP / MAC est déclampé automatiquement (avec le paramétrage SECS/GEM Carrier
Hold = Equipement release, le FOUP / MAC est libéré et le Load Port passe en « Ready to
Unload » (RTU)).
Sinon il faut aller dans la page Local, puis cliquer sur le bouton [CarrierRelease]
6.5
Arrêt de la mesure
La mesure peut être arrêtée soit sur défaut, soit par la Fab, soit par l’opérateur en appuyant
sur [Abort].
Lors d’un arrêt sur défaut, l’opérateur devra acquiter les alarmes (voir chapitre 9.2) pour
libérer le FOUP / MAC.
Dans les 2 autres cas, avec le paramétrage SECS/GEM Carrier Hold = Equipement
release, le FOUP / MAC est libéré et le Load Port passe en « Ready to Unload » (RTU).
38
Interfaces de commande
7
Interfaces de commande
Pour sélectionner un écran (une fonction), appuyez sur le bouton, il devient orange.
Liste des écrans disponibles :
– Home screen,
– History screen,
– Local screen,
– Advanced gas monitoring,
– Maintenance screen,
– Events,
– Ambient,
– SECS/GEM,
– Settings,
– Alarms.
Ils sont détaillés dans les paragraphes de ce chapitre.
7.1
Description des touches
Bouton
Description
[Home]
Page principale, par défaut et en lecture seule, lorsqu’aucun
utilisateur n’est identifié.
[History]
Affiche la liste des mesures en cours et terminées, ainsi que
les rapports associés.
[Local]
Permet de lancer des recettes par un opérateur.
Permet de visualiser l’état de chaque analyseur
( valeur instantanée, paramètres ,…. ), générateur de gaz,
[Advanced Gas Monitoring]
vérification du bon fonctionnement des analyseurs ( AutoCheck )
Affiche l’état du plateau ( capteurs et actionneurs ), et permet
de contrôler les actionneurs ( clamp et buses ) en fonction
des droits de l’utilisateur.
[Maintenance]
Cet écran affiche également les vannes actives et les
informations du circuit d’injection ( si présent ).
Affichage de la liste de tous les événements qui ont eu lieu
[Events]
sur l’équipement (Warning, Alarm...) et l’accès au manuel
utilisateur.
Affiche les mesures ambiantes effectuées lorsque
l’équipement ne mesure pas de FOUP / MAC.
[Ambient]
On peut faire un affichage du jour, mois, semaine, année.
[Secs/Gem]
Ecran de contrôle de la communication SECS/GEM.
[Settings]
Accès à des sous-menus de configuration ou d’information.
[Alarms]
Affichage et acquittement de la liste des alarmes en cours
sur l’équipement.
[Login/Logout]
Permet à l’utilisateur de s’identifier ou de se déconnecter.
Certains menus ont des restrictions d’accès : selon les droits de l’utilisateur.
39
Interfaces de commande
7.2
Home screen
Bouton
[Home]
Description
C’est l’écran par défaut lorsque le logiciel est lancé.
Il est en lecture seule.
Il affiche les informations suivantes:
– l’état des Load Port,
– le nom des FOUP / MAC,
– l’état de la séquence de mesure (FOUP / MAC en position
de mesure, mouvements en cours …),
– les informations sur la mesure en cours (durée, étape en
cours...),
– les résultats de la contamination par espèce en ppbv (parts
per billion by volume) du FOUP / MAC et de la dernière
mesure ambiante qui a été effectuée.
Selon les droits de l’utilisateur identifié, celui-ci peut changer
le mode de chargement du Load Port (Auto, Manu).
Pendant une mesure, l’opérateur peut saisir un commentaire
dans les champs "Comments".
7.3
History screen
Bouton
[History]
[Export to CSV]
40
Description
– Cet écran affiche la liste de toutes les mesures en cours ou
terminées.
– Par défaut, seul les sept derniers jours sont affichés.
– En cliquant sur le bouton sélectionnable [All], toutes les
mesures s’afficheront.
Le tableau contient :
– le nom du FOUP / MAC,
– le numéro du Load Port,
– l’heure de démarrage de la mesure,
– le nom de la recette,
– le mode défini dans la recette,
– la valeur du ControlState lors du lancement de la recette
(local ou remote),
– le nom du ControlJob,
– le nom du ProcessJob,
– les champs des commentaires,
– le nom du rapport PDF.
– On peut exporter la liste des mesures en CSV (Comma
Separated Values),
– On peut exporter également les rapports de mesure (PDF),
– Il suffit de sélectionner des lignes dans la grille et de choisir
si l’on souhaite exporter les rapports PDF.
Il est possible de filtrer les enregistrements de la liste de
deux façons :
– Version Simplifiée : On peut saisir des caractères du nom
du FOUP / MAC et cliquer sur le bouton contenant une
loupe pour lancer la recherche sur la colonne CarrierID,
– Version avancée : On peut remplir différents champs de
saisie correspondants aux colonnes de la grille. Le mode
avancé s’active en cliquant sur le carré bleu contenant un
chevron.
En cliquant sur le bouton [Search] on lance la recherche sur
tous les champs remplis.
Interfaces de commande
7.4
Local screen
Bouton
[Local]
[Carrier In]
Description
Le bouton [Local] affiche une fenêtre qui permet de lancer
une recette sur un FOUP / MAC placé sur un des deux Load
Port.
Cet écran est accessible uniquement si l’équipement est en
mode LOCAL (voir le bouton [SECS/GEM]) et si l’utilisateur a
le droit d’y accéder.
L’écran représente les deux Load Port de l’équipement.
En cliquant sur un FOUP / MAC sur un des deux Load Port,
différentes actions sont possibles :
Î Cliquer sur le bouton [Carrier In].
Î Le bouton [Execute] apparait.
[Carrier Release]
[CancelJob]
ou
[CancelCarrier]
[Carrier Recreate]
Î Puis cliquer sur le bouton [Execute].
Le FOUP / MAC va être clampé.
Î Cliquer sur le bouton [Carrier Release] pour libérer le
FOUP / MAC.
Le FOUP / MAC va être libéré.
Le FOUP / MAC va passer en mode Ready To Unload.
Pour annuler une mesure en cours.
Le FOUP / MAC va passer en mode Ready To Unload.
Quand le FOUP / MAC est prêt à être déchargé, en cliquant
sur [Carrier Recreate], le FOUP / MAC passe en Transfer
Block, et une mesure peut de nouveau être lancée.
Si le FOUP / MAC est dans un état qui autorise de lancer une mesure (FOUP / MAC en
position dock), la moitié basse de l’écran permet de lancer une mesure.
La liste de toutes les recettes est affichée en fonction du niveau de l’utilisateur.
Bouton
Description
Î Cliquer sur une recette dans la liste.
[Run Process]
[Abort]
7.5
Î Cliquer sur le bouton [Run Process].
La mesure s’effectue.
Ce bouton est accessible uniquement lorsque la mesure en
cours a été lancée en mode Local.
Î Cliquer sur [Abort].
La mesure en cours s’arrête.
Advanced Gas Monitoring
Cet écran est subdivisé en deux parties :
La partie de gauche liste tous les analyseurs de gaz présents dans l’équipement ( NH3,
ACIDS,…. ) sous forme d’un bouton cliquable.
Bouton
Description
[Common]
Ecran qui regroupe les actions communes à tous les
analyseurs.
[Gas Generator]
Affiche l’écran de configuration du générateur de gaz.
[H2 Gas Generator]
Est actif lorsque un analyseur VOC est intégré dans
l’équipement.
La partie de droite affiche un écran d’informations. Cet écran est subdivisé en deux onglets
minimum ( ou plus en fonction des droits de l’utilisateur).
41
Interfaces de commande
L’onglet [MAIN] donne des informations sur la valeur instantanée, l’état de l’analyseur.
Selon les droits de l’utilisateur, on peut activer une ligne.
Pilotage de la ligne de mesure :
Selon les droits de l’utilisateur, on peut activer une ligne de mesure, de Zero ou de Sample.
Il faut d’abord cliquer sur [Manual Control], dans le panel Line Selection, pour activer le
contrôle des lignes, puis cliquer sur le bouton de son choix :
–
[Sample] : Ligne par défaut qui va à la buse de prélèvement,
–
[Zero] : Ligne qui va sur un générateur d’air pur. Cela permet de faire descendre la
contamination dans la ligne de l’analyseur,
–
[Span] : Ligne qui va au générateur de gaz, ou à une bouteille ( cela dépend de la
configuration des tuyaux ).
Pilotage de la calibration :
Si l’analyseur le permet et selon les droits de l’utilisateur, on peut lancer un Zero ou une
calibration.
Il faut d’abord cliquer sur [Manual Control] , dans le panel Calibration, pour activer le
contrôle des lignes, puis cliquer sur le bouton de son choix :
7.6
–
[Run Zero] : pour lancer sur l’analyseur une calibration "Zero",
–
[Run Span] : pour lancer sur l’analyseur une calibration "Span",
–
L’onglet [SETTINGS] donne accès au paramétrage de l’analyseur.
Maintenance screen
Cet écran permet de visualiser l’état des capteurs et actionneurs (vannes, buses,… ) ainsi
que les flux.
En fonction des droits de l’utilisateur, il est possible de prendre le contrôle des actionneurs
et les manipuler manuellement.
3 vues sont disponibles :
–
Plates : vue Plateau,
–
Sampling : vue de l’échantillonnage,
–
Injection : vue de l’injection (disponible si option présente).
Cet écran est scindé en 2 parties :
42
–
La partie gauche représente les 3 vues sous forme de vignettes, en lecture seule.
Il s’agit d’une représentation en temps réel. Pour agrandir une vue, cliquer sur une
vignette, celle-ci s’affiche dans la partie droite de l’écran.
–
La partie droite de l’écran correspond à l’affichage grande échelle de la vignette
sélectionnée, en lecture seule. Les 3 vignettes restent disponibles en affichage
miniature.
Bouton
Description
[MANUAL]
En fonction des droits de l’utilisateur, un bouton [MANUAL]
est disponible. En cliquant dessus, l’utilisateur prend le
contrôle des actionneurs.
Il peut ainsi :
– monter ou descendre une buse,
– activer/désactiver un clamp (verrouilage du FOUP/MAC),
– piloter les vannes en cliquant sur le dessin pour exécuter
l’action.
[AUTO CYCLE]
Cela permet de lancer un cyclage automatique des buses et
clamps.
Tant que le bouton est actif, le cyclage se fait.
Interfaces de commande
7.7
Events screen
Cet écran affiche l’historique de tous les évènements ou messages qui ont eu lieu sur
l’APA 450, du plus récent au plus ancien, tels que les alarmes (Alarms), les alertes
(Warnings) et les messages d’informations, qui ont été affichés dans le panneau
d’information Zone 2 (Se référer au chapitre 6.3).
Message structure
1
2
3
4
5
6
1
Icône correspondant au type de message (Information, alerte ou alarme).
2
Emetteur du message (HMI, LP…).
3
Date et heure du message.
4
N° d’identification du message.
5
Texte du message.
6
Date et heure à laquelle l’alarme ou l’alerte a été acquittée.
Sur la partie droite de l’écran, des boutons permettent les actions suivantes :
Bouton
Description
[Display Last messages]
Raffraîchit la liste de tous les messages.
[Display Warnings only]
Affiche uniquement la liste des alertes (Warnings).
[Display Alarms only]
Affiche uniquement la liste des alarmes (Alarms).
[Previous] [Next]
[Acknowledge All Alarms]
[Export to CSV]
Par défaut, la liste n’affiche que les cent derniers messages.
Ces boutons permettent d’afficher les cent suivants, ou les
cent précédents.
Acquitte toutes les alarmes. Il a la même fonction que le
bouton de la fenêtre alarme (se référer au chapitre 6.3.2)
Ce bouton est visible en fonction de la configuration client.
Permet d’exporter la liste au format .csv.
[Operating Instructions]
Permet d’afficher le manuel de l’utilisateur au format .pdf.
[Components Manual]
Permet d’accéder aux manuels des composants de
l’équipement au format .pdf.
[Text Search]
Permet de rechercher parmi le texte de tous les messages.
Permet d’ouvrir un panneau avec différents champs de
recherche tels que la date, l’heure, l’émetteur et le type de
message.
43
Interfaces de commande
7.8
Ambient screen
Cet écran permet d’afficher les mesures d’ambiant.
Lorsque l’équipement ne mesure pas de FOUP / MAC, une mesure de l’air ambiant est
réalisée à travers les buses des plateaux.
Chaque mesure est enregistrée dans une base de données et peut-être visualisée à l’écran
avec différentes plages d’affichage.
Lorsqu’une mesure d’ambiant est en cours et qu’une mesure de FOUP / MAC est
demandée, la mesure du FOUP / MAC est prioritaire : la mesure d’ambiant qui était
commencée est annulée.
En condition normale, lorsque l’on enchaine les mesures FOUP / MAC à la suite, une
mesure d’ambiant est forcée toutes les 15 minutes.
Cet écran est subdivisé en 3 parties :
– Partie gauche : liste des gaz disponibles dans l’équipement,
– Partie bas : bandeau de navigation,
– Partie centrale : le graphique.
Partie de gauche :
Bouton
Description
[nom gas]
Chaque bouton représente un gaz disponible dans
l’équipement. En cliquant dessus, on peut masquer la courbe
dans le graphique.
Partie du bas :
Bouton
[1 year]
[1 month]
[1 week]
[1 day]
[Navigation]
[Today]
[Previous]
[Next]
[Search]
[Display]
[Advanced
Search]
[Display]
[Save]
[Export]
[Save As]
[Export]
44
Description
Permet d’afficher l’ambiant sur l’année entière.
La période d’affichage est une année.
Permet d’afficher l’ambiant sur un mois
La période d’affichage est un mois.
Permet d’afficher l’ambiant sur une semaine.
La période d’affichage est une semaine.
Permet d’afficher l’ambiant du jour en cours.
La période d’affichage est un jour.
Permet de caler la période par rapport au jour courant tout
en conservant le choix de l’affichage.
Exemple : si on était en affichage d’une semaine et que l’on
était remonté de trois semaines, cela remet l’affichage sur la
semaine en cours.
Permet de décaler l’affichage d’une période précédente.
Permet de décaler l’affichage d’une période suivante.
Permet de faire une recherche précise dans la période. Les
champs de saisies s’affichent en fonction du type de période
en cours. Choisir une date et cliquer sur [Display] pour
afficher les données de l’ambiant correspondantes.
Permet une recherche encore plus précise en laissant définir
à l’utilisateur la période de son choix.
Choisir une période date et heure, puis cliquer sur [Display]
pour afficher les données de l’ambiant correspondantes.
Permet d’exporter tous les points visibles à l’écran sous
forme de fichier .CSV.
Ni le nom, ni le chemin du fichier n’est demandé.
Le nom est généré automatiquement avec la date et heure
du jour, à l’endroit où sont enregistrés les fichiers XML.
Même action que [Save], mais propose à l’utilisateur de
nommer et choisir l’emplacement du fichier.
Permet d’exporter sous forme de bitmap le graphe en cours.
Interfaces de commande
Bouton
Description
Affiche tous les gaz. Cela a pour effet d’activer tous les
[Select All]
boutons dans la partie de droite.
Désélectionne tous les gaz. Cela a pour effet de désactiver
[Unselect All]
tous les boutons dans la partie de droite.
[Gas]
[Auto]
Définit l’axe Y en automatique.
[Value]
Définit la valeur maximum pour l’axe Y.
[Graph]
[Color Palette] Définit une palette de couleur.
[Set]
7.9
Applique la nouvelle palette de couleur.
SECS/GEM screen
–
–
–
–
–
–
–
Cet écran affiche le panneau de contrôle de la communication SECS/GEM.
Selon les droits d’accès de l’utilisateur certaines actions sont disponibles.
Change le mode (Local / remote).
Active ou désactive la communication avec le HOST.
Change la communication de l’équipement en OFF Line ou en ON Line.
Envoie un message textuel au HOST.
Fait une demande de synchronisation de la date et heure avec le HOST.
7.9.1 Local production mode
En mode Local, vous pouvez utiliser les commandes manuelles de l’opérateur.
Vous pouvez accéder à l’écran «Local» en appuyant sur le bouton [Local].
La communication entre le système et l’automatisation est opérationnelle.
Toutes les actions possibles sont définies à partir de l’écran «Local».
Icône
L
Description
E
Ces deux icônes signifient que l’équipement est en mode
Local (voir chapitre 6.3.1).
7.9.2 Remote production mode
En mode Remote, l’automatisation contrôle le système. Toutes les commandes provenant
de l’opérateur sont refusées ainsi que les commandes locales. Vous ne pouvez pas
mesurer de FOUP / MAC en mode Remote.
La communication entre le système et l’automatisation est opérationnelle.
Icône
R
Description
E
Ces deux icônes signifient que l’équipement est en mode
Remote (voir chapitre 6.3.1).
7.9.3 Description menu
Bouton
SECS/GEM control State
[Local]
SECS/GEM control State
[Remote]
Description
L’opérateur contrôle les actions de l’équipement, telles que le
transfert de FOUP / MAC, lancement de recette.
Les commandes du HOST sont refusées.
Le HOST contrôle les actions de l’équipement.
Les actions de l’opérateur sont limitées.
45
Interfaces de commande
Bouton
Description
SECS/GEM Communication
[Enabled]
Active la communication SECS/GEM.
SECS/GEM Communication
[Disabled]
Désactive la communication SECS/GEM.
Tool Maintenance
[ON line]
Active le mode standard dans lequel l’équipement peut
communiquer.
Tool Maintenance
[OFF line]
Active un mode dans lequel toutes les commandes de
l‘Automatisation sont refusées.
7.10 Settings screen
Cet écran rassemble les différents écrans d’informations et de configurations liés à
l’APA 450.
Certains boutons des settings sont accessibles en fonction des droits de l’utilisateur.
Les écrans suivants sont disponibles dans les settings :
– Arrêt, redémarrage de l’ordinateur.
– Gestion des utilisateurs.
– Configuration de la colonne lumineuse.
– Configuration du process pour le mode opérateur.
– Cahier de maintenance.
– Configuration avancée SECS/GEM.
– Transfert USB des fichiers.
– Paramétrage.
– Affichage des logs.
– Outils pour la maintenance.
– Statut des Process Jobs et Control Jobs.
– Configuration de l’ARAMS.
– Configuration de l’EPT.
7.10.1
Menu Exit
Ce menu permet d’arrêter ou de redémarrer l’ordinateur.
Bouton
Description
[Run]
Permet de lancer une fenêtre de saisie dans laquelle on peut
taper le nom d’un exécutable Windows.
[Restart]
[Shutdown Computer]
[Exit Application]
[Explorer]
[Eject]
[Previous]
46
Permet de relancer l’ordinateur.
Permet d’arrêter l’ordinateur.
Permet d’arrêter l’Interface Homme Machine uniquement.
Permet de lancer l’explorateur Windows.
Permet d’éjecter un périphérique tel qu’une clé USB. Après
avoir choisi le périphérique à éjecter, il suffit de cliquer sur le
bouton [Eject]
Permet de revenir sur la liste de tous les boutons des
settings.
Interfaces de commande
7.10.2
User Manager (Gestion des utilisateurs)
Ce menu permet d’ajouter, modifier ou supprimer des utilisateurs. Par défaut l’écran affiche
la liste de tous les utilisateurs créés sur l’équipement.
Selon les droits de l’utilisateur identifié, seuls les utilisateurs de niveau équivalent ou
inférieur sont modifiables.
Bouton
[Add User]
Description
Ce bouton permet d’ajouter un utilisateur.
L’écran de création d’utilisateur est subdivisé en trois onglets.
User Information :
Cet onglet permet de renseigner les informations importantes
de l’utilisateur tel que :
- son nom,
- son mot de passe,
- son niveau d’accès,
- un commentaire,
- le temps de déconnexion automatique.
Privilèges :
Cet onglet liste tous les privilèges (droits spécifiques)
attribués à cet utilisateur.
Screen configurations :
Cet onglet rassemble tous les réglages de détails pour
chaque écran.
La disquette enregistre les paramètres.
La croix rouge annule les modifications.
7.10.3
[Edit User]
Active la modification des paramètres d’un utilisateur.
Cet écran est le même que pour l’ajout d’un utilisateur.
[Delete User]
Supprime l’utilisateur sélectionné.
[Rename User]
Renomme un utilisateur existant.
Menu Light Tower
Cet écran permet de configurer la colonne lumineuse :
– Pour chacune des 5 couleurs (blanc, bleu, vert, jaune et rouge), il est possible de définir
la cause qui déclenche l’allumage et la cause qui déclenche le clignotement, ainsi que
la priorité entre ces deux actions (allumage ou clignotement).
– Pour l’alarme sonore, il est possible de définir la cause qui déclenche sa mise en route.
7.10.4
Operator Mode
Il est possible d’activer un mode opérateur permettant d’enchainer les mesures de FOUP /
MAC sans avoir besoin de s’identifier.
Ɣ Ce mode est disponible lorsque l’équipement est en mode LOCAL.
Ɣ Ce mode s’active depuis le menu Presets.
Dans l’arborescence de gauche, cliquer sur la clé Operator Mode, puis dans la partie de
droite, double cliquer sur le paramètre Enabled Operator Mode et cocher la case.
Î Se déloguer.
Dans la zone 1 d’information (voir chapitre 6.3), un voyant Operator Mode Enable est
affiché.
Dorénavant, lorsqu’un FOUP / MAC est placé sur le Load Port, après appuis sur le bouton
Load, la mesure démarre automatiquement.
47
Interfaces de commande
7.10.5
Maintenance Notebook
Cet écran est le cahier de maintenance de l’équipement : possibilité de lister les actions de
maintenance, update logiciel faites sur l’équipement.
Bouton
7.10.6
Description
[Add]
Permet d’ajouter une nouvelle action.
Il faut choisir une catégorie, un titre et un texte.
[Edit]
Permet de modifier une note existante.
Accessible selon le niveau utilisateur.
[Delete]
Supprime une action existante.
Accessible selon le niveau utilisateur.
SECS/GEM
Cet écran rassemble tous les paramètres concernant la communication SECS/GEM.
Il est subdivisé en quatre onglets.
Driver Settings
Cet onglet est lui-même subdivisé en six onglets.
Onglet
Common
SECS-II
SECS-I
HSMS
48
Description
Permet de définir :
– le type de communication : SECS-I ou HSMS,
– le nom de l’équipement.
Permet de visualiser :
– la version du logiciel,
– le nom du modèle (APA 450).
Permet de définir les paramètres suivants :
– T3 Reply Timeout,
– Device ID.
Cet onglet est utilisé si le type de communication est SECS-I.
Il permet de définir :
– T1 Inter character timeout,
– T2 Protocol timeout,
– T4 Interblock timeout,
– Retry limit,
– Is Master,
– Is Host.
Cet onglet est utilisé si le type de communication est HSMS.
Il permet de définir :
– T5 Connect separation timeout,
– T6 Control transaction timeout,
– T7 Not selected timeout,
– T8 Network intercharacter timeout,
– Linktest.
Interfaces de commande
Onglet
TCP/IP
Serial Link
Description
Cet onglet rassemble la configuration réseau SECS/GEM
pour le type de connexion HSMS.
Il permet de définir :
– le mode PASSIVE :
‡ L’adresse IP,
‡ le port d’écoute.
– le mode ACTIVE :
‡ l’adresse IP du HOST,
‡ le port d’ écoute du HOST.
– le choix du mode de connexion (Active ou Passive).
Rassemble la configuration réseau SECS/GEM pour le type
de connexion SECS-I.
Il permet de définir :
– le N° du port série,
– la vitesse du port.
Le bouton [Update Secsgem driver settings] permet de mémoriser les paramètres saisis et
de les appliquer.
Note : La communication avec le HOST sera coupée quelques secondes.
Secsgem Config
Cet onglet permet de définir les paramètres par défaut comme défini dans le standard
GEM E30 :
– l’état de la communication (ENABLED ou DISABLED),
– du mode de control (Local, Remote...),
– le mode en cas de perte de communication avec le HOST.
Le bouton [Save Settings] mémorise les paramètres qui seront appliqués lors du prochain
redémarrage de la communiction SECS/GEM.
EC Editor
Permet l’édition des Equipment Constants (EC).
Bouton
[Refresh]
[Edit]
Description
Permet de rafraîchir la liste.
Permet l’édition de l’EC sélectionné.
Attention : si l’équipement est en mode REMOTE, l’édition
ne sera pas possible.
ALARMS
Permet d’afficher l’état de toutes les alarmes SECS/GEM.
Bouton
7.10.7
Description
[Refresh]
Permet de rafraîchir la liste.
[Set]
Permet d’activer une alarme.
[Clear]
Permet d’annuler une alarme.
USB File Transfer
Permet de transférer les rapports de mesure sur une clé USB.
49
Interfaces de commande
7.10.8
Presets
Permet de modifier les paramètres de l’équipement.
7.10.9
Show Logs
Permet de voir tous les fichiers de suivi (logs) de l’équipement.
7.10.10 Tools
Cet écran permet d’accéder à des outils de maintenance.
Bouton
[Run Silverbox admin]
[Reset ADs]
[Open Log Folder]
[Open Scripts Folder]
Description
Lance l’outil de gestion des modules SECS/GEM.
Permet de redémarrer tous les modules SECS/GEM.
Attention : tous les mouvements seront arrêtés et la
communication avec le HOST sera coupée.
Ouvre le dossier Windows qui contient tous les fichiers de
suivi (logs) des modules SECS/GEM
Ouvre le dossier Windows qui contient les fichiers de
configuration SECS/GEM.
[Run MySQLcc]
Lance l’outil de gestion de la base de données.
[Acknowledge All]
Acquitte toutes les alarmes actives.
7.10.11 Control Job / Process Job
Cet écran affiche des informations détaillées sur les FOUP / MAC au niveau SECS/GEM,
ainsi que le Control Job et Process Job associés à ces FOUP / MAC.
Bouton
Description
[Abort PJ]
Ce bouton est valide lorsque l’équipement est en LOCAL.
Il permet d’arrêter un Process Job en cours.
[Abort CJ]
Ce bouton est valide lorsque l’équipement est en LOCAL.
Il permet d’arrêter un Control Job en cours.
7.10.12 ARAMS
Cet écran permet de définir la configuration ARAMS (Automated Reliability, Availability and
maintenabilty).
7.10.13 EPT
Cet écran permet de visualiser les compteurs de performance de l’équipement :
EPT (Equipment Performance Tracking).
50
Interfaces de commande
7.11 Alarms screen
En cliquant sur le bouton [Alarms], une fenêtre liste toutes les alarmes en cours.
Bouton
[Acknowledge]
[Acknowledge All]
Description
Acquitte le message sélectionné dans la liste.
Acquitte tous les défauts actifs.
Ce bouton est accessible selon la configuration client.
[Refresh]
Force un rafraîchissement des alarmes.
[Close]
Ferme la fenêtre.
Icône
Description
Lorsque vous cliquez sur le bouton de connexion, une
fenêtre d’identification s’ouvre.
Lorsque l’utilisateur est connecté (après avoir saisi son
identifiant et son mot de passe), certains boutons sont
activés en fonction de son niveau d’accès.
– Les boutons bleus sont activés,
– Les boutons gris sont désactivés.
Lorsque vous cliquez sur le bouton de déconnexion,
l’utilisateur est déconnecté du logiciel. L’écran d’accueil
apparaît alors automatiquement.
Le bouton de déconnexion permet à l’utilisateur actuel de se
déconnecter, ce qui le redirige automatiquement sur la page
d’accueil.
Remarque : Une fonction de déconnexion automatique
se déclenche lorsque la souris, le clavier et l’écran tactile
ne sont pas utilisés pendant plus de deux minutes (ce qui
correspond aux paramètres par défaut, mais peut être
modifié jusqu’à une durée de 9999 secondes).
7.12 Login/Logout
[Login]
[Logout]
51
Périodicité de maintenance
8
Périodicité de maintenance
IMS (NH3, Acids, Amines) Analyzer
Frequency
Description
Max estimated PM time
Stabilization time after PM
6 months
Ni63 radioactive source leak wipe test
1 hour
None
1 year
Exchange sampling pump diaphragm
and valves
2 hours
24 hours
4 years
Exchange Dopant module Acids cell
and cell calibration
4 hours
24 hours
15 years
Exchange Dopant modules
NH3 / Amines cells
4 hours
24 hours
6 months
IMS flow check
2 hours
24 hours
6 months
IMS calibration check
24 hours
24 hours
Gas Generator (NH3, SO2, HF)
Frequency
2 years
Description
Exchange permeation tubes (NH3,
SO2, HF)
Max estimated PM time
Stabilization time after PM
2 hours
24 hours
Max estimated PM time
Stabilization time after PM
Air zero Generator
Frequency
Description
1 year
Exchange cartridges filters
2 hours
48 hours
1 year
Exchange purge filter
2 hours
48 hours
1 year
Exchange particles filters
1 hour
24 hours
Max estimated PM time
Stabilization time after PM
FOUP sampling line
Frequency
Description
3 months
Visual check
1 hour
None
6 months
FOUP sampling airtightness checking
2 hours
48 hours
Depends
on visual or
airtightness
check
results
Exchange FOUP seals on loadport
1 hour
24 hours
52
Périodicité de maintenance
H2 generator 3080+
Frequency
Description
Max estimated PM time
Stabilization time after PM
1 year
Internal leak check
2 hours
24 hours
1 year
Replacement of de-ionization bag
1 hour
24 hours
1 year
Exchange of H2 particles filter
1 hour
24 hours
Max estimated PM time
Stabilization time after PM
FID VOC Analyzer
Frequency
Description
1 year
Exchange of sample Teflon filter
1 hour
2 hours
1 year
Exchange of pump diaphragm and
valves
2 hours
24 hours
1 year
Total VOC calibration check
2 hours
24 hours
6 months
Check of metrological parameter
1 hour
None
1 year
Exchange of CH4/HCnM oven and Air
zero scrubber
2 hours
24 hours
6 months
Total VOC analyzer flows check
2 hours
24 hours if flows are modified
Max estimated PM time
Stabilization time after PM
SO2 Analyzer
Frequency
Description
1 year
Exchange of components with
maintenance kit (old or new pump
version)
6 hours
24 hours
6 months
SO2 analyzer calibration
4 hours
24 hours
1 year
Exchange of xenon lamp
2 hours
24 hours
Max estimated PM time
Stabilization time after PM
1 hour
24 hours
H2 safety detector
Frequency
1 year
Description
H2 cell replacement for H2 safety
sensor
53
Périodicité de maintenance
HF_ID+
Frequency
1 year
Description
Exchange of sampling pump
diaphragm and valves
Max estimated PM time
Stabilization time after PM
1 hour
24 hours
Max estimated PM time
Stabilization time after PM
1 hour
None
Max estimated PM time
Stabilization time after PM
UPS
Frequency
3 years
Description
Exchange of the batteries
Hygrometer
Frequency
Description
1 year
Exchange diaphragm and valves of
the sampling pump
2 hours
None
1 year
Hygrometer analyzer calibration
(analyzer exchange)
2 hours
24 hours
1 year
Hygrometer analyzer calibration (1 or
2 points calibration with references)
2 hours
24 hours
Cleaning the Load Ports/Equipment
Frequency
1 week
54
Description
Cleaning in the proximity of the
mechanical elements of the
Load Port.
Max estimated PM time
Stabilization time after PM
10 minutes
1 hour
Dysfonctionnement
9
Dysfonctionnement
AVIS
Î Prendre connaissance des consignes de sécurité relatives à la maintenance
(voir chapitre 10.1)
9.1
Ce qui se passe en cas de défaut
Lorsqu’un problème survient l’utilisateur est averti :
–
–
–
–
9.2
L’IHM remonte tous les défauts de l’équipement.
Le bandeau permanent du haut (Zone 2 voir chapitre 6.3) affiche les listes des six
derniers messages.
En cas d’alarme, un contour rouge clignote autour de [ALARMS].
Par la tour lumineuse, selon configuration client.
Comment acquitter une alarme
En fonction de l’alarme, un simple acquittement ([Acknowledge]) suffit pour que
l’équipement soit de nouveau opérationnel.
Au préalable, l’opérateur doit s’assurer visuellement de l’absence de risque avant d’appuyer
sur [Acknowledge].
Si une alarme acquittée persiste après l’acquittement, appeler votre centre de service.
9.3
Le système ne démarre pas
Symptôme
Le système ne démarre pas
Cause
Remède
Arrêt d’urgence enclenché.
Déverrouiller l’arrêt d’urgence par
une rotation du bouton.
Arrêt d’urgence client enclenché.
Voir chapitre 5.6
Mise sous tension de l’équipement.
Mettre l’équipement sous tension
en appuyant sur le bouton
« Power On » en face avant.
Le PC ne s’allume pas.
Vérifier que l’onduleur est en
fonctionnement.
Il y a une alarme active.
Vérifier que toutes les alarmes ont
bien été acquittées.
– Ouvrir l’armoire électrique.
– S’assurer que les cartes relais
hydrogène et eau ne sont pas en
alarme.
Absence air comprimé ou pression
insuffisante.
Vérifier présence air comprimé ou
ajuster la valeur de pression.
Fuite d’eau dans l’équipement.
Carte relais eau en alarme.
Fuite d’hydrogène dans l’équipement.
Carte relais hydrogène en alarme.
Appeler votre centre de service.
55
Dysfonctionnement
9.4
Défaut d’alimentation
Symptôme
Le voyant secteur 230 VAC ne s’allume pas
Le voyant secteur 24 VDC ne s’allume pas
L’écran IHM ne s’allume pas
9.5
Cause
Remède
Absence d’alimentation secteur.
Vérifier l’alimentation.
Prise secteur non branchée et
verrouillée
Déverrouiller la prise et la brancher
Sectionneur sur position « 0 ».
Passer en position « 1 ».
Onduleur hors tension.
Vérifier que l’onduleur est en
fonctionnement.
L’écran n’a pas été allumé.
Appuyer sur le bouton « ON » de
l’écran IHM.
Liste des warnings / alarmes / remèdes
9.5.1 Messages Warning
Messages Warning
Maintenance -> 15 days less
Cause
Prévoir maintenance.
Remède
Appeler votre centre de service
Maintenance Needed - Call
Attendre la fin de l'action.
Initializing System, please wait...
Injection flow too low
Le flux d'injection est inférieur à la
limite de warning.
Excess flow too low
Le flux d'excès est inférieur à la
limite de warning.
Vérifier la pression de la ligne de
gaz process.
Gas Generator Cycle in progress
Attendre la fin de l'action.
HF: Centering in progress
Centrage en cours.
HF: AutoCheck scheduled
Vérification automatique
programmée.
Déprogrammation possible.
Appeler votre centre de service.
HF: AutoCheck in progress
Vérification automatique en cours.
Attendre la fin de l'action.
HF: Analyzer maintenance required
Prévoir maintenance.
VOC FID: Test or Stand-by
L'analyseur est en stand-by.
VOC FID: WARMUP. Please Wait...
L'analyseur est en chauffe.
VOC FID: Zero Reference. Please Wait...
Calibration zéro en cours.
VOC FID: Zero line active
Analyseur sur ligne zéro.
En cas de mesure, passer
l'analyseur sur ligne sample.
VOC FID: Auto-Span in progress. Please Wait...
Auto-span en cours.
Attendre la fin de l'action
VOC FID: Span line active
Analyseur sur ligne span.
En cas de mesure, passer
l'analyseur sur ligne sample.
VOC FID: Saturation
Saturation de l'analyseur détectée.
Attendre la fin de l'action.
VOC FID: AutoCheck scheduled
Vérification automatique
programmée.
Déprogrammation possible, appeler
votre centre de service .
VOC FID: AutoCheck in progress
Vérification automatique en cours.
PMS: NH3 WARMUP. Please Wait...
L'analyseur est en chauffe.
PMS: NH3 Zero running. Please Wait...
Calibration zéro en cours.
PMS: NH3 Saturation
Saturation de l'analyseur détectée.
56
Appeler votre centre de service.
Attendre la fin de l'action.
Attendre la fin de l'action.
Dysfonctionnement
Messages Warning
Cause
PMS: ACIDS WARMUP. Please Wait...
L'analyseur est en chauffe.
PMS: ACIDS Zero running. Please Wait...
Calibration zéro en cours.
PMS: ACIDS Saturation
Saturation de l'analyseur détectée.
PMS: Amines WARMUP. Please Wait...
L'analyseur est en chauffe.
PMS: Amines Zero running. Please Wait...
Calibration zero en cours.
PMS: Amines Saturation
Saturation de l'analyseur détectée.
Remède
Attendre la fin de l'action.
PMS: NH3 Reactant Peak Middle Height Out Of
Range
PMS: NH3 Reactant Peak Symmetry Out Of
Range
PMS: NH3 Baseline Out Of Range
PMS: ACIDS Reactant Peak Middle Height Out
Of Range
PMS: ACIDS Reactant Peak Symmetry Out Of
Range
Spectre incorrect.
Appeler votre centre de service.
Vérification automatique
programmée.
Déprogrammation possible, appeler
votre centre de service.
Vérification automatique en cours.
Attendre la fin de l'action.
PMS: ACIDS Baseline Out Of Range
PMS: Amines Reactant Peak Middle Height Out
Of Range
PMS: Amines Reactant Peak Symmetry Out Of
Range
PMS: Amines Baseline Out Of Range
PMS NH3: AutoCheck scheduled
PMS ACIDS: AutoCheck scheduled
PMS AMINE: AutoCheck scheduled
PMS NH3: AutoCheck in progress
PMS ACIDS: AutoCheck in progress
PMS AMINES: AutoCheck in progress
SO2: Pressure 0 Error à SO2: Pressure 9 Error
Pression incorrecte.
SO2: Flow 0 Error à SO2: Flow 9 Error
Flux incorrect.
SO2: Temp. 0 Error à SO2: Temp. 9 Error
Température incorrecte.
SO2: 1st Comp. Zero Cal.
Calibration Zéro incorrecte.
SO2: 1st Comp. Span Cal.
Calibration Span incorrecte.
SO2: 2nd Comp. Zero Cal.
Calibration Zéro incorrecte.
SO2: 2nd Comp. Span Cal.
Calibration Span incorrecte.
SO2: 3rd Comp. Zero Cal.
Calibration Zéro incorrecte.
SO2: 3rd Comp. Span Cal.
Calibration Span incorrecte.
SO2: Zero gas Cylinder Pressure
Pression bouteille Zéro incorrecte.
SO2: Span Gas 1 Cylinder Pressure
Pression bouteille Span incorrecte.
SO2: Span Gas 2 Cylinder Pressure
Pression bouteille Span incorrecte.
SO2: AutoCheck scheduled
Vérification automatique
programmée.
Déprogrammation possible, appeler
votre centre de service.
SO2: AutoCheck in progress
Vérification automatique en cours.
Attendre la fin de l'action.
Appeler votre centre de service.
57
Dysfonctionnement
9.5.2 Messages Alarmes
Messages Alarmes
Cause
Remède
PLC Error
Dysfonctionnement de la
communication ou câble Ethernet
mal connecté.
– Acquitter le défaut.
– Si le défaut persiste, vérifier la bonne
connexion des câbles Ethernet.
General Failure
EMO.
– Vérifier qu'un EMO n'est pas enclenché.
High level values detected
Mesure d'un ou plusieurs
analyseurs dépassant un seuil de
concentration.
– Attendre la fin de l'action.
LP1 clamp error
Erreur lors du verrouillage ou
déverrouillage des clamps du LP1.
– Acquitter le défaut.
– Si le défaut persiste, appeler votre
centre de service.
LP1 nozzle move error
Erreur lors du mouvement des
buses de prélèvement du LP1.
LP2 clamp error
Erreur lors du verrouillage ou
dévérrouillage des clamps du LP2.
LP2 nozzle move error
Erreur lors du mouvement des
buses de prélèvement du LP2.
E84 TP1 Alarm occurred on LP1
Signal E84 TR_REQ n'est pas
passé à "ON" durant le temps
imparti.
E84 TP2 Alarm occurred on LP1
Signal E84 BUSY n'est pas passé à
"ON" durant le temps imparti.
E84 TP3 Alarm occurred on LP1
le FOUP n'a pas été détecté/enlevé
durant le temps imparti.
E84 TP4 Alarm occurred on LP1
Signal E84 BUSY n'est pas passé à
"OFF" durant le temps imparti.
E84 TP5 Alarm occurred on LP1
Signal E84 VALID n’est pas passé à
"OFF" durant le temps imparti.
E84 TP6 Alarm occurred on LP1
Signal E84 VALID n'est pas passé à
"ON" durant le temps imparti.
E84 Protocol Error occurred on LP1
Des signaux ont changé d'état alors
qu'ils n'auraient pas dû.
E84 Handoff Sequence aborted by
equipment on LP1
L'équipement a arrêté la séquence
de chargement/déchargement.
E84 Access Mode Violation occurred
on LP1
Un FOUP a été placé/enlevé alors
que le Load Port était en "AUTO".
E84 TP1 Alarm occurred on LP2
Signal E84 TR_REQ n'est pas
passé à "ON" durant le temps
imparti.
E84 TP2 Alarm occurred on LP2
Signal E84 BUSY n'est pas passé à
"ON" durant le temps imparti.
E84 TP3 Alarm occurred on LP2
le FOUP n'a pas été détecté/enlevé
durant le temps imparti.
E84 TP4 Alarm occurred on LP2
Signal E84 BUSY n'est pas passé à
"OFF" durant le temps imparti.
E84 TP5 Alarm occurred on LP2
Signal E84 VALID n'est pas passé à
"OFF" durant le temps imparti.
E84 TP6 Alarm occurred on LP2
Signal E84 VALID n'est pas passé à
"ON" durant le temps imparti.
58
– Acquitter le défaut.
– Si le défaut persiste, appeler votre
centre de service.
– Acquitter le défaut.
– Vérifier le connecteur 25 points de la
prise E84/OHT sur l'équipement.
– Si le défaut persiste, appeler votre
centre de service.
Dysfonctionnement
Messages Alarmes
Cause
E84 Protocol Error occurred on LP2
Des signaux ont changé d'état alors
qu'ils n'auraient pas dû.
E84 Handoff Sequence aborted by
equipment on LP2
L'équipement a arrêté la séquence
de chargement/déchargement.
E84 Access Mode Violation occurred
on LP2
Un FOUP à été placé/enlevé alors
que le Load Port était en "AUTO".
Injection flow too low
Flux d'injection inférieur à la limite
d'alarme.
Excess flow too low
Flux d'excès inférieur à la limite
d'alarme.
CDA pressure too low
Pression de CDA trop faible.
Water leak
Fuite d'eau.
Water overconsumption
Détection d'un fort flux d'eau par le
débitmètre.
Fuite sur circuit d'eau.
H2O: Humidity Sensor overflow
Erreur de mesure.
H2O: Humidity Sensor not connected
Erreur de communication.
H2O: Temperature Sensor not
connected
Erreur de communication.
HF: Communication Error
Dysfonctionnement de la
communication ou câble mal
connecté.
HF: RingDown Status Alarm
Signal ringDown trop faible.
HF: Pressure alarm
Pression incorrecte
HF: Laser Temperature Alarm
Température laser incorrecte
Remède
– Acquitter le défaut.
– Vérifier le connecteur 25 points de la
prise E84/OHT sur l’équipement.
– Si le défaut persiste, appeler votre
centre de service.
– Vérifier la pression de la ligne de gaz
process.
Vérifier l'alimentation générale de CDA.
– Vérifier la présence d'eau sous/dans
l'équipement.
– Vérifier si le ruban de sécurité est
humide.
– Si le problème persiste, appeler votre
centre de service.
– Vérifier la présence d'eau sous/dans
l’équipement.
– Si le problème persiste, appeler votre
centre de service.
Appeler votre centre de service.
– Acquitter le défaut.
– Si le défaut persiste, vérifier la bonne
connexion des câbles.
Appeler votre centre de service.
Seuil de concentration (niveau 1)
dépassé.
Seuil de concentration (niveau 2)
dépassé.
Attendre la fin de l'action.
Dysfonctionnement de la
communication ou câble mal
connecté.
– Acquitter le défaut.
– Si le défaut persiste, vérifier la bonne
connexion des câbles.
PMS: NH3 Fault ( See log )
Analyseur en faute.
Appeler votre centre de service.
PMS: ACIDS Sensor not connected
Dysfonctionnement de la
communication ou câble mal
connecté.
– Acquitter le défaut.
– Si le défaut persiste, vérifier la bonne
connexion des câbles.
PMS: ACIDS Fault ( See log )
Analyseur en faute.
Appeler votre centre de service.
PMS: Amines Sensor not connected
Dysfonctionnement de la
communication ou câble mal
connecté.
– Acquitter le défaut.
– Si le défaut persiste, vérifier la bonne
connexion des câbles.
PMS: Amines Fault ( See log )
Analyseur en faute.
Appeler votre centre de service.
HF: User Alarm 1
HF: User Alarm 2
PMS: PLC Rack 1 not connected
PMS: PLC Rack 2 not connected
PMS: NH3 Sensor not connected
59
Dysfonctionnement
Messages Alarmes
Cause
Remède
PMS: NH3 Saturation
Analyseur en saturation.
Attendre la fin de l'action.
SO2: Sensor not connected
Dysfonctionnement de la
communication ou câble mal
connecté.
– Acquitter le défaut.
– Si le défaut persiste vérifier la bonne
connexion des câbles.
SO2: Pressure 0 Error à
SO2: Pressure 9 Error
Pression incorrecte.
SO2: Flow 0 Error à SO2: Flow 9 Error
Flux incorrect.
SO2: Temp. 0 Error à
SO2: Temp. 9 Error
Température incorrecte.
SO2: 1st Comp. Zero Cal.
Calibration Zéro incorrecte.
SO2: 1st Comp. Span Cal.
Calibration Span incorrecte.
SO2: 2nd Comp. Zero Cal.
Calibration Zéro incorrecte.
SO2: 2nd Comp. Span Cal.
Calibration Span incorrecte.
SO2: 3rd Comp. Zero Cal.
Calibration Zéro incorrecte.
SO2: 3rd Comp. Span Cal.
Calibration Span incorrecte.
SO2: Zero Drift Error
Dérive du Zéro.
SO2: Span Drift Error
Dérive du Span.
SO2: Internal Error 0 à
SO2: Internal Error 7
SO2: External Error 0 à
SO2: External Error 7
Erreur de communication interne.
PMS: Total Acids Saturation
PMS: Other Amines Saturation
VOC FID: Communication Error
VOC FID: Fault (See log)
VOC FID: H2 Generator communication
error
Erreur de communication externe.
Dysfonctionnement de la
communication ou câble mal
connecté.
Analyseur VOC en alarme.
H2 generator 3080+ en alarme.
Dysfonctionnement de la
communication ou câble mal
connecté.
VOC FID: H2 Generator Fault (See log)
H2 generator 3080+ en erreur.
VOC FID: Stability Pressure Error
Analyseur en erreur.
VOC FID: TOTAL VOC Saturation
Saturation de l'analyseur.
60
Appeler votre centre de service.
– Acquitter le défaut.
– Si le défaut persiste, vérifier la bonne
connexion des câbles.
Appeler votre centre de service.
– Acquitter le défaut.
– Si le défaut persiste, vérifier la bonne
connexion des câbles.
Appeler votre centre de service.
Attendre l'appareil retrouve une valeur de
concentration inférieure au niveau haut
défini.
Instructions de maintenance
10 Instructions de maintenance
10.1 Consigne de sécurité relative à la maintenance
Dans certaines situations, la manipulation de l’équipement et des composants associés
nécessite le port d’un équipement de protection individuelle.
L’exploitant se doit de mettre à disposition de l’utilisateur les équipements nécessaires :
ceux-ci doivent être régulièrement vérifiés et utilisés conformément aux recommandations
du fournisseur.
AVIS
Exclusion de responsabilité
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité concernant les dégâts matériels, perturbations
de service, dommages corporels résultant d’une maintenance réalisée par un technicien
non formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique).
Les recours en responsabilité et en garantie sont, dans ce cas, irrecevables.
AVERTISSEMENT
L’entretien doit être effectué par un technicien de maintenance qualifié formé aux aspects
de santé et de sécurité pertinentes (CEM, risques électriques, etc...).
Isoler l’équipement de toutes les sources d’énergie (réseau électrique, air comprimé, etc)
avant de commencer le travail.
Les révisions majeures doivent être effectuées par un personnel qualifié ayant reçu une
formation auprès du fabricant.
Appeler votre centre de service.
AVERTISSEMENT
Risques liés aux gaz de procédé
L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit ont l’entière responsabilité des conditions de
sécurités liées au fonctionnement de l’équipement. Le constructeur n’a pas la possibilité
de contrôler le type de gaz utilisé avec l’équipement.
Le danger se situe dans les FOUP, mais aussi dans l’équipement lors de l’ouverture des
panneaux donnant accès à l’arrière des baies d’analyseurs, au niveau de l’évacuation
chimique de l’équipement, des tubes de raccordement et du générateur de gaz NH3, HF,
SO2.
Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou
réactifs. Ces gaz étant dangereux, il appartient donc à l’utilisateur du procédé :
Î D’appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale.
Ces informations sont disponibles auprès de son service sécurité.
Î Ces gaz peuvent causer des blessures graves ou la mort, il est impératif de relier
le refoulement de l’équipement au système d’échappement des gaz dangereux de
l’installation, doté de filtres appropriés, de sorte que l’échappement soit conforme aux
règles de protection contre la pollution de l’eau et de l’air.
Î Pour davantage d’informations, appeler votre centre de service.
AVERTISSEMENT
Risques de brûlures
L’équipement est conçu de façon à ne procurer aucun risque thermique pour la sécurité
de l’utilisateur. Toutefois, des conditions d’utilisation spécifiques peuvent générer des
températures nécessitant une attention particulière de la part de l’utilisateur pouvant
provoquer des brûlures.
Î Mettre des gants avant le dépannage et attendre le refroidissement complet avant
d’intervenir sur l’équipement.
Risques d’écrasement
Î Risque d’écrasement ou de coupure liés aux pièces en mouvement.
61
Instructions de maintenance
AVERTISSEMENT
Risque de choc électrique en cas de contact
Courant et tension peuvent provoquer des chocs électriques.
Le danger se situe sur l’ensemble des panneaux donnant un accès à des composants
électriques à risque, plus particulièrement sur le module d’entrée électrique, l’armoire
électrique, les borniers d’alimentation au fond des baies d’analyseurs, les analyseurs et
les générateurs.
Î Passer le sectionneur en position « OFF/0 », débrancher la prise d’alimentation et la
verrouiller avant d’intervenir sur l’équipement et/ou de retirer les panneaux.
Î Seul un personnel autorisé et compétent peut intervenir sur le produit.
Attention ! La partie électrique en amont du sectionneur reste sous tension même après
son ouverture.
Î Il est impératif de déconnecter l’alimentation générale du produit.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure liée aux charges lourdes
Compte tenu du poids de l’équipement, seul un personnel habilité et formé aux règles de
manutention des objets lourds peut sortir le produit de son emballage.
Î Utiliser un transpalette ou un chariot élévateur.
Î Le constructeur dégage toute responsabilité en cas d’utilisation d’autres moyens de
manutention.
kg
AVERTISSEMENT
Risque de blessure dû à des chutes d’objet
Lors du transport de pièces/composants, ou lors de la maintenance du produit, il existe un
risque de blessures dû aux chutes ou glissement de charge.
Î Transporter à deux mains et deux personnes les composants de cette charge.
Î Porter des chaussures de sécurité avec protection des orteils conformément à la norme
EN 347.
AVERTISSEMENT
Cas de puissance maintenue
Ɣ L’UPS* maintient en puissance après coupure électrique les éléments suivants : Le PC,
une alimentation 24 V, le switch Ethernet, les entrées automates, les cartes de sécurité
eau et le détecteur d’hydrogène. Tous les fils d’alimentation maintenus en puissance par
l’UPS possèdent un marquage jaune et l’inscription : "Live after EMO".
Ɣ L’UPS* maintient en puissance après un arrêt d'urgence les éléments suivants : Le PC,
une alimentation 24 V, le switch Ethernet, les entrées automates, les cartes de sécurité
eau et le détecteur d’hydrogène. Tous les fils d’alimentation maintenus en puissance par
l’UPS possèdent un marquage jaune et l’inscription : "Live after EMO".
(*) Manuels utilisateur (UPS _ user manual _ APC-smart) disponible dans le software de
l'APA (Appuyer sur [Events] Puis sur [components manual])
Ɣ Après coupure du sectionneur les éléments suivants restent sous tension : le filtre secteur
et les câbles reliant la prise électrique de l’équipement au sectionneur. Ces éléments sont
identifiés par une étiquette repère 2 du chapitre 1.2.6 et un marquage orange.
AVERTISSEMENT
Risque lié aux sources radioactives (concerne les équipements avec
analyseurs IMS : NH3 / Acid, Amine)
Les analyseurs IMS contiennent des sources radioactives (Ni63, 370MBq).
Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant
accès aux baies d’analyseurs, plus particulièrement dans les analyseurs NH3, Acid et
Amines.
Î L’exploitant devra obtenir les autorisations nécessaires à l’importation et à l’utilisation
de tels systèmes embarquant des sources radioactives.
62
Instructions de maintenance
DANGER
Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques
Le refoulement des gaz corrosifs peut entrainer des blessures graves ou la mort.
Î Toujours raccorder l’exhaust chimique de l’équipement à un système d’extraction et de
traitement des gaz (acid exhaust).
Î Veiller à ce que ce raccordement soit réalisé par des personnes habilitées.
Î Veiller à ce que le système d’extraction soit toujours fonctionnel. Flux = 20 L/min.
Î Porter des gants nitriles.
Î Porter des gants antiacide au dessus des gants nitrile.
Î Porter un tablier.
Î Porter une visière.
10.2 Localisation des étiquettes à l’intérieur de l’équipement
PNEUMATIC GAS 6-10 bar
Ligne de gaz pneumatique
PROCESS GAS 6-10 bar
Ligne de gaz de procédé
VALVE LP1
NOZZLE 1 / NOZZLE 2
Vanne de switch LP1
Buse 1 / Buse 2
VALVE LP2
NOZZLE 1 / NOZZLE 2
Vanne de switch LP2
Buse 1 / Buse 2
VALVE LP1
ANALYZERS / ENGINEERING
Vanne de switch LP1
Analyseurs / Module Engineering
VALVE LP2
ANALYZERS / ENGINEERING
Vanne de switch LP2
Analyseurs / Module Engineering
VALVE SWITCH
LP1 / LP2 Sampling
Vanne de switch
Prélèvement LP1 / LP2
VALVE SWITCH
FOUP / MAC
Vanne de switch
FOUP / MAC
VALVE SWITCH
LP1 / LP2 Injection
Vanne de switch
Injection LP1 / LP2
FLOWMETER INJECTION
Débitmètre injection
FLOWMETER OUTPUT FLOW
Débitmètre excès
CHEMICAL EXHAUST
Evacuation chimique
THERMAL EXHAUST
Evacuation thermique
INFOPAD A B C
Capteurs INFOPAD A B C LP1 et LP2
INFOPAD D E F
Capteurs INFOPAD D E F LP1 et LP2
ACTUATOR PIPE 1
Vérin linéaire 1 LP1 et LP2
ACTUATOR PIPE 2
Vérin linéaire 2 LP1 et LP2
ACTUATOR PIPE 3
Vérin linéaire 3 LP1 et LP2
ACTUATOR PIPE 4
Vérin linéaire 4 LP1 et LP2
ACTUATOR CLAMP 5 + 6
Vérin rotatif verrouillage FOUP LP1 et LP2
PRESSURE REGULATOR
Régulateur de pression
PRESSURE SENSOR
Capteur de pression
SENSOR RFID LP1
Capteur RFID LP1
SENSOR RFID LP2
Capteur RFID LP2
PLACEMENT SENSOR
Capteur de placement FOUP LP1 et LP2
PRESENCE SENSOR
Capteur de présence FOUP LP1 et LP2
DISTRIBUTOR LP1
Ilot pneumatique actionneur LP1
DISTRIBUTOR LP2
Ilot pneumatique actionneur LP2
DISTRIBUTOR VALVES
Ilot pneumatique vannes
PROCESS GAS VALVE
Vanne d’isolation gaz de procédé
H2 DETECTOR
DI WATER FLOWMETER
DI WATER ELECTROVALVE
DI WATER DROPLET DETECTION
Détecteur d’hydrogène
Débitmètre d’eau déionisée
Vanne électrique d’eau déionisée
Détecteur de fuite d’eau
63
Instructions de maintenance
Voir chapitre 1.2.6 pour le détail des repères.
5
6
11
7
5
3
5
9
10
5
7
Fig. 13 : Localisation des étiquettes de sécurité intérieures
64
Instructions de maintenance
10.3 Localisation des composants
17
16
1
2
3
4
18
5
15
6
7
8
14
19
13
9
12
10
11
Fig. 14 : Armoire électrique
Rep.
Désignation
Fonction
Convertisseur RS232-Ethernet
(analyseurs/générateurs)
Etiquette
1
Convertisseur RS232-Ethernet
2
Hub 8 ports (quantité : 2)
Hub Ethernet
04HUB1/04HUB2
3
Carte communication E84 (quantité : 2)
Carte communication E84
05E84-1/05E84-2
4
Carte relais détecteur hydrogène
Carte relais de sécurité (détecteur hydrogène)
04H2D1
5
Carte relais détection sur consommation
eau
Prise de courant 2P+T 220 V/16A
(quantité : 3)
Carte relais de sécurité (sur consommation d'eau)
04FMR1
6
Prises 220 V pour maintenance
05SW1
06PC1/06PC2/06PC3
7
Carte relais détection fuite d'eau
Carte relais de sécurité (fuite d'eau)
04RAR1
8
Disjoncteur C60 UL1077 - 6 A courbe C
Alimentation Prise de courant maintenance
06Q1
8
Interrupteur différentiel GFPBI 25 A
30 mA 230 VAC
interrupteur différentiel prise de courant
maintenance
8
Disjoncteur C60 UL1077 - 1 A courbe C
Alimentation écran machine
8
Disjoncteur C60 UL1077 - 4 A courbe C
8
Disjoncteur C60 UL1077 - 6 A courbe C
8
Disjoncteur C60 UL1077 - 3 A courbe C
8
Disjoncteur C60 UL1077 - 3 A courbe C
Alimentation baie 1 :
prises WP11/WP12/WP13/WP14
Alimentation baie 1 :
prises WP16/WP17/WP18/WP19/WP20
Alimentation baie 2 :
prises WP22/WP23/WP24/WP25/WP26
Alimentation baie 2 :
prises WP28/WP29/WP30/WP31
06Q1 diff
06Q2
07Q1
08Q1
09Q1
10Q1
65
Instructions de maintenance
Rep.
Désignation
Fonction
Etiquette
Alimentation baie Engineering :
prises WP33/WP34/WP35
Alimentation baie Engineering :
prises WP37/WP38/WP39
Alimentation 230 V (UPS/carte relais RAR /
alimentation 24 V secourue
8
Disjoncteur C60 UL1077 - 3 A courbe C
8
Disjoncteur C60 UL1077 - 3 A courbe C
9
Disjoncteur C60 UL1077 - 3 A courbe C
10
Contacteur de puissance 40 A 1NO +
1NF 24 VDC
Contacteur de mise en énergie
11
PC industriel
PC machine
11Q1
12Q1
04Q03
12KM1
PC
Alimentation 24 V secourue (HUB/PC/PLC/cartes
sécurités : FMR/H2D)
Alimentation HUB/PC/PLC/cartes sécurités : FMR/
H2D
Alimentation 24 V non secourue (RFID/E84/
Convertisseur RS-Ethernet/Flowmeter injection et
output flow/ventilateurs)
Alimentation RFID/E84/Convertisseur RS-Ethernet/
Flowmeter injection et output flow/ventilateurs
12
Disjoncteur C60 UL1077 - 4 A courbe D
12
Disjoncteur C60 UL1077 - 6 A courbe C
12
Disjoncteur C60 UL1077 - 4 A courbe D
12
Disjoncteur C60 UL1077 - 6 A courbe C
13
Alimentation 230 V / 24 V - 10 A / 240 W
Alimentation 24 V pour la puissance (secourue)
04U1
14
Alimentation 230 V / 24 V - 10 A / 240 W
Alimentation 24 V pour la puissance (non
secourue)
04U2
15
PLC
Automate industriel
API1
16
Interrupteur différentiel GFPBI 40 A
30 mA 230 VAC
Interrupteur différentiel général
04Q02
17
Filtre secteur alimentation 230 V - 55 A
Filtre CEM secteur
04FL01
18
Disjoncteur UL - 400 V - 40 A courbe C
Disjoncteur général
04Q01
19
Onduleur rack 230 V (UPS)
Onduleur machine (UPS)
04UPS1
04Q04
04Q05
04Q06
04Q07
10.4 Nettoyage Load Port / Equipement
AVERTISSEMENT
Nettoyage à proximité des éléments mécaniques du Load Port.
Î Ne pas faire tomber de goutte de produit dans les buses de prélèvement.
Nettoyer les Load Port et le reste de l’équipement à l’aide d’un chiffon doux non pelucheux
et d’un produit ne détériorant pas la peinture et les étiquettes (ex : IPA)
Remarque : Le nettoyage peut avoir un impact sur la concentration des composés
organiques volatiles (VOC) dans l’air ambiant.
Une alarme « saturation » peut se déclencher suivant le seuil d’alarme réglé dans le
software. La période de stabilisation pour retrouver le niveau habituel en VOC dans la
salle blanche peut prendre un certain temps et dépend de la concentration atteinte lors du
nettoyage.
10.5 Leak test des IMS
AVERTISSEMENT
Eteindre l’équipement avant de poursuivre l’opération de maintenance
Se reporter au chapitre 6.2.4
La source scellée de Ni63 est installée à l’intérieur de l’analyseur IMS.
Un analyseur IMS peut contenir 1 ou 2 sources Ni63.
66
Instructions de maintenance
Il est recommandé de pratiquer ce test de fuites radioactives tous les 6 mois ou avant/
après tout transport de l'analyseur IMS
Matériel Utilisé : kit de test de fuite (Réf. : IS1079)
Î Ouvrir les panneaux arrières de
l’APA 450.
Î Enlever les quatre vis de fixation et sortir
l’analyseur en le tirant sur ses glissières.
Î Eteindre l’analyseur IMS par le bouton
marche/arrêt situé sur la face arrière de
l’appareil.
Î Insérer un coton tige (approximativement 2 cm de
profondeur) dans chacun des trous repérés par la
mention "wipe test port". Ils permettent d’amener le
coton tige au contact du boîtier contenant la source
radioactive.
Î Placer les cotons tiges dans les pochettes marquées
"Cell surface wipe". Noter le N° de la cellule sur chaque
pochette.
wipe test port
Si l'IMS contient deux cellules, prévoir d'approvisionner deux
kits de test de fuite.
vue de dessous
Î Déconnecter le tuyau d’évacuation sur la face arrière de
l’IMS.
Î Frotter la surface interne du connecteur d’évacuation
repéré "exhaust wipe test port" avec un coton tige puis
le placer dans la pochette "Exhaust port wipe".
Î Reconnecter le tuyau d’évacuation puis redémarrer l’analyseur IMS. Le replacer ensuite
dans l’APA 450.
Î Remettre les quatre vis de fixation.
Î Refermer les panneaux arrières de l'équipement.
Î Mettre les 3 pochettes dans l’enveloppe PMS et remplir le document d’informations pour
envoi à adixen Vacuum Products.
10.6 Remplacement du module batteries de l’onduleur
AVIS
Obligation d’informer
Toute personne chargée de l’installation, de l’utilisation ou de l’entretien de l’équipement
APA 450 doit avoir lu les consignes de sécurité de ce manuel et doit les respecter.
DANGER
L’opération de remplacement du module batteries nécessite d’accéder à l’intérieur de
l’équipement où des composants sont sous tension.
67
Instructions de maintenance
AVERTISSEMENT
Cas de puissance maintenue
Ɣ L’UPS* maintient en puissance après coupure électrique les éléments suivants : Le PC,
une alimentation 24 V, le switch Ethernet, les entrées automates, les cartes de sécurité
eau et le détecteur d’hydrogène. Tous les fils d’alimentation maintenus en puissance par
l’UPS possèdent un marquage jaune et l’inscription : "Live after EMO".
Ɣ L’UPS* maintient en puissance après un arrêt d'urgence les éléments suivants : Le PC,
une alimentation 24 V, le switch Ethernet, les entrées automates, les cartes de sécurité
eau et le détecteur d’hydrogène. Tous les fils d’alimentation maintenus en puissance par
l’UPS possèdent un marquage jaune et l’inscription : "Live after EMO".
(*) Manuels utilisateur (UPS _ user manual _ APC-smart) disponible dans le software de
l'APA (Appuyer sur [Events] Puis sur [components manual])
Ɣ Après coupure du sectionneur les éléments suivants restent sous tension : le filtre secteur
et les câbles reliant la prise électrique de l’équipement au sectionneur. Ces éléments sont
identifiés par une étiquette repère 2 du chapitre 1.2.6 et un marquage orange.
Le remplacement du module batteries de l’onduleur est une procédure ne présentant aucun
risque d’électrocution. Vous pouvez laisser en marche l’onduleur et le matériel connecté
pendant l’opération.
AVIS
L’accès à l’onduleur peut nécessiter l’utilisation d’un marchepied.
Î Ouvrir le panneau central arrière de
l’APA 450.
Î Retirer la face avant de l'onduleur.
Fiche batterie
Î Débrancher les fiches de la batterie à
l’onduleur.
Î Retirer les vis de fixation du logement
module batteries.
x4
AVERTISSEMENT
Risque de blessure liée aux charges lourdes
Compte tenu du poids du module batteries, veuillez respecter les règles de manutention
d' objets lourds.
68
Instructions de maintenance
Î Remplacer le module batteries par un
neuf.
Î Remettre en place les quatre vis de
fixation.
x4
Î Brancher les fiches de la batterie à
l’onduleur.
Î Ranger le cordon de batterie blanc dans
l’espace au-dessus du connecteur.
Î Remettre la face avant de l'onduleur.
AVIS
Pb
Pb
Rapporter le module batteries usagées dans un lieu prévu pour le recyclage ou le renvoyer
chez APC dans l’emballage prévu à cet effet.
Î Fermer le panneau central arrière de l’APA 450.
10.7 Réarmement disjoncteur
DANGER
Cette opération est effectuée à proximité de composants électriques sous tension. Il est
impératif de porter les Equipements de Protection Individuelle (EPI) pour toute intervention
dans le tableau électrique.
Par l'intermédiaire du software, vérifier la cause ayant provoqué la mise en sécurité du
disjoncteur.
Si nécessaire, contacter votre centre de service avant de réarmer le disjoncteur.
Î Ouvrir le panneau arrière de l' APA 450.
Î Enclencher le disjoncteur concerné.
Î Vérifier l'intégrité des composants
redémarrés.
Î Fermer le panneau arrière.
69
Instructions de maintenance
10.8 Edition des journaux
Afin d'examiner les problèmes liés au software ou à la communication SECS/GEM, un outil
permettant d’éditer tous les journaux de l'équipement est disponible sur le PC.
Cet outil est accessible via l’explorateur Windows au chemin suivant : D:\MakeLogBackup.
Remarque : pour le reste des opérations, un accès software de niveau ingénieur minimum
est requis (voir chapitre 7.10.2).
Depuis l’écran « Home » du software APA 450 et selon les droits utilisateurs prédéfinis :
Î Aller dans [Settings] puis dans [Explorer]
ou bien
Î Cliquer sur [Run] et taper « explorer » dans l’invite de commande.
Î Aller ensuite au chemin spécifié ci-dessus et double cliquer sur BackupLogAPA.exe.
Les paramètres doivent être :
– Local
– Tool name : doit être le nom de l'équipement
– Days before : "6" est la valeur recommandée, mais vous pouvez la changer suivant vos
besoins (cependant après 6 jours, certains journaux ne sont plus disponibles).
Générer ensuite les journaux Process en sélectionnant [Archive ProcessLog].
Ces journaux sont suffisants pour la majorité des dépannages.
Si une erreur SECS/GEM s’est produite, générer les journaux SECS/GEM.
Contacter votre centre de service qui vous indiquera si nécessaire les journaux
supplémentaires requis pour un dépannage.
10.9 Liste des pièces de rechange
IMS (NH3, Acids, Amines) Analyser
Désignation
Référence
Kit tests de fuites sources Ni63
IS1079S
Kit maintenance pompe IMS
IS1055
Module dopant cellule acids
IS1080S
Module dopant cellule NH3/Amines
IS1081S
Gas Generator (NH3, SO2, HF)
Désignation
Exchange permeation tubes (NH3, SO2, HF)
Référence
IS1066
Air zero Generator
Désignation
70
Référence
Kit 2 cartridges filters
IS1019
Purge filter
IS1020
2 particles filters SW ¼
IS1021
Instructions de maintenance
H2 Generator 3080+
Désignation
Référence
DI Water bag
IS1058
1 particles filter VCR ¼
IS1059
Kit 2 dryer cartridges
IS1060
VOC analyzer
Désignation
Référence
Kit PM VOC FID
IS1061
Oven HCT/CH4/HCnM
IS1062 (x2)
SO2 analyzer
Désignation
Référence
Kit maintenance SO2, Horiba pump
IS1076
Xenon lamp
IS1068
H2 safety detector
Désignation
H2 cell for H2 safety sensor
Référence
IS1113
HF_ID+
Désignation
Référence
Kit PM pump HF_ID+
123129S
HF permeation tube 250 ppb
123128S
Hygrometer analyzer
Désignation
Référence
Kit PM HG pump
IS1057
Hygrometer analyzer calibration (analyzer
exchange)
IS1023
Hygrometer analyzer calibration
On demand
UPS
Désignation
UPS batteries APA 450
Référence
123131S
FOUP sampling line
Désignation
Kit FOUP nozzle seals
Référence
On demand
71
Mise hors service
11 Mise hors service
11.1 Immobilisation prolongée
En cas d’immobilisation prolongée dans une zone non salle blanche :
Î Prévoir un emballage de l’équipement afin d’éviter la contamination particulaire.
Î Stocker l’équipement en respectant les consignes de stockage (voir chapitre 3.2).
11.2 Remise en service
Suivre la procédure d’installation décrite au chapitre 5.
11.3 Mise au rebut
Conformément à la Directive 2002/96/CE concernant le traitement des déchets des
équipements électriques et électroniques, et à la Directive 2011/65/CE relative à la
restriction des matières dangereuses, les produits adixen en fin de vie seront retournés au
constructeur pour décontamination et valorisation.
Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement
à des équipements complets, non modifiés, non rétrofités, utilisant des pièces détachées
d’origine adixen Vacuum Products, vendues par Pfeiffer Vacuum et incluant tous leurs
ensembles et sous-ensembles.
Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de
retraitement, ni la prestation de service qui sera facturée au client.
Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la
procédure Service après vente, chapitre 12, et remplir la déclaration de contamination
disponible sur notre site Internet.
AVERTISSEMENT
Protection de l’environnement
La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux
réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et
la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et
prévenir de la pollution.
Nos produits contiennent différents matériaux qui doivent être recyclés :
– Acier.
– Acier inoxydable.
– Aluminium.
– Cuivre.
– Elastomères fluorés.
– PTFE.
– POM.
– PVC.
– Polycarbonate.
– Polyuréthane.
– Batterie lithium.
– Composants électroniques / électrotechniques.
– Polyamide.
– PFA
– Source radioactive Ni63
– Cartouche générateur gaz (HF, SO2, NH3).
72
Service après vente
12 Service après vente
Pfeiffer Vacuum vous propose un service client haut de gamme !
Ɣ Maintenance sur site pour de nombreux produits.
Ɣ Révision / Réparation dans un centre de service proche de chez vous.
Ɣ Remplacement rapide par des produits d’échange standard reconditionnés.
Ɣ Conseils sur la solution la plus avantageuse et la plus rapide.
Informations détaillées, adresses et formulaires à l’adresse suivante :
www.pfeiffer-vacuum.com (Service).
Révision et réparation dans votre centre de service Pfeiffer Vacuum
Les recommandations suivantes permettront de garantir un service rapide et de qualité :
Î Remplissez le formulaire «Demande de service» et renvoyez-le à votre contact Pfeiffer
Vacuum local.
Î A cet envoi, joignez la confirmation de prise en charge transmise par Pfeiffer Vacuum.
Î Remplissez la déclaration de contamination et joignez-la obligatoirement à l’envoi du
produit. La déclaration de contamination est valable pour tout produit comportant un
élément exposé au vide.
Î Démontez et gardez tous les accessoires.
Î Obturez de manière étanche tous les orifices avec les obturateurs de protection
d’origine ou des obturateurs métalliques pour les produits contaminés.
Envoi des appareils contaminés
Les appareils contaminés avec des substances microbiologiques, explosives ou
radioactives sont systématiquement refusés. Les «substances toxiques» sont les
substances et composés chimiques cités dans la réglementation actuellement applicable,
concernant les substances dangereuses.
Î Obturez toutes les ouvertures des appareils pour les rendre étanches à l’air.
Î Conditionnez l’appareil sous une feuille de protection adaptée et scellée.
Î Renvoyez l’appareil uniquement dans un conteneur de transport approprié et robuste,
en respectant les conditions de transport applicables.
Tout produit retourné sans cette déclaration de contamination dûment remplie et/ou non
sécurisé dans son emballage par rapport à l’environnement extérieur sera décontaminé et/
ou retourné à ses frais à l’expéditeur.
Produits d’échange ou réparés
Les produits d’échange standard ou réparés sont fournis selon configuration et
paramétrage usine. Si votre application fonctionne avec un paramétrage spécifique, vous
devrez de nouveau modifier le paramétrage du produit.
Commandes de service après-vente
Toutes les commandes de service après-vente sont exécutées exclusivement selon nos
conditions de service en vigueur et disponibles sur notre site Internet.
73
Caractéristiques techniques
13 Caractéristiques techniques
13.1 Caractéristiques générales
Charactérisques générales de l’équipement
Poids mini
685 Kg (avec un maximum par pied de 200 Kg)
Poids maxi
1045 Kg (avec un maximum par pied de 440 Kg)
Dimensions HxLxP
(hors HMI et connecteurs)
1868 x 2164 x 1442 mm
Logiciel
Système d’exploitation
Microsoft Windows XP embarqué
Protection par mot de passe
Oui
Connexion compatible Ethernet
Oui
Enregistrement des données
Oui
Exportation de fichiers
.csv, .pdf, .bmp
Temps avant lancement mesure
Première utilisation ou après déplacement de
l’équipement
48 h
Réinitialisation après arrêt d’urgence < 1 heure
2h
Réinitialisation après arrêt d’urgence > 1 heure
24 h
13.2 Caractéristiques des servitudes
Les conditions d’exploitation
Température de fonctionnement
18 – 25 °C
Zone d’exploitation
Salle blanche (jusqu’à ISO 4)
Humidité relative
30 – 50 %
Niveau sonore*
< 70 dB A
*mesuré à une distance de 1 mètre, à une hauteur de 1,6 mètre conformément à la norme
ISO 9614-2.
Alimentation électrique
Alimentation
74
230 VAC ±10% monophasé
Fréquence
50 – 60 Hz
Consommation électrique maximale
7,8 kW
Consommation électrique minimale
300 W
Capacité de courant de court-cicuit admissible
10 kA
Mise à la Terre
oui
Câble (minimum)
8AWG cuivre
Caractéristiques techniques
Consommation individuelles des analyseurs / générateurs
La consommation électrique minimale de l’APA 450 sans analyseurs / générateurs est de
300 W. A cette consommation électrique minimale s’ajoute la consommation des analyseurs
/ générateurs installés dans l’APA 450. La consommation électrique de l’APA 450 dépendra
de sa configuration.
Ci-dessous le tableau de synthèse des consommations électriques de chaque analyseur
/ générateur, ainsi que la puissance électrique de réserve pour l’installation de futurs
analyseurs / générateurs (extension de la gamme d’analyse de l’APA).
Analyseurs / générateurs
Consommation (Puissance W)
HF_ID + analyzer
160 W
VOC FID analyzer
700 W (au démarrage), 100 W (stabilisé)
SO2 analyzer
150 W
NH3 / acid analyzer
120 W
Amine analyzer
120 W
Hygrometer analyzer
50 W
Air Zero generator
50 W
H2 generator 3080+
120 W
Gas generator
200 W
Réserve
3000 W
Servitude gaz
Gaz de procédé* Caractéristiques Gaz sec comprimé (non corrosif) et sans poussière :
- Classe 1 selon ISO 8573-1.
(selon
- Point de rosé : < -60°C.
configuration
- Raccord : ¼ G femelle.
machine)
Pression
- 6-10 bar à l’entrée de l’équipement.
(XCDA ou N2)
- Flux = 10 Slm à 6 bar.
Gaz pneumatique Caractéristiques Gaz sec comprimé (non corrosif) et sans poussière :
- Classe 2 selon ISO 8573-1.
(CDA)
- Point de rosé : < -40°C.
- Raccord : ¼ G femelle.
Pression
- 6-10 bar à l’entrée de l’équipement.
- Flux = 10 Slm à 6 bar.
(*) Gaz utilisé pour remplacer le gaz prélevé dans le carrier. Ce gaz est en contact direct avec les wafers.
Servitude eau déionisée
Eau déionisée
Caractéristiques - Conductivité : < 20 μS/cm.
- 5pVLVWLYLWp!NŸFP
- Filtration : < 0,2 μm (< 100 mg/l).
- Température : 18 - 25°C.
- Raccord : ¼ G femelle.
Pression
- 1,8 – 2,1 bar à l’entrée de l’équipement.
- Flux = 0,2 l/jour.
Servitude évacuation chimique
Air
Caractéristiques - Raccord : DN40 iso-KF.
Pression
- < 900 hPa à la sortie de l’équipement.
- Flux = 20 L/min maximum.
75
Caractéristiques techniques
13.3 Dimensions (mm)
1868
Vue de face
2164
2684
Vue de coté
1442
2183
76
50
Caractéristiques techniques
Vue de dessus avec zone de maintenance
3364
1200
Zone de maintenance
600
2654,15
600
POINT ZERO
Centre de gravité
Centre
de gravité
à vide
1042
1104
630
Centre
de gravité
pleine
400
1060
Centre
de gravité
à vide
830
812
1284
Centre
de gravité
pleine
880
77
Annexes
14 Déclaration de conformité CE
78
Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses
solutions de vide innovantes et adaptées, son approche
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